JPH06269956A - 部分真空電子ビーム溶接装置及び方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】従来技術における種々の問題点は、要するに装
置の大型化と、作業効率の低さに起因しており、本発明
においては、比較的小型の装置構成を実現しつつ、かつ
作業効率の高い部分真空電子ビーム溶接装置及び方法を
提供することを目的とする。 【構成】真空容器内に電子銃走行装置，電子銃を収納
し、真空容器内に被溶接材を送り込み、また搬出すると
ともに、搬入，搬出口に差動排気チャンバを設ける。 【効果】原材料の補充や製品の搬出のために製造が中断
されることが少なく、精密で且つ溶接処理部分が均質な
非常に長尺の管あるいは帯あるいは線材を連続的に製造
することが可能となる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は電子ビームを利用した溶
接装置及び方法に係り、特に部分的に形成した真空環境
内で溶接作業を行う部分真空電子ビーム溶接装置及び方
法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、高エネルギー密度のビームを用い
て被溶接材を精密に溶接する方法として、電子ビーム溶
接が知られている。

【０００３】この電子ビーム溶接手法は、真空環境内で
被溶接材に電子ビームを照射するものであることから、
被溶接材全体を収容する大型の真空容器や排気装置が必
要になるため設備投資額が大きく、溶接対象物の生産量
が非常に多くなければ採算が取れず、特に大型の被溶接
材への電子ビーム溶接の適用は困難であった。

【０００４】この問題を解決するために、被溶接材と真
空容器との間に適当なシール材を設けることにより溶接
部近傍のみを部分的な真空として電子ビーム溶接を行う
方法が開発されてきた。この方法には大きく分けて、被
溶接材の長手方向に溶接を行う方法すなわち部分真空の
ためのシールが溶接線を横切って行われる方法と、被溶
接材の長手方向とは垂直方向に溶接を行う方法すなわち
溶接線が完全に真空容器の内部に収容される方法とがあ
る。

【０００５】部分真空法を用いて被溶接材の長手方向に
電子ビーム溶接を行う方法は、三菱重工技報Ｖol.１
９，Ｎo.４，１９８２−７，第１−７頁に開示されてい
る。この概略は図１０に示すように、被溶接材１の溶接
線３６を挟んで上下に上チャンバ３１および下チャンバ
３２が設置され、上チャンバ３１には被溶接材１の長手
方向の溶接線３６に沿って電子ビーム通過用のスリット
３３が設けられている。上チャンバ３１の上に配置され
た電子銃１０が電子銃駆動装置３５によって溶接線３６
に沿って駆動され、被溶接材１を溶接する。電子銃駆動
装置３５と上チャンバ３１の間には摺動シールが設けら
れ、更に電子銃駆動装置３５には、スリット３３に沿っ
て移動する間、スリット３３にＶベルト状あるいは粘着
テープ状のシール３７の敷設と巻き上げを行い、電子銃
駆動装置３５と上チャンバとの間の気密を保つ機構が備
えられている。この装置では被溶接材１の溶接線３６の
長さよりも長い上チャンバ３１を設置し、被溶接材１の
長手方向端部に上チャンバ３１との間の気密を保つため
のシール３８と耳板３９を配置することで溶接箇所の部
分真空を実現している。

【０００６】部分真空法を用いて被溶接材の長手方向に
垂直な方向に電子ビーム溶接を行う方法は、例えば特開
平3−155480 号に開示されている。この概略は図１１に
示すように、被溶接材１の溶接線の部分を挟んで上下に
上チャンバ３１および下チャンバ３２が設置される。上
チャンバ３１の上側には電子銃駆動モータ５３を備えた
カバー５４が設置され、この上に摺動シール５５を介し
て、電子銃１０を搭載したカバー５６が配置され、電子
銃１０は図１１の左右方向に駆動され、被溶接材１を電
子ビーム溶接する。この装置では溶接線は被溶接材１の
長手方向とは垂直方向であるので、溶接線の部分は上チ
ャンバ３１と下チャンバ３２によって形成される真空容
器内に完全に収容されている。

【０００７】図１２に下チャンバ３２の鳥瞰図を示す。
被溶接材１の溶接線の前後とチャンバとの間はシール５
９によって気密が保たれ、１箇所の溶接が終了すると被
溶接材１は長手方向に移動され、別の箇所の溶接線を真
空容器内に収容し、再びシール５９が施されて、溶接が
行われる。この作業が繰り返される。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】上記の電子ビーム溶接
手法では、被溶接材の長手方向に溶接を行う場合であっ
ても、長手方向に垂直な方向に溶接を行う場合であって
も、何らかの接触式のシール手段を用いて溶接線を部分
的な真空中に収容することが必要である。

【０００９】このため、一回の溶接が終了する毎に被溶
接材とチャンバとの間のシールを施し直す必要が生じる
ので、製造過程が中断され易く、製造に要する時間を有
効に利用することが難しいという問題が生じる。

【００１０】また被溶接材の溶接線の長さ以上の収容長
さをもつチャンバを準備することが不可欠である。とこ
ろがこの方法を用いて、非常に長尺の帯状の被溶接材の
長手方向に電子ビーム溶接を行おうとする場合には、非
常に長尺のチャンバを準備する必要が生じ、不経済であ
りまた大きなスペースを必要とする。

【００１１】また、これらの従来技術は被溶接材として
比較的大型の構造物の溶接を想定しているが、被溶接材
あるいはチャンバそのものを連続的に駆動する手段を持
たないため、非常に長尺の被溶接材に対して溶接箇所を
次々に移動しながら溶接を行う場合、被溶接材と溶接装
置との相対的な位置決めに手間がかかり、製造に要する
時間を有効に利用することが難しいという問題が生じ
る。

【００１２】更に上記従来技術ではチャンバと被溶接材
との間のシールはゴム等の弾力性のあるシール材によっ
て施されており、しかもチャンバ内の溶接部近傍では被
溶接物を拘束する手段が何もないため、機械的に剛性の
低い被溶接材を用いる場合には電子ビームに対して溶接
線を正しい位置に保持することが困難である。

【００１３】また被溶接材が熱の良導体である場合や、
あるいは高熱に弱い材料を含む複合断面の材料である場
合には溶接部周辺の熱を速やかに逃がす必要が生じる
が、上記構造ではこれも困難であるという問題が生じ
る。

【００１４】従来技術における上記の種々の問題点は、
要するに装置の大型化と、作業効率の低さに起因してお
り、このことから本発明においては、比較的小型の装置
構成を実現しつつ、かつ作業効率の高い部分真空電子ビ
ーム溶接装置及び方法を提供することを目的とする。

【００１５】

【課題を解決するための手段】真空容器内に逐次被溶接
材を搬送し、電子ビームを照射して溶接を行い、搬出す
る本発明の部分真空電子ビーム溶接装置は、被溶接材の
搬入口と溶接後の被溶接材を搬出する搬出口とを備える
真空容器と、該真空容器内に設けられ、搬入された被溶
接材に電子ビームを照射して溶接を行うための電子銃
と、前記真空容器内に設けられ、電子銃による電子ビー
ム照射位置を多次元位置に設定する電子銃走行装置と、
前記真空容器の搬入口と搬出口に設けられた差動排気チ
ャンバと、被溶接材を上記真空容器内へ送り込むための
繰出装置とを含んで構成される。

【００１６】

【作用】本発明の部分真空電子ビーム溶接装置において
は、被溶接材に電子ビームを照射して溶接を行うための
電子銃と、電子銃による電子ビーム照射位置を多次元位
置に設定する電子銃走行装置とが真空容器内に設けられ
ているために、大気との接触は被溶接材の搬入口と溶接
後の被溶接材を搬出する搬出口において行われる。さら
に、この搬入口と搬出口には差動排気チャンバが設けら
れて、大気との接触を最小限に留められ、かつこの部分
から被溶接材が連続的に搬入，搬出されるので全体構成
を極力小さくしながら、作業効率を高めることができ
る。

【００１７】

【実施例】以下本発明の実施例を図を用いて詳細に説明
する。まず、図１は本発明の典型的な一実施例の構成を
示す図である。

【００１８】本装置では、真空容器２内に電子銃走行装
置９，電子銃１０，被溶接材冷却プレート１１を収納
し、この内部に被溶接材１を搬入，搬出して溶接を行
う。ここで電子銃１０は、被溶接材１の溶接開先に電子
ビームを照射して溶接を行うためのものであり、電子銃
走行装置９により電子銃１０を被溶接材１に対して最適
位置に移動する。溶接中に被溶接材１が加熱されること
から、必要に応じて冷却プレート１１により冷却を行
う。

【００１９】被溶接材１の真空容器２内への搬入，搬出
は、予めドラムに巻取られた被溶接材１を所定の速度で
真空容器２内へ送り込むための繰出装置５と、溶接完了
後の被溶接材１をドラムへ巻取るための巻取装置６とに
より行われる。

【００２０】真空容器２内の真空確保のために、被溶接
材１を真空容器２に搬入し、搬出する部分に差動排気チ
ャンバ３を設け、真空容器２内を所定の圧力（例えば１
０のマイナス４乗Torr）に排気する。この排気のため
に、差動排気チャンバ３、及び真空容器２にそれぞれ真
空ポンプ４が設けられる。さらに排気を効率的に行うた
めに、真空シール部７により差動排気チャンバ３と外気
との間のシールを行う。なお、被溶接材１の形状不整を
予め溶接前および溶接後巻取前に矯正するための線揃え
装置８が備えられる。

【００２１】ここで、真空容器２および差動排気チャン
バ３を、各装置の設置・調整等に都合の良いように適宜
分割可能な構造としその合わせ目に気密保持のためのシ
ールを設置することは、容易に考えられる。また、上記
差動排気チャンバ３および排気用のポンプ４は、真空容
器２内の到達真空度を上げるために、複数段設置するこ
とも考えられる。

【００２２】以上に述べたような構成の本発明の実施例
について、その動作を次に説明する。被溶接材１は繰出
装置５より繰り出され、真空容器２内で電子ビーム溶接
された後、巻取装置３に巻取られる。

【００２３】図１では、被溶接材１が線状のものを想定
しているが、一般に繰出装置５より繰り出された被溶接
材１は、ドラムへの巻取り時および繰出時に被溶接材１
に発生する応力により、望ましくない形状不整が残留し
ている場合がある。すなわち繰出装置１から繰り出され
た被溶接材１は、幅および高さの不整あるいは曲げや捻
れなどの形状不整を持つ場合がある。この場合に被溶接
材１の溶接開先の正しい位置に電子ビームを照射するた
めには、以下のいずれかの方法をとり、電子ビームと溶
接開先との位置合わせを行う必要がある。

【００２４】第１の方法は、電子ビームの位置は固定し
たまま、被溶接材１の溶接開先の位置が電子ビームに対
して適正な位置になるよう被溶接材１の形状を矯正する
方法であり、第２の方法は、電子ビームの位置は固定し
たまま、被溶接材１の形状もそのままで被溶接材１の電
子ビームに対する位置を移動する方法であり、第３の方
法は、被溶接材１の形状や位置はそのままで電子銃ビー
ムの位置を溶接開先の位置変化に追従させる方法であ
る。本実施例においては第１の方法をとっており、ドラ
ムからの繰出後に被溶接材に残留している形状不整を線
揃え装置８によって修正し、直線状に矯正した後、真空
容器内に送り込む。

【００２５】この第１の方法を採用する繰出装置５とそ
の周囲の構成を図２に示すように、繰出装置５はコンピ
ュータ２３の制御によるドラムトラバース機構を備えて
いる。この制御装置２３に予め被溶接材１を巻取った時
の情報を入力しておき、繰出時にはその情報に基づいて
ドラムを送り出し方向に垂直な方向に往復連続駆動する
ことにより、送り出し位置を一定に保ちながら被溶接材
１を繰り出す。

【００２６】また、上記線揃え装置８は、被溶接材１の
幅および高さの矯正機能，捻れおよび曲げの矯正機能を
有する。この矯正を行う方法としては、強制的にキャタ
ピラ等により矯正する方法と、線揃え装置８の入口に形
状測定装置を設置して、曲げおよび捻れの形状を検知し
それに応じて修正用のロール等を制御して被溶接材を直
状に矯正する方法とが考えられる。

【００２７】上記線揃え装置８を経た被溶接材１は真空
シール部７を通って差動排気チャンバ３に入り、更に溶
接用の真空容器２内に入る。この様子を図３に示すが、
真空シール部７は被溶接材１とは非接触であるため、摩
耗等によるメンテナンスの必要はない。また、真空シー
ル部７を差動排気チャンバ３への脱着可能な構造とし
て、被溶接材１の断面形状に応じて真空シール部を交換
できるようにすれば、種々の形状の被溶接材に対応する
ことも可能である。

【００２８】差動排気チャンバ３においては、被溶接材
１と真空シール部７との狭い隙間から侵入する空気の量
よりも大きな排気量をもつ真空ポンプにより連続的に差
動排気チャンバ内を排気することにより、該チャンバ内
を外気よりも低い圧力に保つことができる。真空容器２
内の到達真空度は差動排気の性能に大きく依存するが、
図４に示すように必要に応じて差動排気チャンバを複数
個直列に設置し同様の動作をさせれば、真空容器２内で
電子ビーム溶接に必要な所定の真空度を得ることができ
る。

【００２９】真空容器２内で、電子銃１０は被溶接材１
の溶接開先へ電子ビームを照射し、被溶接材１の溶接開
先部の局部的な溶融に必要な入熱を行って溶接を行う。
電子銃１０は、被溶接材１の材質および形状等によって
作動方式が異なり、例えば冷却不要な被溶接材を連続的
に溶接する場合には電子銃は連続作動し、冷却必要な被
溶接材を断続的に溶接する場合には電子銃は断続作動す
る。断続作動の場合にはビーム開始時と終了時にビーム
出力をスロープ制御することにより、前後の溶接部が滑
らかに接続される。

【００３０】電子銃１０は電子銃走行装置９によって位
置制御される。電子銃走行装置９による駆動方向は、図
５に示す如く被溶接材１の長手方向すなわち溶接線方向
Ｘ軸、被溶接材１の長手方向に垂直な方向Ｙ軸、そして
この２軸に垂直な方向Ｚ軸の３方向自由度を有し、これ
により電子銃がＺ軸に沿って被溶接材１に近づき、Ｘ軸
に沿って溶接開先１２を溶接し、更に複数の開先がある
場合には、Ｙ軸に沿って次の開先１３へ移動し同様に溶
接する。

【００３１】なお、電子銃走行装置９の３時限位置制御
により、例えば電子銃１０をＹ軸方向に駆動すれば、被
溶接材の断面方向に溶接を行うことが可能である。ま
た、前述の線揃え装置による被溶接材形状矯正を行う代
わりに電子銃１０を図５のＸ，ＹおよびＺ軸方向へ同時
に駆動することにより、電子銃そのものを開先に追従さ
せることが可能である。さらに、駆動部の自由度を更に
増せば、直状の溶接開先のみでなく、螺旋状開先など空
間的な曲線となっている開先への電子ビーム追従が可能
となる。

【００３２】また、複数の開先を有する被溶接材の場合
には、予め電子銃を複数個設置しておき、これらを同時
に走行させて一度に複数の開先を溶接することも可能で
ある。このように真空容器内部での電子銃１０の設置個
数と駆動方向および作動方法に関しては被溶接材からの
必要性に応じ多くの応用が可能である。

【００３３】被溶接材１の溶接部周辺は溶接時には非常
に高温になるため、被溶接材１を冷却する必要が生じる
場合がある。この場合には冷却プレート１１を用いて溶
接部周辺の冷却を行う。冷却プレート１１は被溶接材１
に密着し、溶接部周辺の熱を速やかに逃がす働きをす
る。冷却プレートの構造例として、図６に冷却路を有す
る金属塊を被溶接材１に圧着する方法を示す。更に冷却
プレート１１と被溶接材１との熱的接触を良くするため
に、非常に蒸気圧の低い油あるいは金属製織布等をこれ
らの境界に充填する方法も考えられる。

【００３４】また冷却プレート１１自体を被溶接材１に
比べて非常に剛性の高いものとすることにより、溶接部
周辺での被溶接材１の位置および形状を強制的に修正す
ることが可能であり、例えばこの方法を用いた場合に
は、被溶接材の形状不整が小さい場合には、被溶接材１
に塑性変形を与えることなく、溶接部周辺での被溶接材
１の弾性変形の範囲内で位置修正が可能となり、被溶接
材の加工硬化や損傷を少なく出来るという利点がある。

【００３５】溶接後の被溶接材１は、差動排気チャンバ
３，真空シール部７を通って再び線揃え装置８に入る。
ここでの線揃え装置の働きは被溶接材１の溶接に伴う変
形を矯正することである。

【００３６】線揃え装置８を出た被溶接材１は、巻取装
置６によってドラムに巻取られる。巻取装置６は被溶接
材１を真っ直ぐ巻取るために繰出装置と同様にドラムト
ラバース機能を有し、更に被溶接材１に一定の張力を印
加しながら巻取ることが可能である。

【００３７】本発明の第２の実施例を次に説明する。本
実施例は、第１の実施例に加えて、電子ビーム溶接の前
後で被溶接材の表面を洗浄し、また必要に応じ溶接後に
被溶接材の表面を研削する装置を備えたものである。

【００３８】図７に第２の実施例による溶接前の処理装
置の構成を示す。線揃え装置８を出た被溶接材１は洗浄
機７１によって表面洗浄され、乾燥機７３によって乾燥
された後、差動排気チャンバ３へ送られる。この処理に
より、被溶接材表面の汚れや埃が除去され、真空容器内
の真空度向上および溶接部の品質向上が図れる。尚、被
溶接材の製造状態や線揃え装置の性能によっては、線揃
え装置８と上記洗浄・乾燥装置の順序を逆にすることも
考えられる。洗浄の際には必要に応じて界面活性剤を用
いても良く、また乾燥装置の方式については、温風乾燥
あるいは真空乾燥のどちらでも良い。

【００３９】図８に第２の実施例による溶接後の処理装
置の構成を示す。差動排気チャンバ３を出た被溶接材に
は線揃え装置８のみでは矯正しきれないような局部変形
や膨らみが生じていたり、あるいは溶接時のスパッタ等
の不純物が付着している場合がある。この場合、被溶接
材の表面は研削機７４によって研削あるいは研磨され、
次に洗浄機７１によって表面洗浄され、乾燥機７３によ
って乾燥された後、線揃え装置８に送られる。この処理
により、溶接時に生じた被溶接材の変形の適切な矯正
と、表面の汚損の除去を図ることができる。研削機の方
式としては必要に応じてカッターを用いた機械加工機あ
るいはワイヤブラシ等を用いた研磨機のいずれかあるい
は双方を用いることが考えられる。被溶接材の溶接後の
状態や線揃え装置の性能によっては、線揃え装置８と上
記研削・洗浄・乾燥装置の順序を逆にすることも考えら
れる。

【００４０】本発明の第３の実施例を次に説明する。本
実施例は、第１の実施例に加えて、電子ビーム溶接後の
被溶接材の健全性を検査する装置を備えたものである。

【００４１】図９に第３の実施例による上記検査装置の
構成を示す。差動排気チャンバ３を出た被溶接材１は油
槽７７に入り、超音波探傷検査装置７６によって溶接後
の内部欠陥の有無および状態が検査される。その後、こ
の検査時に付着した油分は界面活性剤８０を用いた洗浄
機７１により除去され、残留水分は乾燥機７３により除
去される。この処理により、溶接後の被溶接材の健全性
を確認しながら製造を進めることが可能になる。尚、被
溶接材の溶接後の状態や線揃え装置の性能によっては、
線揃え装置８と上記検査装置の順序を逆にすることも考
えられる。また必要に応じて第２の実施例に記した研削
・洗浄・乾燥装置と上記検査装置とを組み合わせてもよ
い。

【００４２】上記した本発明の実施例による具体的な効
果は以下のとおりである。

【００４３】第１に、本発明によれば非常に長尺の原材
料および製品が双方ともドラムに巻取られており、その
中間で形状矯正および溶接処理を行う構成のため、原材
料の補充や製品の搬出のために製造が中断されることが
少なく、製造のために要する時間を極めて有効に利用す
ることが可能となる。

【００４４】第２に、本発明によれば溶接処理を真空中
の電子ビーム溶接によって行うため非常に精密で且つ溶
接処理部分が均質な長尺の製品を連続的に製造すること
が可能となる。

【００４５】第３に、本発明によれば差動排気チャンバ
と非接触シールを用いることにより製造中に於ける装置
内部での原材料の移動の際にもその都度真空シールを行
う必要がなく、しかも真空シール部のメンテナンスも不
要となる。

【００４６】第４に、溶接時の冷却機構を備えているの
で、超電導導体など、熱の良導体と不良導体あるいは熱
に弱い材料などからなる複合断面をもつ長尺製品の製造
にあたっても、機械的に堅固な溶接構造としてこれを製
造することが可能となる。

【００４７】第５に、溶接時の冷却プレートが電子ビー
ム溶接時の被溶接材の固定装置を兼ねるので、機械的に
剛性の低い被溶接材であっても、電子ビームに対して適
切な位置にこれを保持することが可能となる。

【００４８】第６に、本発明によれば原材料および製品
が双方ともドラムに巻取られているので、必要最小限の
占有スペースで上記製造が可能となる。

【００４９】

【発明の効果】本発明によれば、比較的小型の装置構成
を実現しつつ、かつ作業効率の高い部分真空電子ビーム
溶接装置及び方法を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例の構成図。

【図２】本発明の一実施例における繰出装置付近の上面
より見た構成図。

【図３】本発明の一実施例における真空シール部の拡大
図。

【図４】本発明の一実施例における差動排気チャンバの
概念図。

【図５】本発明の一実施例における電子銃駆動方向を示
す図。

【図６】本発明の一実施例における冷却プレートの概念
図。

【図７】本発明の第２の実施例の溶接前処理装置の構成
図。

【図８】本発明の第２の実施例の溶接後処理装置の構成
図。

【図９】本発明の第３の実施例の溶接後検査装置の構成
図。

【図１０】従来の部分真空電子ビーム溶接装置の例１。

【図１１】従来の部分真空電子ビーム溶接装置の例２。

【図１２】従来の部分真空電子ビーム溶接装置の例２の
下チャンバの鳥瞰図。

【符号の説明】

１…被溶接材、２…真空容器、３…差動排気チャンバ、
４…真空ポンプ、５…繰出装置、６…巻取装置、７…真
空シール部、８…線揃え装置、９…電子銃走行装置、１
０…電子銃、１１…冷却プレート、１２…溶接開先、１
３…溶接開先、２１…繰出部、２２…ドラムトラバース
部、２３…トラバース部制御装置、３１…上チャンバ、
３２…下チャンバ、３３…スリット、３５…電子銃駆動
装置、３６…溶接線、３７，３８，５２，５７，５９，
７９…シール、３９…耳板、５０…被溶接材、５１…電
子ビーム、５３…電子銃駆動モータ、５４，５６…カバ
ー、５５…摺動シール、５８…スクリュー、６０…耳
板、７１…洗浄機、７２…受け皿、７３…乾燥機、７４
…研削装置、７５…送り装置、７６…超音波探傷検査装
置、７７…油槽、７８…油、８０…界面活性剤

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 石村 哲朗 茨城県日立市幸町三丁目１番１号 株式会 社日立製作所日立工場内

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】真空容器内に逐次被溶接材を搬送し、電子
   ビームを照射して溶接を行い、搬出する部分真空電子ビ
   ーム溶接装置において、 被溶接材の搬入口と溶接後の被溶接材を搬出する搬出口
   とを備える真空容器，該真空容器内に設けられ、搬入さ
   れた被溶接材に電子ビームを照射して溶接を行うための
   電子銃，前記真空容器内に設けられ、電子銃による電子
   ビーム照射位置を設定する電子銃走行装置，前記真空容
   器の搬入口と搬出口に設けられた差動排気チャンバ，被
   溶接材を上記真空容器内へ送り込むための繰出装置とを
   含む部分真空電子ビーム溶接装置。
2. 【請求項２】請求項１記載の部分真空電子ビーム溶接装
   置において、差動排気チャンバと真空容器に排気のため
   の真空ポンプを接続することを特徴とする部分真空電子
   ビーム溶接装置。
3. 【請求項３】請求項１記載の部分真空電子ビーム溶接装
   置において、前記差動排気チャンバに真空シールが被溶
   接材と非接触に設けられることを特徴とする部分真空電
   子ビーム溶接装置。
4. 【請求項４】請求項１記載の部分真空電子ビーム溶接装
   置において、前記真空容器の搬入口側、又は搬出口側の
   少なくとも一方に被溶接材を清浄化するための手段を備
   えることを特徴とする部分真空電子ビーム溶接装置。
5. 【請求項５】真空容器内に逐次被溶接材を搬送し、電子
   ビームを照射して溶接を行い、搬出する部分真空電子ビ
   ーム溶接装置において、 被溶接材の搬入口と溶接後の被溶接材を搬出する搬出口
   とを備える真空容器，該真空容器内に設けられ、搬入さ
   れた被溶接材に電子ビームを照射して溶接を行うための
   電子銃，前記真空容器内に設けられ、電子銃による電子
   ビーム照射位置を設定する電子銃走行装置，被溶接材を
   上記真空容器内へ送り込むための繰出装置，被溶接材を
   巻取保管するドラム，該ドラムから繰出装置を介して被
   溶接材を上記真空容器内へ送り込む時に被溶接材の形状
   不正を修正する手段とを含む部分真空電子ビーム溶接装
   置。
6. 【請求項６】請求項５記載の部分真空電子ビーム溶接装
   置において、形状不正修正手段は、真空容器の搬入口位
   置に、巻取保管された被溶接材端部の繰り出し位置を揃
   えるものとされたことを特徴とする部分真空電子ビーム
   溶接装置。
7. 【請求項７】請求項６記載の部分真空電子ビーム溶接装
   置において、搬出口から搬出された被溶接材溶接後の内
   部欠陥の様子を検査する超音波探傷検査装置を備えたこ
   とを特徴とする部分真空電子ビーム溶接装置。
8. 【請求項８】巻取保管している線状の被溶接材を、順次
   真空度の高くなる複数の室に導き、電子ビーム溶接後順
   次真空度の低くなる複数の室を介して大気に導き、再度
   巻取保管することを特徴とする部分真空電子ビーム溶接
   方法。