JPH06268917A - 赤外線固体撮像装置 - Google Patents
赤外線固体撮像装置Info
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- JPH06268917A JPH06268917A JP5072826A JP7282693A JPH06268917A JP H06268917 A JPH06268917 A JP H06268917A JP 5072826 A JP5072826 A JP 5072826A JP 7282693 A JP7282693 A JP 7282693A JP H06268917 A JPH06268917 A JP H06268917A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 撮像時における周囲の気温変化などの経時変
化に伴う画像信号処理用電子回路の特性変動による出力
の変動分を補正することが可能な赤外線固体撮像装置を
得る。 【構成】 赤外線を光電変換する光電変換部を有する複
数の受光部が同一基板上に形成され、各受光部から赤外
線の受光量に応じて電気信号が発生し、これを転送手段
によって転送して読み出す赤外線固体撮像装置に、受光
量によらない一定の電気信号を２種類以上出力する出力
手段を備えた。
化に伴う画像信号処理用電子回路の特性変動による出力
の変動分を補正することが可能な赤外線固体撮像装置を
得る。 【構成】 赤外線を光電変換する光電変換部を有する複
数の受光部が同一基板上に形成され、各受光部から赤外
線の受光量に応じて電気信号が発生し、これを転送手段
によって転送して読み出す赤外線固体撮像装置に、受光
量によらない一定の電気信号を２種類以上出力する出力
手段を備えた。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば温度計測等に用
いられる赤外線固体撮像装置に関するものである。
いられる赤外線固体撮像装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来から知られている赤外線固体撮像装
置は、２次元に配列されたＰｔＳｉなどからなる光電変
換部と、この光電変換部で光電変換された信号電荷を読
み出すための電荷転送部とを有し、電荷転送部の電極に
トランスファーパルスを印加することによって信号電荷
が順次読み出される。即ち、全ての画素（電荷転送部を
含まない個々の光電変換部に相当する）が各々の画素に
入射した赤外線の光量に応じた信号を出力する構成とな
っていた。
置は、２次元に配列されたＰｔＳｉなどからなる光電変
換部と、この光電変換部で光電変換された信号電荷を読
み出すための電荷転送部とを有し、電荷転送部の電極に
トランスファーパルスを印加することによって信号電荷
が順次読み出される。即ち、全ての画素（電荷転送部を
含まない個々の光電変換部に相当する）が各々の画素に
入射した赤外線の光量に応じた信号を出力する構成とな
っていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の赤外線固体撮像装置を温度計測等に用いる場
合、予め基準となる黒体を撮像してその時の出力信号を
基準としておくという操作が必要であった。従って、温
度計測の度に基準温度の黒体炉を準備しなければならな
かったが、実際に黒体炉で極低温を作ることは困難であ
り、温度の絶対基準である零ＫやＰｔＳｉを用いた赤外
線撮像装置の冷却温度である７７Ｋ等での基準出力を得
ることはできなく、非常に不便であった。
うな従来の赤外線固体撮像装置を温度計測等に用いる場
合、予め基準となる黒体を撮像してその時の出力信号を
基準としておくという操作が必要であった。従って、温
度計測の度に基準温度の黒体炉を準備しなければならな
かったが、実際に黒体炉で極低温を作ることは困難であ
り、温度の絶対基準である零ＫやＰｔＳｉを用いた赤外
線撮像装置の冷却温度である７７Ｋ等での基準出力を得
ることはできなく、非常に不便であった。
【０００４】さらに、従来の赤外線固体撮像装置では、
撮像時における周囲の気温変化や経時変化などに起因す
る画像信号処理用電子回路の特性変動による画素出力の
変動を補正することができないという問題があった。
撮像時における周囲の気温変化や経時変化などに起因す
る画像信号処理用電子回路の特性変動による画素出力の
変動を補正することができないという問題があった。
【０００５】本発明は、上記問題点を解消し、簡便に基
準出力が得られると共に、撮像時における周囲の気温変
化などの経時変化に伴う画像信号処理用電子回路の特性
変動による出力の変動分を補正することが可能な赤外線
固体撮像装置を得ることを目的とする。
準出力が得られると共に、撮像時における周囲の気温変
化などの経時変化に伴う画像信号処理用電子回路の特性
変動による出力の変動分を補正することが可能な赤外線
固体撮像装置を得ることを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１に記載の発明に係る赤外線固体撮像装置で
は、同一基板上に形成され、赤外線を光電変換する光電
変換部を有する複数の受光部と、各受光部から赤外線の
受光量に応じて発生した電気信号を転送して読み出すた
めの転送手段とを有する赤外線固体撮像装置において、
受光量によらない一定の電気信号を２種類以上出力する
出力手段を備えたものである。
め、請求項１に記載の発明に係る赤外線固体撮像装置で
は、同一基板上に形成され、赤外線を光電変換する光電
変換部を有する複数の受光部と、各受光部から赤外線の
受光量に応じて発生した電気信号を転送して読み出すた
めの転送手段とを有する赤外線固体撮像装置において、
受光量によらない一定の電気信号を２種類以上出力する
出力手段を備えたものである。
【０００７】また、請求項２に記載の発明の係る赤外線
固体撮像装置では、請求項１に記載の赤外線固体撮像装
置において、前記出力手段が、前記基板上に形成された
電荷転送部とそれに接続された電荷注入端子とを少なく
とも一組有するものとした。
固体撮像装置では、請求項１に記載の赤外線固体撮像装
置において、前記出力手段が、前記基板上に形成された
電荷転送部とそれに接続された電荷注入端子とを少なく
とも一組有するものとした。
【０００８】また、請求項３に記載の発明に係る赤外線
固体撮像装置では、請求項１に記載の赤外線固体撮像装
置において、前記出力手段が、第１の出力手段として前
記基板上に形成された電荷転送部とそれに接続された電
荷注入端子との少なくとも一組を備えると共に、第２の
出力手段として受光量が零の場合に相当するブラックレ
ベルの基準信号を出力する手段を備えたものとした。
固体撮像装置では、請求項１に記載の赤外線固体撮像装
置において、前記出力手段が、第１の出力手段として前
記基板上に形成された電荷転送部とそれに接続された電
荷注入端子との少なくとも一組を備えると共に、第２の
出力手段として受光量が零の場合に相当するブラックレ
ベルの基準信号を出力する手段を備えたものとした。
【０００９】
【作用】本発明においては、赤外線を光電変換する光電
変換部を有する複数の受光部が同一基板上に形成され、
各受光部から赤外線の受光量に応じて電気信号が発生
し、これを転送手段によって転送して読み出す赤外線固
体撮像装置において、受光量によらない一定の電気信号
を２種類以上出力する出力手段を備えたものである。従
って、撮像時における周囲の気温変化等の経時変化に起
因して生じる画像信号処理用電子回路の特性変動による
画素出力の変動を補正することができる。
変換部を有する複数の受光部が同一基板上に形成され、
各受光部から赤外線の受光量に応じて電気信号が発生
し、これを転送手段によって転送して読み出す赤外線固
体撮像装置において、受光量によらない一定の電気信号
を２種類以上出力する出力手段を備えたものである。従
って、撮像時における周囲の気温変化等の経時変化に起
因して生じる画像信号処理用電子回路の特性変動による
画素出力の変動を補正することができる。
【００１０】ここで、本発明の作用を、２種類の受光量
によらない一定の電気信号を出力する場合を例に説明す
る。例えば、まず２つの基準信号y1，y2が得られたとす
る。この時の赤外線固体撮像装置の出力は各々Ｙ1 ，Ｙ
2 となる。これらの出力が、撮像時の経時変化のために
生じた画像信号処理用電子回路の特性変動のうちオフセ
ットＢおよびゲインＡの変動によって以下に示す如くそ
れぞれ変動したとする。 Ｙ1'＝Ａ・Ｙ1 ＋Ｂ …(1) Ｙ2'＝Ａ・Ｙ2 ＋Ｂ …(2)
によらない一定の電気信号を出力する場合を例に説明す
る。例えば、まず２つの基準信号y1，y2が得られたとす
る。この時の赤外線固体撮像装置の出力は各々Ｙ1 ，Ｙ
2 となる。これらの出力が、撮像時の経時変化のために
生じた画像信号処理用電子回路の特性変動のうちオフセ
ットＢおよびゲインＡの変動によって以下に示す如くそ
れぞれ変動したとする。 Ｙ1'＝Ａ・Ｙ1 ＋Ｂ …(1) Ｙ2'＝Ａ・Ｙ2 ＋Ｂ …(2)
【００１１】上記(1) 式および(2) 式から以下の計算で
Ａ、Ｂが求められる。 Ａ＝（Ｙ1'−Ｙ2'）／（Ｙ1 −Ｙ2 ） …(3) Ｂ＝（Ｙ1 Ｙ2'−Ｙ2 Ｙ1'）／（Ｙ1 −Ｙ2 ） …(4) 従って、赤外線固体撮像装置の作製時に予め出力Ｙ1 お
よび出力Ｙ2 を計測しておけば、後に実際の撮像時に
(1) 式および(2) 式と同様に(5) 式のような変動が生じ
た場合であっても、変動後の計測値と(3) 式および(4)
式からＡとＢを算出し、(5) 式の逆演算(6) 式から変動
前の出力値Ｙが求められる。 Ｙ' ＝Ａ・Ｙ＋Ｂ …(5) Ｙ＝（Ｙ' −Ｂ）／Ａ …(6)
Ａ、Ｂが求められる。 Ａ＝（Ｙ1'−Ｙ2'）／（Ｙ1 −Ｙ2 ） …(3) Ｂ＝（Ｙ1 Ｙ2'−Ｙ2 Ｙ1'）／（Ｙ1 −Ｙ2 ） …(4) 従って、赤外線固体撮像装置の作製時に予め出力Ｙ1 お
よび出力Ｙ2 を計測しておけば、後に実際の撮像時に
(1) 式および(2) 式と同様に(5) 式のような変動が生じ
た場合であっても、変動後の計測値と(3) 式および(4)
式からＡとＢを算出し、(5) 式の逆演算(6) 式から変動
前の出力値Ｙが求められる。 Ｙ' ＝Ａ・Ｙ＋Ｂ …(5) Ｙ＝（Ｙ' −Ｂ）／Ａ …(6)
【００１２】さらに、以上のような１次関数だけでな
く、例えば(7) 式で示される２次関数の場合でも３種類
の基準信号があれば同様に補正を行なうことができる。 Ｙ' ＝ＡＹ2 ＋ＢＹ＋Ｃ …(7) また、より高次の場合でも、Ｎ次関数で表される変動は
Ｎ＋１種類の基準信号があれば補正できる。
く、例えば(7) 式で示される２次関数の場合でも３種類
の基準信号があれば同様に補正を行なうことができる。 Ｙ' ＝ＡＹ2 ＋ＢＹ＋Ｃ …(7) また、より高次の場合でも、Ｎ次関数で表される変動は
Ｎ＋１種類の基準信号があれば補正できる。
【００１３】また本発明においては、２種類以上の、受
光量によらない一定の電気信号を出力する出力手段が、
電荷転送部とそれに接続された電荷注入端子とを少なく
とも一組有するものとしたものであり、この電荷注入端
子に適当な電荷を注入することによって対応するホワイ
トレベルの受光量によらない一定の電気信号が得られ
る。この電荷転送部とそれに接続された電荷注入端子と
を複数組備えれば、その数だけ受光量によらない一定の
電気信号が得られ、これらを特性変動の補正に用いるこ
とができる。
光量によらない一定の電気信号を出力する出力手段が、
電荷転送部とそれに接続された電荷注入端子とを少なく
とも一組有するものとしたものであり、この電荷注入端
子に適当な電荷を注入することによって対応するホワイ
トレベルの受光量によらない一定の電気信号が得られ
る。この電荷転送部とそれに接続された電荷注入端子と
を複数組備えれば、その数だけ受光量によらない一定の
電気信号が得られ、これらを特性変動の補正に用いるこ
とができる。
【００１４】さらに本発明は、２種類以上の、受光量に
よらない一定の電気信号を出力する出力手段が、第１の
出力手段として電荷転送部とそれに接続された電荷注入
端子との少なくとも一組を備えると共に、第２の出力手
段として受光量が零の場合に相当するブラックレベルの
基準信号を出力する手段を備えたものであるため、特性
変動の補正用の電気信号の１つとしてブラックレベルの
基準信号を用いることができると共に、温度計測を行な
う場合の基準出力として用いることができ、黒体炉を必
要としないで簡便に正確な温度測定が可能となる。
よらない一定の電気信号を出力する出力手段が、第１の
出力手段として電荷転送部とそれに接続された電荷注入
端子との少なくとも一組を備えると共に、第２の出力手
段として受光量が零の場合に相当するブラックレベルの
基準信号を出力する手段を備えたものであるため、特性
変動の補正用の電気信号の１つとしてブラックレベルの
基準信号を用いることができると共に、温度計測を行な
う場合の基準出力として用いることができ、黒体炉を必
要としないで簡便に正確な温度測定が可能となる。
【００１５】
【実施例】以下に、本発明の実施例を説明する。図１
は、ＣＣＤを転送手段とする赤外線撮像装置の模式的な
平面図である。図において、赤外線を光電変換する通常
の画素Ｐが２次元に配列されている。その周囲に赤外線
の光量によらない一定の出力、例えばブッラクレベルを
出力する基準画素Ｂが配置されている。
は、ＣＣＤを転送手段とする赤外線撮像装置の模式的な
平面図である。図において、赤外線を光電変換する通常
の画素Ｐが２次元に配列されている。その周囲に赤外線
の光量によらない一定の出力、例えばブッラクレベルを
出力する基準画素Ｂが配置されている。
【００１６】各画素列の間には、ＣＣＤで構成された垂
直転送部２が設けられており、各垂直転送部２は、同じ
くＣＣＤで構成された水平転送部４が接続されている。
通常画素Ｐおよび基準画素Ｂからの電気信号は、垂直転
送部２、水平転送部４から出力回路５を通って端子６か
ら出力される。
直転送部２が設けられており、各垂直転送部２は、同じ
くＣＣＤで構成された水平転送部４が接続されている。
通常画素Ｐおよび基準画素Ｂからの電気信号は、垂直転
送部２、水平転送部４から出力回路５を通って端子６か
ら出力される。
【００１７】本実施例においては、さらにＣＣＤで構成
された垂直転送部３を設け、その垂直転送部３の端に電
荷注入端子１を接続した。この電荷注入端子１は、図２
（ａ）に示すように、基板内のＮ+ 拡散層に接続されて
いる。制御電極１１は、注入電荷量を制御するためのも
のであり、電極１２、電極１３、電極１４および電極１
５は、電荷を転送するためのＣＣＤのポテンシャル井戸
を形成するよう電圧を印加する転送電極である。
された垂直転送部３を設け、その垂直転送部３の端に電
荷注入端子１を接続した。この電荷注入端子１は、図２
（ａ）に示すように、基板内のＮ+ 拡散層に接続されて
いる。制御電極１１は、注入電荷量を制御するためのも
のであり、電極１２、電極１３、電極１４および電極１
５は、電荷を転送するためのＣＣＤのポテンシャル井戸
を形成するよう電圧を印加する転送電極である。
【００１８】注入された電荷の転送を以下に説明する。
図２（ｂ）〜（ｅ）は、電荷注入部分のポテンシャル図
であり、図２（ａ）で示した各電極の位置と対応してい
る。まず、転送電極１２及び電極１３の電圧を上げてポ
テンシャル井戸を作り、電荷注入端子１の電圧を下げ、
図中斜線で示す電荷をこのポテンシャル井戸に注入する
（図２（ｂ））。次に電荷注入端子１の電圧を上げた後
（図２（ｃ））、転送電極１４の電圧を上げ（図２
（ｄ））、さらに転送電極１２の電圧を下げる（図２
（ｅ））。
図２（ｂ）〜（ｅ）は、電荷注入部分のポテンシャル図
であり、図２（ａ）で示した各電極の位置と対応してい
る。まず、転送電極１２及び電極１３の電圧を上げてポ
テンシャル井戸を作り、電荷注入端子１の電圧を下げ、
図中斜線で示す電荷をこのポテンシャル井戸に注入する
（図２（ｂ））。次に電荷注入端子１の電圧を上げた後
（図２（ｃ））、転送電極１４の電圧を上げ（図２
（ｄ））、さらに転送電極１２の電圧を下げる（図２
（ｅ））。
【００１９】以上の転送手順は、通常の４相駆動ＣＣＤ
における転送手段と同じであり、通常画素Ｐからの出力
の垂直転送部２による転送と同時にこの転送が行なわれ
る。このような構成においては、図１中左端の基準画素
Ｂ列の左隣りにさらにもう１列ホワイトレベルの電気信
号を出力する画素列がある場合と同じ画像信号が出力端
子６から得られる。
における転送手段と同じであり、通常画素Ｐからの出力
の垂直転送部２による転送と同時にこの転送が行なわれ
る。このような構成においては、図１中左端の基準画素
Ｂ列の左隣りにさらにもう１列ホワイトレベルの電気信
号を出力する画素列がある場合と同じ画像信号が出力端
子６から得られる。
【００２０】このホワイトレベルの信号の大きさは、図
２中斜線で示した電荷注入端子１によって注入される電
荷の量に比例する。この電荷の量は、電極１１の電圧値
で決定するポテンシャル２０と電極１２の電圧値で決定
するポテンシャル２１との差に比例する。即ち、電極１
１の電圧を調節することによってホワイトレベル信号の
大きさを制御することができる。
２中斜線で示した電荷注入端子１によって注入される電
荷の量に比例する。この電荷の量は、電極１１の電圧値
で決定するポテンシャル２０と電極１２の電圧値で決定
するポテンシャル２１との差に比例する。即ち、電極１
１の電圧を調節することによってホワイトレベル信号の
大きさを制御することができる。
【００２１】以上の構成からなる赤外線撮像装置におい
ては、図１のような通常画素Ｐと基準画素Ｂの配置か
ら、端子６から出力される画像信号は１水平走査線の最
初と最後にブラックレベル、それに加えてホワイトレベ
ルの２種類の基準信号が得られる。従って前述したよう
に(3) 式(4) 式によってこれらの基準信号からオフセッ
トＢおよびゲインＡによる変動分が算出でき、画素Ｐの
真の出力値を逆算することができ、正確な温度測定がで
きる。
ては、図１のような通常画素Ｐと基準画素Ｂの配置か
ら、端子６から出力される画像信号は１水平走査線の最
初と最後にブラックレベル、それに加えてホワイトレベ
ルの２種類の基準信号が得られる。従って前述したよう
に(3) 式(4) 式によってこれらの基準信号からオフセッ
トＢおよびゲインＡによる変動分が算出でき、画素Ｐの
真の出力値を逆算することができ、正確な温度測定がで
きる。
【００２２】また、さらにもう１組のＣＣＤ垂直転送部
と電荷注入端子と制御電極を、図１の垂直転送部３の左
に設け、制御電極の電圧を電極１１の電圧値と異なるも
のとすれば、第３番目のホワイトレベルの基準信号を得
ることができる。これによって前記(7) 式で示したよう
な変動の場合に対しても補正を行なうことができる。同
様に、Ｎ組のＣＣＤ垂直転送部と電荷注入端子と制御電
極を設けることによってＮ次関数で表される変動も補正
することができ、より正確な画素Ｐの出力が得られる。
と電荷注入端子と制御電極を、図１の垂直転送部３の左
に設け、制御電極の電圧を電極１１の電圧値と異なるも
のとすれば、第３番目のホワイトレベルの基準信号を得
ることができる。これによって前記(7) 式で示したよう
な変動の場合に対しても補正を行なうことができる。同
様に、Ｎ組のＣＣＤ垂直転送部と電荷注入端子と制御電
極を設けることによってＮ次関数で表される変動も補正
することができ、より正確な画素Ｐの出力が得られる。
【００２３】なお、基準画素Ｂからブラックレベルの基
準信号を得るには種々の方法があるが、例えば基準画素
Ｂを光電変換部のない画素で構成すれば良い。この場
合、基準画素Ｂからは光電変換以外の主にリーク電流に
よる電気信号のみが出力されるので、これを基準信号と
することができる。
準信号を得るには種々の方法があるが、例えば基準画素
Ｂを光電変換部のない画素で構成すれば良い。この場
合、基準画素Ｂからは光電変換以外の主にリーク電流に
よる電気信号のみが出力されるので、これを基準信号と
することができる。
【００２４】あるいは、銅やアルミニウムなどの遮光部
材を用いて外部から入射する赤外線を反射する構成とし
たり、また、遮光部材として炭素等の放射率が１に近い
物質を用いて入射した赤外線をほぼ全て吸収するよう構
成することによっても基準画素Ｂからブラックレベルの
基準信号を得ることができる。即ち、このような遮光部
材を光電変換部に接するように配置し、ある温度Ｔに制
御すれば画素Ｂからは温度Ｔの黒体を撮像しているに相
当する出力が得られる。
材を用いて外部から入射する赤外線を反射する構成とし
たり、また、遮光部材として炭素等の放射率が１に近い
物質を用いて入射した赤外線をほぼ全て吸収するよう構
成することによっても基準画素Ｂからブラックレベルの
基準信号を得ることができる。即ち、このような遮光部
材を光電変換部に接するように配置し、ある温度Ｔに制
御すれば画素Ｂからは温度Ｔの黒体を撮像しているに相
当する出力が得られる。
【００２５】もし、撮像時に周囲の気温変化等の経時変
化に伴うゲインなどの変動が見られない場合は、通常画
素Ｐの出力からブラックレベルを差し引けば良い。ま
た、本発明によれば、電荷注入端子によって注入する電
荷を制御すれば所望の基準信号を得ることができるの
で、通常画素Ｐの出力からこの基準信号を差し引くこと
によって背景光を除去することもでき、コントラストの
高い画像が得られる。
化に伴うゲインなどの変動が見られない場合は、通常画
素Ｐの出力からブラックレベルを差し引けば良い。ま
た、本発明によれば、電荷注入端子によって注入する電
荷を制御すれば所望の基準信号を得ることができるの
で、通常画素Ｐの出力からこの基準信号を差し引くこと
によって背景光を除去することもでき、コントラストの
高い画像が得られる。
【００２６】なお、本発明は、画素Ｂおよびホワイトレ
ベルを出力するための電荷注入端子１が接続された垂直
転送部３の配置を上記実施例に示されたものに限定する
ものではない。
ベルを出力するための電荷注入端子１が接続された垂直
転送部３の配置を上記実施例に示されたものに限定する
ものではない。
【００２７】
【発明の効果】本発明は以上説明したとおり、受光量に
よらない一定の電気信号を２種類以上出力する手段を備
えているため、これらの電気信号を用いて、撮像時にお
ける周囲の気温変化等の経時変化に起因して生じる画像
信号処理用電子回路の特性変動による画素出力の変動う
ち、オフセットおよびゲインの変動によるものだけでな
くより高次の変動分を補正することができ、通常画素の
真の出力が求められ、より正確な温度測定が可能とな
る。
よらない一定の電気信号を２種類以上出力する手段を備
えているため、これらの電気信号を用いて、撮像時にお
ける周囲の気温変化等の経時変化に起因して生じる画像
信号処理用電子回路の特性変動による画素出力の変動う
ち、オフセットおよびゲインの変動によるものだけでな
くより高次の変動分を補正することができ、通常画素の
真の出力が求められ、より正確な温度測定が可能とな
る。
【図１】本発明の一実施例による赤外線固体撮像装置の
模式的な平面図である。
模式的な平面図である。
【図２】図１の赤外線固体撮像装置における電荷注入端
子からの注入電荷の転送手順を説明するポテンシャル図
である。
子からの注入電荷の転送手順を説明するポテンシャル図
である。
１：電荷注入端子 ２，３：垂直転送部（ＣＣＤ） ４：水平転送部（ＣＣＤ） ５：出力回路 ６：端子 １１：制御電極 １２，１３，１４，１５：転送電極 ２０：制御電極下のポテンシャル ２１：転送電極１２下のポテンシャル Ｂ：基準画素 Ｐ：通常画素
Claims (3)
- 【請求項１】 同一基板上に形成され、赤外線を光電変
換する光電変換部を有する複数の受光部と、各受光部か
ら赤外線の受光量に応じて発生した電気信号を転送して
読み出すための転送手段とを有する赤外線固体撮像装置
において、 受光量によらない一定の電気信号を２種類以上出力する
出力手段を備えたことを特徴とする赤外線固体撮像装
置。 - 【請求項２】 前記出力手段は、前記基板上に形成され
た電荷転送部とそれに接続された電荷注入端子とを少な
くとも一組有することを特徴とする請求項１に記載の赤
外線固体撮像装置。 - 【請求項３】 前記出力手段は、第１の出力手段として
前記基板上に形成された電荷転送部とそれに接続された
電荷注入端子との少なくとも一組を備えると共に、第２
の出力手段として受光量が零の場合に相当するブラック
レベルの基準信号を出力する手段を備えたことを特徴と
する請求項１に記載の赤外線固体撮像装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5072826A JPH06268917A (ja) | 1993-03-09 | 1993-03-09 | 赤外線固体撮像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5072826A JPH06268917A (ja) | 1993-03-09 | 1993-03-09 | 赤外線固体撮像装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06268917A true JPH06268917A (ja) | 1994-09-22 |
Family
ID=13500615
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5072826A Pending JPH06268917A (ja) | 1993-03-09 | 1993-03-09 | 赤外線固体撮像装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06268917A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000040009A2 (en) * | 1998-12-30 | 2000-07-06 | Intel Corporation | Dark-current compensation circuit |
-
1993
- 1993-03-09 JP JP5072826A patent/JPH06268917A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000040009A2 (en) * | 1998-12-30 | 2000-07-06 | Intel Corporation | Dark-current compensation circuit |
| WO2000040009A3 (en) * | 1998-12-30 | 2000-10-12 | Intel Corp | Dark-current compensation circuit |
| US6525769B1 (en) | 1998-12-30 | 2003-02-25 | Intel Corporation | Method and apparatus to compensate for dark current in an imaging device |
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