JP3297946B2 - 電荷転送装置 - Google Patents

電荷転送装置

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JP3297946B2 JP08805193A JP8805193A JP3297946B2 JP 3297946 B2 JP3297946 B2 JP 3297946B2 JP 08805193 A JP08805193 A JP 08805193A JP 8805193 A JP8805193 A JP 8805193A JP 3297946 B2 JP3297946 B2 JP 3297946B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、電荷転送装置、特に信
号電荷を転送しそれを電圧に変換して出力する例えばリ
ニアセンサ、エリアセンサあるいは遅延素子等の電荷転
送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図１０（Ａ）、（Ｂ）はＣＣＤ型固体撮
像素子の従来例の一を示すもので、（Ａ）は平面図、
（Ｂ）は出力電圧Ｖｏｕｔの波形図である。図面におい
て、１、１、…は光電変換素子（以下「受光素子」とい
う）で、画素を成す。該受光素子１、１、…はマトリッ
ク状に配置されている。２、２、…は受光素子１、１、
…の各垂直列に対応して形成された垂直レジスタ、３は
垂直レジスタ２、２、…で転送された信号電荷を水平方
向に転送する水平レジスタ、４は出力バッファで、水平
レジスタ３から出力された信号電荷を電圧Ｖｏｕｔに変
換する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、固体撮像素
子等の電荷転送装置は、電源電圧や温度によって受光素
子１の入射光量あるいはそれにより発生した信号電荷の
電荷量とそれに対応する出力バッファ４の出力電圧との
関係、換言すれば光量（電荷量）・出力電圧特性が大き
く変る。図１１（Ａ）、（Ｂ）は電荷量・出力電圧特性
図であり、（Ａ）は標準状態における特性を、（Ｂ）は
状態（温度）が変化したときにおける特性をそれぞれ示
す。温度が高くなると出力電圧が高くなる傾向があり、
それは特に光量が小さいときに顕著である。しかし、温
度が低くても光量が多いところでは出力電圧が高くな
り、特性線の傾きが温度により微妙に変る。また、電源
電圧が変動するとその電荷・出力電圧特性も当然に変動
する。
【０００４】このように光量（電荷量）・出力電圧特性
が電源電圧、温度によって大きく変動するということ
は、同じ光量（電荷量）に対する出力電圧が電源電圧、
温度によって大きく変動するということであり、従っ
て、かかる特性が変動した場合には補正をすることが必
要である。そして、補正すべき量さえ判定できればその
補正をすることは現在の技術によって容易に為し得る。
ところで、かかる特性が変動した場合その特性の変動量
を検出する適切な方法が従来存在しなかった。従来行わ
れた方法というのは、白基準となる被写体の信号電荷
と、黒レベル（出力信号の黒レベル、光学的黒、即ちオ
プチカルブラックあるいは黒基準となる被写体の信号）
とを比較する方法であったが、これには、白基準となる
被写体の信号電荷を常にあるいは状態変化が生じる毎に
入力しなければ特性を検出できず、そして、白基準とな
る被写体からの光を１フィールドに取り込むことは実際
上難しいという問題があった。というのは、実際に撮影
を開始するとき被写体が都合良く白基準用の明るさにな
ってはくれないからである。
【０００５】本発明はこのような問題点を解決すべく為
されたものであり、常に支障なく電荷量・出力電圧特性
を検出することができ、延いては電荷量・出力電圧特性
の正確な制御を可能にする電荷転送装置を提供すること
を目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】請求項１の電荷転送装置
は、行列状に配置された複数の光電変化素子と、該光電
変換素子で発生した信号電荷を第１の方向に転送する第
１電荷転送部と、基準電荷を転送する複数の基準電荷転
送部と、該第１電荷転送部及び複数の基準電荷転送部か
らの信号電荷及び基準電荷を上記第１の方向に垂直な第
２の方向に転送する第２電荷転送部と、該第２電荷転送
部の出力電荷を電圧に変換する電圧変換部を有し、上記
複数の基準電荷転送部の各々に、互いに異なる所定量の
基準電荷を入力する基準電荷入力部が形成され、該基準
電荷入力部に基準電荷の電荷量を決める計量井戸部が形
成され、該複数の基準電荷転送部の基準電荷入力部に形
成された計量井戸部が所定の面積比を有することを特徴
とする。
【０００７】請求項２の電荷転送装置は、行列状に配置
された複数の光電変化素子と、該光電変換素子で発生し
た信号電荷を第１の方向に転送する第１電荷転送部と、
基準電荷を転送する複数の基準電荷転送部と、該第１電
荷転送部及び複数の基準電荷転送部からの信号電荷及び
基準電荷を上記第１の方向に垂直な第２の方向に転送す
る第２電荷転送部と、該第２電荷転送部の出力電荷を電
圧に変換する電圧変換部を有し、上記複数の基準電荷転
送部の各々に、互いに異なる所定量の基準電荷を入力す
る基準電荷入力部が形成され、上記基準電荷入力部に基
準電荷の電荷量を決めるところの一定の面積を有する一
又は複数の計量井戸部が形成され、上記複数の基準電荷
転送部の基準電荷入力部に形成された計量井戸部の数が
所定の比を有することを特徴とする。
【０００８】請求項３の電荷転送装置は、請求項１又は
２記載の電荷転送装置において、上記基準電荷転送部及
び第２電荷転送部により転送された基準電荷を上記電圧
変換部により変換して得た電圧から信号電荷の電荷量と
電圧変換部の出力電圧との関係を検出するようにしたこ
とを特徴とする。
【０００９】
【作用】請求項１の電荷転送装置によれば、複数の基準
電荷転送部の各々に、互いに異なる所定量の基準電荷を
入力する基準電荷入力部を形成し、該基準電荷入力部に
基準電荷の電荷量を決める計量井戸部を形成し、該複数
の基準電荷転送部の基準電荷入力部に形成された計量井
戸部が所定の面積比を持つようにしたので、複数の基準
電荷の入力量を計量井戸部の面積により異ならせること
ができ、その面積比により複数ポイントの基準電荷量の
比を規定することができる。
【００１０】請求項２の電荷転送装置によれば、計量井
戸部の面積を同一にし、複数の基準電荷の入力量の比を
計量井戸部の数の比により規定したので、基準電荷の入
力量の比を正確に整数比にすることができる。
【００１１】請求項３の電荷転送装置によれば、基準電
荷転送部及び第２電荷転送部により転送された基準電荷
を上記電圧変換部により変換して得た電圧から信号電荷
の電荷量と電圧変換部の出力電圧との関係を検出するの
で、基準電荷転送部及び第２電荷転送部により転送され
た異なる基準電荷毎に基準電荷と出力電圧との関係を求
めることができる。
【００１２】
【実施例】以下、本発明電荷転送装置を図示実施例に従
って詳細に説明する。図１（Ａ）乃至（Ｄ）は本発明電
荷転送装置を固体撮像素子に適用した第１の実施例を示
すもので、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は電圧変換部（バッ
ファ）の出力電圧の波形図、（Ｃ）は基準電荷入力部の
拡大平面図、（Ｄ）は基準電荷入力部のポテンシャル図
及び転送パルスの波形図である。図面において、１、
１、…は受光素子、２、２、…は垂直レジスタ、３は水
平レジスタ、４は出力バッファで、水平レジスタ３から
出力された信号電荷を電圧Ｖｏｕｔに変換する。
【００１３】本電荷転送装置は、図１０に示した従来の
電荷転送装置とは、垂直レジスタ２として受光素子で光
電変換されて生じた信号電荷を垂直方向に転送するもの
のほかに電荷量・出力電圧特性検出のための垂直レジス
タ２ａ、２ｂを有し、該垂直レジスタ２ａ、２ｂには基
準電荷入力部５ａ、５ｂから例えばダイオードカットオ
フ法により基準電荷Ｑ１、Ｑ２が供給されるようになっ
ている点で異なっている。そして、垂直レジスタ２ａ、
２ｂにより垂直転送される基準電荷Ｑ１とＱ２の電荷量
は、ゲート電極に一定のバイアス電圧Ｖｓを受ける計量
井戸部２ａ、２ｂの面積により規定されるようになって
おり、面積が広い程基準電荷の電荷量が大きくなり、Ｑ
１とＱ２の電荷量の比はその面積比に略等しい。そし
て、垂直レジスタ２ａ、２ｂに信号電荷が読み出される
受光素子１ａ、１ａ、…は遮光されている。
【００１４】本電荷転送装置においては、各水平周期毎
に水平レジスタ３により先ず電荷転送部５ａから入力さ
れた基準電荷Ｑ１が読み出されそれがバッファ４により
出力電圧Ｖ１に変換され、次に基準電荷Ｑ２が読み出さ
れそれがバッファ４により出力電圧Ｖ２に変換され、そ
の後、被写体からの入射光を各受光素子１、１、…（水
平行）により光電変換して得た信号電荷が順次読み出さ
れバッファ４により電圧に変換される。基準電荷Ｑ１、
Ｑ２の読み出しは各水平周期のブランキング期間（水平
ブランキング期間）に行われるようになっている。
【００１５】図２（Ａ）、（Ｂ）は図１の電荷転送装置
の電荷量・出力電圧特性図であり、（Ａ）は標準状態に
おける電荷量・出力電圧特性を、（Ｂ）は標準状態から
温度が高くあるいは低く変化したときの電荷量・出力電
圧特性を示す。標準状態において基準電荷Ｑ１を変換し
たときの出力電圧をＶ１、基準電荷Ｑ２を変換したとき
の出力電圧をＶ２とすると、温度が高くなった場合には
出力電圧Ｖ１がＶ１１に高くなり、出力電圧Ｖ２がＶ２
１に高くなる。
【００１６】逆に、温度が低くなった場合には出力電圧
Ｖ１がＶ１２に低くなり、出力電圧Ｖ２がＶ２２に高く
なる。従って、基準電荷Ｑ１、Ｑ２による出力電圧Ｖ
１、Ｖ２が現在どの値にあるかによって電荷量・出力電
圧特性を判定することができる。具体的に電荷量・出力
電圧特性を示す線の傾きと、その線が光量０の縦軸と交
わるところの出力電圧、即ちダーク成分とを検出でき
る。尚、Ｑ１、Ｑ２はその特性がリニアリティを有する
範囲内で選ばなければならない。
【００１７】従って、電荷量・出力電圧特性に基づいて
信号系のＡＧＣのゲインをコントロールすることにより
電荷転送装置の温度、電源電圧による出力電圧Ｖｏｕｔ
の変動を補償することができる。補償は出力電圧に例え
ば｛（Ｖ２−Ｖ１）／（Ｖ２１−Ｖ１１）｝倍し、ダー
ク成分を減算するというように行うことができる。図３
は電荷量・出力電圧特性の補償をする特性補償回路の一
例を示す回路図である。
【００１８】８は電荷転送装置（ＣＣＤ型）の出力電圧
Ｖｏｕｔを処理するＣＤＳ等の処理回路、９は該回路８
から出力された信号を増幅するＡＧＣ型アンプである。
１０は基準電荷の出力電圧Ｖ１、Ｖ２をサンプリングす
るサンプルホールド回路、φ１、φ２はサンプル制御パ
ルスである。１１は出力電圧Ｖ１、Ｖ２の標準時におけ
る値を記憶するメモリ、１２は演算回路で、該メモリ１
１に記憶された標準時における出力電圧Ｖ１、Ｖ２の値
と、現在における出力電圧Ｖ１、Ｖ２の値、例えばＶ１
１あるいはＶ１２、Ｖ２１あるいはＶ２２とを比較し、
比較結果に基づいてＡＧＣ型アンプ９のゲインとして適
切な値を算出する。該演算回路１２の出力はＡＧＣ型ア
ンプ９のゲインコントロール端子に入力される。従っ
て、本電荷転送装置によれば温度、電源電圧によって同
じ信号電荷に対する出力電圧が変動することを防止する
ことができる。
【００１９】図４（Ａ）、（Ｂ）は本発明電荷転送装置
の第２の実施例を示すもので、（Ａ）は平面図、（Ｂ）
は波形図であり、本実施例は本発明電荷転送装置をリニ
アセンサに適用したものである。１、１、…は受光素子
で、一本のセンサ列を成し、該センサ列の両端の受光素
子は遮光されており、１ａ、１ａはその遮光された受光
素子を示す。１３は上記センサ列の一方の側に並設され
たシフトゲート、３は該シフトゲート１３の反センサ列
側に並設された電荷転送部（図１の水平レジスタに相当
すると考えられ得る。）、４はバッファである。
【００２０】５は電荷転送部３の反出力端側に設けられ
た基準電荷入力部で、図１（Ｃ）に示した基準電荷入力
部５ａあるいは５ｂと略同一の構成を有するのでその拡
大平面図の図示は省略した。本電荷転送装置において
は、センサ列１ａ、１、１、…、１ａからの画素信号電
荷が一斉にシフトゲート１３を介して水平レジスタ３に
パラレルに読み出されるが、それと共に水平レジスタ３
のセンサ列の最も反出力端寄りのビットには基準電荷入
力部５から基準電荷が入力される。尚、このビットへの
画素信号電荷の入力はない。なぜならば、そのビットと
対応する受光素子が遮光された受光素子１ａとなってい
るからである。従って、基準電荷に光電変換により生じ
た信号電荷が混り込んでしまうことはない。
【００２１】従って、本電荷転送装置においては画素信
号出力が為されるとその後に基準電荷出力が為されるこ
とになる。尚、センサ列の最も出力端側寄りの遮光され
た受光素子１ａはＯＰＢ出力をすることに寄与する。従
って、ダーク成分が検出できる。このような電荷転送装
置によれば基準電荷に対応するバッファ４の出力電圧Ｖ
１とＯＰＢ出力から電荷量・出力電圧特性を判定するこ
とができる。
【００２２】図５は本発明電荷転送装置の第３の実施例
を示す平面図である。本実施例は第３の実施例とはレジ
スタ３への基準電荷の入力ビットが異なり、基準電荷入
力部５から基準電荷がレジスタ３の途中のビットに基準
電荷が入力されるようになっている。具体的には、最も
出力端側よりの受光素子１ａが遮光されＯＰＢ検出に寄
与しており、その次の受光素子１ａも遮光され、そし
て、この受光素子１ａと対応するレジスタ３の２番目の
ビットに基準電荷が供給されるように基準電荷入力部５
が設けられてる。従って、この電荷転送装置の場合、バ
ッファ４からは先ずＯＰＢ出力が、次に基準電荷の出力
が発生し、その後空送り出力、画素信号出力が発生す
る。
【００２３】図６は図５の電荷転送装置の変形例を示す
平面図である。本電荷転送装置は、第１の実施例の場合
と同様に２つのポイントで電荷量・出力電圧特性を検出
できるように、２つの基準電荷入力部５ａ、５ｂにより
互いに電荷量の異なる２つの基準電荷をシフトレジスタ
３の異なるビットに入力するようになっている。それ以
外の点では第３の実施例と異なるところはない。本電荷
転送装置によれば、第１の実施例の場合と同様により正
確且つ的確に電荷量・出力電圧特性を検出することがで
き、延いてはより完璧な電荷量・出力電圧特性の補償が
でき得る。
【００２４】図７は本発明電荷転送装置の第４の実施例
を示す平面図であり、本実施例は本発明電荷転送装置を
リニアセンサやエリアセンサ（ＣＣＤ型固体撮像素子）
ではなくＣＣＤ型型の遅延素子に適用したものであり、
第３の実施例と同様に、シフトレジスタ３の途中のビッ
トに基準電荷を入力するようにされている。このよう
に、本発明はリニアセンサやエリアセンサだけでなくＣ
ＣＤ型の遅延素子にも適用することができるのである。
【００２５】図８（Ａ）乃至（Ｃ）は本発明電荷転送装
置の第５の実施例を示すもので、（Ａ）は平面図、
（Ｂ）は基準電荷入力部（信号入力部でもある）の平面
図、（Ｃ）は入力信号、転送パルス等のパルス出力信号
の波形図である。本実施例も第４の実施例と同様に本発
明電荷転送装置をＣＣＤ型遅延素子に適用したものであ
るが、第４の実施例とはシフトレジスタ３の入力端にあ
るビットに基準電荷が入力されるようになっている点で
異なる。６は基準電荷入力用拡散層である。このよう
に、本発明電荷転送装置をＣＣＤ型遅延素子に適用した
場合には、図８（Ｃ）に示すように有効信号出力期間で
はなくブランキング期間に基準電荷が出力されるように
する配慮が必要となる。
【００２６】尚、本発明電荷転送装置による電荷量・出
力電圧特性の検出には一つの所定電荷量の基準電荷に基
づいてする検出と、互いに異なる複数の所定電荷量Ｑ
１、Ｑ２に基づいてする複数ポイントによる検出（第１
の実施例）とがあり、複数ポイントによる検出の方がよ
り電荷量・出力電圧特性を的確に、即ち、電荷量・出力
電圧特性を示す線の傾き、ダーク成分の両方を検出する
ことができる。しかし、そのためには、入力される２つ
の基準電荷の電荷量が正確であることが好ましいが、特
に重要なのは、入力される２つの基準電荷の電流比が正
確であることであり、図９は本発明電荷転送装置の２つ
の基準電荷入力部の基準電荷量の比をきわめて正確にす
ることができるところの第６の実施例の要部を示す平面
図である。
【００２７】本電荷転送装置は、基準電荷転送部２ａと
２ｂに入力される基準電荷の比が３：２になるようにさ
れており、基準電荷転送部２ａの基準電荷入力部５ａ
は、基準電荷供給用拡散層６ａ及び計量井戸部７ａが共
に等しい面積で且つ等しい形状の３つの分割領域６ａ
１、６ａ２、６ａ３、７ａ１、７ａ２、７ａ３により構
成するようにされている。一方、基準電荷転送部２ｂの
基準電荷入力部６ｂは、基準電荷供給用拡散層６ｂ及び
計量井戸部７ｂが共に等しい面積で且つ等しい形状の２
つの分割領域６ｂ１、６ｂ２、７ｂ１、７ｂ２により構
成されており、基準電荷入力部５ａと５ｂの基準電荷供
給用拡散領域６の分割領域どうし（例えば６ａ１、６ｂ
１どうし）、計量井戸部７の分割領域どうし（例えば７
ａ１、７ｂ１どうし）も同形、同面積である。従って、
レジスタ２ａと２ｂに入力される基準電荷の比を正確に
３：２というように正確に整数比にすることができ、延
いては正確な電荷量・出力電圧特性の把握を為し得る。
【００２８】
【発明の効果】請求項１の電荷転送装置は、行列状に配
置された複数の光電変化素子と、該光電変換素子で発生
した信号電荷を第１の方向に転送する第１電荷転送部
と、基準電荷を転送する複数の基準電荷転送部と、該第
１電荷転送部及び複数の基準電荷転送部からの信号電荷
及び基準電荷を上記第１の方向に垂直な第２の方向に転
送する第２電荷転送部と、該第２電荷転送部の出力電荷
を電圧に変換する電圧変換部を有し、上記複数の基準電
荷転送部の各々に、互いに異なる所定量の基準電荷を入
力する基準電荷入力部が形成され、該基準電荷入力部に
基準電荷の電荷量を決める計量井戸部が形成され、該複
数の基準電荷転送部の基準電荷入力部に形成された計量
井戸部が所定の面積比を有することを特徴とする。従っ
て、請求項１の電荷転送装置によれば、複数の基準電荷
転送部の各々に、互いに異なる所定量の基準電荷を入力
する基準電荷入力部を形成し、該基準電荷入力部に基準
電荷の電荷量を決める計量井戸部を形成し、該複数の基
準電荷転送部の基準電荷入力部に形成された計量井戸部
が所定の面積比を持つようにしたので、複数の基準電荷
の入力量を計量井戸部の面積により異ならせることがで
き、その面積比により複数ポイントの基準電荷量の比を
規定することができる。
【００２９】請求項２の電荷転送装置は、行列状に配置
された複数の光電変化素子と、該光電変換素子で発生し
た信号電荷を第１の方向に転送する第１電荷転送部と、
基準電荷を転送する複数の基準電荷転送部と、該第１電
荷転送部及び複数の基準電荷転送部からの信号電荷及び
基準電荷を上記第１の方向に垂直な第２の方向に転送す
る第２電荷転送部と、該第２電荷転送部の出力電荷を電
圧に変換する電圧変換部を有し、上記複数の基準電荷転
送部の各々に、互いに異なる所定量の基準電荷を入力す
る基準電荷入力部が形成され、上記基準電荷入力部に基
準電荷の電荷量を決めるところの一定の面積を有する一
又は複数の計量井戸部が形成され、上記複数の基準電荷
転送部の基準電荷入力部に形成された計量井戸部の数が
所定の比を有することを特徴とする。従って、請求項２
の電荷転送装置によれば、計量井戸部の面積を同一に
し、複数の基準電荷の入力量の比を計量井戸部の数の比
により規定したので、基準電荷の入力量の比を正確に整
数比にすることができる。
【００３０】請求項３の電荷転送装置は、請求項１又は
２記載の電荷転送装置において、上記基準電荷転送部及
び第２電荷転送部により転送された基準電荷を上記電圧
変換部により変換して得た電圧から信号電荷の電荷量と
電圧変換部の出力電圧との関係を検出するようにしたこ
とを特徴とする。従って、請求項３の電荷転送装置によ
れば、基準電荷転送部及び第２電荷転送部により転送さ
れた基準電荷を上記電圧変換部により変換して得た電圧
から信号電荷の電荷量と電圧変換部の出力電圧との関係
を検出するので、基準電荷転送部及び第２電荷転送部に
より転送された異なる基準電荷毎に基準電荷と出力電圧
との関係を求めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】（Ａ）乃至（Ｄ）は本発明電荷転送装置の第１
の実施例を示すもので、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は電圧
変換部の出力の波形を示す出力波形図、（Ｃ）は基準電
荷入力部の拡大平面図、（Ｄ）は基準電荷入力部のポテ
ンシャル図及び転送パルスの波形図である。
【図２】（Ａ）、（Ｂ）は第１の実施例の電荷量・出力
電圧特性図で、（Ａ）は標準状態の電荷量・出力電圧特
性を、（Ｂ）は標準状態から状態が変化したときの電荷
量・出力電圧特性を示す。
【図３】電荷量・出力電圧特性の変動を補償する電荷量
・出力電圧特性補償回路の一例を示す回路図である。
【図４】（Ａ）、（Ｂ）は本発明電荷転送装置の第２の
実施例を示すもので、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は転送パ
ルス等の制御パルス及び電圧変換部の出力の波形を示す
出力波形図である。
【図５】本発明電荷転送装置の第３の実施例を示す平面
図である。
【図６】図５に示す電荷転送装置の変形例を示す平面図
である。
【図７】本発明電荷転送装置の第４の実施例を示す平面
図である。
【図８】（Ａ）乃至（Ｃ）は本発明電荷転送装置の第５
の実施例を示すもので、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は基準
電荷入力部の拡大平面図、（Ｃ）は入力電圧、転送パル
ス等の制御パルス及び出力電圧の波形図である。
【図９】本発明電荷転送装置の第６の実施例の要部であ
る電荷転送部入力部を示す平面図である。
【図１０】（Ａ）、（Ｂ）は電荷転送装置の従来例の一
つを示すもので、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は出力波形図
である。
【図１１】（Ａ）、（Ｂ）は発明が解決しようとする問
題点を説明するための電荷量・出力電圧特性図で、
（Ａ）は標準状態の電荷量・出力電圧特性を、（Ｂ）は
標準状態から状態が変化したときの電荷量・出力電圧特
性を示す。
【符号の説明】
１ 光電変換素子（受光素子） ２ 垂直転送部（レジスタ） ２ａ 基準電荷垂直転送部 ３ レジスタ（水平レジスタ） ４ 電圧変換部 ５ 基準電荷入力部 ６ 基準電荷供給用拡散層 ７ 計量井戸部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平２−78382（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−96481（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−268917（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H04N 5/335 H01L 27/148

Claims (3)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】行列状に配置された複数の光電変化素子
    と、 上記光電変換素子で発生した信号電荷を第１の方向に転
    送する第１電荷転送部と、 基準電荷を転送する複数の基準電荷転送部と、 上記第１電荷転送部及び複数の基準電荷転送部からの信
    号電荷及び基準電荷を上記第１の方向に垂直な第２の方
    向に転送する第２電荷転送部と、 上記第２電荷転送部の出力電荷を電圧に変換する電圧変
    換部と、 を有し、 上記複数の基準電荷転送部の各々に、互いに異なる所定
    量の基準電荷を入力する基準電荷入力部が形成され、 上記基準電荷入力部に基準電荷の電荷量を決める計量井
    戸部が形成され、 上記複数の基準電荷転送部の基準電荷入力部に形成され
    た計量井戸部が所定の面積比を有することを特徴とする
    電荷転送装置
  2. 【請求項２】 行列状に配置された複数の光電変化素子
    と、 上記光電変換素子で発生した信号電荷を第１の方向に転
    送する第１電荷転送部と、 基準電荷を転送する複数の基準電荷転送部と、 上記第１電荷転送部及び複数の基準電荷転送部からの信
    号電荷及び基準電荷を上記第１の方向に垂直な第２の方
    向に転送する第２電荷転送部と、 上記第２電荷転送部の出力電荷を電圧に変換する電圧変
    換部と、 を有し、 上記複数の基準電荷転送部の各々に、互いに異なる所定
    量の基準電荷を入力する基準電荷入力部が形成され、 上記基準電荷入力部に基準電荷の電荷量を決めるところ
    の一定の面積を有する一又は複数の計量井戸部が形成さ
    れ、 上記複数の基準電荷転送部の基準電荷入力部に形成され
    た計量井戸部の数が所定の比を有することを特徴とする
    電荷転送装置
  3. 【請求項３】 上記基準電荷転送部及び第２電荷転送部
    により転送された基準電荷を上記電圧変換部により変換
    して得た電圧から信号電荷の電荷量と電圧変換部の出力
    電圧との関係を検出するようにしたことを特徴とする請
    求項１又は２記載の電荷転送装置
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