JPH06256625A - Resin composition for sealing - Google Patents
Resin composition for sealingInfo
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- JPH06256625A JPH06256625A JP4404093A JP4404093A JPH06256625A JP H06256625 A JPH06256625 A JP H06256625A JP 4404093 A JP4404093 A JP 4404093A JP 4404093 A JP4404093 A JP 4404093A JP H06256625 A JPH06256625 A JP H06256625A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、速硬化性で、ガラス転
移点(以下Tgという)が高く、低吸水性で、更には靭
性に優れた半導体封止用熱硬化性樹脂組成物に関するも
のである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a thermosetting resin composition for semiconductor encapsulation which is fast-curing, has a high glass transition point (hereinafter referred to as Tg), has a low water absorption property and is excellent in toughness. Is.
【0002】[0002]
【従来の技術】近年IC、LSI、トランジスター、ダ
イオードなどの半導体素子や電子回路等の封止には、特
性、コスト等の点からエポキシ樹脂組成物が一般的に用
いられている。しかし、電子部品の量産性指向、高集積
化や表面実装化の方向に進んで来ており、これに伴い封
止樹脂に対する要求は厳しくなってきている。特に高集
積化に伴うチップの大型化、パッケージの薄肉化や表面
実装時における半田浸漬(200〜300℃)によって装置に
クラックが発生し易くなっており、信頼性向上のために
半導体封止用樹脂としては耐熱性、高靭性と低吸水性が
強く望まれている。2. Description of the Related Art In recent years, epoxy resin compositions have been generally used for sealing semiconductor elements such as ICs, LSIs, transistors and diodes, electronic circuits, etc. in terms of characteristics, cost, and the like. However, with the trend toward mass production of electronic components, high integration and surface mounting, the demands for the sealing resin have become stricter accordingly. In particular, cracks are likely to occur in the device due to chip size increase due to high integration, thin package, and solder dipping (200 to 300 ° C) during surface mounting, and for semiconductor encapsulation to improve reliability. As a resin, heat resistance, high toughness, and low water absorption are strongly desired.
【0003】半導体封止用樹脂としては現在エポキシ樹
脂が主流である。しかし、エポキシ樹脂は、耐熱性と低
吸水性の点で改良に限界があり、表面実装時の半田浸漬
後の信頼性の高いものが得られていない。エポキシ樹脂
に代わる高耐熱性を有する樹脂としては、マレイミド樹
脂が注目されてきているが、吸水率が大きく、吸湿時の
半田浸漬でクラックを発生し、信頼性に乏しい欠点があ
る。この他に、エポキシ樹脂に代わる高耐熱性を有する
樹脂としては、シアネートエステル樹脂が公知である。
この樹脂は、積層板成形のように長いプレス時間をかけ
る場合には、Tgが高く、比較的低吸水性の硬化物とな
る。しかし、これを封止材などの短時間成形に用いる場
合は、硬化速度が非常に遅く、金型からの離型性も悪
い。硬化性を上げるため、ノニルフェノール、ナフテン
酸コバルト、ナフテン酸亜鉛などの硬化触媒を増やす
と、Tgが下がり、脆くなり、吸水率も大きくなるなど
の問題がある。Epoxy resins are currently the mainstream resin for semiconductor encapsulation. However, there is a limit to the improvement of the epoxy resin in terms of heat resistance and low water absorption, and a highly reliable epoxy resin after solder dipping during surface mounting has not been obtained. As a resin having a high heat resistance, which is an alternative to an epoxy resin, a maleimide resin has been attracting attention, but it has a drawback that it has a large water absorption rate, cracks are generated when solder is dipped during moisture absorption, and reliability is poor. In addition to the above, cyanate ester resin is known as a resin having high heat resistance instead of the epoxy resin.
This resin has a high Tg and becomes a cured product having a relatively low water absorption when a long pressing time is applied as in the case of molding a laminated plate. However, when this is used for short-time molding of a sealing material or the like, the curing speed is very slow and the releasability from the mold is poor. When a curing catalyst such as nonylphenol, cobalt naphthenate, or zinc naphthenate is increased in order to improve the curability, there are problems such as a decrease in Tg, brittleness, and an increase in water absorption.
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的とすると
ころは、速硬化性、高耐熱性、低吸水性で、かつ高靭性
を有し、半田浸漬後の信頼性に非常に優れた半導体封止
用樹脂組成物を提供することにある。SUMMARY OF THE INVENTION The object of the present invention is to provide a semiconductor which has fast curing property, high heat resistance, low water absorption property, high toughness, and excellent reliability after solder immersion. It is to provide a resin composition for sealing.
【0005】[0005]
【課題を解決するための手段】本発明は、式(1)で示
されるジシアネートエステル化合物とフェノール変性石
油樹脂、フェノール変性石炭樹脂及びフェノール変性ポ
リブタジエン樹脂からなる群より選ばれた1種又は2種
以上の変性樹脂と、エポキシ樹脂と、ビス(2,4-ペンタ
ンジオナト)銅と、無機充填剤とからなる封止用樹脂組
成物である。The present invention provides one or two selected from the group consisting of a dicyanate ester compound represented by the formula (1), a phenol-modified petroleum resin, a phenol-modified coal resin and a phenol-modified polybutadiene resin. A resin composition for encapsulation comprising at least one modified resin, an epoxy resin, bis (2,4-pentanedionato) copper, and an inorganic filler.
【化1】 [Chemical 1]
【0006】[0006]
【作用】本発明において用いられるジシアネートエステ
ル化合物は、式(1)で示されるものである。式(1)
の好ましいジシアネートエステル化合物の例として、ビ
ス(4-シアネートフェニル)メタン、ビス(3-メチル-4-シ
アネートフェニル)メタン、ビス(3-エチル-4-シアネー
トフェニル)メタン、ビス(3,5-ジメチル-4-シアネート
フェニル)メタン、1,1-ビス(4-シアネートフェニル)エ
タン、2,2-ビス(4-シアネートフェニル)プロパン、2,2-
ビス(4-シアネートフェニル)-1,1,1,3,3,3-ヘキサフル
オロプロパン、ジ(4-シアネートフェニル)エーテル、ジ
(4-シアネートフェニル)チオエーテル、4,4-ジシアネー
ト-ジフェニルなどが挙げられる。The dicyanate ester compound used in the present invention is represented by the formula (1). Formula (1)
Examples of preferred dicyanate ester compounds of bis (4-cyanatephenyl) methane, bis (3-methyl-4-cyanatephenyl) methane, bis (3-ethyl-4-cyanatephenyl) methane, bis (3,5 -Dimethyl-4-cyanatephenyl) methane, 1,1-bis (4-cyanatephenyl) ethane, 2,2-bis (4-cyanatephenyl) propane, 2,2-
Bis (4-cyanatephenyl) -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane, di (4-cyanatephenyl) ether, di
(4-Cyanatephenyl) thioether, 4,4-dicyanate-diphenyl and the like can be mentioned.
【0007】本発明で用いられるフェノール変性石油樹
脂は、石油の分解油留分に含まれるジオレフィン及びモ
ノオレフィン類をフェノール類と共重合させたものであ
る。更に詳しくは、分解油留分のうち、C5留分を原料
にしたC5系(脂肪族系)石油樹脂、C9留分を原料にし
たC9系(芳香族系)石油樹脂、C5C9共重合石油樹
脂、又はC5留分に含まれるシクロペンタジエンを熱二
量化して得られるジシクロペンタジエンを原料にしたジ
シクロペンタジエン樹脂などに、フェノール類を付加さ
せた石油樹脂である。The phenol-modified petroleum resin used in the present invention is obtained by copolymerizing diolefins and monoolefins contained in a cracked oil fraction of petroleum with phenols. More specifically, among the cracked oil fraction, C 5 system in which the C 5 fraction in material (aliphatic) petroleum resins, C 9 system in which a C 9 fraction to the raw material (aromatic) petroleum resin, C A petroleum resin obtained by adding phenols to a 5 C 9 copolymerized petroleum resin or a dicyclopentadiene resin obtained by dimerizing cyclopentadiene contained in a C 5 fraction as a raw material. .
【0008】本発明で用いられるフェノール変性石炭樹
脂は、石炭の分解油溜分に含まれるスチレン、ビニルト
ルエン、クマロン、インデンなどをフェノール類と付加
重合させたものである。また、フェノール変性ポリブタ
ジエン樹脂は、分子量300〜2000のポリブタジエンをフ
ェノール類と付加重合させたものである。ポリブタジエ
ンの分子量が300より低いと良好な靭性が得られず、200
0より高いと耐熱性が低下する。The phenol-modified coal resin used in the present invention is obtained by addition-polymerizing styrene, vinyltoluene, coumarone, indene and the like contained in the cracked oil fraction of coal with phenols. The phenol-modified polybutadiene resin is obtained by addition-polymerizing polybutadiene having a molecular weight of 300 to 2000 with phenols. If the molecular weight of polybutadiene is lower than 300, good toughness cannot be obtained and
If it is higher than 0, the heat resistance decreases.
【0009】フェノール類としては、フェノール、クレ
ゾール、キシレノールなどが使用される。フェノール類
の含有量は、フェノール変性樹脂中の5重量%以上、50
重量%以下で、かつ分子当り平均1〜3個付加したものが
好ましい。フェノール類の含有量が5重量%未満では、
硬化性が悪く、Tgが低く、良好な靭性が得られない。
また50重量%を越えると、成形時の離型性が悪く、成形
品の吸水率が大きくなる。As the phenols, phenol, cresol, xylenol and the like are used. The content of phenols is 5% by weight or more in the phenol-modified resin, 50
It is preferable that the amount is 1% or less by weight and an average of 1 to 3 added per molecule. When the content of phenols is less than 5% by weight,
Curability is poor, Tg is low, and good toughness cannot be obtained.
On the other hand, if it exceeds 50% by weight, the releasability at the time of molding is poor and the water absorption rate of the molded product increases.
【0010】フェノール変性石油樹脂、フェノール変性
石炭樹脂又はフェノール変性ポリブタジエン樹脂は、ジ
シアネートエステル化合物100重量部に対し、5重量部以
上50重量部以下が好ましい。5重量部未満では、硬化
性、離型性が悪く、成形品の吸水率も大きくなる。また
50重量部を越えると、耐熱性が低下し、良好な靭性が得
られない。The amount of the phenol-modified petroleum resin, phenol-modified coal resin or phenol-modified polybutadiene resin is preferably 5 parts by weight or more and 50 parts by weight or less based on 100 parts by weight of the dicyanate ester compound. If it is less than 5 parts by weight, the curability and releasability are poor, and the water absorption of the molded product is large. Also
If it exceeds 50 parts by weight, the heat resistance is lowered and good toughness cannot be obtained.
【0011】ジシアネートエステル化合物とフェノール
変性石油樹脂、フェノール変性石炭樹脂又はフェノール
変性ポリブタジエン樹脂は、100〜200℃に加熱して、融
点が50℃以上100℃以下になるよう、予め反応させてお
くこともできる。The dicyanate ester compound and the phenol-modified petroleum resin, phenol-modified coal resin or phenol-modified polybutadiene resin are heated to 100 to 200 ° C. and pre-reacted so that the melting point is from 50 ° C. to 100 ° C. You can also
【0012】エポキシ樹脂としては、ビスフェノールA
のグリシジルエーテル、4,4'-ジ(1,2-エポキシエチル)
ジフェニルエーテル、4,4'-(1,2-エポキシエチル)ジフ
ェニルエーテル、レゾルシンのグリシジルエーテル、ブ
タジエンエポキシサイド、ビス-(2,3-エポキシシクロペ
ンチル)エーテルプロパン、フロログリシンのジグリシ
ジルエーテル、メチルフロログリシンのジグリシジルエ
ーテル、3,3',5,5'-テトラメチル-ビフェニル-4,4'-ジ
グリシジルエーテル、ビフェニル-4,4'-ジグリシジルエ
ーテル、ナフタレン-1,6-ジグリシジルエーテルなどの
2官能エポキシ化合物、フェノール-ホルムアルデヒド
ノボラックのポリグリシジルエーテル、トリメチロール
プロパンのトリグリシジルエーテル、グリセリンのトリ
グリシジルエーテル、1,3,5-トリ(1,2-エポキシエチル)
ベンゼン、ポリアリルグリシジルエーテル、パラアミノ
フェノールのトリグリシジルエーテルなどの3官能以上
のエポキシ化合物が用いられる。これらの化合物は単独
もしくは併用して使用することができる。The epoxy resin is bisphenol A.
Glycidyl ether, 4,4'-di (1,2-epoxyethyl)
Diphenyl ether, 4,4 '-(1,2-epoxyethyl) diphenyl ether, resorcin glycidyl ether, butadiene epoxyside, bis- (2,3-epoxycyclopentyl) ether propane, phloroglysin diglycidyl ether, methyl phloglycine Diglycidyl ether, 3,3 ', 5,5'-tetramethyl-biphenyl-4,4'-diglycidyl ether, biphenyl-4,4'-diglycidyl ether, naphthalene-1,6-diglycidyl ether, etc. Bifunctional epoxy compound, polyglycidyl ether of phenol-formaldehyde novolac, triglycidyl ether of trimethylolpropane, triglycidyl ether of glycerin, 1,3,5-tri (1,2-epoxyethyl)
Trifunctional or higher functional epoxy compounds such as benzene, polyallyl glycidyl ether, and triglycidyl ether of para-aminophenol are used. These compounds can be used alone or in combination.
【0013】エポキシ樹脂は、ジシアネートエステル化
合物100重量部に対し、5重量部以上50重量部以下が好ま
しい。5重量部未満では、離型性が悪く、成形品の吸水
率も大きくなる。また、50重量部を越えると、Tgが低
下する。The amount of the epoxy resin is preferably 5 parts by weight or more and 50 parts by weight or less based on 100 parts by weight of the dicyanate ester compound. If it is less than 5 parts by weight, the releasability is poor and the water absorption of the molded product is high. Further, if it exceeds 50 parts by weight, Tg is lowered.
【0014】硬化触媒は、ビス(2,4-ペンタンジオナト)
銅が好んで用いられる。一般的に知られているナフテン
酸亜鉛やナフテン酸コバルトは、硬化性があまり良くな
く、硬化温度を上げたり、硬化時間を伸ばさなければ、
均質な成形品が得られない。そのために生産性が著しく
低下する。またこれらの触媒添加量を増やすと、Tgが
下がり、脆くなり、吸水率が大きくなる。ビス(2,4-ペ
ンタンジオナト)銅の添加量は、ジシアネート化合物100
重量部に対して、0.05〜5重量部が好ましい。0.05重量
部以下では、硬化性が充分でなく、また5重量部以上で
は、ゲルタイムが短くなり、成形品に充填不良などの欠
陥が発生することがある。The curing catalyst is bis (2,4-pentanedionato).
Copper is preferably used. Generally known zinc naphthenate and cobalt naphthenate are not very curable, and unless the curing temperature is raised or the curing time is extended,
A homogeneous molded product cannot be obtained. Therefore, the productivity is significantly reduced. Further, when the amount of these catalysts added is increased, Tg is lowered, resulting in brittleness and increased water absorption. The amount of bis (2,4-pentanedionato) copper added is 100% of the dicyanate compound.
It is preferably 0.05 to 5 parts by weight with respect to parts by weight. If it is less than 0.05 parts by weight, the curability will be insufficient, and if it is more than 5 parts by weight, the gel time will be short and defects such as defective filling may occur in the molded product.
【0015】無機充填剤としては、シリカ粉末、アルミ
ナ、三酸化アンチモン、水酸化アルミニウム水和物、酸
化チタン等が挙げられ、これらを単独又は2種以上混合
して用いることが可能である。これら無機充填剤のう
ち、半導体封止材料組成物としてはシリカ粉末が好んで
用いられる。尚、無機充填剤の配合量は、ジシアネート
化合物100重量部に対して、100〜1000重量部配合するこ
とが好ましい。100重量部以下では、成形品の吸水率及
び線膨張係数が大きくなり、1000重量部以上では、成形
性が低下し、実用に適さない。Examples of the inorganic filler include silica powder, alumina, antimony trioxide, aluminum hydroxide hydrate, titanium oxide and the like, and these can be used alone or in combination of two or more kinds. Among these inorganic fillers, silica powder is preferably used as the semiconductor sealing material composition. The inorganic filler is preferably added in an amount of 100 to 1000 parts by weight based on 100 parts by weight of the dicyanate compound. If it is 100 parts by weight or less, the water absorption rate and the linear expansion coefficient of the molded product will be large, and if it is 1000 parts by weight or more, the moldability will be reduced, which is not suitable for practical use.
【0016】本発明の封止材用組成物は、滑剤、難燃
剤、離型剤、シランカップリング剤、着色剤などを必要
に応じて適宜配合添加し、加熱混練することによって成
形材料にすることができる。The composition for encapsulant of the present invention is formed into a molding material by appropriately mixing and adding a lubricant, a flame retardant, a release agent, a silane coupling agent, a colorant and the like, and kneading with heating. be able to.
【0017】[0017]
(実施例1〜3)表1の配合に従って、熱ロールで混練
し、成形材料を得た。得られた成形材料を、トランスフ
ァー成形により、175℃、1.5分で成形し、外観の良好な
成形品が得られた。この成形品をさらに180℃、8時間
後硬化を行い、特性を評価した。その結果を表1に示
す。実施例1〜3の成形材料は、Tgが高く、靭性(破
壊エネルギー)が大きく、速硬化性で、しかも吸水率が
小さい。吸湿処理後の耐半田クラック性も良好であっ
た。(Examples 1 to 3) According to the formulation shown in Table 1, kneading was performed with a hot roll to obtain a molding material. The obtained molding material was molded by transfer molding at 175 ° C. for 1.5 minutes, and a molded product having a good appearance was obtained. The molded product was further post-cured at 180 ° C. for 8 hours to evaluate the characteristics. The results are shown in Table 1. The molding materials of Examples 1 to 3 have high Tg, high toughness (breaking energy), fast curing property, and low water absorption. The solder crack resistance after the moisture absorption treatment was also good.
【0018】(比較例1〜2)表1の配合に従って、実
施例1〜3と同様に成形材料を得た。比較例1は硬化性
が悪く、175℃、1.5分では成形が困難だったので、175
℃、3分成形した。硬化触媒(ナフテン酸コバルト)量
を増やした比較例2は、硬化性は良好であるが、Tgが
低く、吸水率が大きいため、吸湿処理後の耐半田クラッ
ク性が劣っていた。(Comparative Examples 1 and 2) According to the formulations shown in Table 1, molding materials were obtained in the same manner as in Examples 1 to 3. In Comparative Example 1, the curability was poor and it was difficult to mold at 175 ° C for 1.5 minutes.
Molded at ℃ for 3 minutes. In Comparative Example 2 in which the amount of the curing catalyst (cobalt naphthenate) was increased, the curability was good, but the Tg was low and the water absorption rate was high, so the solder crack resistance after the moisture absorption treatment was poor.
【0019】[0019]
【表1】 (注) *1:フェノ―ル変性C5系石油樹脂;フェノ―ル含有量23%、1分子
当りフェノ―ル2.2個 *2:フェノ―ル変性石炭樹脂;フェノ―ル含有量23%、1分子当りフ
ェノ―ル2.2個 *3:フェノ―ル変性ホ゜リフ゛タシ゛エン樹脂;ホ゜リフ゛タシ゛エン分子量700、フ
ェノ―ル含有量23%、1分子当りフェノ―ル2.2個 *4:油化シェルエホ゜キシ(株)製ヒ゛スフェノ―ルA型エポキシ樹脂 *5:日本化薬(株)製 オルソクレソ゛―ルノホ゛ラック型エポキシ樹脂 *6:ヒ゛ス(2,4-ヘ゜ンタンシ゛オナト)銅 *7:ナフテン酸コハ゛ルト *8:ヒ゛ス(3,5-シ゛メチル-4-シアネ―トフェニル)メタン *9:高級脂肪酸エステル *10:曲げ強度試験の応力-歪み曲線から算出 *11:吸湿処理:85℃、85%RH、72時間 *12:フラットハ゜ッケ―シ゛(厚さ2.7mm)のリ―ト゛フレ―ム上に6mm角
の素子をマウント合成、トランスファ―成形した成形体10個を、吸
湿処理(65℃、95%RH、72時間)後直ちに260℃の半田浴に1
0秒浸漬後の成形体表面のクラック発生個数を示す。[Table 1] Note * 1: phenol - le modified C 5 petroleum resin; phenol - le content 23%, 1 molecule per phenol - Le 2.2 pieces * 2: phenol - le modified coal resin; phenol - le content 23%, 2.2 phenols per molecule * 3: phenol-modified polybutadiene resin; molecular weight of polypolydiene 700, phenol content 23%, phenols per molecule 2.2 phenols * 4: Vespheno manufactured by Yuka Shell Epoxy Co., Ltd. -A type epoxy resin * 5: Nippon Kayaku Co., Ltd. ortho-cresol-nornovolak type epoxy resin * 6: Vise (2,4-pentanionate) copper * 7: Cobalt naphthenate * 8: Vice (3,5) -Dimethyl-4-cyanatephenyl) methane * 9: Higher fatty acid ester * 10: Calculated from stress-strain curve in bending strength test * 11: Moisture absorption treatment: 85 ° C, 85% RH, 72 hours * 12: Flat pack A 6mm square element is mounted on a lead frame (2.7mm thick). Und synthesis, transfer - a shaped body 10 molded, moisture absorption treatment (65 ℃, 95% RH, 72 hours) in a solder bath immediately after 260 ° C. 1
The number of cracks on the surface of the molded product after immersion for 0 second is shown.
【0020】[0020]
【発明の効果】本発明の封止用樹脂組成物は、速硬化性
で、硬化物は高Tgであり、吸水率が小さく、しかも靭
性に優れている。これを半導体封止に用いた場合、封止
体の耐半田クラック性も良好であり、半導体封止用樹脂
組成物として非常に信頼性の高い優れたものである。The encapsulating resin composition of the present invention is fast-curing, has a high Tg, has a low water absorption rate, and is excellent in toughness. When this is used for semiconductor encapsulation, the solder crack resistance of the encapsulant is also good, and it is a highly reliable and excellent resin composition for semiconductor encapsulation.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H01L 23/29 23/31 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 5 Identification code Internal reference number FI technical display location H01L 23/29 23/31
Claims (1)
ル化合物とフェノール変性石油樹脂、フェノール変性石
炭樹脂及びフェノール変性ポリブタジエン樹脂からなる
群より選ばれた1種又は2種以上の変性樹脂と、エポキ
シ樹脂と、ビス(2,4-ペンタンジオナト)銅と、無機充填
剤とからなる封止用樹脂組成物。 【化1】 1. A dicyanate ester compound represented by the formula (1), one or more modified resins selected from the group consisting of a phenol-modified petroleum resin, a phenol-modified coal resin and a phenol-modified polybutadiene resin, and an epoxy. A sealing resin composition comprising a resin, bis (2,4-pentanedionato) copper, and an inorganic filler. [Chemical 1]
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4404093A JPH06256625A (en) | 1993-03-04 | 1993-03-04 | Resin composition for sealing |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4404093A JPH06256625A (en) | 1993-03-04 | 1993-03-04 | Resin composition for sealing |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06256625A true JPH06256625A (en) | 1994-09-13 |
Family
ID=12680513
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4404093A Pending JPH06256625A (en) | 1993-03-04 | 1993-03-04 | Resin composition for sealing |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH06256625A (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08316660A (en) * | 1994-12-07 | 1996-11-29 | Ngk Insulators Ltd | Electrode structure and electric heater |
JP2012153808A (en) * | 2011-01-26 | 2012-08-16 | Sekisui Chem Co Ltd | Epoxy resin material and multilayer board |
-
1993
- 1993-03-04 JP JP4404093A patent/JPH06256625A/en active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08316660A (en) * | 1994-12-07 | 1996-11-29 | Ngk Insulators Ltd | Electrode structure and electric heater |
US6031213A (en) * | 1994-12-07 | 2000-02-29 | Ngk Insulators, Ltd. | Electrode structure and electric heater comprising the same |
JP2012153808A (en) * | 2011-01-26 | 2012-08-16 | Sekisui Chem Co Ltd | Epoxy resin material and multilayer board |
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