JPH06249765A - 標準ガス発生器 - Google Patents
標準ガス発生器Info
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- JPH06249765A JPH06249765A JP3382593A JP3382593A JPH06249765A JP H06249765 A JPH06249765 A JP H06249765A JP 3382593 A JP3382593 A JP 3382593A JP 3382593 A JP3382593 A JP 3382593A JP H06249765 A JPH06249765 A JP H06249765A
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- JP
- Japan
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- gas
- weight
- standard gas
- perforated container
- concentration
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- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 質量分析装置等の迅速で精密な検量を行う。
【構成】 キャリアガスを純ガスボンベ１から供給し、
圧力調整器２で一定圧力にし、流量コントローラ３で一
定流量にし、モレキュラシーブス４により水分、有機物
等の不純物を除去し、液体試料の入った穴あき容器６を
内包する試料室５に導入することにより、キャリアガス
中に液体試料が気化したガスが拡散し、一定濃度の標準
ガスが発生し、希釈器１０で希望のガス濃度に希釈す
る。穴あき容器６の重量は、荷重センサ７に感知され、
その重量値をもとに精密重量測定器８が重量を測定し、
重量測定値を信号処理系９でガス濃度を換算し、表示す
る。これにより、精密な検量を迅速に行うことができ
る。
圧力調整器２で一定圧力にし、流量コントローラ３で一
定流量にし、モレキュラシーブス４により水分、有機物
等の不純物を除去し、液体試料の入った穴あき容器６を
内包する試料室５に導入することにより、キャリアガス
中に液体試料が気化したガスが拡散し、一定濃度の標準
ガスが発生し、希釈器１０で希望のガス濃度に希釈す
る。穴あき容器６の重量は、荷重センサ７に感知され、
その重量値をもとに精密重量測定器８が重量を測定し、
重量測定値を信号処理系９でガス濃度を換算し、表示す
る。これにより、精密な検量を迅速に行うことができ
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、高純度ガスに含まれる
微量不純物ガス（ｐｐｂレベル）の定性、定量分析を行
う質量分析装置等の検量に用いられる標準ガス発生器に
関し、特に正確なガス濃度の標準ガスの供給と検量の迅
速化が図れる標準ガス発生器に関するものである。
微量不純物ガス（ｐｐｂレベル）の定性、定量分析を行
う質量分析装置等の検量に用いられる標準ガス発生器に
関し、特に正確なガス濃度の標準ガスの供給と検量の迅
速化が図れる標準ガス発生器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、液体試料が気化した蒸気試料を混
合する方法は、例えば特願４−８１６５０号に記載の標
準ガス調整装置を用いて行なわれていた。
合する方法は、例えば特願４−８１６５０号に記載の標
準ガス調整装置を用いて行なわれていた。
【０００３】この方法では、一流路のガス配管の途中に
圧力調整器、流量コントローラと液体試料の入った穴あ
き容器を内包する試料室とをガスの流れ方向に沿ってこ
の順序に配置した標準ガス発生機構と、この標準ガス発
生機構に直結された蒸気試料供給流路と、更にこの流路
に直結された希釈器とで構成された装置により、ガス中
の蒸気試料の濃度を調整している。
圧力調整器、流量コントローラと液体試料の入った穴あ
き容器を内包する試料室とをガスの流れ方向に沿ってこ
の順序に配置した標準ガス発生機構と、この標準ガス発
生機構に直結された蒸気試料供給流路と、更にこの流路
に直結された希釈器とで構成された装置により、ガス中
の蒸気試料の濃度を調整している。
【０００４】標準ガス発生機構により発生する標準ガス
のガス濃度を求める方法としては、ガス配管に一定の圧
力及び流量でキャリアガス（Ｎ2，Ａｒ2等）を流し、液
体試料（Ｈ2Ｏ等）を入れた穴あき容器を一定時間試料
室に放置し、液体試料を蒸発させ、試料室外部に設置さ
れた精密電子天秤で液体試料蒸発前後の重量を測定し、
この重量差をもとに、単位時間あたりの蒸発量を求め、
標準ガスのガス濃度を算出している。
のガス濃度を求める方法としては、ガス配管に一定の圧
力及び流量でキャリアガス（Ｎ2，Ａｒ2等）を流し、液
体試料（Ｈ2Ｏ等）を入れた穴あき容器を一定時間試料
室に放置し、液体試料を蒸発させ、試料室外部に設置さ
れた精密電子天秤で液体試料蒸発前後の重量を測定し、
この重量差をもとに、単位時間あたりの蒸発量を求め、
標準ガスのガス濃度を算出している。
【０００５】また、標準ガス発生器を標準ガス調整装置
において使用し、質量分析装置等の検量を行う場合に
は、穴あき容器を試料室に配置する時に、外気が試料室
に入り、試料室内が安定するまでに時間がかかるため、
事前に液体試料の単位時間あたりの蒸発量の較正を行
い、その較正した蒸発量をもとにガス濃度を計算し、穴
あき容器を試料室内に放置したまま、検量を繰り返し行
っている。
において使用し、質量分析装置等の検量を行う場合に
は、穴あき容器を試料室に配置する時に、外気が試料室
に入り、試料室内が安定するまでに時間がかかるため、
事前に液体試料の単位時間あたりの蒸発量の較正を行
い、その較正した蒸発量をもとにガス濃度を計算し、穴
あき容器を試料室内に放置したまま、検量を繰り返し行
っている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、本発明
者は前記従来技術を検討した結果、以下の問題点がある
ことを見出した。
者は前記従来技術を検討した結果、以下の問題点がある
ことを見出した。
【０００７】（１）穴あき容器を試料室から取り出し、
精密電子天秤にて重量測定を行うため、穴あき容器の取
り扱い方、及び、重量測定中の液体試料の蒸発等を原因
とする誤差が重量測定値に含まれる。
精密電子天秤にて重量測定を行うため、穴あき容器の取
り扱い方、及び、重量測定中の液体試料の蒸発等を原因
とする誤差が重量測定値に含まれる。
【０００８】（２）液体試料の蒸発前後の穴あき容器の
重量差をもとに、発明者が蒸発量を求め、ガス濃度を算
出しているため、ガス濃度を得るまでに時間がかかる。
重量差をもとに、発明者が蒸発量を求め、ガス濃度を算
出しているため、ガス濃度を得るまでに時間がかかる。
【０００９】（３）標準ガス発生器を液体試料が気化し
た蒸気試料を極低濃度含有する標準ガス調整装置におい
て使用し、質量分析装置等の検量を行う場合、事前に液
体試料の単位時間あたりの蒸発量の較正を行った後、穴
あき容器を試料室内に配置し、較正した蒸発量をもとに
ガス濃度を算出しているため、蒸発量の較正時と、質量
分析装置等の検量時との環境条件の僅かな違いにより、
正確なガス濃度を把握し難く、精密な検量を迅速に行う
ことが難しい。
た蒸気試料を極低濃度含有する標準ガス調整装置におい
て使用し、質量分析装置等の検量を行う場合、事前に液
体試料の単位時間あたりの蒸発量の較正を行った後、穴
あき容器を試料室内に配置し、較正した蒸発量をもとに
ガス濃度を算出しているため、蒸発量の較正時と、質量
分析装置等の検量時との環境条件の僅かな違いにより、
正確なガス濃度を把握し難く、精密な検量を迅速に行う
ことが難しい。
【００１０】本発明の目的は、穴あき容器の取り扱い
方、及び、重量測定中の蒸発量を原因とする誤差を無く
し、液体試料の入った穴あき容器の正確な重量測定値を
得られる装置を提供することにある。
方、及び、重量測定中の蒸発量を原因とする誤差を無く
し、液体試料の入った穴あき容器の正確な重量測定値を
得られる装置を提供することにある。
【００１１】本発明の他の目的は、穴あき容器中の液体
試料の蒸発前後の重量差をもとに、迅速にガス濃度が得
られる技術を提供することにある。
試料の蒸発前後の重量差をもとに、迅速にガス濃度が得
られる技術を提供することにある。
【００１２】本発明の他の目的は、標準ガス発生器を標
準ガス調整装置において、使用する場合に、迅速で精密
な検量が可能な技術を提供することにある。
準ガス調整装置において、使用する場合に、迅速で精密
な検量が可能な技術を提供することにある。
【００１３】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述及び添付図面によって明らか
になるであろう。
な特徴は、本明細書の記述及び添付図面によって明らか
になるであろう。
【００１４】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
下記のとおりである。
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
下記のとおりである。
【００１５】（１）本発明の標準ガス発生器は一流路の
ガス配管の途中に、圧力調整器と、流量コントローラ
と、液体試料の入った穴あき容器を内包する試料室とを
前記順序で、ガスの流れ方向に沿って配置した標準ガス
発生器において、前記試料室内に前記穴あき容器の重量
を感知する荷重センサと、該荷重センサからの信号に基
づいて、前記穴あき容器の重量を測定する精密重量測定
器とを備えた構造となっている。
ガス配管の途中に、圧力調整器と、流量コントローラ
と、液体試料の入った穴あき容器を内包する試料室とを
前記順序で、ガスの流れ方向に沿って配置した標準ガス
発生器において、前記試料室内に前記穴あき容器の重量
を感知する荷重センサと、該荷重センサからの信号に基
づいて、前記穴あき容器の重量を測定する精密重量測定
器とを備えた構造となっている。
【００１６】（２）本発明の標準ガス発生器は、前記
（１）の標準ガス発生器において、測定した重量値を発
生させたガス濃度に換算し、該ガス濃度を表示する信号
処理系を備えた構造になっている。
（１）の標準ガス発生器において、測定した重量値を発
生させたガス濃度に換算し、該ガス濃度を表示する信号
処理系を備えた構造になっている。
【００１７】（３）本発明の標準ガス調整装置は、前記
（１）及び（２）の標準ガス発生器と、該標準ガス発生
器で発生させた標準ガスを希釈する希釈機構とを備えた
構造になっている。
（１）及び（２）の標準ガス発生器と、該標準ガス発生
器で発生させた標準ガスを希釈する希釈機構とを備えた
構造になっている。
【００１８】
【作用】上述した手段により、以下に示す作用がある。 （１）本発明の標準ガス発生器は標準ガス発生時に液体
試料の入った穴あき容器の重量を試料室内の荷重センサ
で感知し、荷重センサからの信号にもとづいて、精密重
量測定器で前記穴あき容器の重量を測定するため、穴あ
き容器を試料室に入れたまま、重量を測定することがで
き、液体試料の入った穴あき容器の正確な重量値を得る
ことができる。これにより、正確な重量値をもとに、正
確なガス濃度を算出することができる。
試料の入った穴あき容器の重量を試料室内の荷重センサ
で感知し、荷重センサからの信号にもとづいて、精密重
量測定器で前記穴あき容器の重量を測定するため、穴あ
き容器を試料室に入れたまま、重量を測定することがで
き、液体試料の入った穴あき容器の正確な重量値を得る
ことができる。これにより、正確な重量値をもとに、正
確なガス濃度を算出することができる。
【００１９】（２）精密重量測定器が測定した穴あき容
器の重量値をもとに、信号処理系で液体試料の蒸発量を
求めガス濃度を計算し、該ガス濃度を表示する。これに
より、迅速にガス濃度を得ることができ、作業時間が短
縮できる。
器の重量値をもとに、信号処理系で液体試料の蒸発量を
求めガス濃度を計算し、該ガス濃度を表示する。これに
より、迅速にガス濃度を得ることができ、作業時間が短
縮できる。
【００２０】（３）標準ガス発生器を標準ガス調整装置
において使用する場合、精密重量測定器で前記穴あき容
器の重量を測定し、信号処理系で液体試料の蒸発量を求
めガス濃度を計算し、該ガス濃度を表示するため、穴あ
き容器を試料室に入れたまま重量測定ができるので、液
体試料の蒸発量の較正と、検量とを同時に行うことがで
きる。また、穴あき容器を試料室から取り出さずに重量
測定を繰返し行うことができるので、穴あき容器の出し
入れ時に必要な試料室内の雰囲気が安定するまでの待ち
時間が無くなり、検量を連続して行える。これにより、
迅速で精密な検量を行うことができる。
において使用する場合、精密重量測定器で前記穴あき容
器の重量を測定し、信号処理系で液体試料の蒸発量を求
めガス濃度を計算し、該ガス濃度を表示するため、穴あ
き容器を試料室に入れたまま重量測定ができるので、液
体試料の蒸発量の較正と、検量とを同時に行うことがで
きる。また、穴あき容器を試料室から取り出さずに重量
測定を繰返し行うことができるので、穴あき容器の出し
入れ時に必要な試料室内の雰囲気が安定するまでの待ち
時間が無くなり、検量を連続して行える。これにより、
迅速で精密な検量を行うことができる。
【００２１】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例につい
て詳細に説明する。なお、実施例を説明するための全図
において、同一機能を有するものは同一符号を付け、繰
り返しの説明は省略する。
て詳細に説明する。なお、実施例を説明するための全図
において、同一機能を有するものは同一符号を付け、繰
り返しの説明は省略する。
【００２２】（実施例１）図１は、本発明による標準ガ
ス発生器の一実施例の概略構成を示す模式構成図であ
る。１は液体試料（Ｈ2Ｏ等）を蒸発、拡散させるため
に用いるキャリアガス（Ｎ2、Ａｒ2等）用の純ガスボン
ベ、２はキャリアガスを一定の圧力に調整する圧力調整
器、３はキャリアガスを一定の流量に調整するための流
量コントローラ、４はキャリアガス中に含まれる水分や
有機物等の不純物を除去するためのモレキュラシーブ
ス、５は内部が一定温度に調整されている試料室、６は
試料室５内に配置された液体試料の入った穴あき容器、
７は試料室内に配置された穴あき容器の重量を感知する
荷重センサ、８は荷重センサ７からの信号をもとに、穴
あき容器の重量を測定し、表示する精密重量測定器であ
る。
ス発生器の一実施例の概略構成を示す模式構成図であ
る。１は液体試料（Ｈ2Ｏ等）を蒸発、拡散させるため
に用いるキャリアガス（Ｎ2、Ａｒ2等）用の純ガスボン
ベ、２はキャリアガスを一定の圧力に調整する圧力調整
器、３はキャリアガスを一定の流量に調整するための流
量コントローラ、４はキャリアガス中に含まれる水分や
有機物等の不純物を除去するためのモレキュラシーブ
ス、５は内部が一定温度に調整されている試料室、６は
試料室５内に配置された液体試料の入った穴あき容器、
７は試料室内に配置された穴あき容器の重量を感知する
荷重センサ、８は荷重センサ７からの信号をもとに、穴
あき容器の重量を測定し、表示する精密重量測定器であ
る。
【００２３】実施例１の標準ガス発生器の動作は、純ガ
スボンベ１からキャリアガスを配管に供給し、圧力調整
器２でキャリアガスの圧力を一定に調整し、流量コント
ロ−ラ３でキャリアガスの流量を一定に調整し、モレキ
ュラシ−ブス４でキャリアガス中の水分や有機物等の不
純物を除去し、キャリアガスを試料室５に導入し、この
試料室５内の荷重センサ７上に配置された穴あき容器６
内の液体試料が気化し、キャリアガス中に放出、拡散
し、液体試料が気化したガスを一定濃度含んだ標準ガス
となり、配管を通して後段に送られる。ここで、液体試
料が気化することにより穴あき容器６の重量は減少す
る、穴あき容器６の重量は圧電効果（ある種の結晶に外
力を加えて歪を与えると、電位差が生じる現象）を利用
した荷重センサ７により感知され、信号（電位差）とし
て精密重量測定器８に送られ、重量値に換算され、表示
される。
スボンベ１からキャリアガスを配管に供給し、圧力調整
器２でキャリアガスの圧力を一定に調整し、流量コント
ロ−ラ３でキャリアガスの流量を一定に調整し、モレキ
ュラシ−ブス４でキャリアガス中の水分や有機物等の不
純物を除去し、キャリアガスを試料室５に導入し、この
試料室５内の荷重センサ７上に配置された穴あき容器６
内の液体試料が気化し、キャリアガス中に放出、拡散
し、液体試料が気化したガスを一定濃度含んだ標準ガス
となり、配管を通して後段に送られる。ここで、液体試
料が気化することにより穴あき容器６の重量は減少す
る、穴あき容器６の重量は圧電効果（ある種の結晶に外
力を加えて歪を与えると、電位差が生じる現象）を利用
した荷重センサ７により感知され、信号（電位差）とし
て精密重量測定器８に送られ、重量値に換算され、表示
される。
【００２４】以上の説明からわかるように、本実施例に
よれば、穴あき容器を試料室に入れたまま重量を測定す
ることができ、液体試料の入った穴あき容器の正確な重
量値を知ることができる。これにより、正確な重量値を
もとに、正確なガス濃度を算出することができる。
よれば、穴あき容器を試料室に入れたまま重量を測定す
ることができ、液体試料の入った穴あき容器の正確な重
量値を知ることができる。これにより、正確な重量値を
もとに、正確なガス濃度を算出することができる。
【００２５】（実施例２）図２は、本発明の実施例２の
標準ガス発生器の概略構成を示す模式構成図であり、９
は精密重量測定器で測定した重量値をガス濃度に換算す
る信号処理系である。
標準ガス発生器の概略構成を示す模式構成図であり、９
は精密重量測定器で測定した重量値をガス濃度に換算す
る信号処理系である。
【００２６】実施例２の標準ガス発生器の動作は、精密
重量測定器８で測定した穴あき容器６の重量値を信号処
理系９が記憶し、所定の時間、標準ガスを発生させた
後、再び精密重量測定器８が測定した穴あき容器６の重
量値を信号処理系９が記憶し、標準ガス発生前後の穴あ
き容器の重量の変化分から換算した液体試料の気化した
ガスの量と、前記所定時間に流したキャリアガスの量と
をもとに、信号処理系９が標準ガスのガス濃度を計算
し、表示する。
重量測定器８で測定した穴あき容器６の重量値を信号処
理系９が記憶し、所定の時間、標準ガスを発生させた
後、再び精密重量測定器８が測定した穴あき容器６の重
量値を信号処理系９が記憶し、標準ガス発生前後の穴あ
き容器の重量の変化分から換算した液体試料の気化した
ガスの量と、前記所定時間に流したキャリアガスの量と
をもとに、信号処理系９が標準ガスのガス濃度を計算
し、表示する。
【００２７】以上の説明からわかるように、本実施例に
よれば、精密重量測定器が測定した穴あき容器の重量値
をもとに、信号処理系で液体試料の蒸発量を求めガス濃
度を計算し、該ガス濃度を表示する。これにより、迅速
に標準ガスのガス濃度を得ることができ、作業時間が短
縮できる。
よれば、精密重量測定器が測定した穴あき容器の重量値
をもとに、信号処理系で液体試料の蒸発量を求めガス濃
度を計算し、該ガス濃度を表示する。これにより、迅速
に標準ガスのガス濃度を得ることができ、作業時間が短
縮できる。
【００２８】（実施例３）図３は、本発明の実施例３の
標準ガス調整器の概略構成を示す模式構成図であり、１
０は標準ガス発生器からの標準ガスを希釈する希釈器、
１１は標準ガスを希釈するための希釈ガスの入った希釈
用純ガスボンベ、１２は希釈ガスを一定圧力に調整する
圧力調整器、１３は希釈ガスを一定流量に調整するため
の流量コントローラ、１４は希釈ガス中に含まれる水分
や有機物等の不純物を除去するためのモレキュラシーブ
スである。
標準ガス調整器の概略構成を示す模式構成図であり、１
０は標準ガス発生器からの標準ガスを希釈する希釈器、
１１は標準ガスを希釈するための希釈ガスの入った希釈
用純ガスボンベ、１２は希釈ガスを一定圧力に調整する
圧力調整器、１３は希釈ガスを一定流量に調整するため
の流量コントローラ、１４は希釈ガス中に含まれる水分
や有機物等の不純物を除去するためのモレキュラシーブ
スである。
【００２９】実施例３の標準ガス調整器の動作は、希釈
用純ガスボンベ１１から希釈ガスを配管に供給し、希釈
用圧力調整器１２で希釈ガスの圧力を一定に調整し、希
釈用流量コントロ−ラ１３で希釈ガスの流量を一定に調
整し、希釈用モレキュラシ−ブス１４で希釈ガス中の水
分や有機物等の不純物を除去し、希釈器１０で希釈ガス
と、前段の標準ガス発生器で発生させた標準ガスとを混
ぜ、液体試料の気化したガスを極低濃度含有する標準ガ
スを配管を通じて後段に供給する。
用純ガスボンベ１１から希釈ガスを配管に供給し、希釈
用圧力調整器１２で希釈ガスの圧力を一定に調整し、希
釈用流量コントロ−ラ１３で希釈ガスの流量を一定に調
整し、希釈用モレキュラシ−ブス１４で希釈ガス中の水
分や有機物等の不純物を除去し、希釈器１０で希釈ガス
と、前段の標準ガス発生器で発生させた標準ガスとを混
ぜ、液体試料の気化したガスを極低濃度含有する標準ガ
スを配管を通じて後段に供給する。
【００３０】以上の説明からわかるように本実施例によ
れば、穴あき容器を試料室に入れたまま、重量を測定す
ることができ、標準ガスを希釈することができる。これ
により、液体試料の入った液体試料の蒸発量の較正と、
質量分析装置等の検量とを同時に行える。また、質量分
析装置等の検量を連続して行える。この結果、精密な検
量を迅速に行うことができる。
れば、穴あき容器を試料室に入れたまま、重量を測定す
ることができ、標準ガスを希釈することができる。これ
により、液体試料の入った液体試料の蒸発量の較正と、
質量分析装置等の検量とを同時に行える。また、質量分
析装置等の検量を連続して行える。この結果、精密な検
量を迅速に行うことができる。
【００３１】以上発明者によってなされた発明を実施例
にもとづき具体的に説明したが、本発明は上記実施例に
限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で
種々変更可能であることはいうまでもない。
にもとづき具体的に説明したが、本発明は上記実施例に
限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で
種々変更可能であることはいうまでもない。
【００３２】
【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、下
記のとおりである。
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、下
記のとおりである。
【００３３】（１）正確な重量測定値を得られるので、
正確なガス濃度を算出することができる。（２）重量測
定値をもとにガス濃度に換算し、表示するので、ガス濃
度を迅速に得ることができ、作業時間が短縮できる。
（３）穴あき容器を試料室から取り出さずに連続して重
量測定を行なうので、精密な検量を迅速に行うことがで
きる。
正確なガス濃度を算出することができる。（２）重量測
定値をもとにガス濃度に換算し、表示するので、ガス濃
度を迅速に得ることができ、作業時間が短縮できる。
（３）穴あき容器を試料室から取り出さずに連続して重
量測定を行なうので、精密な検量を迅速に行うことがで
きる。
【図１】 本発明による標準ガス発生器の一実施例の概
略構成を示す模式構成図、
略構成を示す模式構成図、
【図２】 本発明の実施例２の標準ガス発生器の概略構
成を示す模式構成図、
成を示す模式構成図、
【図３】 本発明の実施例３の標準ガス調整器の概略構
成を示す模式構成図。
成を示す模式構成図。
１…純ガスボンベ、２…圧力調整器、３…流量コントロ
ーラ、４…モレキュラシーブス、５…試料室、６…穴あ
き容器、７…荷重センサ、８…精密重量測定器、９…信
号処理系、１０…希釈器、１１…希釈用純ガスボンベ、
１２…希釈用圧力調整器、１３…希釈用流量コントロー
ラ、１４…希釈用モレキュラシーブス。
ーラ、４…モレキュラシーブス、５…試料室、６…穴あ
き容器、７…荷重センサ、８…精密重量測定器、９…信
号処理系、１０…希釈器、１１…希釈用純ガスボンベ、
１２…希釈用圧力調整器、１３…希釈用流量コントロー
ラ、１４…希釈用モレキュラシーブス。
Claims (3)
- 【請求項１】 一流路のガス配管の途中に、圧力調整器
と、流量コントローラと、液体試料の入った穴あき容器
を内包する試料室とを前記の順序で、ガスの流れ方向に
沿って配置した標準ガス発生器において、前記試料室内
に前記穴あき容器の重量を感知する荷重センサと、該荷
重センサからの信号に基づいて、前記穴あき容器の重量
を測定する手段とを備えたことを特徴とする標準ガス発
生器。 - 【請求項２】 請求項１記載の標準ガス発生器におい
て、測定した重量値を発生させたガス濃度に換算し、該
ガス濃度を表示する手段を備えたことを特徴とする標準
ガス発生器。 - 【請求項３】 請求項１又は請求項２記載の標準ガス発
生器と、該標準ガス発生器で発生させた標準ガスを希釈
する希釈機構とで構成されることを特徴とする標準ガス
調整装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3382593A JPH06249765A (ja) | 1993-02-24 | 1993-02-24 | 標準ガス発生器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3382593A JPH06249765A (ja) | 1993-02-24 | 1993-02-24 | 標準ガス発生器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06249765A true JPH06249765A (ja) | 1994-09-09 |
Family
ID=12397270
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3382593A Pending JPH06249765A (ja) | 1993-02-24 | 1993-02-24 | 標準ガス発生器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06249765A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09170970A (ja) * | 1995-12-19 | 1997-06-30 | Nippon A P I:Kk | 標準ガス希釈装置、標準ガス発生装置及び標準ガス発生用液体試料容器 |
| WO2003100410A1 (en) * | 2002-05-29 | 2003-12-04 | L'air Liquide - Societe Anonyme A Directoire Et Conseil De Surveillance Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude | Reduced moisture compositions comprising an acid gas and a matrix gas, articles of manufacture comprising said compositions and processes for manufacturing same |
| KR100656415B1 (ko) * | 2005-12-30 | 2006-12-11 | 한국표준과학연구원 | 표준가스 제조용 액체 주입장치 |
| JP2011043435A (ja) * | 2009-08-21 | 2011-03-03 | National Institute Of Advanced Industrial Science & Technology | 微量水分発生装置および標準ガス生成装置 |
| JP2013106836A (ja) * | 2011-11-22 | 2013-06-06 | Seiko Epson Corp | ガス供給装置 |
| CN114184446A (zh) * | 2021-12-21 | 2022-03-15 | 中国计量科学研究院 | 一种可在线称量的挥发性有机气体标准物质制备系统 |
-
1993
- 1993-02-24 JP JP3382593A patent/JPH06249765A/ja active Pending
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|---|---|---|---|---|
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| CN114184446A (zh) * | 2021-12-21 | 2022-03-15 | 中国计量科学研究院 | 一种可在线称量的挥发性有机气体标准物质制备系统 |
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