JPH06242020A - Surface defect inspection system - Google Patents
Surface defect inspection systemInfo
- Publication number
- JPH06242020A JPH06242020A JP17549991A JP17549991A JPH06242020A JP H06242020 A JPH06242020 A JP H06242020A JP 17549991 A JP17549991 A JP 17549991A JP 17549991 A JP17549991 A JP 17549991A JP H06242020 A JPH06242020 A JP H06242020A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- inspection surface
- inspection
- defect
- dimensional image
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、検査面の画像信号に含
まれる明暗を欠陥として検出して凹凸、キズ、シワなど
の表面欠陥を検査する装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus for detecting surface defects such as irregularities, scratches and wrinkles by detecting light and darkness contained in an image signal on an inspection surface as defects.
【０００２】[0002]
【従来の技術】凹凸、キズ、シワなどの表面欠陥を目視
で検査すると、多くの人手を要し、検査精度がばらつく
ために、表面検査を自動化する装置が開発されている。
従来、この各種の目視検査の自動化装置は、２次元画像
入力装置を使用した画像処理装置で行われている。凹
凸、キズ、シワなどの表面欠陥を検出するための照明と
して、ライン状の光ファイバ照明装置を使用し、これ装
置で検査面に対して側方から照明している。2. Description of the Related Art Visual inspection of surface defects such as irregularities, scratches, and wrinkles requires a lot of manpower and the inspection accuracy varies. Therefore, an apparatus for automating the surface inspection has been developed.
Conventionally, these various visual inspection automation devices have been performed by image processing devices using a two-dimensional image input device. As an illumination for detecting surface defects such as unevenness, scratches, and wrinkles, a line-shaped optical fiber illuminating device is used, which illuminates the inspection surface from the side.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】図３（ａ）に検査面１
に存在する欠陥部２（凹み）が、照明装置３の光ファイ
バライトガイド４で側方照明されている状態を示す。図
３（ｂ）は欠陥部２のＣＣＤ出力パターンを示す。この
欠陥部２の影と、欠陥部２の縁で輝点とが発生するた
め、図３（ｂ）に示すＣＣＤ出力パターンＢが得られ
る。The inspection surface 1 is shown in FIG.
The defect portion 2 (recess) existing in 1 is illustrated as being laterally illuminated by the optical fiber light guide 4 of the illumination device 3. FIG. 3B shows a CCD output pattern of the defective portion 2. Since a shadow of the defective portion 2 and a bright spot occur at the edge of the defective portion 2, the CCD output pattern B shown in FIG. 3B is obtained.
【０００４】従来、照明装置３では、この光ファイバラ
イトガイド４からの距離が離れる程、照明の輝度が低下
するため、図３（ｂ）の従来例パターンＢに示すように
ＣＣＤ出力が低下していた。従って、従来技術では、検
査面１からの反射光は、照明からの距離が離れる程、低
下するため、距離により欠陥検出精度が変化するという
不都合があった。Conventionally, in the illuminating device 3, as the distance from the optical fiber light guide 4 increases, the brightness of the illumination decreases, so that the CCD output decreases as shown in the conventional pattern B of FIG. 3B. Was there. Therefore, in the conventional technique, the reflected light from the inspection surface 1 decreases as the distance from the illumination increases, which causes a problem that the defect detection accuracy changes depending on the distance.
【０００５】この発明は、上述の背景に基づきなされた
ものであり、その目的とするところは、照明装置からの
距離が離れる程、出射光の輝度向上が図られ、ＣＣＤ出
力の低下を防止することができる表面欠陥検査装置を提
供することである。The present invention has been made based on the background described above, and an object thereof is to improve the brightness of emitted light as the distance from the illuminating device increases, and prevent a decrease in CCD output. It is to provide a surface defect inspection apparatus capable of performing the above.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】本発明は、２次元画像入
力装置の視野と照明装置との距離を、照明装置の出射パ
ターンに合わせて設定することにより、従来の課題を解
決したものである。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention solves the conventional problems by setting the distance between the field of view of a two-dimensional image input device and the lighting device according to the emission pattern of the lighting device. .
【０００７】すなわち、この発明の表面欠陥検査装置
は、検査面に対して側方から照明光を出射する照明装置
と、検査面の画像入力を行う２次元画像入力装置と、２
次元画像入力装置の画像信号に含まれる明暗を欠陥とし
て検出する画像処理装置とからなる表面欠陥検査装置で
あって、この２次元画像入力装置の視野における検査面
両端と照明装置の出射端との距離比が、照明装置から検
査面両端への照明光の出射強度比と等しい若しくはに近
似するように設定されていることを特徴とするものであ
る。That is, the surface defect inspection apparatus of the present invention comprises an illuminating device which emits illumination light to the inspection surface from the side, a two-dimensional image input device which inputs an image of the inspection surface, and
A surface defect inspection device comprising an image processing device for detecting light and darkness contained in an image signal of a two-dimensional image input device as a defect, wherein the two-dimensional image input device has both ends of an inspection surface in a visual field and an emission end of an illumination device. The distance ratio is set to be equal to or close to the emission intensity ratio of the illumination light from the illumination device to both ends of the inspection surface.
【０００８】この発明の別の態様において、本発明の表
面欠陥検査装置は、最大出射強度を中心にまわりに広が
るにしたがって出射強度が実質上直線的に低下する出射
パターンを有し、検査面に対して側方から照明光を出射
する照明装置と、検査面の画像入力を行う２次元画像入
力装置と、２次元画像入力装置の画像信号に含まれる明
暗を欠陥として検出する画像処理装置とからなる表面欠
陥検査装置であって、２次元画像入力装置の視野におけ
る検査面と照明装置の出射端との距離が離れるに比例し
て、照明装置から検査面への照明光の出射強度が強くな
るように設定されていることを特徴とするものである。In another aspect of the present invention, the surface defect inspection apparatus of the present invention has an emission pattern in which the emission intensity decreases substantially linearly as the maximum emission intensity spreads around the center, and the inspection surface has an emission pattern. On the other hand, an illumination device that emits illumination light from the side, a two-dimensional image input device that inputs an image of the inspection surface, and an image processing device that detects light and darkness included in an image signal of the two-dimensional image input device as a defect In the surface defect inspection apparatus, the emission intensity of the illumination light from the illumination device to the inspection surface increases in proportion to the distance between the inspection surface in the field of view of the two-dimensional image input device and the emission end of the illumination device. It is characterized by being set as follows.
【０００９】[0009]
【作用】この発明による表面欠陥検査装置は下記のよう
に機能する。すなわち、この２次元画像入力装置の視野
における検査面両端と照明装置の出射端との距離比が、
照明装置から検査面両端への照明光の出射強度比と等し
い若しくはに近似するように設定されている。The surface defect inspection apparatus according to the present invention functions as follows. That is, the distance ratio between both ends of the inspection surface in the visual field of the two-dimensional image input device and the emission end of the illumination device is
It is set to be equal to or close to the emission intensity ratio of the illumination light from the illumination device to both ends of the inspection surface.
【００１０】従って、照明装置から検査面に対して側方
から照明光を出射すると、照明装置の出射端から遠い位
置の検査面に対しては強い出射強度の照明光が出るが、
検査面に到達した照明光は遠いだけ弱くなる。逆に照明
装置の出射端から近い位置の検査面に対しては相対的に
弱い出射強度の照明光が出るが、検査面に到達した照明
光は近いだけ強度が維持される。Therefore, when the illuminating device emits the illuminating light from the side of the inspection surface, the illuminating light having a strong emission intensity is emitted to the inspection surface located far from the emission end of the illuminating device.
The illumination light reaching the inspection surface becomes weaker as it is farther away. On the contrary, although the illumination light with a relatively weak emission intensity is emitted to the inspection surface near the emission end of the illuminating device, the intensity of the illumination light reaching the inspection surface is maintained for a short time.
【００１１】このような照明光により、照明装置の出射
端からの遠近によらず均一に出力し、検査面での欠陥
（凹凸など）による明暗が、遠近にに依らず明瞭に生じ
る。この検査面を２次元画像入力装置で画像入力を行
い、２次元画像入力装置の画像信号に含まれる明暗を画
像処理装置で欠陥として検出する。With such illumination light, the light is uniformly output regardless of the distance from the emission end of the illuminating device, and the bright and dark due to defects (such as irregularities) on the inspection surface are clearly generated regardless of the distance. An image is input to this inspection surface by a two-dimensional image input device, and the light and dark included in the image signal of the two-dimensional image input device is detected as a defect by the image processing device.
【００１２】この発明の別の態様においては、照明装置
は、最大出射強度を中心にまわりに広がるにしたがって
出射強度が実質上直線的に低下する出射パターンを有す
る。また、２次元画像入力装置の視野における検査面と
照明装置の出射端との距離が離れるに比例して、照明装
置から検査面への照明光の出射強度が強くなるように設
定されている。In another aspect of the present invention, the illuminator has an emission pattern in which the emission intensity decreases substantially linearly as it spreads around the maximum emission intensity. Further, the intensity of emission of the illumination light from the illumination device to the inspection surface increases in proportion to the distance between the inspection surface in the field of view of the two-dimensional image input device and the emission end of the illumination device.
【００１３】従って、照明装置から検査面に対して側方
から照明光を出射すると、照明装置の出射端から遠い位
置の検査面に対しては強い出射強度の照明光が出るが、
検査面に到達した照明光は遠いだけ弱くなる。逆に照明
装置の出射端から近い位置の検査面に対しては相対的に
弱い出射強度の照明光が出るが、検査面に到達した照明
光は近いだけ強度が維持される。このような照明光によ
り、照明装置の出射端からの遠近によらず均一に出力
し、検査面での欠陥（凹凸など）による明暗が、遠近に
依らず明瞭に生じる。この検査面を２次元画像入力装置
で画像入力を行い、２次元画像入力装置の画像信号に含
まれる明暗を画像処理装置で欠陥として検出する。Therefore, when the illuminating device emits the illuminating light to the inspection surface from the side, the illuminating light having a strong emission intensity is emitted to the inspection surface located far from the emission end of the illuminating device.
The illumination light reaching the inspection surface becomes weaker as it is farther away. On the contrary, although the illumination light with a relatively weak emission intensity is emitted to the inspection surface near the emission end of the illuminating device, the intensity of the illumination light reaching the inspection surface is maintained for a short time. With such illumination light, the light is uniformly output regardless of the distance from the emission end of the illuminating device, and bright and dark due to defects (such as irregularities) on the inspection surface are clearly generated regardless of the distance. An image is input to this inspection surface by a two-dimensional image input device, and the light and dark included in the image signal of the two-dimensional image input device is detected as a defect by the image processing device.
【００１４】[0014]
【実施例】この発明を、より具体的な実施例を参照して
詳説する。図１に、本発明による表面欠陥検査装置の実
施例を概略的に示す。この実施例では、被検査物は、樹
脂シートであり、幅１ｍで、２ｍ／分で走行している。
この検査物には、凹凸、キズ、シワなど欠陥が表面（検
査面１）に存在することがあり、これが欠陥として検査
される。The present invention will be described in detail with reference to more specific embodiments. FIG. 1 schematically shows an embodiment of a surface defect inspection apparatus according to the present invention. In this embodiment, the object to be inspected is a resin sheet, which has a width of 1 m and travels at 2 m / min.
This inspection object may have defects such as unevenness, scratches, and wrinkles on the surface (inspection surface 1), and these are inspected as defects.
【００１５】この実施例の表面欠陥検査装置５は、検査
面１に対して側方から照明光を出射する照明装置の光フ
ァイバライトガイド４と、検査面１の画像入力を行う２
次元画像入力装置６のエリア型ＣＣＤカメラ７と、２次
元画像入力装置６の画像信号に含まれる明暗を欠陥とし
て検出する画像処理装置８とからなり、この画像処理装
置８にはモニターＴＶ９が接続され、光ファイバライト
ガイド４の為の光源１０が配設されている。The surface defect inspection apparatus 5 of this embodiment inputs an image of the inspection surface 1 and an optical fiber light guide 4 of an illumination device which emits illumination light from the side of the inspection surface 1.
The two-dimensional image input device 6 includes an area CCD camera 7 and an image processing device 8 for detecting light and darkness contained in an image signal of the two-dimensional image input device 6 as a defect. A monitor TV 9 is connected to the image processing device 8. A light source 10 for the optical fiber light guide 4 is provided.
【００１６】この２次元画像入力装置６では、エリア型
ＣＣＤカメラ７の画像を８ビットでＡ／Ｄ変換した後、
画像メモリに入力し、この画像メモリのうち、指定した
範囲をウインドウとして設定し、この範囲で輝点検出を
行う。輝点検出方法は、各種の方法が発表されている
が、ソーベルのオペレータで実施した。この輝点の有無
を判定し、輝点がある場合は、ＮＧ信号を出力する。図
１に示すように、この実施例の装置構成では、２次元画
像入力装置６の視野は（ｌ1〜ｌ2）である。この位置で
の入射角は（９０°−θ1〜９０゜−θ2）である。In this two-dimensional image input device 6, after the image of the area type CCD camera 7 is A / D converted by 8 bits,
The image data is input to the image memory, a specified range of the image memory is set as a window, and bright spots are detected in this range. Although various methods have been announced for the bright spot detection method, they were performed by a Sobel operator. The presence or absence of this bright spot is determined, and if there is a bright spot, an NG signal is output. As shown in FIG. 1, in the device configuration of this embodiment, the field of view of the two-dimensional image input device 6 is (l 1 to l 2 ). The incident angle at this position is (90 ° -θ 1 to 90 ° -θ 2 ).
【００１７】モニターＴＶ９では、検査面１の画像、輝
点の測定値、判定結果（ＯＫ、または、ＮＧ）を表示し
ている。光源１０は、１００Ｗのハロゲンランプを使用
している。光ファイバライトガイド４では、出射端１１
の配列が１．５×２００mmである。光ファイバライトガ
イド４の出射端１１は、検査面１が通過するため、この
面より数mm上で、検査面１とほぼ平行に設置されてい
る。The monitor TV 9 displays the image of the inspection surface 1, the measured value of the bright spot, and the determination result (OK or NG). The light source 10 uses a 100 W halogen lamp. In the optical fiber light guide 4, the emitting end 11
The arrangement is 1.5 × 200 mm. The emission end 11 of the optical fiber light guide 4 passes through the inspection surface 1, so that it is placed several mm above this surface and substantially parallel to the inspection surface 1.
【００１８】図２は、本実施例で使用した照明装置３
（光ファイバライトガイド４）の出射パターンを示す図
である。この図から理解されるように、最大出射強度を
中心にまわりに広がるにしたがって出射強度が実質上直
線的に低下する出射パターンを有する。図１における前
記角度（θ1、θ2）での出射強度は、図２における出射
強度（ｉ1、ｉ2）に対応する。角度θ1〜θ2に対応する
出射パターンが直線的であるので、距離比（ｌ1／ｌ2）
が、出射強度比（ｉ1／ｉ2）と等しいか近似するように
すれば、２次元画像入力装置６の視野内で、反射光強度
を一定に保つことができる。FIG. 2 shows a lighting device 3 used in this embodiment.
It is a figure which shows the emission pattern of (optical fiber light guide 4). As can be seen from this figure, it has an emission pattern in which the emission intensity decreases substantially linearly as it spreads around the maximum emission intensity. The emission intensity at the angles (θ 1 , θ 2 ) in FIG. 1 corresponds to the emission intensity (i 1 , i 2 ) in FIG. Since the emission pattern corresponding to the angles θ 1 to θ 2 is linear, the distance ratio (l 1 / l 2 )
However, the reflected light intensity can be kept constant within the field of view of the two-dimensional image input device 6 by making the output intensity ratio (i 1 / i 2 ) equal to or approximate to the output intensity ratio.
【００１９】図３（ａ）に示したような欠陥（凹み）
が、光ファイバライトガイド４で側方照明された場合、
欠陥部２で輝点と影が発生する。図３（ｂ）に、この実
施例による欠陥部２のＣＣＤ出力パターンＡと従来例に
よるＣＣＤ出力パターンＢを示す。この図からわかるよ
うに、従来は、光ファイバライトガイド４からの距離が
離れる程、照明の輝度が低下するため、ＣＣＤ出力が低
下する。しかし、本願では、光ファイバライトガイド４
からの距離が離れる程、出射角度低下による輝度向上が
図られ、反射光強度を一定に保ち、欠陥検出精度を安定
にするとともに、ＣＣＤ出力低下を防止することが可能
となった。Defect (dent) shown in FIG. 3 (a)
Is laterally illuminated by the fiber optic light guide 4,
Bright spots and shadows are generated in the defect portion 2. FIG. 3B shows a CCD output pattern A of the defective portion 2 according to this embodiment and a CCD output pattern B according to the conventional example. As can be seen from this figure, conventionally, as the distance from the optical fiber light guide 4 increases, the brightness of the illumination decreases, so that the CCD output decreases. However, in the present application, the optical fiber light guide 4
The further the distance from, the higher the brightness due to the decrease in the emission angle, the more constant the intensity of reflected light, the more stable the defect detection accuracy, and the more the prevention of the decrease in CCD output.
【００２０】本願発明では、図１に示す実施例以外に種
々の変形例が可能である。例えば、検査物を、樹脂シー
ト以外に、各種シート状物で実施可能である。エリア型
ＣＣＤカメラ７は、シャッタ機能が無いものを使用した
が、検査物が等速移動の場合は、その速度に応じてシャ
ッタ機能が有るものを使用するか、ストロボ照明を使用
することができる。In the present invention, various modifications other than the embodiment shown in FIG. 1 are possible. For example, the inspection object can be implemented by various sheet-shaped materials other than the resin sheet. The area type CCD camera 7 used has no shutter function, but when the inspection object moves at a constant speed, one having a shutter function or strobe illumination can be used according to the speed. .
【００２１】[0021]
【発明の効果】本願の表面検査装置により、照明装置か
らの距離が離れる程、出射角度低下による輝度向上が図
られ、反射光強度を一定に保ち、欠陥検出精度を安定に
することができる。According to the surface inspection apparatus of the present invention, as the distance from the illumination apparatus increases, the brightness is improved by decreasing the emission angle, the reflected light intensity can be kept constant, and the defect detection accuracy can be stabilized.
【図１】図１は、本発明による表面検査装置の概略を示
す装置構成図である。FIG. 1 is an apparatus configuration diagram showing an outline of a surface inspection apparatus according to the present invention.
【図２】図２は、実施例で使用した光ファイバライトガ
イドの出射パターンを示す図である。FIG. 2 is a diagram showing an emission pattern of an optical fiber light guide used in an example.
【図３】図３（ａ）は、欠陥部（凹み）を照明装置の光
ファイバライトガイドで側方照明する様子を示す概略図
であり、図３（ｂ）は欠陥部のＣＣＤ出力パターンを示
す図である。FIG. 3 (a) is a schematic view showing a state in which a defective portion (dent) is laterally illuminated by an optical fiber light guide of an illuminating device, and FIG. 3 (b) shows a CCD output pattern of the defective portion. FIG.
【符号の説明】 １ 検査面 ２ 欠陥部 ３ 照明装置 ４ 光ファイバライトガイド ５ 表面欠陥検査装置 ６ ２次元画像入力装置 ７ エリア型ＣＣＤカメラ ８ 画像処理装置 ９ モニターＴＶ １０ 光源 １１ 出射端[Explanation of reference numerals] 1 inspection surface 2 defect part 3 illumination device 4 optical fiber light guide 5 surface defect inspection device 6 two-dimensional image input device 7 area CCD camera 8 image processing device 9 monitor TV 10 light source 11 emission end
【手続補正書】[Procedure amendment]
【提出日】平成３年９月１１日[Submission date] September 11, 1991
【手続補正１】[Procedure Amendment 1]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】請求項１[Name of item to be corrected] Claim 1
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【手続補正２】[Procedure Amendment 2]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】０００７[Correction target item name] 0007
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【０００７】すなわち、この発明の表面欠陥検査装置
は、検査面に対して側方から照明光を出射する照明装置
と、検査面の画像入力を行う２次元画像入力装置と、２
次元画像入力装置の画像信号に含まれる明暗を欠陥とし
て検出する画像処理装置とからなる表面欠陥検査装置で
あって、この２次元画像入力装置の視野における検査面
両端と照明装置の出射端との距離比が、照明装置から検
査面両端への照明光の出射強度比と等しい若しくは近似
するように設定されていることを特徴とするものであ
る。That is, the surface defect inspection apparatus of the present invention comprises an illuminating device which emits illumination light to the inspection surface from the side, a two-dimensional image input device which inputs an image of the inspection surface, and
A surface defect inspection device comprising an image processing device for detecting light and darkness contained in an image signal of a two-dimensional image input device as a defect, wherein the two-dimensional image input device has both ends of an inspection surface in a visual field and an emission end of an illumination device. distance ratio, the young properly equal to the emission intensity ratio of the illumination light to the inspection surface across from the lighting device is characterized in that it is set to approximated.
【手続補正３】[Procedure 3]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】０００９[Correction target item name] 0009
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【０００９】[0009]
【作用】この発明による表面欠陥検査装置は下記のよう
に機能する。すなわち、この２次元画像入力装置の視野
における検査面両端と照明装置の出射端との距離比が、
照明装置から検査面両端への照明光の出射強度比と等し
い若しくは近似するように設定されている。The surface defect inspection apparatus according to the present invention functions as follows. That is, the distance ratio between both ends of the inspection surface in the visual field of the two-dimensional image input device and the emission end of the illumination device is
Young properly equal to the emission intensity ratio of the illumination light to the inspection surface across from the illumination device is set to approximated.
【手続補正４】[Procedure amendment 4]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】００１１[Correction target item name] 0011
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【００１１】このような照明光により、照明装置の出射
端からの遠近によらず均一に出力し、検査面での欠陥
（凹凸など）による明暗が、遠近に依らず明瞭に生じ
る。この検査面を２次元画像入力装置で画像入力を行
い、２次元画像入力装置の画像信号に含まれる明暗を画
像処理装置で欠陥として検出する。[0011] Such illumination light uniformly output regardless of the distance from the emitting end of the illumination device, brightness due to a defect in the inspection surface (such as unevenness) is caused clearly regardless Yi in perspective. An image is input to this inspection surface by a two-dimensional image input device, and the light and dark included in the image signal of the two-dimensional image input device is detected as a defect by the image processing device.
Claims (2)
る照明装置と、該検査面の画像入力を行う２次元画像入
力装置と、該２次元画像入力装置の画像信号に含まれる
明暗を欠陥として検出する画像処理装置とからなる表面
欠陥検査装置において、 前記２次元画像入力装置の視野における前記検査面両端
と前記照明装置の出射端との距離比が、前記照明装置か
ら前記検査面両端への照明光の出射強度比と等しい若し
くはに近似するように設定されているたことを特徴とす
る表面欠陥検査装置。1. An illuminating device which emits illumination light from the side of an inspection surface, a two-dimensional image input device for inputting an image of the inspection surface, and a light and shade included in an image signal of the two-dimensional image input device. In the surface defect inspection apparatus including an image processing apparatus that detects a defect as a defect, a distance ratio between both ends of the inspection surface in the field of view of the two-dimensional image input device and an emission end of the illumination device is from the illumination device to the inspection surface. A surface defect inspection apparatus, which is set to be equal to or close to the emission intensity ratio of illumination light to both ends.
したがって出射強度が実質上直線的に低下する出射パタ
ーンを有し、検査面に対して側方から照明光を出射する
照明装置と、該検査面の画像入力を行う２次元画像入力
装置と、該２次元画像入力装置の画像信号に含まれる明
暗を欠陥として検出する画像処理装置とからなる表面欠
陥検査装置であって、 前記２次元画像入力装置の視野における前記検査面と前
記照明装置の出射端との距離が離れるに比例して、前記
照明装置から前記検査面への照明光の出射強度が強くな
るように設定されていることを特徴とする表面欠陥検査
装置。2. An illuminating device which has an emission pattern in which the emission intensity decreases substantially linearly as it spreads around the maximum emission intensity, and which emits illumination light from the side to the inspection surface. A surface defect inspection apparatus comprising a two-dimensional image input device for inputting an image of an inspection surface and an image processing device for detecting light and darkness included in an image signal of the two-dimensional image input device as a defect, the two-dimensional image It is set that the emission intensity of the illumination light from the illumination device to the inspection surface increases in proportion to the distance between the inspection surface and the emission end of the illumination device in the field of view of the input device. Characteristic surface defect inspection device.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17549991A JPH06242020A (en) | 1991-07-16 | 1991-07-16 | Surface defect inspection system |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17549991A JPH06242020A (en) | 1991-07-16 | 1991-07-16 | Surface defect inspection system |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06242020A true JPH06242020A (en) | 1994-09-02 |
Family
ID=15997113
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17549991A Pending JPH06242020A (en) | 1991-07-16 | 1991-07-16 | Surface defect inspection system |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06242020A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008261642A (en) * | 2007-04-10 | 2008-10-30 | Shin Nippon Air Technol Co Ltd | Detector of fine particles sticking to sheet |
| US9179106B2 (en) | 2009-12-28 | 2015-11-03 | Canon Kabushiki Kaisha | Measurement system, image correction method, and computer program |
-
1991
- 1991-07-16 JP JP17549991A patent/JPH06242020A/en active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008261642A (en) * | 2007-04-10 | 2008-10-30 | Shin Nippon Air Technol Co Ltd | Detector of fine particles sticking to sheet |
| US9179106B2 (en) | 2009-12-28 | 2015-11-03 | Canon Kabushiki Kaisha | Measurement system, image correction method, and computer program |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3329233B2 (en) | Defect inspection method and apparatus for plate-shaped transparent body | |
| TW200846649A (en) | Pattern inspection device and method used thereby | |
| US5691763A (en) | Terminated cable portion inspection device for stripped terminal crimping machine | |
| KR102162693B1 (en) | System and method for defect detection | |
| US5619792A (en) | Method and device for illumination in terminated cable part inspection device for stripped terminal crimping machine | |
| KR20060066041A (en) | Apparatus for inspecting back light unit | |
| JP2000028320A (en) | Image recognizing equipment and image recognizing method | |
| JP3349069B2 (en) | Surface inspection equipment | |
| JPH06242020A (en) | Surface defect inspection system | |
| JP2001124702A (en) | Beltlike sheet-inspecting device | |
| JP3017572B2 (en) | Surface condition inspection method | |
| JP2011203223A (en) | Device and method for detecting flaw | |
| JP3321503B2 (en) | Appearance inspection equipment for electronic components | |
| JP4212711B2 (en) | Metal surface inspection method and apparatus | |
| JP2002005845A (en) | Defect inspecting apparatus | |
| JPH08304295A (en) | Method and apparatus for detecting surface defect | |
| JPH0431755A (en) | Apparatus for inspecting defect of sheet-shaped material | |
| JPH10185828A (en) | Method and device for inspecting defect of transparent flat body surface | |
| JPH05322543A (en) | Surface defect inspection device | |
| JP2001165864A (en) | Surface inspection device and method | |
| JPH05209734A (en) | Surface-state inspecting apparatus | |
| JP2000121574A (en) | Flaw inspection apparatus for steel plate | |
| JPH03181807A (en) | Visual apparatus | |
| JPS61230005A (en) | Method for inspecting joint of sheet-like material | |
| KR0183691B1 (en) | Transparent material detecting apparatus |