JPH0623943Y2 - マスフローコントローラー用ヒーター - Google Patents
マスフローコントローラー用ヒーターInfo
- Publication number
- JPH0623943Y2 JPH0623943Y2 JP17881387U JP17881387U JPH0623943Y2 JP H0623943 Y2 JPH0623943 Y2 JP H0623943Y2 JP 17881387 U JP17881387 U JP 17881387U JP 17881387 U JP17881387 U JP 17881387U JP H0623943 Y2 JPH0623943 Y2 JP H0623943Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heater
- mass flow
- flow controller
- heat
- plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Measuring Volume Flow (AREA)
- Flow Control (AREA)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17881387U JPH0623943Y2 (ja) | 1987-11-26 | 1987-11-26 | マスフローコントローラー用ヒーター |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17881387U JPH0623943Y2 (ja) | 1987-11-26 | 1987-11-26 | マスフローコントローラー用ヒーター |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0184022U JPH0184022U (OSRAM) | 1989-06-05 |
| JPH0623943Y2 true JPH0623943Y2 (ja) | 1994-06-22 |
Family
ID=31470412
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17881387U Expired - Lifetime JPH0623943Y2 (ja) | 1987-11-26 | 1987-11-26 | マスフローコントローラー用ヒーター |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0623943Y2 (OSRAM) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4195819B2 (ja) * | 2003-01-17 | 2008-12-17 | 忠弘 大見 | 弗化水素ガスの流量制御方法及びこれに用いる弗化水素ガス用流量制御装置 |
| WO2015141437A1 (ja) * | 2014-03-20 | 2015-09-24 | 日立金属株式会社 | 熱式質量流量計及びこれを用いた質量流量制御装置 |
-
1987
- 1987-11-26 JP JP17881387U patent/JPH0623943Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0184022U (OSRAM) | 1989-06-05 |
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