JPH06236743A - 電子線装置のプローブ電流設定方式 - Google Patents
電子線装置のプローブ電流設定方式Info
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- JPH06236743A JPH06236743A JP24088191A JP24088191A JPH06236743A JP H06236743 A JPH06236743 A JP H06236743A JP 24088191 A JP24088191 A JP 24088191A JP 24088191 A JP24088191 A JP 24088191A JP H06236743 A JPH06236743 A JP H06236743A
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 自動的に対物絞りの径φ、コンデンサレンズ
の連動比Ｋを最適の値に選び目標とするプローブ電流値
に設定する。 【構成】 加速電圧とプローブ電流に応じた対物絞り５
径の切り換えと集束レンズ３，４の励磁電流の連動比の
切り換えを行う境界電流値及び各対物絞りでの集束レン
ズの設定励磁電流量を求める式とを持ち、目標とするプ
ローブ電流量の入力に対して、境界電流値から対物絞り
径と連動比を設定し、前記式から設定励磁電流量を設定
した後、プローブ電流検出器６でプローブ電流量を検出
し、目標値との差が所定の範囲内の場合には第１の刻み
で励磁電流量を変化させ、所定の範囲以上の場合には第
２の刻みで励磁電流量を変化させて前記差が反転した後
に第１の刻みで励磁電流量を変化させて調整する。した
がって、調整範囲を限定して無駄な調整を少なくし、目
標とするプローブ電流量の設定を迅速に行うことができ
る。
の連動比Ｋを最適の値に選び目標とするプローブ電流値
に設定する。 【構成】 加速電圧とプローブ電流に応じた対物絞り５
径の切り換えと集束レンズ３，４の励磁電流の連動比の
切り換えを行う境界電流値及び各対物絞りでの集束レン
ズの設定励磁電流量を求める式とを持ち、目標とするプ
ローブ電流量の入力に対して、境界電流値から対物絞り
径と連動比を設定し、前記式から設定励磁電流量を設定
した後、プローブ電流検出器６でプローブ電流量を検出
し、目標値との差が所定の範囲内の場合には第１の刻み
で励磁電流量を変化させ、所定の範囲以上の場合には第
２の刻みで励磁電流量を変化させて前記差が反転した後
に第１の刻みで励磁電流量を変化させて調整する。した
がって、調整範囲を限定して無駄な調整を少なくし、目
標とするプローブ電流量の設定を迅速に行うことができ
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、電子銃と、第１及び第
２の集束レンズと、対物絞りと、プローブ電流検出器
と、対物レンズと、前記電子銃から放出された電子線が
前記各レンズによって集束されて照射される試料とを備
えた電子線装置のプローブ電流設定方式に関する。
２の集束レンズと、対物絞りと、プローブ電流検出器
と、対物レンズと、前記電子銃から放出された電子線が
前記各レンズによって集束されて照射される試料とを備
えた電子線装置のプローブ電流設定方式に関する。
【０００２】
【従来の技術】図４は電子線装置の構成概要を示す図、
図５は従来の電子線装置のプローブ電流設定方法を説明
するための図である。
図５は従来の電子線装置のプローブ電流設定方法を説明
するための図である。
【０００３】一般に走査型オージェ電子分光装置（ＳＡ
Ｍ）や、電子プロ─ブＸ線マイクロアナライザ（ＥＰＭ
Ａ）等の電子線装置は、図４に示すように電子銃１、ガ
ンアライメントコイル２、コンデンサレンズ３（ＣＬ
１）、４（ＣＬ２）、対物絞り５、偏向コイル７、ステ
ィグマコイル８、対物レンズ９などより構成されてい
る。これら分析装置において、プローブ電流量ＩP の値
は、Ｓ／Ｎ等を決める重要な分析ファクタとなってい
る。一般的なこれらの装置では、３〜４種類の対物絞り
径φを持ち、プローブ電流量ＩP の値は、主として対物
絞り径φと２つのコンデンサレンズ３、４の励磁条件に
よって決まる。
Ｍ）や、電子プロ─ブＸ線マイクロアナライザ（ＥＰＭ
Ａ）等の電子線装置は、図４に示すように電子銃１、ガ
ンアライメントコイル２、コンデンサレンズ３（ＣＬ
１）、４（ＣＬ２）、対物絞り５、偏向コイル７、ステ
ィグマコイル８、対物レンズ９などより構成されてい
る。これら分析装置において、プローブ電流量ＩP の値
は、Ｓ／Ｎ等を決める重要な分析ファクタとなってい
る。一般的なこれらの装置では、３〜４種類の対物絞り
径φを持ち、プローブ電流量ＩP の値は、主として対物
絞り径φと２つのコンデンサレンズ３、４の励磁条件に
よって決まる。
【０００４】従来、プローブ電流量ＩP の設定は、ほと
んどの場合オペレータが手動で行っていた。具体的に
は、オペレータがプローブ電流検出器６に接続した電流
計２４でプローブ電流量ＩP の値を読み取りながら、対
物絞り５の径φの値はマニュアル操作機構２３を、ま
た、コンデンサレンズ３、４の励磁条件は、励磁回路２
２の例えばつまみをそれぞれ手動で変えて、希望するプ
ローブ電流量ＩP の値を探していた。
んどの場合オペレータが手動で行っていた。具体的に
は、オペレータがプローブ電流検出器６に接続した電流
計２４でプローブ電流量ＩP の値を読み取りながら、対
物絞り５の径φの値はマニュアル操作機構２３を、ま
た、コンデンサレンズ３、４の励磁条件は、励磁回路２
２の例えばつまみをそれぞれ手動で変えて、希望するプ
ローブ電流量ＩP の値を探していた。
【０００５】近年、装置の自動化の進展と共に、ＳＡＭ
やＥＰＭＡでも自動運転による終夜測定が行われるよう
になった。しかし、このような自動運転のシーケンスの
中に手動操作の過程が含まれると、自動化の大きな制約
になる。このため、例えば第１及び第２の集束レンズの
励磁と加速電圧の状態に応じて開き角制御用集束レンズ
の励磁強度を自動的に制御する提案（例えば特開平３ー
１３４９４４号公報参照）されているが、さらに、プロ
ーブ電流量ＩP の目標値を与え、それが実現されるよう
に、装置パラメータを自動制御する機構の実現が望まれ
ている。
やＥＰＭＡでも自動運転による終夜測定が行われるよう
になった。しかし、このような自動運転のシーケンスの
中に手動操作の過程が含まれると、自動化の大きな制約
になる。このため、例えば第１及び第２の集束レンズの
励磁と加速電圧の状態に応じて開き角制御用集束レンズ
の励磁強度を自動的に制御する提案（例えば特開平３ー
１３４９４４号公報参照）されているが、さらに、プロ
ーブ電流量ＩP の目標値を与え、それが実現されるよう
に、装置パラメータを自動制御する機構の実現が望まれ
ている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】これまでにも、プロー
ブ電流量ＩP を目標値（入力値）に自動設定しようとす
る試みは一部に行われていた。例えばコンデンサレンズ
ＣＬの励磁電流のみを制御し、プローブ電流量ＩP の値
を設定している。この場合、プローブ電流量ＩPに対応
するコンデンサレンズＣＬの励磁電流を探す際、図５に
示すようにコンデンサレンズＣＬの励磁電流ＩCL2 を最
大励磁から一定の刻みで探していくため、探す際の刻み
数が多くなり、調整に長時間を要していた。また、調整
時間を短くする目的で、刻みの大きさを大きく取ると、
誤差が大きくなる。したがって、この方法では、調整の
時間が十数秒かかり、しかも、プローブ電流量ＩP の設
定誤差も４０〜５０％にもなっていた。
ブ電流量ＩP を目標値（入力値）に自動設定しようとす
る試みは一部に行われていた。例えばコンデンサレンズ
ＣＬの励磁電流のみを制御し、プローブ電流量ＩP の値
を設定している。この場合、プローブ電流量ＩPに対応
するコンデンサレンズＣＬの励磁電流を探す際、図５に
示すようにコンデンサレンズＣＬの励磁電流ＩCL2 を最
大励磁から一定の刻みで探していくため、探す際の刻み
数が多くなり、調整に長時間を要していた。また、調整
時間を短くする目的で、刻みの大きさを大きく取ると、
誤差が大きくなる。したがって、この方法では、調整の
時間が十数秒かかり、しかも、プローブ電流量ＩP の設
定誤差も４０〜５０％にもなっていた。
【０００７】また、ＳＡＭやＥＰＭＡでは、必要とされ
るプローブ電流量ＩP の範囲が１０-12 〜１０-5Ａと広
く、コンデンサレンズＣＬの励磁電流との関係は、図５
に示すように非線形であって、しかも対物絞り径によっ
て特性が変化する。このような広範囲のプローブ電流量
ＩP の各値で最小ビーム径を得るためには、単にコンデ
ンサレンズＣＬの励磁を制御するだけでなく、対物絞り
径φの値と、さらに、コンデンサレンズＣＬが２段（Ｃ
Ｌ１，ＣＬ２）から構成されている場合には、それらの
連動比（Ｋ＝ＩCL1 ／ＩCL2 ）に対する制御が要求され
る。従って、従来のコンデンサレンズＣＬの励磁条件の
みの制御では、例えプローブ電流量ＩPが目標値に設定
されたとしても、対物絞り径φやコンデンサレンズの連
動比Ｋをプローブ電流量ＩP に対して、最適な値に選べ
ないため、自動分析では、その装置で本来到達可能な最
小ビーム径を得ることはできなかった。
るプローブ電流量ＩP の範囲が１０-12 〜１０-5Ａと広
く、コンデンサレンズＣＬの励磁電流との関係は、図５
に示すように非線形であって、しかも対物絞り径によっ
て特性が変化する。このような広範囲のプローブ電流量
ＩP の各値で最小ビーム径を得るためには、単にコンデ
ンサレンズＣＬの励磁を制御するだけでなく、対物絞り
径φの値と、さらに、コンデンサレンズＣＬが２段（Ｃ
Ｌ１，ＣＬ２）から構成されている場合には、それらの
連動比（Ｋ＝ＩCL1 ／ＩCL2 ）に対する制御が要求され
る。従って、従来のコンデンサレンズＣＬの励磁条件の
みの制御では、例えプローブ電流量ＩPが目標値に設定
されたとしても、対物絞り径φやコンデンサレンズの連
動比Ｋをプローブ電流量ＩP に対して、最適な値に選べ
ないため、自動分析では、その装置で本来到達可能な最
小ビーム径を得ることはできなかった。
【０００８】本発明は、上記の課題を解決するものであ
って、自動的に対物絞りの径φ、コンデンサレンズの連
動比Ｋを最適の値に選び目標とするプローブ電流値に設
定することができる電子線装置のプローブ電流設定方式
を提供することを目的とする。
って、自動的に対物絞りの径φ、コンデンサレンズの連
動比Ｋを最適の値に選び目標とするプローブ電流値に設
定することができる電子線装置のプローブ電流設定方式
を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】そのために本発明の電子
線装置のプローブ電流設定方式は、電子銃と、第１及び
第２の集束レンズと、対物絞りと、プローブ電流検出器
と、対物レンズと、前記電子銃から放出された電子線が
前記各レンズによって集束されて照射される試料とを備
えた電子線装置において、加速電圧に応じた対物絞り径
の切り換えと集束レンズの励磁電流の連動比の切り換え
を行う境界電流値及び各対物絞りでの集束レンズの設定
励磁電流量を求める式とを持ち、目標とするプローブ電
流量の入力に対して、前記境界電流値から対物絞り径と
連動比を設定し、前記式から前記設定励磁電流量を設定
した後、プローブ電流検出器でプローブ電流量を検出
し、目標とするプローブ電流量との差が所定の範囲内の
場合には、第１の刻みで励磁電流量を変化させて調整
し、前記差が所定の範囲以上の場合には、第２の刻みで
励磁電流量を変化させて前記差が反転した後に前記第１
の刻みで励磁電流量を変化させて調整するようにしたこ
とを特徴とするものである。
線装置のプローブ電流設定方式は、電子銃と、第１及び
第２の集束レンズと、対物絞りと、プローブ電流検出器
と、対物レンズと、前記電子銃から放出された電子線が
前記各レンズによって集束されて照射される試料とを備
えた電子線装置において、加速電圧に応じた対物絞り径
の切り換えと集束レンズの励磁電流の連動比の切り換え
を行う境界電流値及び各対物絞りでの集束レンズの設定
励磁電流量を求める式とを持ち、目標とするプローブ電
流量の入力に対して、前記境界電流値から対物絞り径と
連動比を設定し、前記式から前記設定励磁電流量を設定
した後、プローブ電流検出器でプローブ電流量を検出
し、目標とするプローブ電流量との差が所定の範囲内の
場合には、第１の刻みで励磁電流量を変化させて調整
し、前記差が所定の範囲以上の場合には、第２の刻みで
励磁電流量を変化させて前記差が反転した後に前記第１
の刻みで励磁電流量を変化させて調整するようにしたこ
とを特徴とするものである。
【００１０】
【作用】本発明の電子線装置のプローブ電流設定方式で
は、加速電圧に応じた対物絞り径の切り換えと集束レン
ズの励磁電流の連動比の切り換えを行う境界電流値及び
各対物絞りでの集束レンズの設定励磁電流量を求める式
とを持つので、目標とするプローブ電流量の入力に対し
て、前記境界電流値から対物絞り径と連動比を設定し、
前記式から前記設定励磁電流量を設定することができ
る。そして、これらを設定した後、プローブ電流検出器
でプローブ電流量を検出し、目標とするプローブ電流量
との差が所定の範囲内の場合には、第１の刻みで励磁電
流量を変化させて調整し、前記差が所定の範囲以上の場
合には、第２の刻みで励磁電流量を変化させて前記差が
反転した後に前記第１の刻みで励磁電流量を変化させて
調整するので、無駄な調整を少なくし、目標とするプロ
ーブ電流量の設定を迅速に行うことができる。
は、加速電圧に応じた対物絞り径の切り換えと集束レン
ズの励磁電流の連動比の切り換えを行う境界電流値及び
各対物絞りでの集束レンズの設定励磁電流量を求める式
とを持つので、目標とするプローブ電流量の入力に対し
て、前記境界電流値から対物絞り径と連動比を設定し、
前記式から前記設定励磁電流量を設定することができ
る。そして、これらを設定した後、プローブ電流検出器
でプローブ電流量を検出し、目標とするプローブ電流量
との差が所定の範囲内の場合には、第１の刻みで励磁電
流量を変化させて調整し、前記差が所定の範囲以上の場
合には、第２の刻みで励磁電流量を変化させて前記差が
反転した後に前記第１の刻みで励磁電流量を変化させて
調整するので、無駄な調整を少なくし、目標とするプロ
ーブ電流量の設定を迅速に行うことができる。
【００１１】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照しつつ説
明する。図１は本発明の電子線装置のプローブ電流設定
方式の１実施例を示す図、図２は本発明によるプローブ
電流量ＩP の設定方法を説明するための図、図３はプロ
ーブ電流量調整のフローチャートである。図１におい
て、１は電子銃、２はガンアライメントコイル、３と４
は集束レンズ、５は対物絞り、６はプローブ電流検出
器、７は偏向コイル、８はスティグマコイル、９は対物
レンズ、１０は試料、１１は加速電源制御回路、１２は
集束レンズの励磁回路、１３は対物絞り切換駆動回路、
１４はプローブ電流検出回路、１５はＣＰＵ、１６はキ
ーボードを示す。
明する。図１は本発明の電子線装置のプローブ電流設定
方式の１実施例を示す図、図２は本発明によるプローブ
電流量ＩP の設定方法を説明するための図、図３はプロ
ーブ電流量調整のフローチャートである。図１におい
て、１は電子銃、２はガンアライメントコイル、３と４
は集束レンズ、５は対物絞り、６はプローブ電流検出
器、７は偏向コイル、８はスティグマコイル、９は対物
レンズ、１０は試料、１１は加速電源制御回路、１２は
集束レンズの励磁回路、１３は対物絞り切換駆動回路、
１４はプローブ電流検出回路、１５はＣＰＵ、１６はキ
ーボードを示す。
【００１２】図１に示すように電子銃１、ガンアライメ
ントコイル２、集束レンズ３（ＣＬ１）、４（ＣＬ
２）、対物絞り５、偏向コイル７、スティグマコイル
８、対物レンズ９などより構成された電子照射系でプロ
ーブ電流量ＩP に影響するものとして、電子銃１の軸を
調整するガンアライメントコイル２と集束レンズ３、４
による集束条件、及び対物絞り５の径φがある。
ントコイル２、集束レンズ３（ＣＬ１）、４（ＣＬ
２）、対物絞り５、偏向コイル７、スティグマコイル
８、対物レンズ９などより構成された電子照射系でプロ
ーブ電流量ＩP に影響するものとして、電子銃１の軸を
調整するガンアライメントコイル２と集束レンズ３、４
による集束条件、及び対物絞り５の径φがある。
【００１３】本発明では、電子銃１の軸については十分
調整され、また、ガンアライメントについても十分調整
されていることを前提として、プローブ電流量ＩP の設
定を考える。そして、オペレータが希望するプローブ電
流量ＩP の値をキーボード１６より入力すると、ＣＰＵ
１５でプローブ電流検出器６からプローブ電流を検出し
対物絞りの径φ、集束レンズ４の励磁電流量ＩCL2 、集
束レンズ３、４の連動比Ｋを制御して自動調整すること
によって、目標とするプローブ電流量ＩP を得るもので
ある。そのために、ＣＰＵ１５には、装置パラメータを
制御するためのテーブル情報を持ち、プローブ電流量Ｉ
P の設定に必要な電子光学のテーブル情報は、可能な限
り少なくしている。そして、これを活用することによっ
てプローブ電流量ＩP の設定に際し、対物絞り径の自動
選択、集束レンズの連動比の自動選択を行い、与えられ
たプローブ電流量ＩP の値の設定を短時間に、より高精
度で完了することを可能にしている。
調整され、また、ガンアライメントについても十分調整
されていることを前提として、プローブ電流量ＩP の設
定を考える。そして、オペレータが希望するプローブ電
流量ＩP の値をキーボード１６より入力すると、ＣＰＵ
１５でプローブ電流検出器６からプローブ電流を検出し
対物絞りの径φ、集束レンズ４の励磁電流量ＩCL2 、集
束レンズ３、４の連動比Ｋを制御して自動調整すること
によって、目標とするプローブ電流量ＩP を得るもので
ある。そのために、ＣＰＵ１５には、装置パラメータを
制御するためのテーブル情報を持ち、プローブ電流量Ｉ
P の設定に必要な電子光学のテーブル情報は、可能な限
り少なくしている。そして、これを活用することによっ
てプローブ電流量ＩP の設定に際し、対物絞り径の自動
選択、集束レンズの連動比の自動選択を行い、与えられ
たプローブ電流量ＩP の値の設定を短時間に、より高精
度で完了することを可能にしている。
【００１４】以下にＣＰＵ１５におけるプローブ電流量
設定のフローチャートを示した図３に従って動作を説明
する。プローブ電流量設定の手順は、大きく分けて図３
（イ）に示す対物絞り径の設定と連動比の設定を行う第
１ステップと（ロ）に示す集束レンズの励磁条件の微調
整を行う第２ステップの２つのステップからなる。
設定のフローチャートを示した図３に従って動作を説明
する。プローブ電流量設定の手順は、大きく分けて図３
（イ）に示す対物絞り径の設定と連動比の設定を行う第
１ステップと（ロ）に示す集束レンズの励磁条件の微調
整を行う第２ステップの２つのステップからなる。
【００１５】第１ステップでは、図３（イ）に示すよう
に入力されたプローブ電流量ＩP と設定されている加速
電圧Ｖacc の値を基に、ビーム径が最小になるような対
物絞りの径φ、連動比Ｋの値（例えばある電流値以下で
はＫ＝Ｋ1 、以上ではＫ＝Ｋ2 ）を決める。このために
は、それぞれの条件（ＩP 、Ｖacc ）の最適な値を計算
により予め求めておき、これを次のようにテーブルとし
て用意する。
に入力されたプローブ電流量ＩP と設定されている加速
電圧Ｖacc の値を基に、ビーム径が最小になるような対
物絞りの径φ、連動比Ｋの値（例えばある電流値以下で
はＫ＝Ｋ1 、以上ではＫ＝Ｋ2 ）を決める。このために
は、それぞれの条件（ＩP 、Ｖacc ）の最適な値を計算
により予め求めておき、これを次のようにテーブルとし
て用意する。
【００１６】 上記のテーブルにおいて、Ｃijは、φi とφj の対物絞
り径を切り換える境界電流値を示す。ただし、境界電流
値Ｃijは対数表示され、対物絞り径は例えばlog(ＩP ）
＜Ｃijの時φi 、log(ＩP ）＞Ｃijの時φj となる。ま
た、境界電流値Ｃijは、加速電圧により異なる値に設定
され、log(Ｖacc ) をＬＶとすると、Ｃij＝ａij×ＬＶ
＋ｂij（ａij、ｂijは定数）で近似される。集束レンズ
の連動比Ｋ（＝ＩCL1/ＩCL2)の切り換えは、Ｃ23を境に
して行う。これにより、別途のテーブルを持つ必要がな
くなり、テーブルのサイズを小さくすることができる。
り径を切り換える境界電流値を示す。ただし、境界電流
値Ｃijは対数表示され、対物絞り径は例えばlog(ＩP ）
＜Ｃijの時φi 、log(ＩP ）＞Ｃijの時φj となる。ま
た、境界電流値Ｃijは、加速電圧により異なる値に設定
され、log(Ｖacc ) をＬＶとすると、Ｃij＝ａij×ＬＶ
＋ｂij（ａij、ｂijは定数）で近似される。集束レンズ
の連動比Ｋ（＝ＩCL1/ＩCL2)の切り換えは、Ｃ23を境に
して行う。これにより、別途のテーブルを持つ必要がな
くなり、テーブルのサイズを小さくすることができる。
【００１７】 上記テーブル２は、加速電圧Ｖacc と選択されている対
物絞り径φi とから、集束レンズの励磁電流量を決める
式を選ぶものである。このテーブル２に示すように励磁
電流量ＩCL2 は、LIp （＝log(Ｉp)) の一時関数 ＩCL2 ≒ｆij×LIp ＋ｇij （ｆij、ｇijは定数） で近似できる。
物絞り径φi とから、集束レンズの励磁電流量を決める
式を選ぶものである。このテーブル２に示すように励磁
電流量ＩCL2 は、LIp （＝log(Ｉp)) の一時関数 ＩCL2 ≒ｆij×LIp ＋ｇij （ｆij、ｇijは定数） で近似できる。
【００１８】上記テーブルを活用することにより、オペ
レータが、希望するプローブ電流量ＩP の値を入力する
と、設定されている加速電圧Ｖacc から、対物絞りの径
φと連動比Ｋの最適値を選択することができる。なお、
対物絞りの径φの設定は、モータにより自動的に行う。
以下に対物絞り径の設定と連動比の設定の具体的手順を
図３（イ）にしたがって説明する。
レータが、希望するプローブ電流量ＩP の値を入力する
と、設定されている加速電圧Ｖacc から、対物絞りの径
φと連動比Ｋの最適値を選択することができる。なお、
対物絞りの径φの設定は、モータにより自動的に行う。
以下に対物絞り径の設定と連動比の設定の具体的手順を
図３（イ）にしたがって説明する。
【００１９】まず最初に、オペレータが希望するプロー
ブ電流量ＩP の値を入力する（ステップＳ１）。
ブ電流量ＩP の値を入力する（ステップＳ１）。
【００２０】続いて、本体のパラメータより、加速電圧
Ｖacc の値を読み込む（ステップＳ２）。
Ｖacc の値を読み込む（ステップＳ２）。
【００２１】そして、加速電圧Ｖacc の値をもとに、対
物絞りの径φと連動比Ｋを決定する。
物絞りの径φと連動比Ｋを決定する。
【００２２】ここでは、４種類の対物絞り径を持ってい
るものとすると、対物絞りの径φの設定方法は、現在設
定されている加速電圧Ｖacc の属する加速電圧Ｖacc の
範囲を見つける。この範囲に適用される境界電流値Ｃij
の計算式にlog(Ｖacc ）を代入し、境界電流値Ｃijの値
を計算する。
るものとすると、対物絞りの径φの設定方法は、現在設
定されている加速電圧Ｖacc の属する加速電圧Ｖacc の
範囲を見つける。この範囲に適用される境界電流値Ｃij
の計算式にlog(Ｖacc ）を代入し、境界電流値Ｃijの値
を計算する。
【００２３】そして、境界電流値Ｃijの値をもとに、以
下の条件により対物絞り径φi の値を設定する。
下の条件により対物絞り径φi の値を設定する。
【００２４】ＩP ＜Ｃ12のときφ1 Ｃ12≦ＩP ＜Ｃ23のときφ2 Ｃ23≦ＩP ＜Ｃ34のときφ3 Ｃ34≦ＩP のときφ4 ここで、テーブル１の計算式中のａij、ｂijは、加速電
圧Ｖacc の範囲によって異なる定数である。これらは、
計算によって求めた結果、もしくは、実験値によるデー
タをもとに決めることができる。実施例では、この計算
式を１次関数で示したが、高次の関数、指数関数で近似
することによって、近似の精度を向上させることができ
る。
圧Ｖacc の範囲によって異なる定数である。これらは、
計算によって求めた結果、もしくは、実験値によるデー
タをもとに決めることができる。実施例では、この計算
式を１次関数で示したが、高次の関数、指数関数で近似
することによって、近似の精度を向上させることができ
る。
【００２５】このテーブルを用いることで、ビーム径を
最小にする対物絞りの径φi の値は、希望するプローブ
電流量ＩP を決めれば、いかなる加速電圧Ｖacc におい
ても決めることができる。
最小にする対物絞りの径φi の値は、希望するプローブ
電流量ＩP を決めれば、いかなる加速電圧Ｖacc におい
ても決めることができる。
【００２６】またテーブル１により対物絞りの径φがφ
2 からφ3 に切り替わる時、同時に連動比Ｋの値も切り
換える（log(ＩP ）≦Ｃ23ではＫ＝Ｋ1 、Ｃ23＜log(Ｉ
P ）では、Ｋ＝Ｋ2 ）ようにする。この工夫により、テ
ーブル１に持たせる関数の数を最小にできる。
2 からφ3 に切り替わる時、同時に連動比Ｋの値も切り
換える（log(ＩP ）≦Ｃ23ではＫ＝Ｋ1 、Ｃ23＜log(Ｉ
P ）では、Ｋ＝Ｋ2 ）ようにする。この工夫により、テ
ーブル１に持たせる関数の数を最小にできる。
【００２７】そして、加速電圧Ｖacc と対物絞りの径φ
i をもとに励磁電流量ＩCL2 の初期値を決定する。ここ
では、加速電圧Ｖacc と対物絞りの径φi によりテーブ
ル２から、プローブ電流量ＩP を代入し励磁電流量Ｉ
CL2 を求める。また、ＩCL1 の値は、連動比Ｋにより抵
抗分割で決める。励磁電流量ＩCL2 は、log(Ｖacc ）の
一次関数で決まるとしたが、高次の関数、指数関数で近
似するとさらに精度を向上させることができる。
i をもとに励磁電流量ＩCL2 の初期値を決定する。ここ
では、加速電圧Ｖacc と対物絞りの径φi によりテーブ
ル２から、プローブ電流量ＩP を代入し励磁電流量Ｉ
CL2 を求める。また、ＩCL1 の値は、連動比Ｋにより抵
抗分割で決める。励磁電流量ＩCL2 は、log(Ｖacc ）の
一次関数で決まるとしたが、高次の関数、指数関数で近
似するとさらに精度を向上させることができる。
【００２８】テーブル２では、いくつかの加速電圧Ｖ
acc の代表値のみを持たせた。設定してある加速電圧Ｖ
acc がこのテーブルにあるＶacc の代表値以外（中間の
値）の場合は、両端の加速電圧Ｖacc によりそれぞれ励
磁電流量ＩCL2 を計算し、その値に加速電圧を加え、平
均を取る。
acc の代表値のみを持たせた。設定してある加速電圧Ｖ
acc がこのテーブルにあるＶacc の代表値以外（中間の
値）の場合は、両端の加速電圧Ｖacc によりそれぞれ励
磁電流量ＩCL2 を計算し、その値に加速電圧を加え、平
均を取る。
【００２９】例えば、加速電圧Ｖacc ＝８ｋＶの場合、
５ｋＶと１０ｋＶの計算結果から ＩCL2(８ｋＶ)1＝ＩCL2(５ｋＶ) ×（８／５)0.5 ＩCL2(８ｋＶ)2＝ＩCL2(１０ｋＶ) ×（８／１０)0.5 ＩCL2(８ｋＶ) ＝ (ＩCL2(８ｋＶ)1＋ＩCL2(８ｋＶ)2)
／２ この方法によってテーブルの数を大幅に減らすことがで
きる。なお、この両端からの内挿式に関しては、変形す
る余地があることはいうまでもない。
５ｋＶと１０ｋＶの計算結果から ＩCL2(８ｋＶ)1＝ＩCL2(５ｋＶ) ×（８／５)0.5 ＩCL2(８ｋＶ)2＝ＩCL2(１０ｋＶ) ×（８／１０)0.5 ＩCL2(８ｋＶ) ＝ (ＩCL2(８ｋＶ)1＋ＩCL2(８ｋＶ)2)
／２ この方法によってテーブルの数を大幅に減らすことがで
きる。なお、この両端からの内挿式に関しては、変形す
る余地があることはいうまでもない。
【００３０】以上第１ステップの操作により連動比Ｋ、
対物絞り径φ、集束レンズの励磁電流量ＩCL2 の値を求
めると、以下の第２ステップにより集束レンズの励磁条
件の微調整を行う。
対物絞り径φ、集束レンズの励磁電流量ＩCL2 の値を求
めると、以下の第２ステップにより集束レンズの励磁条
件の微調整を行う。
【００３１】集束レンズの励磁条件の微調整を行う第２
ステップでは、連動比Ｋ、対物絞り径φ、集束レンズの
励磁電流量ＩCL2 の値をそれぞれ設定し、プローブ電流
検出器（ＰＣＤ）により実際に流れているプローブ電流
を測定する。この時、実測したプローブ電流量をＩP ’
とすると、実測プローブ電流量ＩP ’を目標プローブ電
流量ＩP と一致させるための調整は、図３（ロ）に示す
ように以下のアルゴリズムを用いて行う。
ステップでは、連動比Ｋ、対物絞り径φ、集束レンズの
励磁電流量ＩCL2 の値をそれぞれ設定し、プローブ電流
検出器（ＰＣＤ）により実際に流れているプローブ電流
を測定する。この時、実測したプローブ電流量をＩP ’
とすると、実測プローブ電流量ＩP ’を目標プローブ電
流量ＩP と一致させるための調整は、図３（ロ）に示す
ように以下のアルゴリズムを用いて行う。
【００３２】まず、実測プローブ電流量ＩP ’を目標プ
ローブ電流量ＩP と比較して相対誤差を求める。そし
て、実測プローブ電流量ＩP ’が目標プローブ電流量Ｉ
P より小さく、かつ相対誤差が、例えば１０％以上の場
合にはステップＳ１１へ、１０％以下の場合にはステッ
プＳ２１へ進む。ここで、テーブルの精度が高い場合
は、基準にする相対誤差の値を小さくすることにより、
さらに高速度で、高精度な調整が可能となる。
ローブ電流量ＩP と比較して相対誤差を求める。そし
て、実測プローブ電流量ＩP ’が目標プローブ電流量Ｉ
P より小さく、かつ相対誤差が、例えば１０％以上の場
合にはステップＳ１１へ、１０％以下の場合にはステッ
プＳ２１へ進む。ここで、テーブルの精度が高い場合
は、基準にする相対誤差の値を小さくすることにより、
さらに高速度で、高精度な調整が可能となる。
【００３３】ステップＳ１１以降の処理では、実測プロ
ーブ電流量ＩP ’が目標プローブ電流量ＩP より小さい
場合であれば、励磁電流量ＩCL2 の値を減らすと実測プ
ローブ電流量ＩP ’の値は増えるので、実測プローブ電
流量ＩP ’が目標プローブ電流量ＩP より小さい場合に
は、実測プローブ電流量ＩP ’の値が目標プローブ電流
量ＩP より大きくなるまで、励磁電流量ＩCL2 の値から
△ＩCL2 を引いていく。
ーブ電流量ＩP ’が目標プローブ電流量ＩP より小さい
場合であれば、励磁電流量ＩCL2 の値を減らすと実測プ
ローブ電流量ＩP ’の値は増えるので、実測プローブ電
流量ＩP ’が目標プローブ電流量ＩP より小さい場合に
は、実測プローブ電流量ＩP ’の値が目標プローブ電流
量ＩP より大きくなるまで、励磁電流量ＩCL2 の値から
△ＩCL2 を引いていく。
【００３４】そして、実測プローブ電流量ＩP ’が目標
プローブ電流量ＩP の値よりも大きくなったところで、
励磁電流量ＩCL2 の値に△△ＩCL2 を加えていき、実測
プローブ電流量ＩP ’の値が再び目標プローブ電流量Ｉ
P より小さくなったところで終了する。ただし、刻み量
は△ＩCL2 ＞＞△△ＩCL2 とする。
プローブ電流量ＩP の値よりも大きくなったところで、
励磁電流量ＩCL2 の値に△△ＩCL2 を加えていき、実測
プローブ電流量ＩP ’の値が再び目標プローブ電流量Ｉ
P より小さくなったところで終了する。ただし、刻み量
は△ＩCL2 ＞＞△△ＩCL2 とする。
【００３５】ステップＳ２１以降の処理では、励磁電流
量ＩCL2 の値から△△ＩCL2 を引いていき、実測プロー
ブ電流量ＩP ’が目標プローブ電流量ＩP の値より小さ
くなったところで終了する。
量ＩCL2 の値から△△ＩCL2 を引いていき、実測プロー
ブ電流量ＩP ’が目標プローブ電流量ＩP の値より小さ
くなったところで終了する。
【００３６】また、実測プローブ電流量ＩP ’が目標プ
ローブ電流量ＩP と比較して、大きくかつ、相対誤差が
１０％以上の場合にはステップＳ３１へ、１０％以下の
場合にはステップＳ４１へ進む。
ローブ電流量ＩP と比較して、大きくかつ、相対誤差が
１０％以上の場合にはステップＳ３１へ、１０％以下の
場合にはステップＳ４１へ進む。
【００３７】ステップＳ３１以降の処理では、実測プロ
ーブ電流量ＩP ’の値が目標プローブ電流量ＩP の値よ
りも小さくなるまで、励磁電流量ＩCL2 の値に一定の刻
み△ＩCL2 を加えていく。
ーブ電流量ＩP ’の値が目標プローブ電流量ＩP の値よ
りも小さくなるまで、励磁電流量ＩCL2 の値に一定の刻
み△ＩCL2 を加えていく。
【００３８】そして、実測プローブ電流量ＩP ’が目標
プローブ電流量ＩP の値より小さくなったところで、励
磁電流量ＩCL2 の値から△△ＩCL2 を引いていき、実測
プローブ電流量ＩP ’が再び目標プローブ電流量ＩP よ
り大きくなったところで終了する。
プローブ電流量ＩP の値より小さくなったところで、励
磁電流量ＩCL2 の値から△△ＩCL2 を引いていき、実測
プローブ電流量ＩP ’が再び目標プローブ電流量ＩP よ
り大きくなったところで終了する。
【００３９】ステップＳ４１以降の処理では、励磁電流
量ＩCL2 の値に△△ＩCL2 を加えていき、実測プローブ
電流量ＩP ’が目標プローブ電流量ＩP の値より小さく
なったところで終了する。
量ＩCL2 の値に△△ＩCL2 を加えていき、実測プローブ
電流量ＩP ’が目標プローブ電流量ＩP の値より小さく
なったところで終了する。
【００４０】以上の処理によりプローブ電流量ＩP は、
希望した値から±△△ＩCL2 の変化する範囲内の誤差に
迅速に設定することができる。
希望した値から±△△ＩCL2 の変化する範囲内の誤差に
迅速に設定することができる。
【００４１】なお、本発明は、上記の実施例に限定され
るものではなく、種々の変形が可能である。例えば上記
の実施例では、対物絞りの径φがφ2 からφ3 に切り替
わる時、同時に連動比Ｋの値も切り換えるようにした
が、他の対物絞り径の切り換え時にも切り換えるように
してもよい。また、実測プローブ電流量ＩP ’は、常に
プローブ電流検出器ＰＣＤにより測定でき、プローブ電
流量ＩP の刻み幅の取り方については、一定でなく変化
させてもよいことはいうまでもない。例えば、始めの実
測プローブ電流量ＩP ’と目標プローブ電流量ＩP との
差の大きさによって、刻み幅を可変にする等、短時間
で、目標値にたどり着く工夫をいろいろ採用してもよ
い。
るものではなく、種々の変形が可能である。例えば上記
の実施例では、対物絞りの径φがφ2 からφ3 に切り替
わる時、同時に連動比Ｋの値も切り換えるようにした
が、他の対物絞り径の切り換え時にも切り換えるように
してもよい。また、実測プローブ電流量ＩP ’は、常に
プローブ電流検出器ＰＣＤにより測定でき、プローブ電
流量ＩP の刻み幅の取り方については、一定でなく変化
させてもよいことはいうまでもない。例えば、始めの実
測プローブ電流量ＩP ’と目標プローブ電流量ＩP との
差の大きさによって、刻み幅を可変にする等、短時間
で、目標値にたどり着く工夫をいろいろ採用してもよ
い。
【００４２】いずれにしても、以上に述べた本発明の電
子線装置のプローブ電流設定方式によれば、図５に示し
た従来法（初期値（最大電流量）から目標値まで）のよ
うに、範囲や刻みを大きくすることがないので、プロー
ブ電流量ＩP を短時間で高精度に設定し完了させること
ができる。
子線装置のプローブ電流設定方式によれば、図５に示し
た従来法（初期値（最大電流量）から目標値まで）のよ
うに、範囲や刻みを大きくすることがないので、プロー
ブ電流量ＩP を短時間で高精度に設定し完了させること
ができる。
【００４３】
【発明の効果】以上に説明したように、本発明によれ
ば、 コンピュータの指令で駆動するプローブ電流検出器
（ＰＣＤ）によりプローブ電流量を測定し、これと設定
目標値とを比較してその差がなくなるまで集束レンズ励
磁を自動調整する機構を導入し、 対物絞りに駆動機構を備え、コンピュータによる対
物絞り径の選択を行えるようにし、 ２段の集束レンズの連動比をコンピュータ制御する
機構を導入したので、プローブ電流の自動設定シーケン
スの中に、対物絞り径の選択と、集束レンズの連動比の
選択が組み込めるようになった。このため、そのレンズ
系で達成可能な最小ビーム径を得られる条件下で、所望
のプローブ電流が自動的に設定可能となった。
ば、 コンピュータの指令で駆動するプローブ電流検出器
（ＰＣＤ）によりプローブ電流量を測定し、これと設定
目標値とを比較してその差がなくなるまで集束レンズ励
磁を自動調整する機構を導入し、 対物絞りに駆動機構を備え、コンピュータによる対
物絞り径の選択を行えるようにし、 ２段の集束レンズの連動比をコンピュータ制御する
機構を導入したので、プローブ電流の自動設定シーケン
スの中に、対物絞り径の選択と、集束レンズの連動比の
選択が組み込めるようになった。このため、そのレンズ
系で達成可能な最小ビーム径を得られる条件下で、所望
のプローブ電流が自動的に設定可能となった。
【００４４】また、上記、項の制御を行うため、条
件テーブルが必要となるが、条件テーブルからは、対物
絞り径の切り換え電流値、または、連動比の切り換え電
流値を知ることができ、これらの切り換え電流値は、加
速電圧に依存するため、各加速電圧毎にこの情報が必要
となる。そこで、本発明では、加速電圧をいくつかの区
間に分け、一つの区間内の切り換え電流値は、加速電圧
の簡単な式に従って決まるよう装備したので、テーブル
に持たせるデータ量の縮小が可能となった。
件テーブルが必要となるが、条件テーブルからは、対物
絞り径の切り換え電流値、または、連動比の切り換え電
流値を知ることができ、これらの切り換え電流値は、加
速電圧に依存するため、各加速電圧毎にこの情報が必要
となる。そこで、本発明では、加速電圧をいくつかの区
間に分け、一つの区間内の切り換え電流値は、加速電圧
の簡単な式に従って決まるよう装備したので、テーブル
に持たせるデータ量の縮小が可能となった。
【００４５】さらに、上記項の制御を効率よく行うた
め、条件テーブルを整備した。この条件テーブルを用い
て、与えられた加速電圧、集束レンズ連動比、対物絞り
径に対応した、プローブ電流量ＩP から励磁電流量Ｉ
CL2 を求める式を選択し、これから算出される励磁電流
量ＩCL2 の値を初期値として、励磁電流量ＩCL2 の最適
化を導入した。この方式により、短時間に高精度のプロ
ーブ電流量ＩP 自動設定が可能となった。
め、条件テーブルを整備した。この条件テーブルを用い
て、与えられた加速電圧、集束レンズ連動比、対物絞り
径に対応した、プローブ電流量ＩP から励磁電流量Ｉ
CL2 を求める式を選択し、これから算出される励磁電流
量ＩCL2 の値を初期値として、励磁電流量ＩCL2 の最適
化を導入した。この方式により、短時間に高精度のプロ
ーブ電流量ＩP 自動設定が可能となった。
【００４６】このテーブルの内容についても励磁電流量
ＩCL2 は、加速電圧に依存するため、各加速電圧毎にこ
の情報が必要となるため、本発明では、いくつかの代表
的な加速電圧値についてのみ式を持ち、中間の加速電圧
については、両端の加速電圧についての式から計算され
るそれぞれの値に重みをつけ、平均を取るようにしたの
で、テーブルに持たせるデータ量の縮小が可能となっ
た。
ＩCL2 は、加速電圧に依存するため、各加速電圧毎にこ
の情報が必要となるため、本発明では、いくつかの代表
的な加速電圧値についてのみ式を持ち、中間の加速電圧
については、両端の加速電圧についての式から計算され
るそれぞれの値に重みをつけ、平均を取るようにしたの
で、テーブルに持たせるデータ量の縮小が可能となっ
た。
【図１】 本発明の電子線装置のプローブ電流設定方式
の１実施例を示す図である。
の１実施例を示す図である。
【図２】 本発明によるプローブ電流量ＩP の設定方法
を説明するための図である。
を説明するための図である。
【図３】 プローブ電流量調整のフローチャートであ
る。
る。
【図４】 電子線装置の構成概要を示す図である。
【図５】 従来の電子線装置のプローブ電流設定方法を
説明するための図である。
説明するための図である。
１…電子銃、２…ガンアライメントコイル、３と４…集
束レンズ、５…対物絞り、６…プローブ電流検出器、７
…偏向コイル、８…スティグマコイル、９…対物レン
ズ、１０…試料、１１…加速電源制御回路、１２…集束
レンズの励磁回路、１３…対物絞り切換駆動回路、１４
…プローブ電流検出回路、１５…ＣＰＵ、１６…キーボ
ード
束レンズ、５…対物絞り、６…プローブ電流検出器、７
…偏向コイル、８…スティグマコイル、９…対物レン
ズ、１０…試料、１１…加速電源制御回路、１２…集束
レンズの励磁回路、１３…対物絞り切換駆動回路、１４
…プローブ電流検出回路、１５…ＣＰＵ、１６…キーボ
ード
【手続補正書】
【提出日】平成５年９月１日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図面の簡単な説明
【補正方法】変更
【補正内容】
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の電子線装置のプローブ電流設定方式
の１実施例を示す図である。
の１実施例を示す図である。
【図２】 本発明によるプローブ電流量ＩP の設定方法
を説明するための図である。
を説明するための図である。
【図３イ】 プローブ電流量調整のフローチャートであ
る。
る。
【図３ロ】 プローブ電流量調整のフローチャートであ
る。
る。
【図４】 電子線装置の構成概要を示す図である。
【図５】 従来の電子線装置のプローブ電流設定方法を
説明するための図である。
説明するための図である。
【符号の説明】 １…電子銃、２…ガンアライメントコイル、３と４…集
束レンズ、５…対物絞り、６…プローブ電流検出器、７
…偏向コイル、８…スティグマコイル、９…対物レン
ズ、１０…試料、１１…加速電源制御回路、１２…集束
レンズの励磁回路、１３…対物絞り切換駆動回路、１４
…プローブ電流検出回路、１５…ＣＰＵ、１６…キーボ
ード
束レンズ、５…対物絞り、６…プローブ電流検出器、７
…偏向コイル、８…スティグマコイル、９…対物レン
ズ、１０…試料、１１…加速電源制御回路、１２…集束
レンズの励磁回路、１３…対物絞り切換駆動回路、１４
…プローブ電流検出回路、１５…ＣＰＵ、１６…キーボ
ード
【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】全図
【補正方法】変更
【補正内容】
【図１】
【図２】
【図３イ】
【図３ロ】
【図５】
【図４】
Claims (1)
- 【請求項１】 電子銃と、第１及び第２の集束レンズ
と、対物絞りと、プローブ電流検出器と、対物レンズ
と、前記電子銃から放出された電子線が前記各レンズに
よって集束されて照射される試料とを備えた電子線装置
において、加速電圧とプローブ電流に応じた対物絞り径
の切り換えと集束レンズの励磁電流の連動比の切り換え
を行う境界電流値及び各対物絞りでの集束レンズの設定
励磁電流量を求める式とを持ち、目標とするプローブ電
流量の入力に対して、前記境界電流値から対物絞り径と
連動比を設定し、前記式から前記設定励磁電流量を設定
した後、プローブ電流検出器でプローブ電流量を検出
し、目標とするプローブ電流量との差が所定の範囲内の
場合には、第１の刻みで励磁電流量を変化させて調整
し、前記差が所定の範囲以上の場合には、第２の刻みで
励磁電流量を変化させて前記差が反転した後に前記第１
の刻みで励磁電流量を変化させて調整するようにしたこ
とを特徴とする電子線装置のプローブ電流設定方式。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24088191A JPH06236743A (ja) | 1991-09-20 | 1991-09-20 | 電子線装置のプローブ電流設定方式 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24088191A JPH06236743A (ja) | 1991-09-20 | 1991-09-20 | 電子線装置のプローブ電流設定方式 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06236743A true JPH06236743A (ja) | 1994-08-23 |
Family
ID=17066091
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24088191A Withdrawn JPH06236743A (ja) | 1991-09-20 | 1991-09-20 | 電子線装置のプローブ電流設定方式 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06236743A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07220668A (ja) * | 1994-02-04 | 1995-08-18 | Seiko Instr Inc | 走査型電子顕微鏡 |
| JPH07230786A (ja) * | 1994-02-17 | 1995-08-29 | Shimadzu Corp | 元素分析装置 |
| JPH08138600A (ja) * | 1994-11-04 | 1996-05-31 | Shimadzu Corp | 荷電粒子光学系 |
| JPH10106474A (ja) * | 1996-09-30 | 1998-04-24 | Seiko Instr Inc | イオンビームによる加工装置 |
| JPH1196951A (ja) * | 1997-09-25 | 1999-04-09 | Hitachi Ltd | 倍率制御型荷電粒子ビーム照射装置 |
| JP2005276639A (ja) * | 2004-03-25 | 2005-10-06 | Jeol Ltd | 走査型電子ビーム装置における対物レンズ絞りの位置調整方法 |
| CN106793444A (zh) * | 2016-12-09 | 2017-05-31 | 四川智研科技有限公司 | 一种电子束控制方法 |
| JP2018147653A (ja) * | 2017-03-03 | 2018-09-20 | 日本電子株式会社 | 荷電粒子線装置 |
| JPWO2021001916A1 (ja) * | 2019-07-02 | 2021-01-07 |
-
1991
- 1991-09-20 JP JP24088191A patent/JPH06236743A/ja not_active Withdrawn
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07220668A (ja) * | 1994-02-04 | 1995-08-18 | Seiko Instr Inc | 走査型電子顕微鏡 |
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| CN106793444A (zh) * | 2016-12-09 | 2017-05-31 | 四川智研科技有限公司 | 一种电子束控制方法 |
| CN106793444B (zh) * | 2016-12-09 | 2023-09-19 | 四川智研科技有限公司 | 一种电子束控制方法 |
| JP2018147653A (ja) * | 2017-03-03 | 2018-09-20 | 日本電子株式会社 | 荷電粒子線装置 |
| JPWO2021001916A1 (ja) * | 2019-07-02 | 2021-01-07 | ||
| WO2021001916A1 (ja) * | 2019-07-02 | 2021-01-07 | 株式会社日立ハイテク | 荷電粒子ビームシステム |
| US11961704B2 (en) | 2019-07-02 | 2024-04-16 | Hitachi High-Tech Corporation | Charged particle beam system |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19981203 |