JPS59125056A - マスフラグメントグラフイ用質量分析計 - Google Patents
マスフラグメントグラフイ用質量分析計Info
- Publication number
- JPS59125056A JPS59125056A JP57228245A JP22824582A JPS59125056A JP S59125056 A JPS59125056 A JP S59125056A JP 57228245 A JP57228245 A JP 57228245A JP 22824582 A JP22824582 A JP 22824582A JP S59125056 A JPS59125056 A JP S59125056A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mass
- ion
- detected
- accelerating voltage
- detection signal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/02—Details
- H01J49/022—Circuit arrangements, e.g. for generating deviation currents or voltages ; Components associated with high voltage supply
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はマスフラグメントグラフィを行うに適した質量
分析装置に関する。マスフラグメントグラフィでは、質
量走査を連続的に行わず、複数の質量数を指定して、各
指定質量数のイオンが順次検出スリット位置に収束する
ように段階的な質量走査を行っている。この場合磁場型
質量分析装置では高速走査が容易である所から磁場を一
定にしてイオン加速電圧を切換える方式が採用されてい
る。このようなマスフラグメントグラフィ用装置では選
択した各質量のイオンのピークが検出スリットの中心に
来るようにする中心合せの作業が必要である。本発明は
マスフラグメントグラフィ用装置におけるイオンピーク
の中心合ぜに関するものである。
分析装置に関する。マスフラグメントグラフィでは、質
量走査を連続的に行わず、複数の質量数を指定して、各
指定質量数のイオンが順次検出スリット位置に収束する
ように段階的な質量走査を行っている。この場合磁場型
質量分析装置では高速走査が容易である所から磁場を一
定にしてイオン加速電圧を切換える方式が採用されてい
る。このようなマスフラグメントグラフィ用装置では選
択した各質量のイオンのピークが検出スリットの中心に
来るようにする中心合せの作業が必要である。本発明は
マスフラグメントグラフィ用装置におけるイオンピーク
の中心合ぜに関するものである。
磁場型質量分析装置では検出スリット（質量分析装置の
イオン出射スリット）に収束するイオンの質量数Ｍは で与えられる。マスフラグメントグラフィを行う場合、
基準イオン加速電圧■０において適宜の基準質量Ｍｏの
イオンが検出スリットに収束するよこうすると（２）式
によって任意のＪ−ｉＭｎのイオンに対する加速電圧Ｖ
ｍは Ｍｍ＝□・・・（３） ｎ の関係で与えられる。具体的にはまず、質量ＭＯのイオ
ンのピークが検出スリットの中心に来るように磁場Ｂｏ
を設定し、次にイオン加速電圧を（３）式によって目算
されるイオン加速電圧Ｖｎに設定し、試オ・）を導゛人
して質量Ｍｎのイオンのピークが検出スリットの中心に
来るようにイオン加速電圧を微ｉｉ１．！Ｉ整する。こ
の場合、イオン加速電圧をＶ ｎを中心に成る範囲で走
査してイオン検出出力のピークを検索するのであるが、
従来はこの走査幅が質量で表わして検出しようとしてい
るイオンの質量−ＭＯに関係なく一定であった。
イオン出射スリット）に収束するイオンの質量数Ｍは で与えられる。マスフラグメントグラフィを行う場合、
基準イオン加速電圧■０において適宜の基準質量Ｍｏの
イオンが検出スリットに収束するよこうすると（２）式
によって任意のＪ−ｉＭｎのイオンに対する加速電圧Ｖ
ｍは Ｍｍ＝□・・・（３） ｎ の関係で与えられる。具体的にはまず、質量ＭＯのイオ
ンのピークが検出スリットの中心に来るように磁場Ｂｏ
を設定し、次にイオン加速電圧を（３）式によって目算
されるイオン加速電圧Ｖｎに設定し、試オ・）を導゛人
して質量Ｍｎのイオンのピークが検出スリットの中心に
来るようにイオン加速電圧を微ｉｉ１．！Ｉ整する。こ
の場合、イオン加速電圧をＶ ｎを中心に成る範囲で走
査してイオン検出出力のピークを検索するのであるが、
従来はこの走査幅が質量で表わして検出しようとしてい
るイオンの質量−ＭＯに関係なく一定であった。
しかし上述したようにイオンピークの中心合ぜのだめの
質量走査幅を質量に関係なく一定にしておくことは次の
ような欠点を有する。磁場型質量分析装置では質量数に
よってピーク幅が異り高質：ｉ：、側でピーク幅が広く
なっている。また加速電圧の変化に対する質量数変化の
割合も質量数が大なる程大きくなる八これらの関係を第
１図に示す。
質量走査幅を質量に関係なく一定にしておくことは次の
ような欠点を有する。磁場型質量分析装置では質量数に
よってピーク幅が異り高質：ｉ：、側でピーク幅が広く
なっている。また加速電圧の変化に対する質量数変化の
割合も質量数が大なる程大きくなる八これらの関係を第
１図に示す。
第］−図は前記（３）式をグラフで表わしたもので、縦
軸に７１−７って横向きに画いたピークは質ｊｉＨＭ１
とＭ１＋１のピーク及びＭ ２とＭ２＋］のピークを示
し、隣接しているピーク間の質量数の差は］である。従
来はこの図のような関係において質量走査幅ΔＭが一定
であるように加速電圧の走査範囲を定めていた。これは
加速電圧の走五幅Δ■を加速電圧Ｖに比例させておくこ
とに相当する。しかし第１図から判るように質量数の太
い方が加速電圧の設定誤差の影響が大きいから走査幅が
せ壕いとピークが走査幅から外れていてピーク検出がで
きないおそれがあって、走査幅をあまりせまくできない
。しかし走査幅は妨害ピークによる誤設定を避けるだめ
なるべくせまく定める方が望ましい。
軸に７１−７って横向きに画いたピークは質ｊｉＨＭ１
とＭ１＋１のピーク及びＭ ２とＭ２＋］のピークを示
し、隣接しているピーク間の質量数の差は］である。従
来はこの図のような関係において質量走査幅ΔＭが一定
であるように加速電圧の走査範囲を定めていた。これは
加速電圧の走五幅Δ■を加速電圧Ｖに比例させておくこ
とに相当する。しかし第１図から判るように質量数の太
い方が加速電圧の設定誤差の影響が大きいから走査幅が
せ壕いとピークが走査幅から外れていてピーク検出がで
きないおそれがあって、走査幅をあまりせまくできない
。しかし走査幅は妨害ピークによる誤設定を避けるだめ
なるべくせまく定める方が望ましい。
従って走査幅ΔＭを一定にしておくと、ΔＭを高質量側
に合せて決めると低質量側では不必要に広く、低質量側
に合せて決めると高質−計測ではぜ寸過ぎて具合が悪い
。
に合せて決めると低質量側では不必要に広く、低質量側
に合せて決めると高質−計測ではぜ寸過ぎて具合が悪い
。
上述したような観点から本発明はピークの中１１：、）
合せの際の質量走査幅ΔＭを賀歌に応じて一１ｉＪ変と
するものである。
合せの際の質量走査幅ΔＭを賀歌に応じて一１ｉＪ変と
するものである。
このようにすると走査幅が相対的に広すきて妨害ピーク
の影響による誤設定が生じたり、反対にせ１ずきるだめ
にピークが走査幅から外れていることによる；誤設定が
なくなシ、常に確実にピークの中心合せが可能となる。
の影響による誤設定が生じたり、反対にせ１ずきるだめ
にピークが走査幅から外れていることによる；誤設定が
なくなシ、常に確実にピークの中心合せが可能となる。
第２図は本発明の一実施例を示す。１け質量分析用マグ
ネット、２はイオン源、３Ｖｉ検出スリツトで４がイオ
ン検出器である。５は制御用マイクロコンピュータ（Ｃ
ＰＵ）、６ｕイオン加速電圧電源、７はマグネット励磁
電流電源である。イオン検出器４の出力けＡ ／ Ｄコ
ンバータを介してＣＰＵに送られる。なおＧＣはガスク
ロマトグラフで、分子セパレーク等のインターフェース
−１Ｆを介してイオン源２に接続されている。マスフラ
グメントグラフィを行う場合の各質量に対するピークの
中心合せの動作は次のように行われる。イオン加速電圧
がＶＯに設定され、質量ＭＯのイオンが検出器４によっ
て検出されるようにマグネット］の磁場が計算値ＢＯに
設定され、次に標準試料がイオン源２に導入され、質量
Ｍｏのイオンが検出？：÷４によって検出され、検出信
号がＣＰ ’Ｕ ！５に送られる。マグネット１の励磁
がＢＯを中心に小範囲でスイープされ、ＣＰＵ５はその
ときのイオン検出信号の変化を検出してイオン検出信号
が最大になる所でマグネット励磁のスイープを停止させ
、そのときの励磁を保持する。次にイオン源に測定試料
が導入されイオン加速電圧が検出し」：つとする質量Ｍ
１のイオンに対する計算上の値Ｖｌに設定される。この
ときイオン検出器４からは質ｍＭ１のイオンの検出信号
が得られる。こメでイオン加速電圧がｖｌを中心に一定
幅ΔＶの範囲でスイープされ、そのときのイオン検出信
号の最大となる点がＣＰＵ５によって検出され、そのと
きのイオン加速電圧が固定される。以下検出しようとす
る質量Ｍ２．Ｍ３・・・のイオンについても−にと同様
の動作が繰返される。この場合イオン加速電圧の走査幅
ΔＶが質量数に関係なく一定であシ、このため質量数の
走査幅ΔＭと１〜では質量が大なる程ΔＭが犬となる。
ネット、２はイオン源、３Ｖｉ検出スリツトで４がイオ
ン検出器である。５は制御用マイクロコンピュータ（Ｃ
ＰＵ）、６ｕイオン加速電圧電源、７はマグネット励磁
電流電源である。イオン検出器４の出力けＡ ／ Ｄコ
ンバータを介してＣＰＵに送られる。なおＧＣはガスク
ロマトグラフで、分子セパレーク等のインターフェース
−１Ｆを介してイオン源２に接続されている。マスフラ
グメントグラフィを行う場合の各質量に対するピークの
中心合せの動作は次のように行われる。イオン加速電圧
がＶＯに設定され、質量ＭＯのイオンが検出器４によっ
て検出されるようにマグネット］の磁場が計算値ＢＯに
設定され、次に標準試料がイオン源２に導入され、質量
Ｍｏのイオンが検出？：÷４によって検出され、検出信
号がＣＰ ’Ｕ ！５に送られる。マグネット１の励磁
がＢＯを中心に小範囲でスイープされ、ＣＰＵ５はその
ときのイオン検出信号の変化を検出してイオン検出信号
が最大になる所でマグネット励磁のスイープを停止させ
、そのときの励磁を保持する。次にイオン源に測定試料
が導入されイオン加速電圧が検出し」：つとする質量Ｍ
１のイオンに対する計算上の値Ｖｌに設定される。この
ときイオン検出器４からは質ｍＭ１のイオンの検出信号
が得られる。こメでイオン加速電圧がｖｌを中心に一定
幅ΔＶの範囲でスイープされ、そのときのイオン検出信
号の最大となる点がＣＰＵ５によって検出され、そのと
きのイオン加速電圧が固定される。以下検出しようとす
る質量Ｍ２．Ｍ３・・・のイオンについても−にと同様
の動作が繰返される。この場合イオン加速電圧の走査幅
ΔＶが質量数に関係なく一定であシ、このため質量数の
走査幅ΔＭと１〜では質量が大なる程ΔＭが犬となる。
本発明によればピークの中心合せにおけるｆ！（ｊｎ、
’走査幅が質量に応じて異っているので、何れの質ｈ：
″に対しても適切な走査幅となり、中心合せが確実知で
きることになる。
’走査幅が質量に応じて異っているので、何れの質ｈ：
″に対しても適切な走査幅となり、中心合せが確実知で
きることになる。
第１図は質にとイオン加速電圧の関係を示ずグ ハｑ
図ラフ、第２図は本発明の一実施例の構成を示すブロッ
ク図である。 ］・・・質量分析用マグネット、２・・・イオン源、３
・・検出スリット、４・・・イオン検出器、５・・・マ
イクロコンピュータ、６・・・イオン加速電圧電源、７
・・・マグネット励磁電流電源。 代理人 弁理士 級 浩 介 牙２図
図ラフ、第２図は本発明の一実施例の構成を示すブロッ
ク図である。 ］・・・質量分析用マグネット、２・・・イオン源、３
・・検出スリット、４・・・イオン検出器、５・・・マ
イクロコンピュータ、６・・・イオン加速電圧電源、７
・・・マグネット励磁電流電源。 代理人 弁理士 級 浩 介 牙２図
Claims (1)
- イオン加速電圧を切換えて指定した質量のイオンを検出
する構成で、各指定質量のイオンに対するイオン加速電
圧を設定する場合、イオン加速電圧を計算値に設定し、
その電圧を中心にイオン質量に応じて異る質量数範囲を
走査してイオン検出信号のピークを検出し、その位置で
のイオン加速電圧を保持するよう動作する制御回路を設
けたことを特徴とするマスフラグメントグラフィ用質量
分析計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57228245A JPS59125056A (ja) | 1982-12-30 | 1982-12-30 | マスフラグメントグラフイ用質量分析計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57228245A JPS59125056A (ja) | 1982-12-30 | 1982-12-30 | マスフラグメントグラフイ用質量分析計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59125056A true JPS59125056A (ja) | 1984-07-19 |
Family
ID=16873432
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57228245A Pending JPS59125056A (ja) | 1982-12-30 | 1982-12-30 | マスフラグメントグラフイ用質量分析計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59125056A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01130461A (ja) * | 1987-11-16 | 1989-05-23 | Hitachi Ltd | クロマトグラフ−質量分析装置 |
| GB2533169B (en) * | 2014-12-12 | 2019-08-07 | Thermo Fisher Scient Bremen Gmbh | Control of magnetic sector mass spectrometer magnet |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5014395A (ja) * | 1973-06-06 | 1975-02-14 | ||
| JPS54158990A (en) * | 1978-06-06 | 1979-12-15 | Jeol Ltd | Mass spectrograph for detecting multiple ions |
-
1982
- 1982-12-30 JP JP57228245A patent/JPS59125056A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5014395A (ja) * | 1973-06-06 | 1975-02-14 | ||
| JPS54158990A (en) * | 1978-06-06 | 1979-12-15 | Jeol Ltd | Mass spectrograph for detecting multiple ions |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01130461A (ja) * | 1987-11-16 | 1989-05-23 | Hitachi Ltd | クロマトグラフ−質量分析装置 |
| GB2533169B (en) * | 2014-12-12 | 2019-08-07 | Thermo Fisher Scient Bremen Gmbh | Control of magnetic sector mass spectrometer magnet |
| US10685826B2 (en) | 2014-12-12 | 2020-06-16 | Thermo Fisher Scientific (Bremen) Gmbh | Control of magnetic sector mass spectrometer magnet |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US8445844B2 (en) | Quadrupole mass spectrometer | |
| EP0228502B1 (en) | Electron beam test apparatus for electronic device and method for using the same | |
| US4220854A (en) | Method for the contactless measurement of the potential waveform in an electronic component and apparatus for implementing the method | |
| JPS63503340A (ja) | イオン注入のための注入量の測定及び均一性のモニタリング装置 | |
| JPWO2009141852A1 (ja) | 四重極型質量分析装置 | |
| JP4730482B2 (ja) | 四重極型質量分析装置 | |
| JPS59125056A (ja) | マスフラグメントグラフイ用質量分析計 | |
| US4689555A (en) | Method for the determination of points on a specimen carrying a specific signal frequency by use of a scanning microscope | |
| US4808818A (en) | Method of operating a mass spectrometer and a mass spectrometer for carrying out the method | |
| EP0263032A1 (en) | Primary particle beam irradiation apparatus and method of irradiation thereof | |
| JP3330382B2 (ja) | 集積回路の試験・修復装置 | |
| US5422482A (en) | Mass spectrometric apparatus | |
| US3886357A (en) | Multiple ion beam type double focusing mass spectrometer | |
| JP2000243344A (ja) | アイソトポマー質量分析装置 | |
| JPH05332994A (ja) | 質量分析方法 | |
| US2798956A (en) | Ion resonance mass spectrometer | |
| US3522430A (en) | Method and apparatus for maintaining constant the effective ionization energy in a mass spectrometer | |
| JPH1027570A (ja) | 四重極質量分析装置 | |
| JPH05258714A (ja) | プラズマ質量分析装置 | |
| JPH01239949A (ja) | 電子ビームプローブ装置 | |
| JPS6148214B2 (ja) | ||
| JPS59842A (ja) | 電子ビ−ム装置 | |
| JPH01134845A (ja) | 自動非点収差補正装置 | |
| JPS61260539A (ja) | イオン打込装置の自動イオン種選択 | |
| JPH09320516A (ja) | 四重極質量分析計 |