JPH06232Y2 - レーザ加工装置の反射ミラー - Google Patents
レーザ加工装置の反射ミラーInfo
- Publication number
- JPH06232Y2 JPH06232Y2 JP1987071088U JP7108887U JPH06232Y2 JP H06232 Y2 JPH06232 Y2 JP H06232Y2 JP 1987071088 U JP1987071088 U JP 1987071088U JP 7108887 U JP7108887 U JP 7108887U JP H06232 Y2 JPH06232 Y2 JP H06232Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- reflection mirror
- mounting base
- reflection
- mounting
- reflecting
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- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案は、レーザ加工装置に用いられる反射ミラーに関
するものである。
するものである。
［従来の技術］ 第１図、第２図及び第３図は、従来の反射ミラーの構造
を示す。第１図及び第２図（第１図のＡ−Ａ線断面図）
は第１の従来例に係る反射ミラーを示し、図中(1)は反
射表面(1a)を有する反射ミラー本体、(2)は反射ミラー
本体(1)を嵌挿する反射ミラー本体取付け台、(3)はゴム
Ｏリング等の弾性体(4)を介し、ネジ(5)によって反射ミ
ラー本体(1)を取付け台(2)に押圧固定する反射ミラー本
体押えである。
を示す。第１図及び第２図（第１図のＡ−Ａ線断面図）
は第１の従来例に係る反射ミラーを示し、図中(1)は反
射表面(1a)を有する反射ミラー本体、(2)は反射ミラー
本体(1)を嵌挿する反射ミラー本体取付け台、(3)はゴム
Ｏリング等の弾性体(4)を介し、ネジ(5)によって反射ミ
ラー本体(1)を取付け台(2)に押圧固定する反射ミラー本
体押えである。
このように第１の従来例に係る反射ミラーは構成されて
おり、そしてこの反射ミラーは、反射ミラー本体取付け
台(2)の取付け穴(2a)によりネジ等により機器（図示せ
ず）の反射ミラー取付け面に固定される。
おり、そしてこの反射ミラーは、反射ミラー本体取付け
台(2)の取付け穴(2a)によりネジ等により機器（図示せ
ず）の反射ミラー取付け面に固定される。
また第３図は、第１図とは別の従来例を示す斜視図であ
る。
る。
この構成の反射ミラーは、第１図の反射ミラー本体(1)
や反射ミラー本体取付け台(2)等が一体となったもので
あり、図において(11)は反射ミラー本体、(11a)はその
反射表面、(12)は反射ミラー本体取付け台、(12a)は取
付け台(12)に設けた反射ミラー取付け用の取付け穴であ
る。
や反射ミラー本体取付け台(2)等が一体となったもので
あり、図において(11)は反射ミラー本体、(11a)はその
反射表面、(12)は反射ミラー本体取付け台、(12a)は取
付け台(12)に設けた反射ミラー取付け用の取付け穴であ
る。
［考案が解決しようとする課題］ 従来の反射ミラーは以上のような構造となっているの
で、第１図及び第２図の例では反射ミラー本体(1)の反
射表面(1a)に反射ミラー本体押え(3)の押圧力がかか
り、また反射ミラー本体取付け台(2)の平面加工や反射
ミラーを取付ける機器の取付け面加工の平面度が悪い
と、そのまま反射表面(1a)の歪みとして表れる。第３図
の例においても、反射ミラー単体でいかに超精密加工を
行って反射表面(1a)の精度を確保しても、反射ミラーを
取付ける機器の取付け面の平面度が悪いと、第１図のも
のと全く同じ結果となる。
で、第１図及び第２図の例では反射ミラー本体(1)の反
射表面(1a)に反射ミラー本体押え(3)の押圧力がかか
り、また反射ミラー本体取付け台(2)の平面加工や反射
ミラーを取付ける機器の取付け面加工の平面度が悪い
と、そのまま反射表面(1a)の歪みとして表れる。第３図
の例においても、反射ミラー単体でいかに超精密加工を
行って反射表面(1a)の精度を確保しても、反射ミラーを
取付ける機器の取付け面の平面度が悪いと、第１図のも
のと全く同じ結果となる。
本考案は上記のような問題点を解消するためになされた
もので、反射ミラーの取付け面の平面度が悪くても反射
表面の歪みが小さい反射ミラーを得ることを目的とす
る。
もので、反射ミラーの取付け面の平面度が悪くても反射
表面の歪みが小さい反射ミラーを得ることを目的とす
る。
［考案の実施例］ 第４図及び第５図はこの考案の一実施例を示す図であ
る。図において(11)は反射ミラー本体、(11a)はその反
射表面、(12)は反射ミラー本体取付け台、(12a)は取付
け台(12)に設けた反射ミラー取付け用の取付け穴、(13)
は反射ミラー本体(11)における反射表面(11a)と対向す
る裏面と、反射ミラー本体取付け台(12)との間に、両側
より切り欠かれた切欠部で、取付け台(12)の変形が反射
ミラー本体(11)の反射表面(11a)に伝達するのを防止す
る。
る。図において(11)は反射ミラー本体、(11a)はその反
射表面、(12)は反射ミラー本体取付け台、(12a)は取付
け台(12)に設けた反射ミラー取付け用の取付け穴、(13)
は反射ミラー本体(11)における反射表面(11a)と対向す
る裏面と、反射ミラー本体取付け台(12)との間に、両側
より切り欠かれた切欠部で、取付け台(12)の変形が反射
ミラー本体(11)の反射表面(11a)に伝達するのを防止す
る。
係る構造により、機器の取付け面の平面度が悪く、例え
ば第５図に示すように反射ミラーを取付ける機器の取付
け面(14)が弧状を呈していても、切欠部(13)の作用によ
り反射ミラー本体取付け台(12)の変形が反射ミラー本体
(11)の反射表面(11a)に伝達せず、反射ミラー本体取付
け台(12)のみが取付け面(14)に沿って変形し、反射ミラ
ー本体(11)の反射表面(11a)は殆ど変形せずに良好な平
面度を保つことができる。
ば第５図に示すように反射ミラーを取付ける機器の取付
け面(14)が弧状を呈していても、切欠部(13)の作用によ
り反射ミラー本体取付け台(12)の変形が反射ミラー本体
(11)の反射表面(11a)に伝達せず、反射ミラー本体取付
け台(12)のみが取付け面(14)に沿って変形し、反射ミラ
ー本体(11)の反射表面(11a)は殆ど変形せずに良好な平
面度を保つことができる。
また本実施例によれば、反射ミラーをモータ等で駆動す
る場合には切欠部(13)の分だけ重量軽減になり、さらに
表面積が大きくなるため熱放散もよく、レーザ光による
温度上昇のための熱変形も少なくなる利点がある。
る場合には切欠部(13)の分だけ重量軽減になり、さらに
表面積が大きくなるため熱放散もよく、レーザ光による
温度上昇のための熱変形も少なくなる利点がある。
なお、本目的を達成するための別方法として、第３図に
示した従来構造の反射ミラーにおいて、取付け台(12)を
長くして取付け穴(12a)を、反射ミラー本体(11)の反射
表面(11a)から遠くする構成も考えられ、この場合、長
くなった取付け台(12)により取付け面(14)の変形を吸収
することができるようになるが、反射ミラーが大形化
し、重量が大となるとともに、取付け面(14)も大となり
加工精度を確保するのが益々困難となる。
示した従来構造の反射ミラーにおいて、取付け台(12)を
長くして取付け穴(12a)を、反射ミラー本体(11)の反射
表面(11a)から遠くする構成も考えられ、この場合、長
くなった取付け台(12)により取付け面(14)の変形を吸収
することができるようになるが、反射ミラーが大形化
し、重量が大となるとともに、取付け面(14)も大となり
加工精度を確保するのが益々困難となる。
また上記実施例では、反射ミラー本体(11)と取付け台(1
2)が一体形のものに、２箇所の切欠部(13)を設けた例を
示したが、第１図の構造のものに本考案を実施しても同
様の効果が得られ、また切欠部(13)は２箇所に限定する
必要はなく、例えば反射ミラー本体(11)の中心部を軸と
して反射表面(11a)の背面部を円周状の切欠部としても
よい。
2)が一体形のものに、２箇所の切欠部(13)を設けた例を
示したが、第１図の構造のものに本考案を実施しても同
様の効果が得られ、また切欠部(13)は２箇所に限定する
必要はなく、例えば反射ミラー本体(11)の中心部を軸と
して反射表面(11a)の背面部を円周状の切欠部としても
よい。
［考案の効果］ 以上のように本考案によれば、反射ミラー本体と取付け
台との間に、取付け台の変形が反射ミラー本体へ伝達す
るのを防止する切欠部を設けたので、切欠部の作用によ
り反射ミラー本体取付け台の変形が、その切欠部で吸収
されて反射ミラー本体の反射表面に伝達し難くなり、よ
って取付け面の平面度が悪くても、反射ミラー本体の反
射表面は殆ど変形せずに良好な平面度を保つことができ
るようになる。
台との間に、取付け台の変形が反射ミラー本体へ伝達す
るのを防止する切欠部を設けたので、切欠部の作用によ
り反射ミラー本体取付け台の変形が、その切欠部で吸収
されて反射ミラー本体の反射表面に伝達し難くなり、よ
って取付け面の平面度が悪くても、反射ミラー本体の反
射表面は殆ど変形せずに良好な平面度を保つことができ
るようになる。
第１図は従来の反射ミラーを示す正面図、第２図は第１
図のＡ−Ａ線断面図、第３図は第１図とは異なる従来の
反射ミラーを示す斜視図、第４図は本考案の一実施例に
係る反射ミラーを示す斜視図、第５図は本考案の一実施
例に係る反射ミラーの取り付け状態を示す図である。 なお図中同一符号は同一または相当部分を示し、(11)は
反射ミラー本体、(11a)は反射表面、(12)は反射ミラー
本体取付け台、(13)は切欠部、(14)は取付け面である。
図のＡ−Ａ線断面図、第３図は第１図とは異なる従来の
反射ミラーを示す斜視図、第４図は本考案の一実施例に
係る反射ミラーを示す斜視図、第５図は本考案の一実施
例に係る反射ミラーの取り付け状態を示す図である。 なお図中同一符号は同一または相当部分を示し、(11)は
反射ミラー本体、(11a)は反射表面、(12)は反射ミラー
本体取付け台、(13)は切欠部、(14)は取付け面である。
Claims (1)
- 【請求項１】反射ミラー本体と、この反射ミラー本体を
支持し、反射ミラー取付け面に取付けられる取付け台と
を備え、前記反射ミラー本体と前記取付け台との間に、
前記取付け台の変形の反射ミラー本体への伝達防止用切
欠部を設けたことを特徴とするレーザ加工装置の反射ミ
ラー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987071088U JPH06232Y2 (ja) | 1987-05-13 | 1987-05-13 | レーザ加工装置の反射ミラー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987071088U JPH06232Y2 (ja) | 1987-05-13 | 1987-05-13 | レーザ加工装置の反射ミラー |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63180192U JPS63180192U (ja) | 1988-11-21 |
| JPH06232Y2 true JPH06232Y2 (ja) | 1994-01-05 |
Family
ID=30913332
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987071088U Expired - Lifetime JPH06232Y2 (ja) | 1987-05-13 | 1987-05-13 | レーザ加工装置の反射ミラー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06232Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5328844B2 (ja) * | 2011-06-10 | 2013-10-30 | キヤノン株式会社 | 光学素子、該光学素子を有する光学機器 |
-
1987
- 1987-05-13 JP JP1987071088U patent/JPH06232Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63180192U (ja) | 1988-11-21 |
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