JPH06231731A

JPH06231731A - 平板型光源及びその製造方法

Info

Publication number: JPH06231731A
Application number: JP1997693A
Authority: JP
Inventors: Ko Sano; 耕佐野; Takahiro Urakabe; 隆浩浦壁; Shigeki Harada; 茂樹原田; Goroku Kobayashi; 伍六小林; Takeo Nishikatsu; 健夫西勝; Masao Kano; 雅夫狩野
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 1993-02-08
Filing date: 1993-02-08
Publication date: 1994-08-19
Anticipated expiration: 2016-07-11
Also published as: JP3187589B2

Abstract

(57)【要約】【目的】発光効率の高い面発光を行なうことが出来る
平板型光源を得る。【構成】透光性を有する前面平面基板１と、前面平面
基板１の内面に被着された真空紫外域の紫外線で発光す
る蛍光体膜４と、前面平面基板１に対向して設けられた
背面基板２と、背面基板２の内面にパターン形成された
導体電極膜１２３と、導体電極膜１２３を覆う誘電体膜
１２４と、誘電体膜１２４の上面に被着された真空紫外
域の紫外線で発光する蛍光体膜５と、前面平面基板１と
背面基板２とに一定の間隙を保持して密封する外枠体３
とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、液晶ディスプレイのバ
ックライトや室内照明などで用いられる薄型の平板型光
源及びその製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】図１１は、例えば特開平２−２６５１６
１号公報に示された従来の平板型光源の構造図である。
図において、１２０は有底枠体状に成形された前面硝子
基板、１２１は平面板状の背面硝子基板、１２２は紫外
線の放射によって発光する蛍光体を前面硝子基板１２０
の内側表面に被着して形成された蛍光体膜である。１２
３は背面硝子基板１２１の内面上に平行に配置された導
体電極膜であり、導体電極膜１２３はスクリーン印刷な
いし蒸着によってパターン形成されている。１２４は同
じくスクリーン印刷ないし蒸着によって形成された誘電
体膜、１２５は放電電圧を下げると共に放電から誘電体
膜１２４を守るＭｇＯ膜、１２６はＨｇなどの放電ガス
が満たされた放電空間である。

【０００３】従来の平板型光源は上記のように構成さ
れ、導体電極膜１２３の各ラインに互い違いに放電電圧
を越える振幅の１２０〜５０ｋＨｚの交番電位を印加す
ることにより、誘電体膜１２４およびＭｇＯ膜１２５を
介して放電空間１２６にＡＣ放電を発生させる。この
際、ＭｇＯ膜１２５は高い２次電子放出能力を持ってい
るので放電の電圧を低下させ、またスパッタリングによ
る電極の消耗を鈍化させる効果を発揮する。放電により
励起された放電ガスは紫外線を放射し、前面硝子基板１
２０の内側表面に被着された蛍光体膜１２２を発光させ
る。この光源は背面硝子基板１２１の内面一様に放電を
発生させることが出来るので、平板型の面発光光源とし
て使用することが出来る。

【０００４】また、この種の光源の放電空間を規定する
外囲器は中空の平板型に形成され、その多くは板硝子で
作られている。そして、製品の軽量化及び省スペース化
の観点から極端に基板部を厚くすることが出来ない。こ
のため、例えば対角５インチ以上の大きなサイズの平板
型の面発光光源を製作しようとする場合には、外囲器の
内部と外部の圧力差による応力のため外囲器に歪みを生
じ、ついには外囲器そのものが破壊してしまうこともあ
る。この問題を解決したものとして、例えば特開平３−
２２５７４３号公報には図１２に示すように球状の硝子
スペーサ１３０を放電空間１２６中に配置して、平面基
板１３１及び１３２を支持するようにしたものが開示さ
れている。図において１３３は平面基板１３１，１３２
間の空間を密閉して外囲器とするための外枠部であり、
外枠部１３３は低融点硝子で形成されている。また、１
３４、１３５はそれぞれ平面基板１３１，１３２の外面
に設けられた電極である。すなわち、硝子スペーサ１３
０が平面基板１３１及び１３２間の支柱となり、外囲器
の内部の圧力と大気圧との圧力差によって外囲器が破壊
するのを防止するのである。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】まず、図１１に示され
ている従来の平板型光源は基本的な電極構造がいわゆる
透過型のカラーＡＣ型プラズマディスプレイと概略同じ
であると考えられ、駆動電圧を低減することは可能であ
るが、蛍光体膜の形成位置が前面硝子基板１２０の内面
のみであるため、背面硝子基板１２１の方向に放射され
ている紫外線が発光に全く利用されておらず、発光効率
が極めて低いという問題点がある。

【０００６】また、図１２に示されたような方法で平板
型光源を大型化することが可能であるが、硝子スペーサ
１３０が放電空間１２６中に存在するため、これが紫外
線を遮断し硝子スペーサ１３０の近傍では紫外線が蛍光
体膜まで到達せず発光面内に暗部を生ずるという問題点
があった。

【０００７】また、外囲器の長方形の一辺の長さが例え
ば５０ｍｍ以下の比較的小型の外囲器の場合には、２ｍ
ｍ程度の厚さの硝子板を基板に用いても十分差圧に耐え
得るため、図１２のように硝子スペーサ１３０を放電空
間中に配置する必要がなく、また内部のガス圧力が高く
差圧が小さい場合も放電空間１２６中に硝子スペーサを
必要としない。このような場合に外囲器として図１１に
示された前面硝子基板１２０のように有底枠体に成形さ
れたものや２枚の平面基板間に枠型の棒材をスペーサと
して用いたものが使用されているがいずれも加工に手間
がかかり、コストアップの要因にもなっていた。

【０００８】本発明はかかる問題点を解決するためにな
されたものであり、放電によって生じた紫外線により蛍
光体を励起発光させる方式を用いながら高い発光効率で
面発光を行なうことが出来る平板型光源を得ることを目
的としている。また、発光面内に暗部を生じない大型
（例えば長方形の面光源の場合であって、縦横の長さが
それぞれ１００ｍｍを超えるような大きさ）の外囲器を
有する平板型光源を得ることを目的としている。さら
に、硝子スペーサを放電空間中に配置する必要が無い場
合に外囲器を容易に製造する方法を提供することを目的
としている。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明にかかる平板型光
源は透光性を有する前面平面基板と、該前面平面基板の
内面に被着された蛍光体膜と、前記前面平面基板に対向
して設けられた背面基板と、該背面基板の内面にパター
ン形成された導体電極膜と、該導体電極膜を覆う誘電体
膜と、該誘電体膜の上面に被着された蛍光体膜と、前記
前面平面基板と前記背面基板とに一定の間隙を保持して
密封する外枠体とを備えたものである。

【００１０】また、背面基板の内面に設置された絶縁体
板と、該絶縁体板の前面平面基板側の表面に被着された
真空紫外域の紫外線で発光する蛍光体膜と、絶縁体板の
背面平面基板側の表面にパターン形成された導体電極膜
とを備えたものである。

【００１１】また、幅広部と幅狭部が交互に連続する帯
状の複数の導体電極膜が一定間隔で配置するようにした
ものである。

【００１２】また、前面平面基板と背面基板との間に一
定の高さを有する錐体形の小片部材を配置したものであ
る。

【００１３】また、前面平面基板と背面基板との間に一
定の高さを有し、ＬｉＦ、ＭｇＦ₂、ＣａＦ₂、ＢａＦ
₂のいずれかの材料からなる小片部材を配置したもので
ある。

【００１４】また、前面基板は、背面基板側に突出する
一定の高さを有する凸部を備えたものである。

【００１５】また、エキシマー生成ガスに、ヘリウムま
たはネオンを混合して放電ガスの全圧力をほぼ一気圧と
したものである。

【００１６】また、外囲器の内部の圧力と外部の圧力を
ほぼ同一に保ちつつ外囲器の排気を行う排気工程と、該
排気工程の終了後に外囲器の内部の圧力と外部の圧力を
ほぼ同一に保ちつつ外囲器に放電ガスの導入を行うガス
導入工程とを備えたものである。

【００１７】また、対向する二枚の基板と、該二枚の基
板を一定の間隙に保持して密閉する低融点硝子で形成さ
れた外枠体と、該外枠体の内部に前記一定の間隙と同一
高さを有する小片部材を配置したものである。

【００１８】また、対向する二枚の基板のいずれか一方
の周縁部に小孔を持った低融点硝子層を形成する低融点
硝子層形成工程と該低融点硝子層形成工程で製作された
前記小孔に該小孔の深さより若干低い一定の高さを有す
る小片部材を埋め込む埋込工程と、前記二枚の基板を前
記低融点硝子層を介して重ね合わせ、前記低融点硝子層
を溶融して封着する封着工程とを備えたものである。

【００１９】

【作用】上記のように構成された平板型光源において
は、誘電体膜の上面に被着された蛍光体膜が背面基板側
に放射された紫外線によって発光する。

【００２０】また、絶縁体板が導体膜を覆う誘電体とし
ての機能を発揮し、放電電流を抑制する。

【００２１】また、幅広部と幅狭部が交互に連続する帯
状の複数の導体電極膜が一定間隔で配置するようにパタ
ーン形成したパターン電極が放電箇所を規定して放電電
流を抑制する。

【００２２】また、前面平面基板と背面基板との間に一
定の高さを有する錐体形の透光性を有する小片部材が紫
外線が前面平面基板により多く到達することを可能にす
る。

【００２３】また、前面平面基板と背面基板との間に一
定の高さを有し、ＬｉＦ、ＭｇＦ₂、ＣａＦ₂、ＢａＦ
₂のいずれかの材料からなる小片部材が紫外線を透過さ
せ小片部材近傍の蛍光体にも紫外線を到達させる。

【００２４】また、前面基板に備えられた背面基板側に
突出する一定の高さを有する凸部が前面基板と背面基板
との間の支柱の作用をする。

【００２５】また、エキシマー生成ガスに混入されたヘ
リウムガスまたはネオンガスが放電ガスの全圧力をほぼ
一気圧とし、外囲器の内部の圧力と大気圧との差圧によ
る応力の発生を防止する。

【００２６】また、外囲器の内部の圧力と外部の圧力を
ほぼ同一に保ちつつ外囲器の排気を行う排気工程と、排
気工程の終了後に外囲器の内部の圧力と外部の圧力をほ
ぼ同一に保ちつつ外囲器に放電ガスの導入を行うガス導
入工程が、平板型光源の製造工程における外囲器の内部
圧力と大気圧との差圧による応力の発生を防止する。

【００２７】また、低融点硝子層に埋め込まれた小片部
材が低融点硝子層を溶融して封着する際に二枚の基板の
間隔を一定の距離に規定する。

【００２８】

【実施例】

実施例１．図１は本発明の一実施例を示す断面図であ
り、図において従来例を示した図１１と同一部分には同
一符号を付し説明を省略する。１は透明な前面基板、２
は背面基板であり、前面基板１及び背面基板２は通常硝
子で製作されている。３は前面基板１と背面基板２との
間であって両基板の周縁部に配置され、両基板間の空間
を密閉して完全な外囲器とするための枠体部である。な
お、枠体部３と両基板は低融点硝子などを溶融すること
によって密閉される。

【００２９】４は真空紫外域の紫外線で発光する蛍光体
で形成された蛍光体膜であり、蛍光体膜４は前面基板１
の内側表面に被着されている。５は蛍光体膜４と同一の
蛍光体で形成された蛍光体膜５であり、誘電体膜１２４
の表面に被着されている。導体電極膜１２３のそれぞれ
のパターン間の空隙は例えば０．５ｍｍ以内であり、導
体電極膜１２３は外囲器外部への引き出し部（図示な
し）を有している。放電空間１２６には例えばＸｅガス
が数十ないし数百Ｔｏｒｒ封入されている。

【００３０】次にこの実施例の動作について説明する。
パターン形成された導体電極膜１２３の隣接する電極間
に放電電圧よりも高い電圧を交互に印加すると、その間
でＡＣ放電が生じる。導体電極膜１２３上には誘電体膜
１２４が形成されているので、この放電は例えばパルス
状に素早く立ち上がる電界の場合、条件によって異なる
が概ね１μｓｅｃ以内に終了し、次のパルスが印加され
るまで放電は持続していない。この放電によって例えば
Ｘｅのガスを用いた場合、Ｘｅ₂なるエキシマーが発生
するとともに基底状態に遷移する間に真空紫外領域の紫
外線を放出する。エキシマーから放出された紫外線は通
常放電ガス分子自身に吸収される自己吸収現象が起こら
ないので減衰されることなく、前面基板１及び背面基板
２の表面の蛍光体膜４，５に到達することが出来る。蛍
光体膜４，５は紫外線によって励起発光し、発光した光
が前面基板１を通して可視光として取り出される。

【００３１】この際、蛍光体膜４，５は通常白色である
ので前面基板１の内面上の蛍光体膜４からの発光は前面
基板１を透過するとともに、背面基板２上の蛍光体膜５
で反射して再び前面基板１に向うため、相乗的に輝度を
増す。これによって、導体電極膜１２３のパターン形状
により生ずる細かい輝度むらを均一化するという効果を
奏している。また、本実施例の電極表面はむき出しの蛍
光体であり、ＭｇＯのような電極保護材料が使用されて
いないが、実験の結果、エキシマー放電の場合はスパッ
タリングによる蛍光体膜の劣化はほとんど観測されてお
らず、実用上問題はない。

【００３２】実施例２．図２は実施例１と同様の原理を
用いた平板型光源の他の実施例を示すものであり、図に
おいて実施例１を示した図１と同一部分には同一符号を
付し説明を省略する。本実施例においては背面基板２の
内側表面に電極等を形成するのではなく、硝子またはセ
ラミック等で形成された薄い絶縁体板７を基板に用いて
別途電極等８を形成し、これを背面基板２の内側表面に
設置したものである。

【００３３】電極等８は絶縁体板７の一方の面に蛍光体
膜５を被着し、他方の面には導体電極膜１２３を実施例
１と同様に形成し、さらに導体電極膜１２３の上面には
誘電体膜１２４を形成して成るものである。電極等８は
図２に示すように背面基板２の内面に誘電体膜１２４を
密着させ、蛍光体膜５を放電空間１２６側に向けて設置
されている。絶縁体板７と導体電極５は密着しており、
機能的には絶縁体板７は実施例１における誘電体膜１２
４に相当し、本実施例における誘電体膜１２４は単に絶
縁破壊防止用のコーティングとし機能するのみである。

【００３４】なお、動作は実施例１に示したものと全く
同様であるが、誘電体膜１２４の替わりに硝子ないしセ
ラミックの薄板を誘電体として用いることにより、スク
リーン印刷膜では得にくい高い均一性を得ることができ
る。また、誘電率に関して比較的小さいものが得られる
ので、過大な放電電流の制御を容易に行うことができ、
高い発光効率を得ることが出来る。

【００３５】実施例３．図３は本発明の一実施例の導体
電極膜のパターンの平面図である。図において、９はパ
ターン形成された導体電極膜であり、導体電極膜９は幅
広部９ａと幅狭部９ｂが交互に連続する形状をなし、複
数の帯状の導体電極膜９が併設されてパターンが形成さ
れている。すなわち、導体電極膜９のパターン形状は単
なる直線的な平行パターンではなく、隣接する導体電極
間の電極間距離が規則的に変化するように構成されてい
る。このように構成された放電電極膜９においては放電
電圧を制御することによって電極間距離が最小の部分の
みでストリーマが発生するようにすることができる。す
なわち、電極間距離が最小のときは放電が生じ、電極間
距離がそれより大きい距離では放電が起こらないような
値に放電電圧を設定すればよい。これによって、光源全
体に流れる放電電流を抑制することが出来、その結果発
光効率を高めることができる。また、印加電圧によって
放電電流値を制御することも可能になる。

【００３６】実施例４．図４は本発明の一実施例を示す
平板状の光源の断面図であり、図において従来例を示し
た図１２と同一部分には同一符号を付し説明を省略す
る。本実施例では従来例で示した球状の硝子スペーサ３
０に替えて錐体形状の硝子スペーサ１１を設け、硝子ス
ペーサ１１は背面基板２の内面にその底面が接し、前面
基板１の内面にその頂点が接するように配置したもので
ある。硝子スペーサ１１の形状は基本的には錐体であれ
ば円錐でも四角錐でも構わないが、特に好ましい形状は
どの面が底面になっても高さが同一になる正四面体であ
る。正四面体であれば平板状の光源の製作時において硝
子スペーサの設置面の方向を任意に決定できるからであ
る。硝子スペーサを錐体形状にして、その頂点が前面基
板１に接するようにしたので、前面基板１上の蛍光体膜
１２２の硝子スペーサの頂点近傍にも周囲から紫外線が
到達でき、硝子スペーサの存在に拘らず蛍光体膜２２の
全面で発光させることができる。

【００３７】実施例５．図５は従来例で示した硝子製の
硝子スペーサ３０に替えてＬｉＦ、ＭｇＦ₂、Ｃａ
Ｆ₂、ＢａＦ₂のいずれかの材料からなる球形のスペー
サ１２を設けたものである。なお、スペーサの形状は球
形に限られるものではなく、例えば錐体形、柱形等であ
ってもよい。これらの材料がいずれも真空紫外域の紫外
線を透過させる性質を持っているので、スペーサの近傍
の蛍光体膜にも周囲からの紫外線が到達するのでスペー
サの存在に拘らず蛍光体膜２２の全面で発光させること
ができる。

【００３８】実施例６．図６は本発明の一実施例の断面
図であり、図において１３は前面基板である。図に示す
ように、前面基板１３は従来平面状の平板であったもの
を周期的なうねりを持ちその断面が波打った形状にした
ものである。１３ａは前面基板１３の内面の頂点であっ
て背面基板２に接する部分であり、この部分が支柱の作
用をするので外囲器全体が大型になっても、うねりの周
期が一定ならば大気圧との差圧による応力に耐えること
ができる。

【００３９】実施例７．また、図７は他の実施例の断面
図であり、図において１４は前面基板、１４ａは前面基
板１４の内面に規則的に設けられた一定の高さを有する
突起である。突起１４ａが前面基板１４と背面基板２と
の間の支柱の作用をするので外囲器全体が大型になって
も前面基板１４は差圧による応力に耐えることができ
る。また、個々の突起の表面にも蛍光体を塗布すること
により、突起の存在の影響による暗部の発生を回避する
ことができる。

【００４０】実施例８．平板型光源にはエキシマー生成
用の放電ガスとしてＡｒ、Ｋｒ、若しくはＸｅ、または
これらの混合ガスが外囲器内に封入されるが、これらの
放電ガスにＨｅまたはＮｅを混合して封入ガス全体の圧
力を略一気圧とする。ＨｅまたはＮｅは放電には寄与し
ないので放電特性にはほとんど影響を与えることが無
い。これによって、封入ガスの圧力と大気圧との差圧が
無くなるので外囲器に応力が生じない。

【００４１】実施例９．図８は実施例８に示したような
封入ガスの圧力がほぼ１気圧の平板型光源を製造する製
造装置の要部の構成を示す要部構成図である。図におい
て、１５は真空チャンバ、１６は真空チャンバ１５内に
設置された赤外線ランプ等からなる加熱装置、１７は真
空チャンバ１５内に設置された放電ガスが封入される平
板型光源である。１８は一端が平板型光源１７の外囲器
の排気口に接続され、他端が二枝に分岐して一方の分岐
管１８ａには真空ポンプ（図示なし）が他方の分岐管１
８ｂには放電ガス導入系（図示なし）がそれぞれ接続さ
れる排気管である。１９ａは真空チャンバ１５の排気を
行うための排気管であり、その一端には真空ポンプ（図
示なし）が接続されている。１９ｂは真空チャンバ１５
内の圧力を調整するためのガスを導入するための圧力調
整ガス導入管である。２０、２１、２２、２３はそれぞ
れ分岐管１８ａ、分岐管１８ｂ、排気管１９ａ、圧力調
整ガス導入管１９ｂの途中に設けられた真空用のバルブ
である。

【００４２】次に、上記のように構成された製造装置を
利用して平板型パネルを製造する方法を説明する。ま
ず、導体電極膜、誘電体膜、蛍光体膜、封着周縁部、排
気口が全て装着されている外囲器を真空チャンバー１５
の内部に設置し、排気管１８の一端を外囲器の排気口に
接続し、分岐管１８ａ、分岐管１８ｂの一端をそれぞれ
真空ポンプ、ガス導入系に接続する。次に、真空ポンプ
を稼働して外囲器１７の内部と真空チャンバー１５の内
部の圧力がほぼ同圧力になるように真空排気を行う。こ
のとき、加熱装置１６によって外囲器１７全体を加熱し
て内部の吸着ガスも排気するようにする。外囲器１７の
内圧が所定の真空度まで達すると排気を終了し、分岐管
１８ｂから放電ガスを、圧力調整ガス導入管１９ｂから
は圧力調整ガス（放電ガスは高価であるため他の安価な
ガスでよい。）をそれぞれ外囲器１７の内部と真空チャ
ンバー１５の内部の圧力がほぼ同圧になるようにしなが
らガス導入を行う。ガス導入が終了すると排気管１８で
チップオフを行った後、外囲器１７を真空チャンバー１
５から取り出す。

【００４３】上記の方法によれば、ガスの排気及び導入
の工程中に外囲器の内部と外部とに圧力差が生じないの
で、たとい外囲器が１気圧の圧力差による応力に耐え得
るだけの強度を持っていなくとも平板型光源を製造する
ことが出来る。

【００４４】実施例１０．図９は本発明の平板型光源の
断面図である。図において、２５は表面基板１と背面基
板２を一定の距離に保持すると共に外囲器の側面を形成
する低融点硝子で形成された外枠部である。２５ａ、２
５ｂは外枠部２５に設けられた小孔であり、小孔は例え
ば外枠部２５が矩形の場合には少なくとも３辺の各辺に
１個ずつ設けられている。外枠部２５に小孔２５ａ、２
５ｂを形成するのに例えばスクリーン印刷を用いる場合
は図１０に示すようなマスクを使用すれば容易に実施す
ることができる。２７、２８はそれぞれ小孔２５ａ、２
５ｂに入れられた硝子またはセラミック製の錐体形の小
片部材であり、小片部材２７、２８は表面基板１と背面
基板２の間隙と同一の高さを有しており底面と頂点がそ
れぞれ表面基板１と背面基板２に接している。

【００４５】次に、上記の平板型光源の製造方法を説明
する。まず、外枠部２５の厚さは小片部材２７、２８の
高さよりもやや厚く形成しておく。外枠部２５の小孔２
５ａ、２５ｂ…内に小片部材２７、２８…を配置する。
そして、前面基板１を外枠部２５の上面に載置し、ばね
材などを用いて両基板を外枠部２５に押し付ける。加熱
して外枠部２５を溶融させて封着する。このとき、加熱
によって外枠部２５が溶融すると両基板の間隔が徐徐に
狭くなり小片部材の高さになった位置で封着されること
になる。

【００４６】なお、小片部材２７、２８の材料は硝子ま
たはセラミックに限られるものではなく外枠部２５に使
用する低融点ガラスの溶融温度で軟化しない性質のもの
であれば他の材料でもよい。また、小片部材２７、２８
の形状は錐体形に限られるものではなく、外囲器の封着
時に両基板の間隔を一定の距離に保持できるものであれ
ば例えば柱形や球形であってもよい。封着後は小片部材
に応力が集中することはないので、適正な条件を用いれ
ば排気工程での可熱処理などによって外囲器が破損する
こともない。

【００４７】

【発明の効果】本発明は以上説明したように構成されて
いるので、以下に記載されるような効果を奏する。

【００４８】前面基板の内面と背面基板の内面側に蛍光
体膜を形成したので、背面基板側に放射される紫外線も
発光に利用することができ、高い発光効率を得ることが
できる。

【００４９】また、絶縁体板を導体膜を覆う誘電体とし
て機能を発揮するようにしたので、スクリーン印刷膜で
は得にくい高い均一性が得られると共に誘電率に関して
は比較的小さいものが得られ、均一な発光と高発光効率
を実現できる。

【００５０】また、導体電極膜の形状を幅広部と幅狭部
が交互に連続する帯状の複数の導体電極膜が一定間隔で
配置するようにパターン形成したので、パターン電極が
放電箇所を規定して放電電流を抑制し、発光効率を高め
ることができる。

【００５１】また、前面平面基板と背面基板との間に錐
体形の小片部材を配置したので、前面平面基板近傍で紫
外線が小片部材に遮られることなく前面平面基板により
多く到達することができ、発光面に暗部を生ずることが
なく発光効率を高めることができる。

【００５２】また、前面平面基板と背面基板との間に、
ＬｉＦ、ＭｇＦ₂、ＣａＦ₂、ＢａＦ₂のいずれかの材
料からなる小片部材を配置したので、紫外線が小片部材
に遮断されることなく各基板に到達し、発光面に暗部を
生ずることがなく発光効率を高めることができる。

【００５３】また、前面基板に備えられた背面基板側に
突出する一定の高さを有する凸部を設けると共に凸部に
発光体を塗布したので、発光面に暗部を生ずることがな
く発光効率を高めることができる。

【００５４】また、エキシマー生成ガスに混入されたヘ
リウムガスまたはネオンガスを混入して放電ガスの全圧
力をほぼ一気圧になるようにしたので、外囲器の内部の
圧力と大気圧との差圧による応力が発生せず、大型のパ
ネルを製造する場合でも内部に支柱部材を設置する必要
がなくパネルの構造を簡略化できる。さらに、基板の板
厚を薄くすることができ、パネルの軽量化を図ることが
できる。

【００５５】また、外囲器のガスの排気、ガスの導入の
工程において外囲器の内部の圧力と外部の圧力をほぼ同
一に保持するようにしたので、平板型光源の製造工程に
おける外囲器の内部圧力と大気圧との差圧による応力が
発生せず、大型のパネルを製造する場合でも内部に支柱
部材を設置する必要がなくパネルの構造を簡略化でき
る。さらに、基板の板厚を薄くすることができ、パネル
の軽量化を図ることができる。

【００５６】また、低融点硝子層に小片部材を埋め込
み、低融点硝子層を溶融して封着する際に小片部材で二
枚の基板の間隔を規制するようにしたので、外囲器の外
枠体の製作が容易になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例１の断面図である。

【図２】本発明の実施例２の断面図である。

【図３】本発明の実施例３の平面図である。

【図４】本発明の実施例４の断面図である。

【図５】本発明の実施例５の断面図である。

【図６】本発明の実施例６の断面図である。

【図７】本発明の実施例７の断面図である。

【図８】本発明の実施例９に示した方法を実施する装置
の要部の構成を示す要部構成図である。

【図９】本発明の実施例１０の断面図である。

【図１０】本発明の実施例１０の実施に使用するマスク
の平面図である。

【図１１】従来の平板型光源の断面図である。

【図１２】従来の平板型光源の断面図である。

【符号の説明】

１前面平面基板２背面基板３外枠体４蛍光体膜５蛍光体膜７絶縁体板８電極等９導体電極膜９ａ幅広部９ｂ幅狭部１１錐体形の小片部材１２ＬｉＦ、ＭｇＦ₂、ＣａＦ₂、ＢａＦ₂のいずれ
かの材料からなる小片部材１３前面基板１３ａ前面基板の内面の頂点１４前面基板１４ａ前面基板の突起１５真空チャンバ１６加熱装置１７平板型光源２５外枠部２５ａ，２５ｂ小孔２７，２８錐体形の小片部材１２３導体電極膜１２４誘電体膜１２６放電空間

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【手続補正書】

【提出日】平成５年４月９日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０００３

【補正方法】変更

【補正内容】

【０００３】従来の平板型光源は上記のように構成さ
れ、導体電極膜１２３の各ラインに互い違いに放電電圧
を越える振幅の２０〜５０ｋＨｚの交番電位を印加する
ことにより、誘電体膜１２４およびＭｇＯ膜１２５を介
して放電空間１２６にＡＣ放電を発生させる。この際、
ＭｇＯ膜１２５は高い２次電子放出能力を持っているの
で放電の電圧を低下させ、またスパッタリングによる電
極の消耗を鈍化させる効果を発揮する。放電により励起
された放電ガスは紫外線を放射し、前面硝子基板１２０
の内側表面に被着された蛍光体膜１２２を発光させる。
この光源は背面硝子基板１２１の内面一様に放電を発生
させることが出来るので、平板型の面発光光源として使
用することが出来る。

【手続補正２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００４４

【補正方法】変更

【補正内容】

【００４４】実施例１０．図９は本発明の平板型光源の
断面図である。図において、２５は表面基板１と背面基
板２を一定の距離に保持すると共に外囲器の側面を形成
する低融点硝子で形成された外枠部である。２５ａ、２
５ｂは外枠部２５に設けられた小孔であり、小孔は例え
ば外枠部２５が矩形の場合には少なくとも３辺の各辺に
１個ずつ設けられている。外枠部２５に小孔２５ａ、２
５ｂを形成するのに例えばスクリーン印刷を用いる場合
は図１０に示すようなパターンを持つマスクを使用すれ
ば容易に実施することができる。２７、２８はそれぞれ
小孔２５ａ、２５ｂに入れられた硝子またはセラミック
製の錐体形の小片部材であり、小片部材２７、２８は表
面基板１と背面基板２の間隙と同一の高さを有しており
底面と頂点がそれぞれ表面基板１と背面基板２に接して
いる。

【手続補正３】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図１

【補正方法】変更

【補正内容】

【図１】

【手続補正４】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図２

【補正方法】変更

【補正内容】

【図２】

【手続補正５】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図１１

【補正方法】変更

【補正内容】

【図１１】

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者小林伍六鎌倉市大船二丁目14番40号三菱電機株式会社生活システム研究所内 (72)発明者西勝健夫鎌倉市大船二丁目14番40号三菱電機株式会社生活システム研究所内 (72)発明者狩野雅夫鎌倉市大船二丁目14番40号三菱電機株式会社生活システム研究所内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】透光性を有する前面平面基板と、該前面平面基板の内面に被着された蛍光体膜と、前記前面平面基板に対向して設けられた背面基板と、該背面基板の内面にパターン形成された導体電極膜と、該導体電極膜を覆う誘電体膜と、該誘電体膜の上面に被着された蛍光体膜と、前記前面平面基板と前記背面基板とに一定の間隙を保持
して密封する外枠体とを備えたことを特徴とする平板型
光源。
【請求項２】透光性を有する前面平面基板と、該前面平面基板の内面に被着された蛍光体膜と、前記前面平面基板に対向して設けられた背面基板と、該背面基板の内面に設置された絶縁体板と、該絶縁体板の前記前面平面基板側の表面に被着された蛍
光体膜と、前記絶縁体板の前記背面平面基板側の表面にパターン形
成された導体電極膜と、前記前面平面基板と前記背面基板とに一定の間隙を保持
して密封する外枠体とを備えたことを特徴とする平板型
光源。
【請求項３】パターン形成された導体電極膜を有する
平板型光源において、導体電極膜の前記パターンを、幅広部と幅狭部が交互に
連続する帯状の複数の導体電極膜が併設するようにした
ことを特徴とする平板型光源。
【請求項４】蛍光体膜がその内面に被着された透光性
を有する前面平面基板と、該前面平面基板に対向して設けられた背面基板と、該背面基板と前記前面平面基板とに一定の間隙を保持し
て密封する外枠体とを備えた平板型光源において、前記前面平面基板と前記背面基板との間に前記一定の間
隙と同一高さを有する錐体形の小片部材を配置したこと
を特徴とする平板型光源。
【請求項５】蛍光体膜が内面に被着された透光性を有
する前面平面基板と、該前面平面基板に対向して設けられた背面基板と、該背面基板と前記前面平面基板とに一定の間隙を保持し
て密封する外枠体とを備えた平板型光源において、前記前面平面基板と前記背面基板との間に前記一定の間
隙と同一高さを有し、ＬｉＦ、ＭｇＦ₂、ＣａＦ₂、Ｂ
ａＦ₂のいずれかの材料からなる小片部材を配置したこ
とを特徴とする平板型光源。
【請求項６】蛍光体膜が内面に被着された透光性を有
する前面基板と、該前面基板に対向して設けられた背面基板と、該背面基板と前記前面基板とに一定の間隙を保持して密
封する外枠体とを備えた平板型光源において、前記前面基板は前記背面基板側に突出する前記一定の間
隙と同一の高さを有する凸部を備えたことを特徴とする
平板型光源。
【請求項７】放電により生成したエキシマーから放射
される真空紫外域の紫外線を利用して発光を行う平板型
形状の光源において、エキシマー生成ガスに、ヘリウムまたはネオンを混合し
て放電ガスの全圧力をほぼ一気圧としたことを特徴とす
る平板型光源。
【請求項８】外囲器の内部と外部の圧力をほぼ同一に
保ちつつ外囲器の排気を行う排気工程と、該排気工程の終了後に外囲器の内部と外部の圧力をほぼ
同一に保ちつつ外囲器に放電ガスの導入を行うガス導入
工程とを備えたことを特徴とする平板型光源の製造方
法。
【請求項９】対向する二枚の基板と、該二枚の基板を一定の間隙に保持して密閉する低融点硝
子で形成された外枠体と、該外枠体の内部に前記一定の間隙と同一高さを有する小
片部材を配置したことを特徴とする平板型光源。
【請求項１０】対向する二枚の基板のいずれか一方の
周縁部に小孔を持った低融点硝子層を形成する低融点硝
子層形成工程と、該低融点硝子層形成工程で製作された前記小孔に該小孔
の深さより若干低い一定の高さを有する小片部材を埋め
込む埋込工程と、前記二枚の基板を前記低融点硝子層を介して重ね合わ
せ、前記低融点硝子層を溶融して封着する封着工程とを
備えたことを特徴とする平板型光源の製造方法。