JP2001222978A

JP2001222978A - 平板型光源及びその製造方法

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Publication number: JP2001222978A
Application number: JP2001005201A
Authority: JP
Inventors: Ko Sano; 耕佐野; Takahiro Urakabe; 隆浩浦壁; Shigeki Harada; 茂樹原田; Goroku Kobayashi; 伍六小林; Takeo Nishikatsu; 健夫西勝; Masao Kano; 雅夫狩野
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 2001-01-12
Filing date: 2001-01-12
Publication date: 2001-08-17

Abstract

(57)【要約】【課題】硝子スペーサを放電空間中に配置する必要が
無い場合に、容易に製造された外囲器を備える平板型光
源、ならびにその製造方法を提供すること。【解決手段】前面基板１と背面基板２との間は、枠体
部３により支持され、その結果密閉された放電空間１２
６が形成されている。この放電空間１２６内には、エキ
シマー生成用の放電ガスとしてＡｒなどのガスが封入さ
れ、さらにこれらの放電ガスにＨｅまたはＮｅが混合さ
れ、封入ガス全体の圧力が略一気圧とされている。Ｈｅ
またはＮｅは放電には寄与しないので放電特性にはほと
んど影響を与えることがなく、したがって封入ガスの圧
力と大気圧との差圧がなくなるので、外囲器に応力が生
じない。そのため、大型パネルを製造する場合でも内部
に支柱部材を設置する必要がなくなり、パネルの構造を
簡略化できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、液晶ディスプレイのバ
ックライトや室内照明などで用いられる薄型の平板型光
源及びその製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】図１１は、例えば特開平２−２６５１６
１号公報に示された従来の平板型光源の構造図である。
図において、１２０は有底枠体状に成形された前面硝子
基板、１２１は平面板状の背面硝子基板、１２２は紫外
線の放射によって発光する蛍光体を前面硝子基板１２０
の内側表面に被着して形成された蛍光体膜である。１２
３は背面硝子基板１２１の内面上に平行に配置された導
体電極膜であり、導体電極膜１２３はスクリーン印刷な
いし蒸着によってパターン形成されている。１２４は同
じくスクリーン印刷ないし蒸着によって形成された誘電
体膜、１２５は放電電圧を下げると共に放電から誘電体
膜１２４を守るＭｇＯ膜、１２６はＨｇなどの放電ガス
が満たされた放電空間である。

【０００３】従来の平板型光源は上記のように構成さ
れ、導体電極膜１２３の各ラインに互い違いに放電電圧
を越える振幅の１２０〜５０ｋＨｚの交番電位を印加す
ることにより、誘電体膜１２４およびＭｇＯ膜１２５を
介して放電空間１２６にＡＣ放電を発生させる。この
際、ＭｇＯ膜１２５は高い２次電子放出能力を持ってい
るので放電の電圧を低下させ、またスパッタリングによ
る電極の消耗を鈍化させる効果を発揮する。放電により
励起された放電ガスは紫外線を放射し、前面硝子基板１
２０の内側表面に被着された蛍光体膜１２２を発光させ
る。

【０００４】この光源は背面硝子基板１２１の内面一様
に放電を発生させることが出来るので、平板型の面発光
光源として使用することが出来る。

【０００５】また、この種の光源の放電空間を規定する
外囲器は中空の平板型に形成され、その多くは板硝子で
作られている。そして、製品の軽量化及び省スペース化
の観点から極端に基板部を厚くすることが出来ない。こ
のため、例えば対角５インチ以上の大きなサイズの平板
型の面発光光源を製作しようとする場合には、外囲器の
内部と外部の圧力差による応力のため外囲器に歪みを生
じ、ついには外囲器そのものが破壊してしまうこともあ
る。

【０００６】この問題を解決したものとして、例えば特
開平３−２２５７４３号公報には図１２に示すように球
状の硝子スペーサ１３０を放電空間１２６中に配置し
て、平面基板１３１及び１３２を支持するようにしたも
のが開示されている。図において１３３は平面基板１３
１，１３２間の空間を密閉して外囲器とするための外枠
部であり、外枠部１３３は低融点硝子で形成されてい
る。また、１３４、１３５はそれぞれ平面基板１３１，
１３２の外面に設けられた電極である。

【０００７】すなわち、硝子スペーサ１３０が平面基板
１３１及び１３２間の支柱となり、外囲器の内部の圧力
と大気圧との圧力差によって外囲器が破壊するのを防止
するのである。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】ところで、外囲器の長
方形の一辺の長さが例えば５０ｍｍ以下の比較的小型の
外囲器の場合には、２ｍｍ程度の厚さの硝子板を基板に
用いても十分差圧に耐え得る。したがって、このような
場合には、図１２のように硝子スペーサ１３０を放電空
間中に配置する必要がなく、また内部のガス圧力が高く
差圧が小さい場合も放電空間１２６中に硝子スペーサを
必要としない。しかしながら、このような場合に、外囲
器として図１１に示された前面硝子基板１２０のように
有底枠体に成形されたものや、２枚の平面基板間に枠型
の棒材をスペーサとして用いたものを使用すると、いず
れも加工に手間がかかり、コストアップの要因にもなる
との問題があった。

【０００９】本発明は、かかる問題点を解決するために
なされたものであり、硝子スペーサを放電空間中に配置
する必要が無い場合に、容易に製造された外囲器を備え
る平板型光源、ならびにその製造方法を提供することを
目的としている。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明にかかる平板型光
源は、放電により生成したエキシマーから放射される真
空紫外域の紫外線を利用して発光を行う平板型基板にお
いて、エキシマー生成ガスに、ヘリウムまたはネオンを
混合して放電ガスの全圧力をほぼ一気圧としたことを特
徴とするものである。

【００１１】また、本発明に係る平板型光源は、外囲器
の内部と外部の圧力をほぼ同一に保ちつつ外囲器の排気
を行う排気工程と、該排気工程の終了後に外囲器の内部
と外部の圧力をほぼ同一に保ちつつ外囲器に放電ガスの
導入を行うガス導入工程とを備えたことを特徴とするも
のである。

【００１２】さらに、本発明に係る平板型光源は、対向
する２枚の基板と、該２枚の基板を一定の間隙に保持
し、密閉された放電空間を形成し、低融点硝子で構成さ
れた外枠体と、該外枠体の内部に備えられ、前記一定の
隙間と同一高さを有する小片部材とを含むことを特徴と
するものである。

【００１３】さらにまた、本発明に係る平板型光源の製
造方法は、対向する２枚の基板のいずれか一方の周縁部
に小孔を持った低融点硝子層を形成する低融点硝子層形
成工程と、該低融点硝子層形成工程で制作された前記小
孔に該小孔の深さより若干低い一定の高さを有する小片
部材を埋め込む埋込工程と、前記２枚の基板を前記低融
点硝子層を介して重ね合わせ、前記低融点硝子層を溶融
して封着する封着工程とを備えたことを特徴とするもの
である。

【００１４】

【発明の実施の形態】実施の形態１．図１は本発明の一
実施例を示す断面図であり、図において従来例を示した
図１１と同一部分には同一符号を付し説明を省略する。
１は透明な前面基板、２は背面基板であり、前面基板１
及び背面基板２は通常硝子で製作されている。３は前面
基板１と背面基板２との間であって両基板の周縁部に配
置され、両基板間の空間を密閉して完全な外囲器とする
ための枠体部である。なお、枠体部３と両基板は低融点
硝子などを溶融することによって密閉される。

【００１５】４は真空紫外域の紫外線で発光する蛍光体
で形成された蛍光体膜であり、蛍光体膜４は前面基板１
の内側表面に被着されている。５は蛍光体膜４と同一の
蛍光体で形成された蛍光体膜５であり、誘電体膜１２４
の表面に被着されている。導体電極膜１２３のそれぞれ
のパターン間の空隙は例えば０．５ｍｍ以内であり、導
体電極膜１２３は外囲器外部への引き出し部（図示な
し）を有している。放電空間１２６には例えばＸｅガス
が数十ないし数百Ｔｏｒｒ封入されている。

【００１６】次にこの実施の形態の動作について説明す
る。パターン形成された導体電極膜１２３の隣接する電
極間に放電電圧よりも高い電圧を交互に印加すると、そ
の間でＡＣ放電が生じる。導体電極膜１２３上には誘電
体膜１２４が形成されているので、この放電は例えばパ
ルス状に素早く立ち上がる電界の場合、条件によって異
なるが概ね１μｓｅｃ以内に終了し、次のパルスが印加
されるまで放電は持続していない。この放電によって例
えばＸｅのガスを用いた場合、Ｘｅ₂ なるエキシマーが
発生するとともに基底状態に遷移する間に真空紫外領域
の紫外線を放出する。エキシマーから放出された紫外線
は通常放電ガス分子自身に吸収される自己吸収現象が起
こらないので減衰されることなく、前面基板１及び背面
基板２の表面の蛍光体膜４，５に到達することが出来
る。蛍光体膜４，５は紫外線によって励起発光し、発光
した光が前面基板１を通して可視光として取り出され
る。

【００１７】この際、蛍光体膜４，５は通常白色である
ので前面基板１の内面上の蛍光体膜４からの発光は前面
基板１を透過するとともに、背面基板２上の蛍光体膜５
で反射して再び前面基板１に向うため、相乗的に輝度を
増す。これによって、導体電極膜１２３のパターン形状
により生ずる細かい輝度むらを均一化するという効果を
奏している。

【００１８】また、本実施の形態の電極表面はむき出し
の蛍光体であり、ＭｇＯのような電極保護材料が使用さ
れていないが、実験の結果、エキシマー放電の場合はス
パッタリングによる蛍光体膜の劣化はほとんど観測され
ておらず、実用上問題はない。

【００１９】実施の形態２．図２は実施の形態１と同様
の原理を用いた平板型光源の実施の形態２を示すもので
あり、図において実施の形態１を示した図１と同一部分
には同一符号を付し説明を省略する。本実施の形態にお
いては背面基板２の内側表面に電極等を形成するのでは
なく、硝子またはセラミック等で形成された薄い絶縁体
板７を基板に用いて別途電極等８を形成し、これを背面
基板２の内側表面に設置したものである。

【００２０】電極等８は絶縁体板７の一方の面に蛍光体
膜５を被着し、他方の面には導体電極膜１２３を実施例
１と同様に形成し、さらに導体電極膜１２３の上面には
誘電体膜１２４を形成して成るものである。

【００２１】電極等８は図２に示すように背面基板２の
内面に誘電体膜１２４を密着させ、蛍光体膜５を放電空
間１２６側に向けて設置されている。絶縁体板７と導体
電極５は密着しており、機能的には絶縁体板７は実施例
１における誘電体膜１２４に相当し、本実施例における
誘電体膜１２４は単に絶縁破壊防止用のコーティングと
し機能するのみである。

【００２２】なお、動作は実施の形態１に示したものと
全く同様であるが、誘電体膜１２４の替わりに硝子ない
しセラミックの薄板を誘電体として用いることにより、
スクリーン印刷膜では得にくい高い均一性を得ることが
できる。また、誘電率に関して比較的小さいものが得ら
れるので、過大な放電電流の制御を容易に行うことがで
き、高い発光効率を得ることが出来る。

【００２３】実施の形態３．図３は本発明の実施の形態
３に係る導体電極膜のパターンの平面図である。図にお
いて、９はパターン形成された導体電極膜であり、導体
電極膜９は幅広部９ａと幅狭部９ｂが交互に連続する形
状をなし、複数の帯状の導体電極膜９が併設されてパタ
ーンが形成されている。すなわち、導体電極膜９のパタ
ーン形状は単なる直線的な平行パターンではなく、隣接
する導体電極間の電極間距離が規則的に変化するように
構成されている。

【００２４】このように構成された放電電極膜９におい
ては放電電圧を制御することによって電極間距離が最小
の部分のみでストリーマが発生するようにすることがで
きる。すなわち、電極間距離が最小のときは放電が生
じ、電極間距離がそれより大きい距離では放電が起こら
ないような値に放電電圧を設定すればよい。

【００２５】これによって、光源全体に流れる放電電流
を抑制することが出来、その結果発光効率を高めること
ができる。また、印加電圧によって放電電流値を制御す
ることも可能になる。

【００２６】実施の形態４．図４は本発明の実施の形態
４を示す平板状の光源の断面図であり、図において従来
例を示した図１２と同一部分には同一符号を付し説明を
省略する。本実施の形態では従来例で示した球状の硝子
スペーサ３０に替えて錐体形状の硝子スペーサ１１を設
け、硝子スペーサ１１は背面基板２の内面にその底面が
接し、前面基板１の内面にその頂点が接するように配置
したものである。硝子スペーサ１１の形状は基本的には
錐体であれば円錐でも四角錐でも構わないが、特に好ま
しい形状はどの面が底面になっても高さが同一になる正
四面体である。正四面体であれば平板状の光源の製作時
において硝子スペーサの設置面の方向を任意に決定でき
るからである。

【００２７】硝子スペーサを錐体形状にして、その頂点
が前面基板１に接するようにしたので、前面基板１上の
蛍光体膜１２２の硝子スペーサの頂点近傍にも周囲から
紫外線が到達でき、硝子スペーサの存在に拘らず蛍光体
膜２２の全面で発光させることができる。

【００２８】実施の形態５．図５は従来例で示した硝子
製の硝子スペーサ３０に替えてＬｉＦ、ＭｇＦ₂ 、Ｃａ
Ｆ₂ 、ＢａＦ₂ のいずれかの材料からなる球形のスペー
サ１２を設けたものである。なお、スペーサの形状は球
形に限られるものではなく、例えば錐体形、柱形等であ
ってもよい。

【００２９】これらの材料がいずれも真空紫外域の紫外
線を透過させる性質を持っているので、スペーサの近傍
の蛍光体膜にも周囲からの紫外線が到達するのでスペー
サの存在に拘らず蛍光体膜２２の全面で発光させること
ができる。

【００３０】実施の形態６．図６は本発明の実施の形態
６の断面図であり、図において１３は前面基板である。
図に示すように、前面基板１３は従来平面状の平板であ
ったものを周期的なうねりを持ちその断面が波打った形
状にしたものである。１３ａは前面基板１３の内面の頂
点であって背面基板２に接する部分であり、この部分が
支柱の作用をするので外囲器全体が大型になっても、う
ねりの周期が一定ならば大気圧との差圧による応力に耐
えることができる。

【００３１】実施の形態７．また、図７は実施の形態７
の実施例の断面図であり、図において１４は前面基板、
１４ａは前面基板１４の内面に規則的に設けられた一定
の高さを有する突起である。突起１４ａが前面基板１４
と背面基板２との間の支柱の作用をするので外囲器全体
が大型になっても前面基板１４は差圧による応力に耐え
ることができる。また、個々の突起の表面にも蛍光体を
塗布することにより、突起の存在の影響による暗部の発
生を回避することができる。

【００３２】実施の形態８．平板型光源にはエキシマー
生成用の放電ガスとしてＡｒ、Ｋｒ、若しくはＸｅ、ま
たはこれらの混合ガスが外囲器内に封入されるが、これ
らの放電ガスにＨｅまたはＮｅを混合して封入ガス全体
の圧力を略一気圧とする。ＨｅまたはＮｅは放電には寄
与しないので放電特性にはほとんど影響を与えることが
無い。これによって、封入ガスの圧力と大気圧との差圧
が無くなるので外囲器に応力が生じない。

【００３３】実施の形態９．図８は実施の形態８に示し
たような封入ガスの圧力がほぼ１気圧の平板型光源を製
造する製造装置の要部の構成を示す要部構成図である。
図において、１５は真空チャンバ、１６は真空チャンバ
１５内に設置された赤外線ランプ等からなる加熱装置、
１７は真空チャンバ１５内に設置された放電ガスが封入
される平板型光源である。１８は一端が平板型光源１７
の外囲器の排気口に接続され、他端が二枝に分岐して一
方の分岐管１８ａには真空ポンプ（図示なし）が他方の
分岐管１８ｂには放電ガス導入系（図示なし）がそれぞ
れ接続される排気管である。１９ａは真空チャンバ１５
の排気を行うための排気管であり、その一端には真空ポ
ンプ（図示なし）が接続されている。１９ｂは真空チャ
ンバ１５内の圧力を調整するためのガスを導入するため
の圧力調整ガス導入管である。２０、２１、２２、２３
はそれぞれ分岐管１８ａ、分岐管１８ｂ、排気管１９
ａ、圧力調整ガス導入管１９ｂの途中に設けられた真空
用のバルブである。

【００３４】次に、上記のように構成された製造装置を
利用して平板型パネルを製造する方法を説明する。ま
ず、導体電極膜、誘電体膜、蛍光体膜、封着周縁部、排
気口が全て装着されている外囲器を真空チャンバー１５
の内部に設置し、排気管１８の一端を外囲器の排気口に
接続し、分岐管１８ａ、分岐管１８ｂの一端をそれぞれ
真空ポンプ、ガス導入系に接続する。

【００３５】次に、真空ポンプを稼働して外囲器１７の
内部と真空チャンバー１５の内部の圧力がほぼ同圧力に
なるように真空排気を行う。このとき、加熱装置１６に
よって外囲器１７全体を加熱して内部の吸着ガスも排気
するようにする。

【００３６】外囲器１７の内圧が所定の真空度まで達す
ると排気を終了し、分岐管１８ｂから放電ガスを、圧力
調整ガス導入管１９ｂからは圧力調整ガス（放電ガスは
高価であるため他の安価なガスでよい。）をそれぞれ外
囲器１７の内部と真空チャンバー１５の内部の圧力がほ
ぼ同圧になるようにしながらガス導入を行う。ガス導入
が終了すると排気管１８でチップオフを行った後、外囲
器１７を真空チャンバー１５から取り出す。

【００３７】上記の方法によれば、ガスの排気及び導入
の工程中に外囲器の内部と外部とに圧力差が生じないの
で、たとい外囲器が１気圧の圧力差による応力に耐え得
るだけの強度を持っていなくとも平板型光源を製造する
ことが出来る。

【００３８】実施の形態１０．図９は本発明の実施の形
態１０に係る平板型光源の断面図である。図において、
２５は表面基板１と背面基板２を一定の距離に保持する
と共に外囲器の側面を形成する低融点硝子で形成された
外枠部である。２５ａ、２５ｂは外枠部２５に設けられ
た小孔であり、小孔は例えば外枠部２５が矩形の場合に
は少なくとも３辺の各辺に１個ずつ設けられている。

【００３９】外枠部２５に小孔２５ａ、２５ｂを形成す
るのに例えばスクリーン印刷を用いる場合は図１０に示
すようなマスクを使用すれば容易に実施することができ
る。２７、２８はそれぞれ小孔２５ａ、２５ｂに入れら
れた硝子またはセラミック製の錐体形の小片部材であ
り、小片部材２７、２８は表面基板１と背面基板２の間
隙と同一の高さを有しており底面と頂点がそれぞれ表面
基板１と背面基板２に接している。

【００４０】次に、上記の平板型光源の製造方法を説明
する。まず、外枠部２５の厚さは小片部材２７、２８の
高さよりもやや厚く形成しておく。外枠部２５の小孔２
５ａ、２５ｂ…内に小片部材２７、２８…を配置する。
そして、前面基板１を外枠部２５の上面に載置し、ばね
材などを用いて両基板を外枠部２５に押し付ける。加熱
して外枠部２５を溶融させて封着する。このとき、加熱
によって外枠部２５が溶融すると両基板の間隔が徐徐に
狭くなり小片部材の高さになった位置で封着されること
になる。

【００４１】なお、小片部材２７、２８の材料は硝子ま
たはセラミックに限られるものではなく外枠部２５に使
用する低融点ガラスの溶融温度で軟化しない性質のもの
であれば他の材料でもよい。また、小片部材２７、２８
の形状は錐体形に限られるものではなく、外囲器の封着
時に両基板の間隔を一定の距離に保持できるものであれ
ば例えば柱形や球形であってもよい。封着後は小片部材
に応力が集中することはないので、適正な条件を用いれ
ば排気工程での可熱処理などによって外囲器が破損する
こともない。

【００４２】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、エキシマ
ー生成ガスに混入されたヘリウムガスまたはネオンガス
を混入して放電ガスの全圧力をほぼ一気圧になるように
したので、外囲器の内部の圧力と大気圧との差圧による
応力が発生せず、大型のパネルを製造する場合でも内部
に支柱部材を設置する必要がなくパネルの構造を簡略化
できる。さらに、基板の板厚を薄くすることができ、パ
ネルの軽量化を図ることができる。

【００４３】また、外囲器のガスの排気、ガスの導入の
工程において外囲器の内部の圧力と外部の圧力をほぼ同
一に保持するようにしたので、平板型光源の製造工程に
おける外囲器の内部圧力と大気圧との差圧による応力が
発生せず、大型のパネルを製造する場合でも内部に支柱
部材を設置する必要がなくパネルの構造を簡略化でき
る。さらに、基板の板厚を薄くすることができ、パネル
の軽量化を図ることができる。

【００４４】また、低融点硝子層に小片部材を埋め込
み、低融点硝子層を溶融して封着する際に小片部材で二
枚の基板の間隔を規制するようにしたので、外囲器の外
枠体の製作が容易になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態１の断面図である。

【図２】本発明の実施の形態２の断面図である。

【図３】本発明の実施の形態３の平面図である。

【図４】本発明の実施の形態４の断面図である。

【図５】本発明の実施の形態５の断面図である。

【図６】本発明の実施の形態６の断面図である。

【図７】本発明の実施の形態７の断面図である。

【図８】本発明の実施の形態９に示した方法を実施す
る装置の要部の構成を示す要部構成図である。

【図９】本発明の実施の形態１０の断面図である。

【図１０】本発明の実施例１０の実施に使用するマス
クの平面図である。

【図１１】従来の平板型光源の断面図である。

【図１２】従来の平板型光源の断面図である。

【符号の説明】

１前面基板、２背面基板、３外枠体、４蛍光体
膜、５蛍光体膜、７絶縁体板、８電極等、９導体
電極膜、９ａ幅広部、９ｂ幅狭部、１１錐体形の小
片部材、１２ＬｉＦ、ＭｇＦ₂ 、ＣａＦ₂ 、ＢａＦ₂
のいずれかの材料からなる小片部材、１３前面基板、
１３ａ前面基板の内面の頂点、１４前面基板、１４
ａ前面基板の突起、１５真空チャンバ、１６加熱
装置、１７平板型光源、２５外枠部、２５ａ，２５
ｂ小孔、２７，２８錐体形の小片部材、１２３導
体電極膜、１２４誘電体膜、１２６放電空間。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者原田茂樹鎌倉市大船二丁目14番40号三菱電機株式会社生活システム研究所内 (72)発明者小林伍六鎌倉市大船二丁目14番40号三菱電機株式会社生活システム研究所内 (72)発明者西勝健夫鎌倉市大船二丁目14番40号三菱電機株式会社生活システム研究所内 (72)発明者狩野雅夫鎌倉市大船二丁目14番40号三菱電機株式会社生活システム研究所内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】放電により生成したエキシマーから放射
される真空紫外域の紫外線を利用して発光を行う平板型
基板において、エキシマー生成ガスに、ヘリウムまたは
ネオンを混合して放電ガスの全圧力をほぼ一気圧とした
ことを特徴とする平板型光源。
【請求項２】外囲器の内部と外部の圧力をほぼ同一に
保ちつつ外囲器の排気を行う排気工程と、該排気工程の終了後に外囲器の内部と外部の圧力をほぼ
同一に保ちつつ外囲器に放電ガスの導入を行うガス導入
工程とを備えたことを特徴とする平板型光源の製造方
法。
【請求項３】対向する２枚の基板と、該２枚の基板を一定の間隙に保持し、密閉された放電空
間を形成する、低融点硝子で構成された外枠体と、該外枠体の内部に備えられ、前記一定の隙間と同一高さ
を有する小片部材とを含むことを特徴とする平板型光
源。
【請求項４】対向する２枚の基板のいずれか一方の周
縁部に小孔を持った低融点硝子層を形成する低融点硝子
層形成工程と、該低融点硝子層形成工程で制作された前記小孔に該小孔
の深さより若干低い一定の高さを有する小片部材を埋め
込む埋込工程と、前記２枚の基板を前記低融点硝子層を介して重ね合わ
せ、前記低融点硝子層を溶融して封着する封着工程とを
備えたことを特徴とする平板型光源の製造方法。