JPH06229992A

JPH06229992A - 超音波探傷方法及びその装置

Info

Publication number: JPH06229992A
Application number: JP5020077A
Authority: JP
Inventors: Masaru Tateyama; 優館山; Kenji Kumasaka; 賢二熊坂; Yukio Kakinuma; 行雄柿沼; Hisao Nojima; 久男能島; Kimio Kanda; 喜美雄神田; Tsukasa Sasaki; 典佐々木
Original assignee: Hitachi Engineering Co Ltd; Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Engineering Co Ltd; Hitachi Ltd
Priority date: 1993-02-08
Filing date: 1993-02-08
Publication date: 1994-08-19

Abstract

(57)【要約】【目的】超音波エコーが強すぎたときでも感度の再設
定による再検査をなくし、迅速な検査を行う。【構成】被検体２６へ超音波ビームを送信し、被検体
２６からの反射波を受信する振動子２，３，４，５を複
数の屈折角度分もつ超音波探触子１と、超音波探触子１
からの受信信号を増幅した後に波形表示する超音波探傷
器７と備え、各振動子２，３，４，５を励振するタイミ
ングを時分割に行い、且つ、１角度の振動子に対し複数
回の励振を行いながら、各励振タイミングに同期させ主
増幅回路１１の増幅度を変える操作を複数の屈折角度毎
の振動子に対し時系列的に行う。これにより、一度の走
査で、増幅度の異なる探傷データを得ることができ、あ
る増幅度ではスケールオーバが生じてもスケールオーバ
の無い別の増幅度のデータも同時に得られるので、再検
査が不要となる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は超音波探傷装置に係り、
特に、超音波探傷を迅速に行うのに好適な超音波探傷方
法及びその装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】超音波探傷装置の探傷感度は、超音波探
傷器の前置増幅器と主増幅器で決めており、各屈折角毎
に前置増幅器が用意されている。各屈折角の超音波受信
信号の中で１番低いレベルを基準感度として主増幅器で
決め、他の信号レベル合わせは前置増幅器にて個々に設
定している。しかし、基準感度を設定し各屈折角の信号
レベル合わせを行なった後であっても、実探傷検査にお
いては、探傷範囲と被検体の形状により、超音波信号の
反射が強くなって受信信号レベルが大きく基準レベルを
越える現象が発生することがある。通常の場合、受信信
号の強度を評価するＡスコープ画面（超音波の受信強度
と伝搬時間を直角座標で表示するもの）にて基準感度で
の受信信号レベルをフルスケール100％に合わせている
ため、100％以上の受信信号については、スケールオー
バーとなり、受信強度を評価できなくなってしまう。

【０００３】このため、従来の超音波探傷装置では、１
回の探傷検査において探傷範囲内に100％以上の受信信
号が発生した場合は、評価できないため、探傷範囲内を
検査終了後、超音波探傷器の主増幅器の探傷感度を下げ
て設定し、同一探傷範囲を再度検査している。

【０００４】尚、超音波探傷装置に関連するものとし
て、例えば特開昭５３−５７８９３号公報，特開昭５５
−６５1５５号公報記載のものがある。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上述した従来の超音波
探傷装置で、例えば原子力発電所の圧力容器や配管等の
検査を行う場合、原子炉を停止する定期検査時にのみ検
査が可能となることから、迅速な検査が必要となり、ス
ケールオーバーによる再検査はなるべく回避しなければ
ならないという問題がある。また、原子力発電所におけ
る供用期間中の検査の場合、放射線被爆低減が必須であ
り、検査時間の短縮等検査効率を向上させなければなら
ない。このため、探傷感度の設定を各屈折角毎に確認
し、感度差を考慮しながら設定する必要があり、主増幅
器と前置増幅器の両方の感度調整ツマミの操作が要求さ
れる。これは、使用する屈折角が多くなるほど複雑な操
作となり、かつ高度の熟練技術が要求され、更に設定値
については、その都度記録しなければならないという煩
わしさがある。また、従来の超音波探傷装置は、１つの
屈折角に対して１つの前置増幅器が必要となるため、前
置増幅器の数が多くなり、超音波探傷器が大型化し，シ
ステムが複雑化するという問題もある。更に、スケール
オーバーによる再検査の可能性を完全に無くすことがで
きない。

【０００６】本発明の目的は、前置増幅器数が少なくて
済み、また、探傷検査作業において容易に探傷感度を各
屈折角毎に設定でき、スケールオーバーによる再検査を
無くし迅速な探傷検査を行うことのできる超音波探傷装
置と超音波探傷方法を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的は、被検体へ超
音波ビームを送信し被検体からの反射波を受信する振動
子を複数の屈折角度分もつ超音波探触子と、超音波探触
子からの受信信号を増幅した後に波形表示する超音波探
傷器と、各振動子を励振するタイミングを時分割に行い
且つ１角度の振動子に対し複数回の励振を行いながら各
励振タイミングに同期させ超音波探傷器の増幅度を変え
る操作を前記複数の屈折角度毎の振動子に対し時系列的
に行う手段とを設けることで、達成される。

【０００８】

【作用】超音波探傷器は、例えば複数の屈折角の振動子
で構成された超音波探触子に対し、屈折角毎に順次励振
するタイミング信号を出力し、超音波探触子からは超音
波信号を受信する。超音波探傷器は、励振タイミング信
号に同期しているため、各屈折角に対する増幅度を順次
時系列的に切換え、かつ、増幅度を基準感度とそれより
低い感度に切換えて増幅，検波整流しビデオ信号として
出力することにより、第１の屈折角の基準感度エコー，
同低い感度エコー、第２の屈折角の基準感度エコー，同
低い感度エコー、第３の屈折角の基準感度エコー，同低
い感度エコー、第４の屈折角の基準感度エコー，同低い
感度エコー，…の様に、時系列的にデータ収録を行う。
これにより、増幅度の異なる探傷感度で探傷範囲を一回
の走査で収録することが可能となる。

【０００９】

【実施例】以下、本発明の一実施例を図面を参照して説
明する。図１は、本発明の一実施例に係る超音波探傷装
置の概要構成図である。本実施例に係る超音波探傷装置
は、原子力発電所の定期検査に使用するものであり、マ
ルチビーム式超音波探触子（以下、超音波探触子と略
称）１と超音波探傷器７から成る。マルチビーム式超音
波探触子１は、例えば0°,45°,60°,70°等の複数の屈
折角用の振動子２，３，４，５及びシュー６（シューの
各振動子取付位置の面の傾斜角度は、被検体２６への超
音波屈折角（入射角）が前記の各角度となるようになっ
ている。）を備え、各振動子２，３，４，５からシュー
６を介して、超音波信号を被検体２６に送信し、被検体
２６からの反射超音波を受信する。

【００１０】超音波探傷器７は、タイミング回路８にて
発生されるタイミング信号ａにより、パルサー回路９で
各屈折角の振動子２，３，４，５を励振するための励振
信号ｂ，ｃ，ｄ，ｅを出力し、超音波信号ｆ，ｇ，ｈ，
ｉを発する。各振動子２，３，４，５は、被検体２６内
から反射されてくる超音波を受信して各反射超音波を電
気信号に変換し、前置増幅回路１０に送る。この前置増
幅回路１０では、受信した電気信号を一旦一定の増幅度
で増幅する。尚、本実施例では、超音波の送受信を１つ
の振動子で行なう一探法を例として説明しているため、
図１に示す超音波信号ｆ，ｇ，ｈ，ｉは送信信号と受信
信号を示す。

【００１１】パルサー回路９では、タイミング回路８か
ら出力されるタイミング信号ａの同期信号に同期して、
励振信号を、同じ振動子に対して２度繰返し出力する。
つまり、本実施例の場合、0°→0°→45°→45°→60°
→60°→70°→70°の順序で励振信号を出力する。前置
増幅回路１０では、0°,45°,60°,70°の各受信信号が
前記の励振信号に同期して入力されるため、４角度分を
角度毎に時分割に制御し時系列的な信号とする。

【００１２】主増幅回路１１では、前置増幅器１０にて
一旦増幅された0°,45°,60°,70°の時系列的な受信信
号を評価レベルまで大幅に増幅する。この時、タイミン
グ回路８から出力されるタイミング信号ａ’のゲイン選
択信号に同期して増幅度を変える。パルサ−回路９で
は、１角度の振動子に対し、２度励振信号を出力するた
め、主増幅回路１１では、例えば１回目の励振時のタイ
ミングには基準となる増幅度を設定し、２回目の励振時
のタイミングには、１回目より低い増幅度（例えば１／
１０の増幅度）を設定する。この様に、振動子の励振信
号に同期させ時分割にて増幅度を制御し、１回の走査中
に各振動子で異なる複数の増幅度（本実施例では２種類
の増幅度）の信号を得る。

【００１３】検波回路１２は、主増幅回路１１から出力
されるＡＣ波形を検波整流し、ＤＣ波形とする。表示回
路１３は、検波回路１２から出力されるＤＣ波形をタイ
ミング回路８から出力されるタイミング信号ｎに同期し
て、超音波受信信号の受信強度と伝搬時間を直角座標の
形で表すＡスコープ表示を行なう。

【００１４】表示回路１３には、４角度の屈折角に対
し、それぞれ２種類の増幅度が時分割に入力されるた
め、８パターンの表示が必要になるが選択して１つのパ
ターンを表示する。例えば、１つの屈折角に対して、主
増幅器の増幅度を通常ゲインと低いゲインとして分け、
例えば低いゲインを通常ゲインの１／１０の値とする
と、通常ゲインでＡスコープ表示フルスケール100％の
エコーに対し、低いゲインでは10％として評価できる。
つまり、通常ゲインを基準とすると低いゲインを使うこ
とにより、フルスケール100％の１０倍の1000％のエコ
ーまで評価可能となる。

【００１５】図２は、本発明の一実施例に係る超音波探
傷装置の全体構成図である。探傷現場において、探傷現
場機器１４は、超音波探触子１を保持し被検体２６表面
を走査し超音波信号の被検体２６に対する送受信を行な
う。検査室内機器１５は、超音波探触子１を保持して走
査する駆動装置１７を制御する。データ処理装置１６
は、位置信号及び超音波受信信号を収録し、収録したデ
ータを解析する。

【００１６】探傷現場機器１４は、超音波探触子１と駆
動装置１７とから構成されるが、探傷現場機器１４と検
査室内機器１５との間が離れていて超音波受信信号の減
衰が大きい場合は、一般にその間に前置増幅器１８を設
置する。

【００１７】検査室内機器１５は、制御装置１９とデー
タ収録装置２５から成り、データ収録装置２５は、超音
波探傷器７，入出力回路２０，コンピュータ２１，設定
器２２，表示器２３，記録装置２４（例えば、フロッピ
ーディスク装置）を備えている。

【００１８】超音波探傷器７では、前置増幅器１８を介
し、図１にて説明した様に、超音波探触子１に対し、各
屈折角毎の振動子励振タイミングに同期させ、時分割で
主増幅器の増幅度を「通常ゲイン」と「低いゲイン」に
設定して超音波探傷を行ない、Ａスコープ表示を行な
う。

【００１９】制御装置１９は、駆動装置１７を制御し、
超音波探触子１を被検体２６の表面に接触させ走行す
る。駆動装置１７からは、走行時の位置信号ｏを、制御
装置１９を介して、データ収録装置２５の入出力回路２
０へ出力する。入出力回路２０では、超音波探傷器７か
ら時系列的に出力されるビデオ信号ｐを波高値と路程値
にディジタル化し、また、位置信号ｏもディジタル化
し、コンピュータ２１の制御により、フロッピーディス
ク装置２４に記録する。制御装置１９及びデータ収録装
置２５の全体制御及び指令は、設定器２２から入力さ
れ、必要な情報は表示器２３に表示される。駆動装置１
７に対する起動／停止指令や、超音波探傷器７に対する
各屈折角毎の増幅度の設定指示や、ディジタル化された
超音波信号と位置信号をフロッピーディスク装置２４に
記録するための開始／終了指示等は、設定器２２から入
力される。

【００２０】データ処理装置１６は、データ収録装置２
５でフロッピーディスクに記録された探傷データをフロ
ッピーディスク装置２７で読出し、コンピュータ２８で
解析し、データ評価に必要な各種図表を表示器２９及び
プリンタ３０へ出力する。

【００２１】図３は、上述した超音波探傷器の動作タイ
ミングを示す図である。ＴＲＩＧ信号は、超音波探傷器
の同期信号となり、この信号に同期して、各屈折角に対
する振動子励振信号の基準信号となるＳＡＰ信号が出力
される。角度信号（ＣＨ０，ＣＨ１）は、時系列的に超
音波信号の送受信を行なっているため、ＴＲＩＧ信号に
同期させ屈折角の識別信号として２ビット持つ。増幅度
信号（ＧＡＩＮ）は、同一角度において主増幅器の増幅
度を２段階に切換えて行なっているため、増幅度の識別
信号として１ビット持つ。図３に示す実施例では、超音
波繰返周波数を２ＫＨｚ（500μsec）としているため、
８回の超音波繰返しで１サイクルになる。尚、１サイク
ル内における屈折角及び増幅度の順序については、適宜
変更可能である。

【００２２】図４は、図３と同じく超音波探傷器の動作
タイミングを示す図であり、図４では、超音波繰返しで
の１サイクルにおける１／８周期について示している。
ＴＲＩＧ信号の立下がりに同期してＳＡＰ信号が立下が
り３０μsec後に立上がる。この３０μsecの間に、その
周期で設定される増幅度を主増幅器に設定する。ＳＡＰ
信号の立上りに同期して振動子励振信号Ｔが出力され、
受信信号Ｒが入力される。そして受信信号Ｒは、検波整
流されＶＩＤＥＯ信号となる。

【００２３】図５は、Ａスコ−プ表示における通常のゲ
イン（ノ−マルＧＡＩＮ）と低いゲイン（１／１０ＧＡ
ＩＮ）のエコ−評価例を示す図である。ノ−マルＧＡＩ
Ｎで１００％以上となり、エコ−高さが評価できなくて
も１／１０ＧＡＩＮにて１５％として評価できる。つま
り、１／１０ＧＡＩＮにて１５％のためノ−マルＧＡＩ
Ｎでは、１５０％相当として評価可能となる。

【００２４】図６は、超音波探傷装置の動作タイミング
を示す図である。駆動装置からの位置信号としてエンコ
ーダＡ相とＢ相が制御装置を介して入力される。エンコ
ーダＡ相，Ｂ相は、位相弁別されＵＰ／ＤＯＷＮパルス
となり、超音波探触子の位置信号として計数される。

【００２５】本実施例では、駆動装置が０.５mm移動す
る毎に、超音波データを収録する。尚、本実施例の場
合、駆動装置が停止し位置信号の変化がない時は、超音
波データは収録しない。駆動装置の最大移動スピードを
５０mm／secとした場合、０.５mmの移動に対し１０ｍse
cの時間が必要となる。駆動装置と超音波探傷器の超音
波繰返周期は非同期のため、駆動装置が０.５mm移動時
に屈折角０°,４５°,６０°,７０°でかつ、各屈折角
で増幅度が２種類の計８パターンの超音波信号の収録が
必要となる。超音波探傷器の繰返周波数は、２ＫＨｚ
（500μsec）のため、１サイクルの探傷時間は、８×50
0μsec＝４ｍsecであり、十分に速い。このため、探傷
の取こぼし等は生せず、各屈折角で２種類の増幅度のデ
ータは全て収録可能である。ちなみに、駆動装置が０.
５mm移動する間に、超音波探傷器では、１０ｍsec／４
ｍsec＝２．５サイクルの探傷を行なうことができる。

【００２６】図７は、超音波探傷装置の制御手順を示す
フローチャートである。時分割に時系列的に入力される
ビデオ信号をディジタル化した信号によりデータ取込み
の動作を行なう。収録開始指令後、まず、スレッシュホ
ールドレベルを決めておく。例えば、Ａスコープ１０％
以上のエコーが検出された時にデータを取込むものとす
ると、エコー検出の有無判定を行い、検出されなければ
検出するまで、又は、収録終了指令が入力されるまでル
ープ処理を行なう。もし、エコーを検出された場合は、
エコーデータとして路程値，波高値等各種の識別が必要
となるため、識別信号として角度信号（ＣＨ０，ＣＨ
１），増幅度信号（ＧＡＩＮ）を取込む。エコーデータ
・角度信号・増幅度信号を取込んだことにより、１サイ
クルが８回の超音波繰返しの内、１回分のデータを取込
んだことになる。

【００２７】データ取込み後、位置信号を比較し、取込
済の位置に対し０.５mm以上の位置の移動判定を行な
い、「有」の場合はフロッピーディスク装置に対して、
収録データとして書込む。「無」の場合は、またエコー
検出判定処理を行なう。この場合、同一角度信号及び増
幅度位置でエコーが検出された場合は、前回取込んだデ
ータを更新する。

【００２８】図８は、フロッピーディスクに書込むデー
タフォーマットを示す図であり、位置信号が０.５mm変
化するまでの間に１サイクル分のデータを取込んだ場合
のデータフォーマット例である。

【００２９】データ処理装置では、データフォーマット
からも判る様に、１つのエコーデータに対しては、屈折
角情報及び増幅度情報が付いているため。例えば、45°
の屈折角で増幅度が１／１０ゲインの状態でエコー高さ
データが15％であったとすると、正規のエコー高さは、
通常の増幅度に換算し１５×１０＝１５０％として処理
し、解析することができる。

【００３０】本実施例によれば、超音波探傷器７の探傷
タイミングを時分割に切換えて、探傷感度を変えること
により、各屈折角毎に持っていた増幅器が１系統のみで
よくなる。また、同一屈折角内で増幅度を２段階に変え
るため、通常の増幅度でＡスコープ表示100％以上とな
り測定不能となる場合でも、同時に低いゲイン（１／１
０）で探傷データを収録するため、再探傷を実施する必
要がなくなり、検査時間が短縮され検査効率が向上す
る。

【００３１】

【発明の効果】本発明によれば、ハードウェア量が低減
し、また、エコーが強すぎる場合でも再探傷を行う必要
がなく短時間に検査ができるようになる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例に係る超音波探傷装置の概要
構成図である。

【図２】本発明の一実施例に係る超音波探傷装置の全体
構成図である。

【図３】超音波探傷器の動作タイミング説明図である。

【図４】超音波探傷器の動作タイミング詳細説明図であ
る。

【図５】増幅度切替によるＡスコ−プ表示説明図であ
る。

【図６】超音波探傷装置の動作タイミング説明図であ
る。

【図７】超音波探傷装置のデータ取込みの動作フロー説
明図である。

【図８】フロッピーディスクへのデ−タ書込フォーマッ
ト図である。

【符号の説明】

ａ…タイミング信号、ｂ〜ｅ…励振信号、ｆ〜ｉ…超音
波送受信信号、ｊ〜ｍ…受信信号、ｎ…タイミング信
号、ｏ…位置信号、ｐ…ビデオ信号、１…超音波探触
子、２〜５…振動子、６…シュー、７…超音波探傷器、
１４…探傷現場機器、１５…検査室内機器、１６…デー
タ処理装置、１７…駆動装置、１８…前置増幅器、１９
…制御装置、２０…入出力回路、２１…コンピュータ、
２２…設定器、２３…フロッピーディスク装置、２４…
表示器、２５…データ収録装置、２６…被検体、２７…
フロッピーディスク装置、２８…コンピュータ、２９…
表示器、３０…プリンタ。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者柿沼行雄茨城県日立市幸町三丁目２番１号日立エンジニアリング株式会社内 (72)発明者能島久男茨城県日立市幸町三丁目２番１号日立エンジニアリング株式会社内 (72)発明者神田喜美雄茨城県日立市幸町三丁目２番１号日立エンジニアリング株式会社内 (72)発明者佐々木典茨城県日立市幸町三丁目１番１号株式会社日立製作所日立工場内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被検体の所要位置から所要入射角で該被
検体内に送信した超音波の反射波を受信して電気信号に
変換し、該電気信号を設定増幅度で増幅してから探傷デ
ータを求める処理を、前記所要位置を前記被検体表面に
沿って走査しながら繰り返す超音波探傷方法において、
超音波を被検体内に送信して得られる反射超音波の電気
信号を第１設定増幅度で増幅して探傷データを求めた
後、同一走査中に同一位置，同一入射角で再び超音波を
被検体内に送信し、得られる反射超音波の電気信号を前
記第１設定増幅度とは異なる第２設定増幅度で増幅して
探傷データを求めることを特徴とする超音波探傷方法。
【請求項２】請求項１において、前記所要入射角は予
め設定した複数の所定入射角とし、各所定入射角毎に前
記第１設定増幅度による探傷データ及び第２設定増幅度
による探傷データを求めることを特徴とする超音波探傷
方法。
【請求項３】請求項２において、同一位置での異なる
所定入射角，異なる増幅度毎に時分割的に超音波の送信
／受信処理を行うことを特徴とする超音波探傷方法。
【請求項４】被検体を走査しながら入射超音波の反射
波を受信して電気信号に変換し該電気信号を増幅してか
ら探傷データを作成する超音波探傷方法において、走査
中に被検体の同一位置，同一入射角で得られる反射超音
波の電気信号を異なる増幅度で増幅し各増幅信号に基づ
いて夫々探傷データを作成することを特徴とする超音波
探傷方法。
【請求項５】請求項４において、異なる増幅度で探傷
データを作成する毎に超音波の送信を行うことを特徴と
する超音波探傷方法。
【請求項６】請求項１または請求項５のいずれかに記
載の超音波探傷方法で得られる探傷データの記憶方法に
おいて、探傷データに入射角情報及び増幅度情報を付加
して記憶することを特徴とする探傷データの記憶方法。
【請求項７】被検体に超音波を送信する超音波探触子
と、該超音波探触子を励振する励振回路と、反射超音波
を受信して電気信号に変換する超音波探触子と、該電気
信号を増幅する増幅器であって利得可変機能付の増幅器
と、該増幅器の出力から探傷データを生成する探傷デー
タ生成回路と、前記増幅器の増幅度を予め設定した複数
の増幅度間で切替ながら前記励振回路に駆動タイミング
を与えるタイミング回路とを備えることを特徴とする超
音波探傷装置。
【請求項８】被検体に超音波を送信し反射超音波を受
信して電気信号に変換する超音波探触子であって被検体
への超音波入射角の異なる複数の超音波探触子と、各超
音波探触子を順次励振して超音波を発振させる励振回路
と、各超音波探触子から順次得られる反射超音波に基づ
く電気信号を増幅する増幅器であって利得可変機能付の
増幅器と、該増幅器の出力から探傷データを生成する探
傷データ生成回路と、前記励振回路に駆動タイミングを
与えると共に同一走査中に同一位置で同じ超音波探触子
を励振するとき前記増幅器の増幅度を予め設定した別の
増幅度に切り替えるタイミング回路とを備えることを特
徴とする超音波探傷装置。
【請求項９】被検体の所要位置から所要入射角で該被
検体内に送信された超音波の反射波を受信して電気信号
に変換する超音波探触子と、該電気信号を設定増幅度で
増幅してから探傷データを求める処理を前記所要位置を
前記被検体表面に沿って走査しながら繰り返す制御手段
とを備える超音波探傷装置において、超音波を被検体内
に送信して得られる反射超音波の電気信号を第１設定増
幅度で増幅して探傷データを求める手段と、該探傷デー
タを求めた後に同一走査中に同一位置，同一入射角で再
び超音波を被検体内に送信し得られる反射超音波の電気
信号を前記第１設定増幅度とは異なる第２設定増幅度で
増幅して探傷データを求める手段とを備えることを特徴
とする超音波探傷装置。
【請求項１０】被検体を走査しながら入射超音波の反
射波を受信して電気信号に変換し該電気信号を増幅して
から探傷データを作成する超音波探傷装置において、走
査中に被検体の同一位置，同一入射角で得られる反射超
音波の電気信号を異なる増幅度で増幅し各増幅信号に基
づいて夫々探傷データを作成する手段を備えることを特
徴とする超音波探傷装置。
【請求項１１】被検体へ超音波ビームを送信し被検体
からの反射波を受信する振動子を複数の屈折角度分もつ
超音波探触子と、超音波探触子からの受信信号を増幅し
た後に波形表示する超音波探傷器と、各振動子を励振す
るタイミングを時分割に行い且つ１角度の振動子に対し
複数回の励振を行いながら各励振タイミングに同期させ
超音波探傷器の増幅度を変える操作を前記複数の屈折角
度毎の振動子に対し時系列的に行う手段とを備えること
を特徴とする超音波探傷装置。