JPH06220165A - Epoxy resin composition and encapsulated semiconductor device - Google Patents
Epoxy resin composition and encapsulated semiconductor deviceInfo
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- JPH06220165A JPH06220165A JP3287593A JP3287593A JPH06220165A JP H06220165 A JPH06220165 A JP H06220165A JP 3287593 A JP3287593 A JP 3287593A JP 3287593 A JP3287593 A JP 3287593A JP H06220165 A JPH06220165 A JP H06220165A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、耐湿性、半田耐熱性、
成形性に優れたエポキシ樹脂組成物および半導体封止装
置に関する。The present invention relates to moisture resistance, solder heat resistance,
The present invention relates to an epoxy resin composition having excellent moldability and a semiconductor sealing device.
【0002】[0002]
【従来の技術】近年、半導体集積回路の分野において、
高集積化、高信頼性化の技術開発と同時に半導体装置の
実装工程の自動化が推進されている。例えばフラットパ
ッケージ型の半導体装置を回路基板に取り付ける場合
に、従来、リードピン毎に半田付けを行っていたが、最
近では半田浸漬方式や半田リフロー方式が採用されてい
る。2. Description of the Related Art In recent years, in the field of semiconductor integrated circuits,
At the same time as technology development for high integration and high reliability, automation of the mounting process of semiconductor devices is being promoted. For example, when mounting a flat package type semiconductor device on a circuit board, conventionally, soldering is performed for each lead pin, but recently, a solder dipping method or a solder reflow method has been adopted.
【0003】[0003]
【発明が解決しようとする課題】従来のフェノールノボ
ラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキ
シ樹脂等のエポキシ樹脂、ノボラック型フェノール樹脂
およびシリカ粉末からなる樹脂組成物によって封止した
半導体装置は、装置全体の半田浴浸漬を行うと耐湿性が
低下するという欠点があった。特に吸湿した半導体装置
を浸漬すると、封止樹脂と半導体素子、あるいは封止樹
脂とリードフレームの間の剥がれや、内部樹脂クラック
が生じて著しい耐湿性劣化を起こし、電極の腐蝕による
断線や水分によるリーク電流を生じ、その結果、半導体
装置は、長期間の信頼性を保証することができないとい
う欠点があった。A conventional semiconductor device sealed with a resin composition consisting of an epoxy resin such as a phenol novolac type epoxy resin and a cresol novolac type epoxy resin, a novolac type phenolic resin and silica powder is used for the entire device. The immersion in the solder bath has a drawback that the moisture resistance is lowered. Especially when a semiconductor device that has absorbed moisture is immersed, peeling between the encapsulating resin and the semiconductor element, or between the encapsulating resin and the lead frame, and internal resin cracks cause significant deterioration in moisture resistance, which may cause wire breakage or moisture due to electrode corrosion. A leak current is generated, and as a result, the semiconductor device has a drawback that it cannot guarantee long-term reliability.
【0004】本発明は、上記の欠点を解消するためにな
されたもので、吸湿の影響が少なく、特に半田浴浸漬後
の耐湿性、半田耐熱性に優れ、封止樹脂と半導体素子あ
るいは封止樹脂とリードフレームとの剥がれや内部樹脂
クラックの発生がなく、また電極の腐蝕による断線や水
分によるリーク電流の発生もなく、長期信頼性を保証で
きるエポキシ樹脂組成物および半導体封止装置を提供し
ようとするものである。The present invention has been made in order to solve the above-mentioned drawbacks, has little influence of moisture absorption, is particularly excellent in moisture resistance and solder heat resistance after immersion in a solder bath, and has a sealing resin and a semiconductor element or sealing. Epoxy resin composition and semiconductor encapsulation device capable of ensuring long-term reliability without peeling of resin and lead frame or generation of internal resin cracks, disconnection due to electrode corrosion or leakage current due to moisture It is what
【0005】[0005]
【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記の目
的を達成しようと鋭意研究を重ねた結果、特定のエポキ
シ樹脂を、ノボラック型フェノール樹脂とともに用いる
ことによって、耐湿性、半田耐熱性に優れた樹脂組成物
が得られることを見いだし、本発明を完成したものであ
る。Means for Solving the Problems As a result of intensive studies aimed at achieving the above object, the present inventors have found that by using a specific epoxy resin together with a novolac type phenolic resin, moisture resistance and solder heat resistance can be improved. It was found that an excellent resin composition can be obtained, and the present invention has been completed.
【0006】即ち、本発明は、(A)フェニルフェノー
ルノボラック型エポキシ樹脂、(B)ノボラック型フェ
ノール樹脂および(C)無機質充填剤を必須成分とし、
樹脂組成物に対して前記(C)の無機質充填剤を25〜90
重量%の割合で含有してなることを特徴とするエポキシ
樹脂組成物である。また、このエポキシ樹脂組成物の硬
化物によって、半導体素子が封止されてなることを特徴
とする半導体封止装置である。That is, the present invention comprises (A) phenylphenol novolac type epoxy resin, (B) novolac type phenolic resin and (C) inorganic filler as essential components,
The inorganic filler (C) is added to the resin composition in an amount of 25 to 90.
The epoxy resin composition is characterized in that it is contained in a weight percentage. A semiconductor encapsulation device is obtained by encapsulating a semiconductor element with a cured product of this epoxy resin composition.
【0007】以下、本発明を詳細に説明する。The present invention will be described in detail below.
【0008】本発明に用いる(A)フェニルフェノール
ノボラック型型エポキシ樹脂としては、フェニルフェノ
ールのノボラックにおけるフェノール性水酸基の水素原
子をグリシジル基で置換したものであればよく、その分
子量等特に制限されることなく使用することができる。
例えば化1で示されるo-フェニルフェノールノボラック
型エポキシ樹脂、化2で示されるp-フェニルフェノール
ノボラック型エポキシ樹脂が挙げられる。The (A) phenylphenol novolak type epoxy resin used in the present invention may be any one in which the hydrogen atom of the phenolic hydroxyl group in phenylphenol novolac is replaced with a glycidyl group, and the molecular weight and the like are particularly limited. Can be used without.
For example, an o-phenylphenol novolac type epoxy resin represented by Chemical formula 1 and a p-phenylphenol novolac type epoxy resin represented by Chemical formula 2 can be mentioned.
【0009】[0009]
【化1】 [Chemical 1]
【0010】[0010]
【化2】 これらのエポキシ樹脂は、単独又は 2種以上混合して使
用することができる。これらのフェニルフェノールノボ
ラック型エポキシ樹脂の他に、フェノールやクレゾール
のノボラック系エポキシ樹脂やエピビス系エポキシ樹脂
を併用することができる。[Chemical 2] These epoxy resins can be used alone or in combination of two or more. In addition to these phenylphenol novolac type epoxy resins, phenol or cresol novolac type epoxy resins and epibis type epoxy resins can be used in combination.
【0011】本発明に用いる(B)ノボラック型フェノ
ール樹脂としては、フェノール、アルキルフェノール等
のフェノール類とホルムアルデヒドあるいはパラホルム
アルデヒドとを反応させて得られるノボラック型フェノ
ール樹脂およびこれらの変性樹脂、例えばエポキシ化も
しくはブチル化ノボラック型フェノール樹脂等が挙げら
れ、これらは単独又は 2種以上混合して使用することが
できる。ノボラック型フェノール樹脂の配合割合は、前
記(A)のエポキシ樹脂のエポキシ基(a )と(B)の
ノボラック型フェノール樹脂のフェノール性水酸基(b
)とのモル比[(a )/(b )]が 0.1〜10の範囲内
であることが望ましい。モル比が 0.1未満もしくは10を
超えると耐熱性、耐湿性、成形作業性および硬化物の電
気特性が悪くなり、いずれの場合も好ましくない。The novolak type phenolic resin (B) used in the present invention is a novolak type phenolic resin obtained by reacting phenols such as phenol and alkylphenol with formaldehyde or paraformaldehyde, and modified resins thereof such as epoxidized or Butylated novolac type phenolic resin and the like can be mentioned, and these can be used alone or in combination of two or more kinds. The mixing ratio of the novolac type phenol resin is such that the epoxy group (a) of the epoxy resin of (A) and the phenolic hydroxyl group (b) of the novolac type phenol resin of (B) are
It is desirable that the molar ratio [(a) / (b)] with () is within the range of 0.1 to 10. When the molar ratio is less than 0.1 or more than 10, the heat resistance, moisture resistance, molding workability and electrical properties of the cured product deteriorate, which is not preferable.
【0012】本発明に用いる(C)無機質充填剤として
は、一般に使用されているものが広く使用されるが、そ
れらの中でも不純物濃度が低く、平均粒径30μm 以下の
シリカ粉末が好ましく使用される。平均粒径30μm を超
えると耐湿性および成形性が劣り好ましくない。無機質
充填剤の配合割合は、全体の樹脂組成物に対して25〜90
重量%含有するように配合することが望ましい。その割
合が25重量%未満では樹脂組成物の吸湿性が高く、半田
浸漬後の耐湿性に劣り、また90重量%を超えると極端に
流動性が悪くなり、成形性に劣り好ましくない。As the inorganic filler (C) used in the present invention, generally used ones are widely used. Among them, silica powder having a low impurity concentration and an average particle diameter of 30 μm or less is preferably used. . If the average particle size exceeds 30 μm, the moisture resistance and moldability are poor, which is not preferable. The blending ratio of the inorganic filler is 25 to 90 with respect to the entire resin composition.
It is desirable to formulate so as to contain the composition in a weight percentage. When the proportion is less than 25% by weight, the hygroscopicity of the resin composition is high and the moisture resistance after solder immersion is poor, and when it exceeds 90% by weight, the fluidity is extremely deteriorated and the moldability is poor, which is not preferable.
【0013】本発明のエポキシ樹脂組成物は、前述した
特定のエポキシ樹脂、ノボラック型フェノール樹脂およ
び無機質充填剤を必須成分とするが、本発明の目的に反
しない限度において、また必要に応じて、例えば天然ワ
ックス類、合成ワックス類、直鎖脂肪酸の金属塩、酸ア
ミド、エステル類、パラフィン等の離型剤、三酸化アン
チモン等の難燃剤、カーボンブラック等の着色剤、シラ
ンカップリング剤、種々の硬化促進剤、ゴム系やシリコ
ーン系の低応力付与剤等を適宜添加・配合することがで
きる。The epoxy resin composition of the present invention contains the above-mentioned specific epoxy resin, novolac type phenolic resin and inorganic filler as essential components, but within the range not deviating from the object of the present invention, and if necessary, For example, natural waxes, synthetic waxes, metal salts of straight chain fatty acids, acid amides, esters, release agents such as paraffin, flame retardants such as antimony trioxide, colorants such as carbon black, silane coupling agents, etc. A curing accelerator, a rubber-based or silicone-based low stress imparting agent, and the like can be appropriately added and blended.
【0014】本発明のエポキシ樹脂組成物を成形材料と
して調製する場合の一般的方法は、前述した特定のエポ
キシ樹脂、ノボラック型フェノール樹脂、無機質充填剤
およびその他の成分を配合し、ミキサー等によって十分
均一に混合した後、さらに熱ロールによる溶融混合処理
またはニーダ等による混合処理を行い、次いで冷却固化
させ適当な大きさに粉砕して成形材料とすることができ
る。こうして得られた成形材料は、半導体素子をはじめ
とする電子部品或いは電気部品の封止・被覆・絶縁等に
適用すれば優れた特性と信頼性を付与させることができ
る。A general method for preparing the epoxy resin composition of the present invention as a molding material is to mix the above-mentioned specific epoxy resin, novolac type phenol resin, inorganic filler and other components, and mix well with a mixer or the like. After uniformly mixing, a melt mixing process using a hot roll or a mixing process using a kneader or the like is further performed, and then the mixture is cooled and solidified and pulverized to an appropriate size to obtain a molding material. If the molding material thus obtained is applied to sealing, coating, insulation, etc. of electronic components such as semiconductor elements or electrical components, excellent properties and reliability can be imparted.
【0015】また、本発明の半導体封止装置は、上述の
成形材料を用いて半導体素子を封止することにより容易
に製造することができる。封止を行う半導体素子として
は、例えば集積回路、大規模集積回路、トランジスタ、
サイリスタ、ダイオード等で特に限定されるものではな
い。封止の最も一般的な方法としては、低圧トランスフ
ァー成形法があるが、射出成形、圧縮成形、注形等によ
る封止も可能である。成形材料で封止後加熱して硬化さ
せ、最終的にはこの硬化物によって封止された半導体封
止装置が得られる。加熱による硬化は、150 ℃以上に加
熱して硬化させることが望ましい。The semiconductor encapsulation device of the present invention can be easily manufactured by encapsulating a semiconductor element using the above molding material. Examples of the semiconductor element to be sealed include integrated circuits, large-scale integrated circuits, transistors,
The thyristor and the diode are not particularly limited. The most common method of sealing is a low-pressure transfer molding method, but sealing by injection molding, compression molding, casting or the like is also possible. After sealing with a molding material, it is heated and cured, and finally a semiconductor sealing device sealed with this cured product is obtained. For curing by heating, it is desirable to heat and cure at 150 ° C or higher.
【0016】[0016]
【作用】本発明のエポキシ樹脂組成物および半導体封止
装置は、特定のエポキシ樹脂、ノボラック型フェノール
樹脂を用いることによって、樹脂組成物のガラス転移温
度が上昇し、熱機械的特性と低応力性が向上し、半田浸
漬、半田リフロー後の樹脂クラックの発生がなくなり、
耐湿性劣化が少なくなるものである。In the epoxy resin composition and semiconductor encapsulation device of the present invention, the glass transition temperature of the resin composition is increased by using a specific epoxy resin or novolac type phenol resin, and the thermomechanical properties and low stress And the occurrence of resin cracks after solder dipping and solder reflow,
The moisture resistance is less deteriorated.
【0017】[0017]
【実施例】次に本発明を実施例によって具体的に説明す
るが、本発明はこれらの実施例よって限定されるもので
はない。以下の実施例および比較例において「%」とは
「重量%」を意味する。EXAMPLES The present invention will now be described in detail with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples. In the following examples and comparative examples, “%” means “% by weight”.
【0018】実施例1 次式に示したo-フェニルフェノールノボラック型エポキ
シ樹脂(エポキシ当量250 )18%、Example 1 18% o-phenylphenol novolac type epoxy resin represented by the following formula (epoxy equivalent 250),
【0019】[0019]
【化3】 ノボラック型フェノール樹脂7 %、シリカ粉末74%、硬
化促進剤 0.4%、エステルワックス類 0.3%およびシラ
ンカップリング剤 0.3%を常温で混合し、さらに90〜95
℃で混練冷却した後、粉砕して成形材料(A)を製造し
た。[Chemical 3] Novolak type phenolic resin 7%, silica powder 74%, curing accelerator 0.4%, ester waxes 0.3% and silane coupling agent 0.3% are mixed at room temperature and then 90-95%.
After kneading and cooling at 0 ° C., it was pulverized to produce a molding material (A).
【0020】実施例2 次式に示したp-フェニルフェノールノボラック型エポキ
シ樹脂(エポキシ当量330 )19%、Example 2 19% of p-phenylphenol novolac type epoxy resin (epoxy equivalent 330) represented by the following formula:
【0021】[0021]
【化4】 ノボラック型フェノール樹脂6 %、シリカ粉末74%、硬
化促進剤 0.4%、エステルワックス類 0.3%およびシラ
ンカップリング剤 0.3%を常温で混合し、さらに90〜95
℃で混練冷却した後、粉砕して成形材料(B)を製造し
た。[Chemical 4] Novolak type phenolic resin 6%, silica powder 74%, hardening accelerator 0.4%, ester waxes 0.3% and silane coupling agent 0.3% are mixed at room temperature and then 90-95%.
After kneading and cooling at 0 ° C., it was pulverized to produce a molding material (B).
【0022】実施例3 実施例1で用いたo-フェニルフェノールノボラック型エ
ポキシ樹脂(エポキシ当量250 )9 %、o-クレゾールノ
ボラック型エポキシ樹脂8 %、ノボラック型フェノール
樹脂 8%、シリカ粉末74%、硬化促進剤 0.4%、エステ
ルワックス類 0.3%およびシランカップリング剤 0.3%
を常温で混合し、さらに90〜95℃で混練冷却した後、粉
砕して成形材料(C)を製造した。Example 3 9% of o-phenylphenol novolac type epoxy resin (epoxy equivalent of 250) used in Example 1, 8% of o-cresol novolac type epoxy resin, 8% of novolac type phenol resin, 74% of silica powder, Curing accelerator 0.4%, ester waxes 0.3% and silane coupling agent 0.3%
Was mixed at room temperature, further kneaded and cooled at 90 to 95 ° C., and then pulverized to produce a molding material (C).
【0023】比較例1 o-クレゾールノボラックノボラック型エポキシ樹脂17
%、ノボラック型フェノール樹脂8 %、シリカ粉末74
%、硬化促進剤 0.4%、エステルワックス類 0.3%およ
びシランカップリング剤 0.3%を常温で混合し、さらに
90〜95℃で混練冷却した後、粉砕して成形材料(D)を
製造した。Comparative Example 1 o-Cresol Novolac Novolac Epoxy Resin 17
%, Novolac type phenolic resin 8%, silica powder 74
%, Curing accelerator 0.4%, ester waxes 0.3% and silane coupling agent 0.3% at room temperature, and
After kneading and cooling at 90 to 95 ° C., it was pulverized to produce a molding material (D).
【0024】比較例2 エピビス型エポキシ樹脂(エポキシ当量 450)20%、ノ
ボラック型フェノール樹脂 5%、シリカ粉末74%、硬化
促進剤 0.4%、エステルワックス類 0.3%およびシラン
カップリング剤 0.3%を常温で混合し、さらに90〜95℃
で混練冷却した後、粉砕して成形材料(E)を製造し
た。Comparative Example 2 Epibis type epoxy resin (epoxy equivalent 450) 20%, novolac type phenol resin 5%, silica powder 74%, curing accelerator 0.4%, ester waxes 0.3% and silane coupling agent 0.3% were used at room temperature. And mix at 90-95 ℃
After kneading and cooling with, the mixture was pulverized to produce a molding material (E).
【0025】こうして製造した成形材料(A)〜(E)
を用いて 170℃に加熱した金型内にトランスファー注入
し、半導体素子を封止し硬化させて半導体封止装置を製
造した。これらの半導体封止装置について、諸試験を行
ったのでその結果を表1に示したが、本発明のエポキシ
樹脂組成物および半導体封止装置は、耐湿性、半田耐熱
性に優れており、本発明の顕著な効果を確認することが
できた。Molding materials (A) to (E) thus produced
Was used for transfer injection into a mold heated to 170 ° C., and the semiconductor element was sealed and cured to manufacture a semiconductor sealing device. Various tests were conducted on these semiconductor encapsulation devices, and the results are shown in Table 1. The epoxy resin composition and the semiconductor encapsulation device of the present invention are excellent in moisture resistance and solder heat resistance. The remarkable effect of the invention could be confirmed.
【0026】[0026]
【表1】 *1 :トランスファー成形によって直径50mm、厚さ3mm
の成形品を作り、これを127℃, 2.5気圧の飽和水蒸気
中に24時間放置し、増加した重量によって測定した。 *2 :吸水率の場合と同様な成形品を作り、 175℃,8
時間の後硬化を行い、適当な大きさの試験片とし、熱機
械分析装置を用いて測定した。 *3 :JIS−K−6911に準じて試験した。 *4 :成形材料を用いて、 2本以上のアルミニウム配線
を有するシリコン製チップを、通常の42アロイフレーム
に接着し、175 ℃,2 分間トランスファー成形した後、
175 ℃,8 時間の後硬化を行った。こうして得た成形品
を、予め40℃,90%RH、100 時間の吸湿処理した後、
250 ℃の半田浴に10秒間浸漬した。その後、127 ℃,
2.5気圧の飽和水蒸気中でPCTを行い、アルミニウム
の腐蝕による50%断線を不良として評価した。 *5 : 8×8mm ダミーチップをQFP(14×14× 1.4m
m)パッケージに納め、成形材料を用いて175 ℃,2 分
間トランスファー成形した後、175 ℃,8 時間の後硬化
を行った。こうして得た半導体封止装置を85℃,85%,
24時間の吸湿処理をした後、240 ℃の半田浴に 1分間浸
漬した。その後、実体顕微鏡でパッケージ表面を観察
し、外部樹脂クラックの発生の有無を評価した。[Table 1] * 1: Diameter 50 mm, thickness 3 mm by transfer molding
The molded product of No. 1 was prepared, and it was left in saturated steam at 127 ° C. and 2.5 atm for 24 hours and measured by the increased weight. * 2: Make a molded product similar to the case of water absorption, 175 ℃, 8
After post-curing for a certain time, a test piece of an appropriate size was prepared and measured using a thermomechanical analyzer. * 3: Tested according to JIS-K-6911. * 4: Using a molding material, attach a silicon chip with two or more aluminum wires to a normal 42 alloy frame and transfer mold at 175 ° C for 2 minutes.
Post-curing was performed at 175 ° C for 8 hours. The molded product thus obtained is subjected to moisture absorption treatment at 40 ° C., 90% RH for 100 hours in advance, and then
It was immersed in a solder bath at 250 ° C for 10 seconds. After that, 127 ℃,
PCT was performed in saturated steam of 2.5 atm and 50% disconnection due to corrosion of aluminum was evaluated as defective. * 5: QFP (14 × 14 × 1.4m) with 8 × 8mm dummy chip
m) It was placed in a package, transfer molding was performed for 2 minutes at 175 ° C using the molding material, and then post-curing was performed at 175 ° C for 8 hours. The semiconductor encapsulation device obtained in this way is 85 ℃, 85%,
After absorbing moisture for 24 hours, it was immersed in a solder bath at 240 ° C for 1 minute. Then, the package surface was observed with a stereoscopic microscope to evaluate the presence or absence of external resin cracks.
【0027】[0027]
【発明の効果】以上の説明および表1から明らかなよう
に、本発明のエポキシ樹脂組成物および半導体封止装置
は、耐湿性、半田耐熱性に優れ、吸湿による影響が少な
く、電極の腐蝕による断線や水分によるリーク電流の発
生等を著しく低減することができ、しかも長期間にわた
って信頼性を保証することができる。As is clear from the above description and Table 1, the epoxy resin composition and the semiconductor encapsulation device of the present invention have excellent moisture resistance and solder heat resistance, are less affected by moisture absorption, and are not affected by electrode corrosion. It is possible to remarkably reduce the generation of leakage current due to disconnection and moisture, and it is possible to guarantee the reliability for a long period of time.
Claims (2)
エポキシ樹脂、(B)ノボラック型フェノール樹脂およ
び(C)無機質充填剤を必須成分とし、樹脂組成物に対
して前記(C)の無機質充填剤を25〜90重量%の割合で
含有してなることを特徴とするエポキシ樹脂組成物。1. A resin composition comprising (A) phenylphenol novolac type epoxy resin, (B) novolac type phenolic resin and (C) inorganic filler as essential components, and 25% of the inorganic filler of (C) to the resin composition. An epoxy resin composition, characterized in that it is contained in a proportion of from 90 to 90% by weight.
エポキシ樹脂、(B)ノボラック型フェノール樹脂およ
び(C)無機質充填剤を必須成分とし、樹脂組成物に対
して前記(C)の無機質充填剤を25〜90重量%の割合で
含有したエポキシ樹脂組成物の硬化物によって、半導体
素子が封止されてなることを特徴とする半導体封止装
置。2. A phenylphenol novolac type epoxy resin (A), a novolac type phenolic resin (B) and an inorganic filler (C) are essential components, and the inorganic filler of (C) is added to the resin composition in an amount of 25. A semiconductor encapsulation device, wherein a semiconductor element is encapsulated with a cured product of an epoxy resin composition contained in a proportion of ˜90 wt%.
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3287593A JPH06220165A (en) | 1993-01-28 | 1993-01-28 | Epoxy resin composition and encapsulated semiconductor device |
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JP3287593A JPH06220165A (en) | 1993-01-28 | 1993-01-28 | Epoxy resin composition and encapsulated semiconductor device |
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- 1993-01-28 JP JP3287593A patent/JPH06220165A/en active Pending
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