JPH0621202A - 基板ハンドリング装置 - Google Patents
基板ハンドリング装置Info
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- JPH0621202A JPH0621202A JP5390893A JP5390893A JPH0621202A JP H0621202 A JPH0621202 A JP H0621202A JP 5390893 A JP5390893 A JP 5390893A JP 5390893 A JP5390893 A JP 5390893A JP H0621202 A JPH0621202 A JP H0621202A
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- substrate handling
- handle
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- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25B—TOOLS OR BENCH DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, FOR FASTENING, CONNECTING, DISENGAGING OR HOLDING
- B25B9/00—Hand-held gripping tools other than those covered by group B25B7/00
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
- H01L21/68707—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a robot blade, or gripped by a gripper for conveyance
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- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S269/00—Work holders
- Y10S269/903—Work holder for electrical circuit assemblages or wiring systems
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- Power Engineering (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Manipulator (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 操作が簡単で比較的大きく、重い基板のハン
ドリング装置を提供する。 【構成】 基板ハンドリング装置（１０）はハンドル・
グリップ（２０）とともに引き金状機構を形成するトリ
ガ・ハンドルを含んでいる。トリガ・ハンドルは活動化
手段（８０等）と接続されており、トリガ・ハンドルに
圧力をかけることによって活動化手段が活動化され、直
線上の前進運動をする。この前進運動が、スロット（１
４５、１５０、１５５、１６０）にスライド係合された
クランプ（１２５、１３０）を溝（１１５）に沿って内
側に向って水平運動させ、ワークピースを保持する。
ドリング装置を提供する。 【構成】 基板ハンドリング装置（１０）はハンドル・
グリップ（２０）とともに引き金状機構を形成するトリ
ガ・ハンドルを含んでいる。トリガ・ハンドルは活動化
手段（８０等）と接続されており、トリガ・ハンドルに
圧力をかけることによって活動化手段が活動化され、直
線上の前進運動をする。この前進運動が、スロット（１
４５、１５０、１５５、１６０）にスライド係合された
クランプ（１２５、１３０）を溝（１１５）に沿って内
側に向って水平運動させ、ワークピースを保持する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は総括的にワークピース・
ホルダないしハンドラに関し、詳細にいえば、基板、ウ
ェハ、取付け工具、回路カードなどを保持するためのホ
ルダないしハンドラに関する。
ホルダないしハンドラに関し、詳細にいえば、基板、ウ
ェハ、取付け工具、回路カードなどを保持するためのホ
ルダないしハンドラに関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体基板の製造及びテスト中に、各種
のプロセス・ステップを実施し、かつあるプロセス・ス
テップから他のステップへ運搬ないし移送するために、
基板を頻繁に取り扱うことが必要となる。クリーン・ル
ーム環境において、このような取扱いは一般に、手動あ
るいは気圧作動いずれかのハンドリング工具を使用して
行われる。残念なことに、今日市販されている従来の基
板ハンドリング工具は通常、不適切であり、また効率の
悪いものである。これは今日の比較的大型で、重量のあ
る基板を取り扱う際に特に当てはまるものである。たと
えば、今日の基板は大きさが２００ｍｍ以上で、重量が
５ポンド以上となっている。これに関し、従来のハンド
リング工具は今日の基板を適切に取り扱う能力に欠けて
いるか、あるいは各種の必要なプロセスを遂行する際
に、ユーザが基板を適切に制御あるいは移動することが
できないものであるかのいずれかである。ハンドリング
工具が不適切なものであることによって、基板が落下
し、それ故基板に修理不能な損傷がもたらされたり、あ
るいは基板を汚染されたりすることがしばしばある。
のプロセス・ステップを実施し、かつあるプロセス・ス
テップから他のステップへ運搬ないし移送するために、
基板を頻繁に取り扱うことが必要となる。クリーン・ル
ーム環境において、このような取扱いは一般に、手動あ
るいは気圧作動いずれかのハンドリング工具を使用して
行われる。残念なことに、今日市販されている従来の基
板ハンドリング工具は通常、不適切であり、また効率の
悪いものである。これは今日の比較的大型で、重量のあ
る基板を取り扱う際に特に当てはまるものである。たと
えば、今日の基板は大きさが２００ｍｍ以上で、重量が
５ポンド以上となっている。これに関し、従来のハンド
リング工具は今日の基板を適切に取り扱う能力に欠けて
いるか、あるいは各種の必要なプロセスを遂行する際
に、ユーザが基板を適切に制御あるいは移動することが
できないものであるかのいずれかである。ハンドリング
工具が不適切なものであることによって、基板が落下
し、それ故基板に修理不能な損傷がもたらされたり、あ
るいは基板を汚染されたりすることがしばしばある。
【０００３】したがって、操作が簡単で、クリーン・ル
ーム環境で使用するのに適しており、比較的大きく、重
い基板を適切にハンドリングすることができ、かつ充分
な制御性及び操作性による基板のハンドリングを可能と
する基板ハンドリング工具が必要とされている。
ーム環境で使用するのに適しており、比較的大きく、重
い基板を適切にハンドリングすることができ、かつ充分
な制御性及び操作性による基板のハンドリングを可能と
する基板ハンドリング工具が必要とされている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、新規
で改善された基板ハンドリング工具を提供することであ
る。
で改善された基板ハンドリング工具を提供することであ
る。
【０００５】本発明の他の目的は、操作が単純な基板ハ
ンドリング工具を提供することである。
ンドリング工具を提供することである。
【０００６】本発明のさらに他の目的は、クリーン・ル
ーム環境で使用できる基板ハンドリング工具を提供する
ことである。
ーム環境で使用できる基板ハンドリング工具を提供する
ことである。
【０００７】本発明のさらにまた他の目的は、大型で、
重量の重い基板を取り扱うことができる基板ハンドリン
グ工具を提供することである。
重量の重い基板を取り扱うことができる基板ハンドリン
グ工具を提供することである。
【０００８】本発明のさらにまた他の目的は、充分な制
御性及び操作性による基板のハンドリングを可能とする
基板ハンドリング工具を提供することである。
御性及び操作性による基板のハンドリングを可能とする
基板ハンドリング工具を提供することである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明の上記及びその他
の目的を達成するために、基板ハンドリング装置はフレ
ームを含んでおり、このフレームからハンドル・グリッ
プが延びている。２つのクランプがフレームに取り付け
られている。各クランプはフレームから延びているクラ
ンプ部分を有しており、また各クランプはリセット位置
からクランプ位置まで運動可能である。活動化手段がフ
レームに配置されており、クランプに結合されている。
活動化手段はリセット位置からクランプ位置へのクラン
プの運動を制御するために活動化することができる。さ
らに、トリガ・ハンドルが活動化手段と結合され、トリ
ガ・ハンドルに圧力を印加することで、活動化手段を活
動化するようになっている。トリガ・ハンドルはハンド
ル・グリップとともに引き金状の機構を形成し、ハンド
ル・グリップの把持とトリガ・ハンドルへの圧力の印加
とを片手操作で同時に行えるようになっている。
の目的を達成するために、基板ハンドリング装置はフレ
ームを含んでおり、このフレームからハンドル・グリッ
プが延びている。２つのクランプがフレームに取り付け
られている。各クランプはフレームから延びているクラ
ンプ部分を有しており、また各クランプはリセット位置
からクランプ位置まで運動可能である。活動化手段がフ
レームに配置されており、クランプに結合されている。
活動化手段はリセット位置からクランプ位置へのクラン
プの運動を制御するために活動化することができる。さ
らに、トリガ・ハンドルが活動化手段と結合され、トリ
ガ・ハンドルに圧力を印加することで、活動化手段を活
動化するようになっている。トリガ・ハンドルはハンド
ル・グリップとともに引き金状の機構を形成し、ハンド
ル・グリップの把持とトリガ・ハンドルへの圧力の印加
とを片手操作で同時に行えるようになっている。
【００１０】
【実施例】図面には、手動基板ハンドリング工具１０が
示されている。工具１０はメイン・フレーム１５、ハン
ドル・グリップ２０、及びカバー・フレーム２２を含ん
でいる。カバー・フレーム２２は上部カバー部分２５及
び下部カバー部分３０からなっていることが好ましい。
ハンドル・グリップ２０がメイン・フレーム１５から約
９０度の角度で延びていることに留意されたい。
示されている。工具１０はメイン・フレーム１５、ハン
ドル・グリップ２０、及びカバー・フレーム２２を含ん
でいる。カバー・フレーム２２は上部カバー部分２５及
び下部カバー部分３０からなっていることが好ましい。
ハンドル・グリップ２０がメイン・フレーム１５から約
９０度の角度で延びていることに留意されたい。
【００１１】トリガ・ハンドル３５がハンドル・グリッ
プ２０に取り付けられており、ハンドル・ピン４０を中
心としてピボット運動可能となっている。トリガ・ハン
ドル３５は圧縮可能であり、トリガ・ハンドル３５の運
動はハンドル３５の端部４５がメイン・フレーム１５の
点Ａに衝合することによって制限される。さらに、トリ
ガ・ハンドル３５の部分５０はハンドル・グリップ２０
外へ延びているので、ハンドル・グリップ２０とともに
引き金状の機構を形成している。
プ２０に取り付けられており、ハンドル・ピン４０を中
心としてピボット運動可能となっている。トリガ・ハン
ドル３５は圧縮可能であり、トリガ・ハンドル３５の運
動はハンドル３５の端部４５がメイン・フレーム１５の
点Ａに衝合することによって制限される。さらに、トリ
ガ・ハンドル３５の部分５０はハンドル・グリップ２０
外へ延びているので、ハンドル・グリップ２０とともに
引き金状の機構を形成している。
【００１２】活動化ロッド５５はトリガ・ハンドル３５
に乗置する第１ロッド端部６０と、シャフト・ピン７０
によってシャフト８０の第１シャフト端部７５にピボッ
ト運動可能に接続されている第２ロッド端部６５を有し
ている。活動化ロッド５５もロッド・ピン８５を中心と
してピボット運動可能である。
に乗置する第１ロッド端部６０と、シャフト・ピン７０
によってシャフト８０の第１シャフト端部７５にピボッ
ト運動可能に接続されている第２ロッド端部６５を有し
ている。活動化ロッド５５もロッド・ピン８５を中心と
してピボット運動可能である。
【００１３】シャフト８０はメイン・フレーム１５を貫
通して延びており、スプリング負荷されている。詳細に
いえば、シャフトはスプリング９０の中心に、かつスプ
リング９０の長手方向軸に沿って配置されている。保持
リング９５がシャフト８０の周囲に取り付けられている
ので、スプリング９０が保持リング９５とメイン・フレ
ーム１５の間に閉じ込められ、これらの上に設置されて
いる。スプリング９０はハンドリング工具１０を活動化
されるまでリセット位置に維持し、活動化後工具１０を
リセット位置に戻す。シャフト８０は第２のシャフト端
部１００も有しており、これはブロック・ガイド１０５
に取り付けられている。ブロック・ガイド１０５は上部
カバー部分２５と下部カバー部分３０によって形成され
たチェンバないしキャビティ１１０内にスライド可能に
配置される。シャフト８０を任意の周知の手段、たとえ
ば、ネジ、接着剤などを使用してブロック・ガイド１０
５に固定し、この内部で往復するようにすることもでき
る。
通して延びており、スプリング負荷されている。詳細に
いえば、シャフトはスプリング９０の中心に、かつスプ
リング９０の長手方向軸に沿って配置されている。保持
リング９５がシャフト８０の周囲に取り付けられている
ので、スプリング９０が保持リング９５とメイン・フレ
ーム１５の間に閉じ込められ、これらの上に設置されて
いる。スプリング９０はハンドリング工具１０を活動化
されるまでリセット位置に維持し、活動化後工具１０を
リセット位置に戻す。シャフト８０は第２のシャフト端
部１００も有しており、これはブロック・ガイド１０５
に取り付けられている。ブロック・ガイド１０５は上部
カバー部分２５と下部カバー部分３０によって形成され
たチェンバないしキャビティ１１０内にスライド可能に
配置される。シャフト８０を任意の周知の手段、たとえ
ば、ネジ、接着剤などを使用してブロック・ガイド１０
５に固定し、この内部で往復するようにすることもでき
る。
【００１４】図８及び図９に詳細を示すブロック・ガイ
ド１０５はその長さに沿って延びている「Ｔ形」の溝１
１５を有しており、またシャフト８０をブロック・ガイ
ド１０５に固定できるようにする盲孔１２０を含んでい
る。
ド１０５はその長さに沿って延びている「Ｔ形」の溝１
１５を有しており、またシャフト８０をブロック・ガイ
ド１０５に固定できるようにする盲孔１２０を含んでい
る。
【００１５】一方が図６及び図７に詳細に示されている
クランプ１２５、１３０の各々は「Ｔ形」端部１３５、
１４０を有しており、これはブロック・ガイド１０５の
「Ｔ形」溝１１５にスライド可能に嵌合している。
クランプ１２５、１３０の各々は「Ｔ形」端部１３５、
１４０を有しており、これはブロック・ガイド１０５の
「Ｔ形」溝１１５にスライド可能に嵌合している。
【００１６】クランプ１２５、１３０の各々は一対の斜
めのスロット１４５、１５０及び１５５、１６０を有し
ており、これらのスロット１４５−１６０の各々は対応
するクランプ・ピン１６５にスライド可能に係合してい
る。スロット１４５−１６０が「Ｔ形」（断面が）端部
１３５、１４０から外方へさらに延びているので、クラ
ンプ１２５のスロット１４５、１５０はクランプ１３０
に向かって傾斜するように配向されており、クランプ１
３０のスロット１５５、１６０はクランプ１２５に向か
って傾斜するように配向されている。さらに、クランプ
・ピン１６５の各々の一方端部は上部カバー部分２５に
固定されており、クランプ・ピン１６５の各々の他方端
部は下部カバー部分３０に固定されている。クランプ１
２５、１３０の各々はクランプ端部１７０、１７５も有
しており、これは図６に示すように上部カバー部分２５
及び下部カバー部分３０によって形成された細長いスリ
ットないし開口１８０を貫通して延びている。開口１８
０はクランプ１２５、１３０が開口１８０の長さに沿っ
て自由にスライドすることができ、かつ開口１８０に対
して自由に出入りできるような適切な寸法でなければな
らない。
めのスロット１４５、１５０及び１５５、１６０を有し
ており、これらのスロット１４５−１６０の各々は対応
するクランプ・ピン１６５にスライド可能に係合してい
る。スロット１４５−１６０が「Ｔ形」（断面が）端部
１３５、１４０から外方へさらに延びているので、クラ
ンプ１２５のスロット１４５、１５０はクランプ１３０
に向かって傾斜するように配向されており、クランプ１
３０のスロット１５５、１６０はクランプ１２５に向か
って傾斜するように配向されている。さらに、クランプ
・ピン１６５の各々の一方端部は上部カバー部分２５に
固定されており、クランプ・ピン１６５の各々の他方端
部は下部カバー部分３０に固定されている。クランプ１
２５、１３０の各々はクランプ端部１７０、１７５も有
しており、これは図６に示すように上部カバー部分２５
及び下部カバー部分３０によって形成された細長いスリ
ットないし開口１８０を貫通して延びている。開口１８
０はクランプ１２５、１３０が開口１８０の長さに沿っ
て自由にスライドすることができ、かつ開口１８０に対
して自由に出入りできるような適切な寸法でなければな
らない。
【００１７】作動時に、トリガ・ハンドル３５を押す
か、あるいは圧力をかけることによって、ハンドリング
工具１０が作動される。トリガ・ハンドル３５に圧力を
かけると、活動化ロット５５がロッド・ピン８５を中心
として回転ないしピボット運動する。活動化ロッド５５
はシャフト・ピン７０によってシャフト８０にピボット
運動可能に接続されており、活動化ロッド５５のピボッ
ト運動がカバー部分２５、３０に向かうシャフト８０の
線形すなわち直線状の前進運動に変わる。シャフト８０
が前進すると、スプリング９０が縮み、ブロック・ガイ
ド１０５がシャフト８０によってチェンバ１１０内で前
方へ押圧される。クランプ１２５、１３０のＴ形端部１
３５、１４０がブロック・ガイド１０５のＴ形溝１１５
内に嵌合配置されているので、クランプ１２５、１３０
はブロック・ガイド１０５の前進運動とともに移動す
る。クランプ１２５、１３０の運動はＴ形溝１１５によ
って、また斜めのスロット１４５−１６０内のクランプ
・ピン１６５のスライド係合によって支配され、制御さ
れる。詳細にいえば、ブロック・ガイド１０５が前方へ
移動した場合、クランプ１２５、１３０は前進するだけ
ではなく、斜めのスロット１４５−１６０に沿ったクラ
ンプ・ピン１６５のスライド係合によって支配されてい
るので、互いに対して溝１１５に沿ってスライドも行
う。したがって、クランプ１２５、１３０が互いに向か
って運動した場合、基板すなわちワークピース１８５を
それぞれのクランプ１２５、１３０のクランプ端部１７
０、１７５の間に確実に定置保持できる。さらに、トリ
ガ・ハンドル３５にかかる圧力を適切に維持すると、ワ
ークピース１８５がクランプ１２５、１３０の間に保持
される。
か、あるいは圧力をかけることによって、ハンドリング
工具１０が作動される。トリガ・ハンドル３５に圧力を
かけると、活動化ロット５５がロッド・ピン８５を中心
として回転ないしピボット運動する。活動化ロッド５５
はシャフト・ピン７０によってシャフト８０にピボット
運動可能に接続されており、活動化ロッド５５のピボッ
ト運動がカバー部分２５、３０に向かうシャフト８０の
線形すなわち直線状の前進運動に変わる。シャフト８０
が前進すると、スプリング９０が縮み、ブロック・ガイ
ド１０５がシャフト８０によってチェンバ１１０内で前
方へ押圧される。クランプ１２５、１３０のＴ形端部１
３５、１４０がブロック・ガイド１０５のＴ形溝１１５
内に嵌合配置されているので、クランプ１２５、１３０
はブロック・ガイド１０５の前進運動とともに移動す
る。クランプ１２５、１３０の運動はＴ形溝１１５によ
って、また斜めのスロット１４５−１６０内のクランプ
・ピン１６５のスライド係合によって支配され、制御さ
れる。詳細にいえば、ブロック・ガイド１０５が前方へ
移動した場合、クランプ１２５、１３０は前進するだけ
ではなく、斜めのスロット１４５−１６０に沿ったクラ
ンプ・ピン１６５のスライド係合によって支配されてい
るので、互いに対して溝１１５に沿ってスライドも行
う。したがって、クランプ１２５、１３０が互いに向か
って運動した場合、基板すなわちワークピース１８５を
それぞれのクランプ１２５、１３０のクランプ端部１７
０、１７５の間に確実に定置保持できる。さらに、トリ
ガ・ハンドル３５にかかる圧力を適切に維持すると、ワ
ークピース１８５がクランプ１２５、１３０の間に保持
される。
【００１８】本発明のハンドリング工具１０が操作、制
御及びハンドリングを容易とするため人間工学的に設計
されていることに留意するのが重要である。詳細にいえ
ば、トリガ・ハンドル３５はハンドル・グリップ２０を
備えた引き金状の機構を形成し、ワークピースのハンド
リング時に最大限の制御性及び操作性を提供する。さら
に、ハンドル・グリップ２０の把持及びトリガ・ハンド
ル３５への圧力の印加を、片手で簡単に同時に行うこと
ができる。
御及びハンドリングを容易とするため人間工学的に設計
されていることに留意するのが重要である。詳細にいえ
ば、トリガ・ハンドル３５はハンドル・グリップ２０を
備えた引き金状の機構を形成し、ワークピースのハンド
リング時に最大限の制御性及び操作性を提供する。さら
に、ハンドル・グリップ２０の把持及びトリガ・ハンド
ル３５への圧力の印加を、片手で簡単に同時に行うこと
ができる。
【００１９】今日の大型で重量のあるワークピースない
し基板に関して、オプションのトップ・グリップ１９０
を上部カバー部分２５に取り付けることができる。トッ
プ・グリップ１９０が約９０度の角度で上部カバー部分
２５から延びているのが好ましい。このトップ・グリッ
プ１９０によって、ユーザが片手でハンドル・グリップ
２０及びトリガ・ハンドル３５のところでハンドリング
工具１０を保持し、活動化するとともに、もう一方の手
でトップ・グリップ１９０を把持ないし保持することが
可能となり、したがって、大型で重量のある基板のハン
ドリング時に付加的な支持及び制御が与えられる。必要
に応じ、トップ・グリップ１９０を脱着自在に上部カバ
ー部分２５に取り付けることができる。トップ・グリッ
プ１９０の上部カバー部分２５への取付けは、周知の任
意の手段によって達成できる。たとえば、上部カバー部
分２５に設けられている外側にネジを切った部分と適切
に嵌合する内側にネジを切った部分を、トップ・グリッ
プ１９０に設けることができる。
し基板に関して、オプションのトップ・グリップ１９０
を上部カバー部分２５に取り付けることができる。トッ
プ・グリップ１９０が約９０度の角度で上部カバー部分
２５から延びているのが好ましい。このトップ・グリッ
プ１９０によって、ユーザが片手でハンドル・グリップ
２０及びトリガ・ハンドル３５のところでハンドリング
工具１０を保持し、活動化するとともに、もう一方の手
でトップ・グリップ１９０を把持ないし保持することが
可能となり、したがって、大型で重量のある基板のハン
ドリング時に付加的な支持及び制御が与えられる。必要
に応じ、トップ・グリップ１９０を脱着自在に上部カバ
ー部分２５に取り付けることができる。トップ・グリッ
プ１９０の上部カバー部分２５への取付けは、周知の任
意の手段によって達成できる。たとえば、上部カバー部
分２５に設けられている外側にネジを切った部分と適切
に嵌合する内側にネジを切った部分を、トップ・グリッ
プ１９０に設けることができる。
【００２０】本発明の他の有利な特徴は、多用途に使用
できるように簡単に分解できるように、工具１０が設計
されていることである。この点に関し、メイン・フレー
ム１５、ハンドル・グリップ２０、上部カバー部分２５
及び下部カバー部分３０を、取付けピン、ネジなどによ
って互いに一体的に接続できる個別の独立した構成要素
で構成することができる。分解することによって、故障
した任意の構成要素を交換することができ、またクラン
プ１２５、１３０の置き換えあるいは交換を行うことも
できる。この点に関し、ユーザの特定のニーズ及び用途
に合わせた異なるサイズ及び材料の各種のクランプを製
造することができる。たとえば、異なるサイズのクラン
プ端部を有するクランプを設け、各種の大きさの基板の
ハンドリングに合わせてクランプを交換することができ
る。さらに、クランプをクリーン・ルーム環境に適した
材料で構成することができる。このような材料としては
ポリプロピレン、あるいはテフロンまたはデルリン（デ
ラウェア州ウィルミントンのE. I. DuPont Memoursが製
造している製品の商標）が挙げられる。ハンドリング工
具１０の他の構成要素を構成するのに使用される材料
を、ユーザが必要とする特定の用途に合わせて選択でき
ることはもちろんである。
できるように簡単に分解できるように、工具１０が設計
されていることである。この点に関し、メイン・フレー
ム１５、ハンドル・グリップ２０、上部カバー部分２５
及び下部カバー部分３０を、取付けピン、ネジなどによ
って互いに一体的に接続できる個別の独立した構成要素
で構成することができる。分解することによって、故障
した任意の構成要素を交換することができ、またクラン
プ１２５、１３０の置き換えあるいは交換を行うことも
できる。この点に関し、ユーザの特定のニーズ及び用途
に合わせた異なるサイズ及び材料の各種のクランプを製
造することができる。たとえば、異なるサイズのクラン
プ端部を有するクランプを設け、各種の大きさの基板の
ハンドリングに合わせてクランプを交換することができ
る。さらに、クランプをクリーン・ルーム環境に適した
材料で構成することができる。このような材料としては
ポリプロピレン、あるいはテフロンまたはデルリン（デ
ラウェア州ウィルミントンのE. I. DuPont Memoursが製
造している製品の商標）が挙げられる。ハンドリング工
具１０の他の構成要素を構成するのに使用される材料
を、ユーザが必要とする特定の用途に合わせて選択でき
ることはもちろんである。
【００２１】さらに、改善されたノンスリップ、保護ク
ランプを提供するために、ワークピースに接触するクラ
ンプ端部の表面に適切な材料のライナ１９５（図７）を
設けることができる。たとえば、ライナ１９５を各クラ
ンプに取り付けられた複数のストリップで構成すること
ができ、ライナ１９５を構成するのに使用される材料は
ゴム、発泡材、軟質プラスチックなどである。さらに、
ライナ１９５を脱着可能で、交換可能にすることができ
る。
ランプを提供するために、ワークピースに接触するクラ
ンプ端部の表面に適切な材料のライナ１９５（図７）を
設けることができる。たとえば、ライナ１９５を各クラ
ンプに取り付けられた複数のストリップで構成すること
ができ、ライナ１９５を構成するのに使用される材料は
ゴム、発泡材、軟質プラスチックなどである。さらに、
ライナ１９５を脱着可能で、交換可能にすることができ
る。
【００２２】本発明を特定の実施例について説明した
が、上記の説明に鑑み、各種の代替物、改変形及び変形
が当分野の技術者にとって明白であることは明かであ
る。それ故、本発明は本発明及び特許請求の範囲の範囲
及び精神に属するすべてのこのような代替物、改変形及
び変形を含むことを目的とするものである。
が、上記の説明に鑑み、各種の代替物、改変形及び変形
が当分野の技術者にとって明白であることは明かであ
る。それ故、本発明は本発明及び特許請求の範囲の範囲
及び精神に属するすべてのこのような代替物、改変形及
び変形を含むことを目的とするものである。
【図１】リセット位置にある本発明によるハンドリング
装置の頂部一部断面図である。
装置の頂部一部断面図である。
【図２】図１のハンドリング装置の線２−２に沿って取
った側断面図である。
った側断面図である。
【図３】活動化位置にある本発明によるハンドリング装
置の頂部一部断面図である。
置の頂部一部断面図である。
【図４】図３の基板ハンドリング装置の線４−４に沿っ
て取った側断面図である。
て取った側断面図である。
【図５】本発明によるハンドリング装置の正面図であ
る。
る。
【図６】本発明によるクランプの頂面図である。
【図７】本発明によるクランプの側面図である。
【図８】本発明によるブロック・ガイドの頂面図であ
る。
る。
【図９】本発明によるブロック・ガイドの側面図であ
る。
る。
【符号の説明】 １０ 基板ハンドリング工具 １５ メイン・フレーム ２０ ハンドル・グリップ ２２ カバー・フレーム ２５ 上部カバー部分 ３０ 下部カバー部分 ３５ トリガ・ハンドル ５５ 活動化ロッド ８０ シャフト １０５ ブロック・ガイド
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ジェームズ・ユージン・スペンス アメリカ合衆国12540、ニューヨーク州ラ グランジェビル、トッド・ヒル・ロード 157
Claims (11)
- 【請求項１】ハンドル・グリップを有するフレームと、 前記フレームに取り付けられ、各々が該フレームから延
びているクランプ部分を有し、かつリセット位置からク
ランプ位置へ移動可能である２つのクランプと、 前記フレーム内に配置され、前記クランプと接続されて
おり、リセット位置からクランプ位置への前記クランプ
の運動を制御するために活動可能である活動化手段と、 前記ハンドル・グリップとともに引き金状の機構を形成
するトリガ・ハンドルであって、該トリガ・ハンドルへ
圧力をかけることによって、前記活動化手段を活動させ
るように前記活動化手段と接続されている前記トリガ・
ハンドルとを含む基板ハンドリング装置。 - 【請求項２】圧力が前記トリガ・ハンドルに手動によっ
てかけられる請求項１記載の基板ハンドリング装置。 - 【請求項３】前記ハンドル・グリップの保持と前記トリ
ガ・ハンドルへ圧力をかけることが、片手操作で同時に
達成できる請求項２記載の基板ハンドリング装置。 - 【請求項４】前記ハンドル・グリップが前記フレームか
ら約９０度の角度で延びている請求項１記載の基板ハン
ドリング装置 - 【請求項５】前記クランプを前記活動化手段によって活
動されるまでリセット位置に維持する手段をさらに含ん
でいる請求項１記載の基板ハンドリング装置。 - 【請求項６】前記活動化手段が前記トリガ・ハンドルに
乗置し、前記トリガ・ハンドルへの圧力の印加に応じて
ピボット運動する活動化ロッドと、 前記活動化ロッドに接続されたシャフトであって、前記
活動化ロッドのピボット運動が該シャフトの線形前進運
動に変換されるようになっているシャフトと、 前記シャフトに固定され、前記クランプと相互に係合し
ているガイド片であって、前記シャフトの線形前進運動
に応じて前方へ押圧され、これによって該ガイド片の前
進がクランプをリセット位置からクランプ位置へ移動せ
しめる前記ガイド片とを含む請求項１記載の基板ハンド
リング装置。 - 【請求項７】前記シャフトがバネ負荷され、前記クラン
プを前記活動化手段によって活動化されるまでリセット
位置に維持するようになっている請求項６記載の基板ハ
ンドリング装置。 - 【請求項８】前記クランプが前記ガイド片とスライド係
合している請求項６記載の基板ハンドリング装置。 - 【請求項９】前記クランプの各々が少なくとも１つのス
ロットを含んでおり、各スロットが固定されている対応
するピンとスライド係合しており、各スロットが斜めに
なっており、前記クランプの前進運動が前記クランプの
互いに近接する運動に変換するようになっている請求項
１記載の基板ハンドリング装置。 - 【請求項１０】前記クランプが交換可能である請求項１
記載の基板ハンドリング装置。 - 【請求項１１】前記フレームに固定されており、前記フ
レームから約９０度の角度で延びている第２のハンドル
・グリップをさらに含んでいる請求項１記載の基板ハン
ドリング装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US07/853,194 US5169132A (en) | 1992-03-18 | 1992-03-18 | Workpiece handler |
| US853194 | 1992-03-18 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0621202A true JPH0621202A (ja) | 1994-01-28 |
| JPH0812880B2 JPH0812880B2 (ja) | 1996-02-07 |
Family
ID=25315326
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5390893A Expired - Lifetime JPH0812880B2 (ja) | 1992-03-18 | 1993-03-15 | 携帯型基板ハンドリング装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5169132A (ja) |
| JP (1) | JPH0812880B2 (ja) |
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