JPH0621167Y2 - マイクロ波励起による紫外線発生装置 - Google Patents
マイクロ波励起による紫外線発生装置Info
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- JPH0621167Y2 JPH0621167Y2 JP1987121264U JP12126487U JPH0621167Y2 JP H0621167 Y2 JPH0621167 Y2 JP H0621167Y2 JP 1987121264 U JP1987121264 U JP 1987121264U JP 12126487 U JP12126487 U JP 12126487U JP H0621167 Y2 JPH0621167 Y2 JP H0621167Y2
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 7
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B41/00—Circuit arrangements or apparatus for igniting or operating discharge lamps
- H05B41/14—Circuit arrangements
- H05B41/24—Circuit arrangements in which the lamp is fed by high frequency ac, or with separate oscillator frequency
Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案はマイクロ波空胴内で無電極ランプ等の紫外線発
生ランプにマイクロ波を照射し、励起させて紫外線を発
生させる紫外線発生装置に係り、特にマイクロ波空胴の
大きさ（インピータンス）を変えずに紫外線反射板のみ
を焦点光線型あるいは平行光線型等に取り換え自在であ
り、したがって、マイクロ波効率を変えずに例えば焦点
光線から平行光線、あるいはこの逆に変更自在であり、
さらには赤外線のカットされた低温の紫外線を得ること
ができ、このため高熱をきらうプラスチック等の被射体
への効率よい照射が達成されるマイクロ波励起による紫
外線発生装置に関する。
生ランプにマイクロ波を照射し、励起させて紫外線を発
生させる紫外線発生装置に係り、特にマイクロ波空胴の
大きさ（インピータンス）を変えずに紫外線反射板のみ
を焦点光線型あるいは平行光線型等に取り換え自在であ
り、したがって、マイクロ波効率を変えずに例えば焦点
光線から平行光線、あるいはこの逆に変更自在であり、
さらには赤外線のカットされた低温の紫外線を得ること
ができ、このため高熱をきらうプラスチック等の被射体
への効率よい照射が達成されるマイクロ波励起による紫
外線発生装置に関する。
この種の紫外線発生装置として、従来、第３図に示され
るものが知られている。第３図において、上方のマイク
ロ波発振管ならびに導波管の個所は第１図と同じであっ
て省略されているので、これらの省略個所は第１図を参
照にして説明する。
るものが知られている。第３図において、上方のマイク
ロ波発振管ならびに導波管の個所は第１図と同じであっ
て省略されているので、これらの省略個所は第１図を参
照にして説明する。
第３図に示される紫外線発生装置は第１図示のマイクロ
波発振管１と、導波管２と第３図示のマイクロ波空胴３
と、紫外線発光ランプ４とを備え、マイクロ波発振管１
のマイクロ波発生アンテナ５から発振されたマイクロ波
６はマイクロ波空胴３の頂面７に穿設されたスロット８
を通してマイクロ波空胴３内に送達される。このとき、
紫外線発光ランプ４はマイクロ波６の照射を受け、励起
されて紫外線９を発生し、マイクロ波空胴３の内壁３ａ
に形成された曲面状の反射膜10で反射され、網状部材11
を通して図示しない被射体を照射する。
波発振管１と、導波管２と第３図示のマイクロ波空胴３
と、紫外線発光ランプ４とを備え、マイクロ波発振管１
のマイクロ波発生アンテナ５から発振されたマイクロ波
６はマイクロ波空胴３の頂面７に穿設されたスロット８
を通してマイクロ波空胴３内に送達される。このとき、
紫外線発光ランプ４はマイクロ波６の照射を受け、励起
されて紫外線９を発生し、マイクロ波空胴３の内壁３ａ
に形成された曲面状の反射膜10で反射され、網状部材11
を通して図示しない被射体を照射する。
しかし、上述の第３図示の装置ては反射膜10はマイクロ
波空胴３を形成する壁と一体に形成されるから、反射さ
れる紫外線９の方向が常に一定であって、この変更は不
可能であり、もし、この方向を変更する場合にはマイク
ロ波空胴３の壁を変更することになってマイクロ波空胴
３の大きさ（容量）が変わってしまい、このためマイク
ロ波のインピータンスが変更されてマイクロ波効率に変
更を来し、一定の強さの紫外線が得られない。
波空胴３を形成する壁と一体に形成されるから、反射さ
れる紫外線９の方向が常に一定であって、この変更は不
可能であり、もし、この方向を変更する場合にはマイク
ロ波空胴３の壁を変更することになってマイクロ波空胴
３の大きさ（容量）が変わってしまい、このためマイク
ロ波のインピータンスが変更されてマイクロ波効率に変
更を来し、一定の強さの紫外線が得られない。
さらに、第３図の装置では紫外線と共に発生する赤外線
をカットすることができず、このため得られる紫外線９
は熱を伴い、高熱をきらう被射体への照射は不可能であ
る。
をカットすることができず、このため得られる紫外線９
は熱を伴い、高熱をきらう被射体への照射は不可能であ
る。
そこで、本考案の目的はマイクロ波空胴の大きさを変え
ずに紫外線反射板のみを取り換え自在とし、このため、
マイクロ波効率を変えずに紫外線の方向か変更自在とな
り、さらに紫外線のカットされた低温の紫外線を得るこ
とができ、前述の公知装置に存する欠点を改良したマイ
クロ波励起による紫外線発生装置を提供することにあ
る。
ずに紫外線反射板のみを取り換え自在とし、このため、
マイクロ波効率を変えずに紫外線の方向か変更自在とな
り、さらに紫外線のカットされた低温の紫外線を得るこ
とができ、前述の公知装置に存する欠点を改良したマイ
クロ波励起による紫外線発生装置を提供することにあ
る。
前述の目的を達成するため、本考案によれば、マイクロ
波発振管と、このマイクロ波発振管に連結されたマイク
ロ波空胴と、このマイクロ波空胴内に配置された紫外線
発光ランプとを備え、マイクロ波発振管から発振された
マイクロ波がマイクロ波空胴頂面のスロットを通してマ
イクロ波空胴内に送達され、このマイクロ波の照射を受
けてマイクロ波空胴内の紫外線発光ランプが励起され、
紫外線を発生する装置において、前記マイクロ波空胴内
の紫外線発光ランプの近傍には紫外線反射板が取りはず
し自在に取りつけられ、この反射板は光透過性基板上に
酸化ジルコニウムの第一層を蒸着し、さらにその上に酸
化シリコンの第二層を蒸着し、これを繰り返して厚さ２
乃至2.2ミクロンの干渉膜を形成してなることを特徴と
する。以下、本考案を添付図面を用いて詳述する。
波発振管と、このマイクロ波発振管に連結されたマイク
ロ波空胴と、このマイクロ波空胴内に配置された紫外線
発光ランプとを備え、マイクロ波発振管から発振された
マイクロ波がマイクロ波空胴頂面のスロットを通してマ
イクロ波空胴内に送達され、このマイクロ波の照射を受
けてマイクロ波空胴内の紫外線発光ランプが励起され、
紫外線を発生する装置において、前記マイクロ波空胴内
の紫外線発光ランプの近傍には紫外線反射板が取りはず
し自在に取りつけられ、この反射板は光透過性基板上に
酸化ジルコニウムの第一層を蒸着し、さらにその上に酸
化シリコンの第二層を蒸着し、これを繰り返して厚さ２
乃至2.2ミクロンの干渉膜を形成してなることを特徴と
する。以下、本考案を添付図面を用いて詳述する。
第１図は本考案にかかる装置の一具体例の断面図を示
し、第２図は本考案に用いられる紫外線反射板の一具体
例の断面図を示す。
し、第２図は本考案に用いられる紫外線反射板の一具体
例の断面図を示す。
本考案にかかる装置は第３図の公知装置と同様、マイク
ロ波発振管１と、導波管２と、マイクロ波空胴３と、紫
外線発光ランプ４とを備えてなる。マイクロ波発振管１
は永久磁石式固定出力型等、公知のいかなるものでもよ
く、例えば同軸放射状の電界に直角に加えられた磁界に
より電子の流れが制御されるように工夫された電子管で
あり、中央部に陰極および外周部に偶数個の共振空洞を
もった陽極を配置してなり、陽極に高電圧を印加すると
陰極より放出された電子は陽極へ向かうが、磁界（陰極
に平行）の力を受けてせん回運動を行いながら陽極ベイ
ン先端部のストラップ（間隙）に達し、エネルギーを共
振空洞に与えることによりマイクロ波を発生させ、第１
図のマイクロ波発生アンテナ５からマイクロ波６として
導波管２内に放出される。
ロ波発振管１と、導波管２と、マイクロ波空胴３と、紫
外線発光ランプ４とを備えてなる。マイクロ波発振管１
は永久磁石式固定出力型等、公知のいかなるものでもよ
く、例えば同軸放射状の電界に直角に加えられた磁界に
より電子の流れが制御されるように工夫された電子管で
あり、中央部に陰極および外周部に偶数個の共振空洞を
もった陽極を配置してなり、陽極に高電圧を印加すると
陰極より放出された電子は陽極へ向かうが、磁界（陰極
に平行）の力を受けてせん回運動を行いながら陽極ベイ
ン先端部のストラップ（間隙）に達し、エネルギーを共
振空洞に与えることによりマイクロ波を発生させ、第１
図のマイクロ波発生アンテナ５からマイクロ波６として
導波管２内に放出される。
放出されたマイクロ波６はマイクロ波空胴３の頂面７に
穿設されたスロット８を通ってマイクロ波空胴３内に送
達され、このとき、マイクロ波空胴３内の紫外線発生ラ
ンプ４はマイクロ波６の照射を受けて励起され、紫外線
９を発生する。
穿設されたスロット８を通ってマイクロ波空胴３内に送
達され、このとき、マイクロ波空胴３内の紫外線発生ラ
ンプ４はマイクロ波６の照射を受けて励起され、紫外線
９を発生する。
本考案の特徴は前述の装置において、第１図示のよう
に、マイクロ波空胴３内の紫外線発光ランプ４の近傍に
紫外線反射板100を取りはずし自在に取りつけたことに
存する。
に、マイクロ波空胴３内の紫外線発光ランプ４の近傍に
紫外線反射板100を取りはずし自在に取りつけたことに
存する。
この紫外線反射板100は第１図示のように断面半円形の
形状であるが、その他反射光の所望の方向あるいは形態
に応じて自由に変更でき、さらに、例えば第１図示のよ
うに端部101、101をマイクロ波空胴３の底面12に嵌め込
むことにより取りはずし自在に取りつけられる。
形状であるが、その他反射光の所望の方向あるいは形態
に応じて自由に変更でき、さらに、例えば第１図示のよ
うに端部101、101をマイクロ波空胴３の底面12に嵌め込
むことにより取りはずし自在に取りつけられる。
さらに紫外線反射板100は第２図に示されるように光透
過性基板102上に干渉膜103を形成することにより得られ
る。
過性基板102上に干渉膜103を形成することにより得られ
る。
光透過性基板102は光透過性を有する耐熱性の基板であ
って、具体的には石英ガラス、パイレックスガラス等で
ある。
って、具体的には石英ガラス、パイレックスガラス等で
ある。
干渉膜103は前述の基板102上に第一層目の蒸着膜として
酸化ジルコニウムを真空蒸着し、次いでこの第一層目の
蒸着膜上に第二層目の蒸着膜として酸化シリコンを真空
蒸着し、これら蒸着を交互に数十回繰り返して得られる
厚さ２乃至2.2ミクロン、好ましくは2.2ミクロンの電気
絶縁性被膜であって、マイクロ波６によるスパークが起
こりにくく、かつ長波長の光（赤外線）ならびに電波を
通過させ、マイクロ波エネルギーの吸収もなく、紫外線
の反射効率が非常に高い。
酸化ジルコニウムを真空蒸着し、次いでこの第一層目の
蒸着膜上に第二層目の蒸着膜として酸化シリコンを真空
蒸着し、これら蒸着を交互に数十回繰り返して得られる
厚さ２乃至2.2ミクロン、好ましくは2.2ミクロンの電気
絶縁性被膜であって、マイクロ波６によるスパークが起
こりにくく、かつ長波長の光（赤外線）ならびに電波を
通過させ、マイクロ波エネルギーの吸収もなく、紫外線
の反射効率が非常に高い。
上述の本考案にかかる装置はまずマイクロ波発振管１に
よりマイクロ波発生アンテナ５から例えば2450ＭＨｚの
マイクロ波６を発生させる。このマイクロ波６は導波管
２を通って頂面７のスロット８から効率よくマイクロ波
空洞３内の送られ、ここで紫外線発光ランプ４を照射
し、励起させて紫外線９を発生させる。発生した紫外線
９は紫外線反射板100の干渉膜103の作用により赤外線が
透過排出され、主として紫外線のみを残して反射され、
網状部材11を通して図示しない被射体を照射する。この
ときの紫外線９は赤外線がカットされているから低温で
ある。
よりマイクロ波発生アンテナ５から例えば2450ＭＨｚの
マイクロ波６を発生させる。このマイクロ波６は導波管
２を通って頂面７のスロット８から効率よくマイクロ波
空洞３内の送られ、ここで紫外線発光ランプ４を照射
し、励起させて紫外線９を発生させる。発生した紫外線
９は紫外線反射板100の干渉膜103の作用により赤外線が
透過排出され、主として紫外線のみを残して反射され、
網状部材11を通して図示しない被射体を照射する。この
ときの紫外線９は赤外線がカットされているから低温で
ある。
また、紫外線反射板100の干渉膜103は電気的に絶縁体で
あるから、マイクロ波６の存在下でもスパークされな
い。
あるから、マイクロ波６の存在下でもスパークされな
い。
さらに、紫外線反射板100はマイクロ波空洞３を構成す
る壁体とは別体にマイクロ波空洞３内に取りはずし自在
に取りつけられるから、マイクロ波空洞３の大きさを変
えずに取り換え自在であり、このため例えば集光型の紫
外線反射板100を平行型のものに変えてもマイクロ波効
率を全く変更することがなく、紫外線の方向あるいは形
態のみを変更できる。
る壁体とは別体にマイクロ波空洞３内に取りはずし自在
に取りつけられるから、マイクロ波空洞３の大きさを変
えずに取り換え自在であり、このため例えば集光型の紫
外線反射板100を平行型のものに変えてもマイクロ波効
率を全く変更することがなく、紫外線の方向あるいは形
態のみを変更できる。
〔考案の効果〕 以上のとおり、本考案装置によれば、マイクロ波空洞の
大きさを変えずに紫外線反射板のみを取り換え自在であ
り、このため、マイクロ波空洞のマイクロ波効率を変え
ずに紫外線の方向あるいは形態が変更自在であり、さら
に赤外線のカットされた低温の紫外線が得られる。
大きさを変えずに紫外線反射板のみを取り換え自在であ
り、このため、マイクロ波空洞のマイクロ波効率を変え
ずに紫外線の方向あるいは形態が変更自在であり、さら
に赤外線のカットされた低温の紫外線が得られる。
第１図は本考案にかかる装置の一具体例の断面図を示
し、第２図は本考案に用られる紫外線反射板の一具体例
の断面図を示し、第３図は公知の装置の部分断面図を示
す。 １……マイクロ波発振管、２……導波管、 ３……マイクロ波空洞、４……紫外線発光ランプ、 ５……マイクロ波発生アンテナ、６……マイクロ波、 ７……頂面、８……スロット、９……紫外線、 11……網状部材、100……紫外線反射板、 102……光透過性基板、103……干渉膜。
し、第２図は本考案に用られる紫外線反射板の一具体例
の断面図を示し、第３図は公知の装置の部分断面図を示
す。 １……マイクロ波発振管、２……導波管、 ３……マイクロ波空洞、４……紫外線発光ランプ、 ５……マイクロ波発生アンテナ、６……マイクロ波、 ７……頂面、８……スロット、９……紫外線、 11……網状部材、100……紫外線反射板、 102……光透過性基板、103……干渉膜。
Claims (1)
- 【請求項１】マイクロ波発振管と、このマイクロ波発振
管に連結されたマイクロ波空胴と、このマイクロ波空胴
内に配置された紫外線発光ランプとを備え、マイクロ波
発振管から発振されたマイクロ波がマイクロ波空胴頂面
のスロットを通してマイクロ波空胴内に送達され、この
マイクロ波の照射を受けてマイクロ波空胴内の紫外線発
光ランプが励起され、紫外線を発生する装置において、
前記マイクロ波空胴内の紫外線発光ランプの近傍には紫
外線反射板が取りはずし自在に取りつけられ、この反射
板は光透過性基板上に酸化ジルコニウムの第一層を蒸着
し、さらにその上に酸化シリコンの第二層を蒸着し、こ
れを繰り返して厚さ２乃至2.2ミクロンの干渉膜を形成
してなるマイクロ波励起による紫外線発生装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987121264U JPH0621167Y2 (ja) | 1987-08-07 | 1987-08-07 | マイクロ波励起による紫外線発生装置 |
| US07/228,043 US4928040A (en) | 1987-08-07 | 1988-08-04 | Ultra violet ray generator by means of microwave excitation |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987121264U JPH0621167Y2 (ja) | 1987-08-07 | 1987-08-07 | マイクロ波励起による紫外線発生装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6427847U JPS6427847U (ja) | 1989-02-17 |
| JPH0621167Y2 true JPH0621167Y2 (ja) | 1994-06-01 |
Family
ID=14806948
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987121264U Expired - Lifetime JPH0621167Y2 (ja) | 1987-08-07 | 1987-08-07 | マイクロ波励起による紫外線発生装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4928040A (ja) |
| JP (1) | JPH0621167Y2 (ja) |
Families Citing this family (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0637521Y2 (ja) * | 1988-10-05 | 1994-09-28 | 高橋 柾弘 | マイクロ波励起による紫外線発生装置 |
| EP0450131B1 (en) * | 1990-04-06 | 1995-08-02 | New Japan Radio Co., Ltd. | Electrodeless microwave-generated radiation apparatus |
| DE4141717A1 (de) * | 1991-12-18 | 1993-07-01 | Bayerische Motoren Werke Ag | Scheinwerfer fuer kraftfahrzeuge |
| JP2583118Y2 (ja) * | 1992-05-18 | 1998-10-15 | 三輪精機株式会社 | フィルタ取付装置 |
| US5334913A (en) * | 1993-01-13 | 1994-08-02 | Fusion Systems Corporation | Microwave powered lamp having a non-conductive reflector within the microwave cavity |
| US5525865A (en) * | 1994-02-25 | 1996-06-11 | Fusion Lighting, Inc. | Compact microwave source for exciting electrodeless lamps |
| US6265830B1 (en) | 1999-03-19 | 2001-07-24 | Nordson Corporation | Apparatus and method for supplying a regulated current to a magnetron filament |
| EP1192639A1 (en) | 1999-05-12 | 2002-04-03 | Fusion Lighting, Inc. | High brightness microwave lamp |
| AU7489500A (en) | 1999-09-20 | 2001-04-24 | Nordson Corporation | Apparatus and method for generating ultraviolet radiation |
| US6323601B1 (en) | 2000-09-11 | 2001-11-27 | Nordson Corporation | Reflector for an ultraviolet lamp system |
| US6559460B1 (en) | 2000-10-31 | 2003-05-06 | Nordson Corporation | Ultraviolet lamp system and methods |
| CA2533580A1 (en) * | 2003-07-24 | 2005-02-10 | Eisenmann Maschinenbau Gmbh & Co. Kg | Device for hardening a coating of an object, which is made of a material hardening under electromagnetic radiation, especially a uv lacquer or a thermally hardening lacquer |
| DE10346131A1 (de) * | 2003-10-01 | 2005-05-12 | Heraeus Noblelight Gmbh | UV-Lampenanordnung und deren Verwendung |
| CN201017853Y (zh) * | 2007-03-16 | 2008-02-06 | 金行星 | 同轴无极灯 |
| TWI785519B (zh) * | 2021-03-05 | 2022-12-01 | 台灣積體電路製造股份有限公司 | 微波產生器、紫外光源、與基板處理方法 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4001632A (en) * | 1975-04-21 | 1977-01-04 | Gte Laboratories Incorporated | High frequency excited electrodeless light source |
| DE2734130A1 (de) * | 1976-08-06 | 1978-02-16 | Perkin Elmer Corp | Gasentladungslampe |
| US4223250A (en) * | 1978-12-22 | 1980-09-16 | Gte Laboratories Incorporated | Protective coatings for light sources |
| JPS6229097A (ja) * | 1985-07-31 | 1987-02-07 | アールディエス株式会社 | マイクロ波放電光源装置 |
-
1987
- 1987-08-07 JP JP1987121264U patent/JPH0621167Y2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1988
- 1988-08-04 US US07/228,043 patent/US4928040A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6427847U (ja) | 1989-02-17 |
| US4928040A (en) | 1990-05-22 |
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