JPH0620219A - Composite magnetic-head chip and its manufacture - Google Patents

Composite magnetic-head chip and its manufacture

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JPH0620219A
JPH0620219A JP19590592A JP19590592A JPH0620219A JP H0620219 A JPH0620219 A JP H0620219A JP 19590592 A JP19590592 A JP 19590592A JP 19590592 A JP19590592 A JP 19590592A JP H0620219 A JPH0620219 A JP H0620219A
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JP
Japan
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magnetic
thin film
head chip
metal
magnetic thin
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JP19590592A
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Japanese (ja)
Inventor
Makoto Goto
良 後藤
Masanobu Yamazaki
昌信 山崎
Tadashi Tomitani
忠史 富谷
Shigekazu Suwabe
繁和 諏訪部
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Proterial Ltd
Original Assignee
Hitachi Metals Ltd
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Abstract

PURPOSE:To obtain a magnetic disk device wherein an overwrite characteristic is enhanced and a noise is small by a method wherein two kinds of metal magnetic thin films whose saturation flux density is different from each other are applied to the gap opposite face of a core. CONSTITUTION:In a composite magnetic-head chip, a first metal magnetic thin film 4 whose permeability is large and whose saturation flux density is high is applied to the gap-side opposite face of a ferrite core 1 and, in addition, a second metal magnetic thin film 5 whose saturation flux density is larger than that of the first metal magnetic thin film is applied to its surface. In the manufacturing method of the composite magnetic-head chip, the metal magnetic thin films 4, 5 as two layers are applied to the ferrite core 1 and, after that, the magnetic-head chip is heat-treated at 500 to 700 deg.C.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、磁気テープ装置用磁気
ヘッド及び磁気ディスク装置において、磁気ディスクに
対して情報を記録再生する複合型磁気ヘッドチップ及び
その製造方法に関し、特にオーバーライト特性を向上さ
せたものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic head for a magnetic tape device and a magnetic disk device, and more particularly to a composite magnetic head chip for recording / reproducing information on / from a magnetic disk and a method for manufacturing the same, and more particularly to improving overwrite characteristics. It was made.

【0002】[0002]

【従来の技術】浮上型磁気ヘッドは、磁性材料(例えば
Mn−Znフェライト)を用いてスライダと磁気ヘッド
チップ部とを一体に形成したモノリシックヘッドと、非
磁性材料(例えばCaTiO3 、Al23 −TiC)
のスライダに磁性材料でできた磁気ヘッドチップを埋め
込んだコンポジットヘッドとに大別される。これら磁気
ヘッドチップには、一対のフェライトコアを磁気ギャッ
プを介して対向させ、その対向面のうち少なくとも一方
にセンダストやアモルファス合金などの金属磁性薄膜を
被着させた複合型のものがあり、最近では磁気特性の関
係から複合型の磁気ヘッドチップの需要が高まってい
る。
2. Description of the Related Art A floating magnetic head is a monolithic head in which a slider and a magnetic head chip are integrally formed by using a magnetic material (for example, Mn-Zn ferrite) and a non-magnetic material (for example, CaTiO 3 , Al 2 O). 3- TiC)
The slider is roughly divided into a composite head in which a magnetic head chip made of a magnetic material is embedded. These magnetic head chips include a composite type in which a pair of ferrite cores are opposed to each other via a magnetic gap, and a metal magnetic thin film such as sendust or an amorphous alloy is attached to at least one of the opposed surfaces. Demand for composite type magnetic head chips is increasing due to their magnetic properties.

【0003】従来の複合型磁気ヘッドチップには、コア
に金属磁性薄膜を被着させているために、磨耗が一様と
ならず片減りして特性の変化が生じるとして、それを解
決したものが特開昭63−81609号公報に記載され
ている。この場合、一対のフェライトコアのうち少なく
とも一方の対向面に、高透磁率で高飽和磁束密度のFe
−Al−Si−Co合金磁性層を形成し、その上に前記
と透磁率が同じで前記よりCo含有量が少なくかつ低飽
和磁束密度のFe−Al−Si−CoまたはFe−Al
−Si合金磁性層を形成して、磁気ヘッドチップの片減
りを防止している。また複合型磁気ヘッドチップの磁性
合金薄膜の一部で磁気飽和度が極めて高くなると、セン
ダストの透磁率が急激に低下する傾向がある。この結
果、起磁力すなわち記録電流を大きくしても、記録に関
与する漏れ磁束が殆ど増加せず、起磁力に対する磁気テ
ープの記録強さの線形性が崩れる。そのために信号の記
録再生波形に歪が生じるという問題があり、それを解決
したものが特開平2−216604号公報に記載されて
いる。その解決された磁気ヘッドチップでは、一対のコ
アのギャップ対向面に、飽和磁束密度の異なる2つの金
属磁性薄膜を被着し、2つの金属磁性薄膜はコア側より
ギャップ側の方を高飽和磁束密度にして、起磁力に対す
る磁気テープの記録強さの線形性を良好にし、記録再生
波形の歪を無くしている。
Since the conventional composite type magnetic head chip has the core coated with the metal magnetic thin film, the wear is not uniform and the wear is evenly reduced, resulting in a change in the characteristics. Are described in JP-A-63-81609. In this case, Fe having a high magnetic permeability and a high saturation magnetic flux density is provided on at least one of the facing surfaces of the pair of ferrite cores.
-Al-Si-Co alloy magnetic layer is formed, and Fe-Al-Si-Co or Fe-Al having the same magnetic permeability as the above, a lower Co content and a lower saturation magnetic flux density is formed on the magnetic layer.
A -Si alloy magnetic layer is formed to prevent uneven wear of the magnetic head chip. When the magnetic saturation of a part of the magnetic alloy thin film of the composite type magnetic head chip becomes extremely high, the magnetic permeability of sendust tends to decrease sharply. As a result, even if the magnetomotive force, that is, the recording current is increased, the leakage magnetic flux involved in the recording hardly increases, and the linearity of the recording strength of the magnetic tape with respect to the magnetomotive force is lost. Therefore, there is a problem in that the recording / reproducing waveform of the signal is distorted, and a solution thereof is disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 2-216604. In the solved magnetic head chip, two metal magnetic thin films having different saturation magnetic flux densities are deposited on the gap facing surfaces of a pair of cores, and the two metal magnetic thin films have a higher saturation magnetic flux on the gap side than on the core side. In terms of density, the linearity of the recording strength of the magnetic tape with respect to the magnetomotive force is improved, and the distortion of the recording / reproducing waveform is eliminated.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】前述したように従来の
複合型磁気ヘッドチップには、コアのギャップ対向面に
2種類の金属磁性薄膜を被着し、磁気ヘッドチップの片
減りを防止したり、起磁力に対する磁気テープの記録強
さの線形性を良好にして記録再生波形の歪をなくしてい
るが、オーバーライト特性については何ら検討されてい
ない。このため磁気記録媒体に記録された部分に重ねて
新たな磁気記録をした場合、前の磁気記録を充分に消去
できず、それがノイズ発生の原因になってしまう。そこ
で本発明は、複合型磁気ヘッドチップにおいて、コアの
ギャップ対向面に飽和磁束密度の異なる2種類の金属磁
性薄膜を被着させることにより、オーバーライト特性を
向上し、ノイズの少ない磁気ディスク装置が得られるよ
うにすることを目的とする。
As described above, the conventional composite type magnetic head chip is coated with two kinds of metal magnetic thin films on the gap facing surface of the core to prevent uneven wear of the magnetic head chip. Although the linearity of the recording strength of the magnetic tape with respect to the magnetomotive force is improved to eliminate the distortion of the recording / reproducing waveform, no consideration has been given to the overwrite characteristic. For this reason, when new magnetic recording is overlaid on a portion recorded on the magnetic recording medium, the previous magnetic recording cannot be sufficiently erased, which causes noise. In view of the above, the present invention provides a composite magnetic head chip in which a magnetic disk device having two types of metal magnetic thin films having different saturation magnetic flux densities, which are different in saturation magnetic flux density from each other, is applied to the magnetic disk device to improve overwrite characteristics and reduce noise. It is intended to be obtained.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】本発明は、磁気ギャップ
を介して一対のフェライトコアを対向させて配置し、そ
の少なくとも一方のコアの対向面に金属磁性薄膜を被着
させた複合型磁気ヘッドチップにおいて、上記目的を達
成したものである。そのためフェライトコアのギャップ
側対向面に、透磁率が大きく高飽和磁束密度の第1の金
属磁性薄膜が被着されるとともに、その表面に前記より
大きな飽和磁束密度の第2の金属磁性薄膜が被着されて
いる。第1の金属磁性薄膜をセンダストで形成し、第2
の金属磁性薄膜をスーパーセンダストで形成することが
できる。前記第1金属磁性薄膜と第2金属磁性薄膜と
は、それぞれ相互拡散相を有している。また第2金属磁
性薄膜中のNiが第1金属磁性薄膜に拡散し、Ni含有
量が磁気ギャップ側からフェライトコア側に向かって漸
次減少している。さらに磁気ヘッドチップのギャップ側
のトラック部を絞り加工した。本発明の浮上式複合型磁
気ヘッドの製造方法は、フェライトコアのギャップ側の
面に、センダストからなる第1金属磁性薄膜を被着し、
次ぎに第1金属磁性薄膜の表面にそれより飽和磁束密度
の大きなスーパーセンダストからなる第2金属磁性薄膜
を被着し、その後500〜700℃の温度条件で熱処理
することを特徴とする。熱処理条件を500〜700℃
としたのは、第1金属磁性薄膜と第2金属磁性薄膜の
B.C.C構造の規則度を改善するためである。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention is a composite magnetic head in which a pair of ferrite cores are arranged to face each other via a magnetic gap, and a metal magnetic thin film is deposited on the facing surface of at least one of the cores. The chip achieves the above object. Therefore, the first metallic magnetic thin film having a large magnetic permeability and a high saturation magnetic flux density is deposited on the facing surface on the gap side of the ferrite core, and the second metallic magnetic thin film having a larger saturated magnetic flux density is coated on the surface thereof. It is worn. The first metal magnetic thin film is formed of sendust, and the second
The metal magnetic thin film of can be formed of super sendust. The first metal magnetic thin film and the second metal magnetic thin film each have an interdiffusion phase. Further, Ni in the second metal magnetic thin film diffuses into the first metal magnetic thin film, and the Ni content gradually decreases from the magnetic gap side toward the ferrite core side. Further, the track portion on the gap side of the magnetic head chip was drawn. A method of manufacturing a levitation type composite magnetic head according to the present invention comprises applying a first metal magnetic thin film made of sendust on a gap side surface of a ferrite core,
Next, the second metal magnetic thin film made of super sendust having a larger saturation magnetic flux density than that is deposited on the surface of the first metal magnetic thin film, and then heat-treated at a temperature condition of 500 to 700 ° C. Heat treatment condition is 500-700 ° C
Is the B.I. of the first metal magnetic thin film and the second metal magnetic thin film. C. This is to improve the regularity of the C structure.

【0006】ここで本発明の目的の対象となるオーバー
ライト特性について説明する。磁気ヘッドで磁気記録媒
体に磁気記録し、その後、磁気記録媒体に磁気記録を重
ねて行った場合に、前の磁気記録が消去されて新たな磁
気記録がされる。この場合に、消去されずに残った磁気
記録の新たな磁気記録に対する比の自然対数がオーバー
ライト特性であり、その絶対値が大きいほど前の磁気記
録が残っていないことになり、オーバーライト特性が良
いことになる。
The overwrite characteristic which is the object of the present invention will now be described. When magnetic recording is performed on the magnetic recording medium by the magnetic head and then magnetic recording is overlaid on the magnetic recording medium, the previous magnetic recording is erased and new magnetic recording is performed. In this case, the natural logarithm of the ratio of the magnetic recording left unerased to the new magnetic recording is the overwrite characteristic, and the larger the absolute value, the more the previous magnetic recording does not remain. Will be good.

【0007】最近は高記録密度化に伴い磁気記録媒体の
保磁力が増加し、磁気ヘッドチップのギャップ長さが小
さくなって来ている。これは前述のオーバーライト特性
の低下を生じせしめる。本発明者はこの問題を解決する
ために鋭意研究をした。すなわち、高記録密度に対応さ
せるためには記録波長を小さくしなければならず、その
結果磁気ギャップ長さも小さくしている。しかし磁気ギ
ャップ長さが小さくなると、記録磁界が小さくなり、そ
の結果、前に記録したデータの上に新たにデータの記録
を行った場合に、前に記録した磁気データの消去が不十
分となり、オーバーライト特性が低下してノイズの発生
原因になってしまう。この問題を解決するためには磁気
ヘッドチップの金属磁性薄膜の磁束密度を上げて、記録
磁界を大きくすれば良いが、金属磁性薄膜の磁束密度を
上げて磁気ヘッドを作成したところ、透磁率が低下して
磁気記録装置の再生特性が低下してしまうことを知っ
た。以上の研究結果に基づき、磁気ヘッドチップのギャ
ップ部に飽和磁束密度の異なる2層の金属磁性薄膜を設
けることにより以上の問題を解決し、上記の磁束密度を
上げ、かつ透磁率も上げた磁気ヘッドを提供する。
Recently, as the recording density has increased, the coercive force of the magnetic recording medium has increased, and the gap length of the magnetic head chip has become smaller. This causes the above-mentioned deterioration of the overwrite characteristic. The present inventor has conducted diligent research to solve this problem. That is, the recording wavelength must be reduced in order to cope with the high recording density, and as a result, the magnetic gap length is also reduced. However, when the magnetic gap length becomes smaller, the recording magnetic field becomes smaller, and as a result, when newly recording data on the previously recorded data, erasing the previously recorded magnetic data becomes insufficient, The overwrite characteristic deteriorates, which causes noise. In order to solve this problem, the magnetic flux density of the metal magnetic thin film of the magnetic head chip should be increased to increase the recording magnetic field, but when the magnetic head was created by increasing the magnetic flux density of the metal magnetic thin film, the magnetic permeability was It has been found that the reproduction characteristics of the magnetic recording device deteriorate as a result. Based on the above research results, the above problem was solved by providing two layers of metal magnetic thin films having different saturation magnetic flux densities in the gap portion of the magnetic head chip, and the magnetic flux density and magnetic permeability were improved. Provide the head.

【0008】[0008]

【作用】上記磁気ヘッドチップでは、コアのギャップ面
に透磁率及び飽和磁束密度の大きい第1の金属磁性薄膜
を被着するとともに、その表面に前記より飽和磁束密度
の大きな第2の金属磁性薄膜を被着しているので、磁束
密度を上げても透磁率を大きくすることができる。よっ
て、オーバーライト特性が向上し、しかも記録再生特性
が低下することはない。透磁率を向上できるのは、磁気
ヘッドの熱処理によりB.C.C構造において原子が規
則正しく配列されるためである。また2つの金属磁性薄
膜はそれぞれ相互拡散層を有するので、結合性がよく、
膜剥れが生じにくい。
In the above magnetic head chip, the first metallic magnetic thin film having a high magnetic permeability and a high saturation magnetic flux density is deposited on the gap surface of the core, and the second metallic magnetic thin film having a higher saturated magnetic flux density is formed on the surface thereof. Since it is deposited, the magnetic permeability can be increased even if the magnetic flux density is increased. Therefore, the overwrite characteristic is improved and the recording / reproducing characteristic is not deteriorated. The magnetic permeability can be improved by heat treatment of the magnetic head. C. This is because the atoms are regularly arranged in the C structure. In addition, since the two metal magnetic thin films each have an interdiffusion layer, they have good bonding properties,
Film peeling is unlikely to occur.

【0009】[0009]

【実施例】本発明の複合型磁気ヘッドチップの実施例を
図1、2により説明する。磁気ヘッドチップは、Iコア
1とCコア2との間に磁気ギャップ3が設けられ、Iコ
ア1とCコア2のうち少なくとも一方のギャップ対向面
に2層の金属磁性薄膜4、5が被着され、ギャップ3の
外側に対向して配置された磁気ディスクとの間に磁気的
記録再生をできるようになっている。なおギャップ3付
近のIコア1とCコア2とはガラス材6により接合さ
れ、また本実施例ではギャップ側のトラック部11が切
欠きにより絞り加工されている。そしてこのように構成
された磁気ヘッドチップ7が図3に示すように、非磁性
のスライダ8のスリット9に挿入されてモールドガラス
10により固着されて、浮上式複合型磁気ヘッドが構成
される。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the composite type magnetic head chip of the present invention will be described with reference to FIGS. In the magnetic head chip, a magnetic gap 3 is provided between the I core 1 and the C core 2, and two layers of metal magnetic thin films 4 and 5 are covered on at least one gap facing surface of the I core 1 and the C core 2. The magnetic recording / reproduction can be performed between the magnetic disk and the magnetic disk which is mounted on the magnetic disk and is disposed outside the gap 3 so as to face the magnetic disk. The I core 1 and the C core 2 near the gap 3 are joined by a glass material 6, and in this embodiment, the track portion 11 on the gap side is drawn by a notch. Then, as shown in FIG. 3, the magnetic head chip 7 thus constructed is inserted into the slit 9 of the non-magnetic slider 8 and fixed by the mold glass 10 to form a flying composite magnetic head.

【0010】前記のIコア1とCコア2とはMn−Zn
フェライトで形成され、Iコア1のギャップ対向面にセ
ンダストからなる第1金属磁性薄膜4が被着されるとと
もに、その表面にセンダストより高飽和磁束密度のスー
パーセンダストからなる第2金属磁性薄膜5が被着され
ている。第1金属磁性薄膜4の組成はFe−Al−Si
であり、第2金属磁性薄膜5の組成はFe−Ni−Al
−Siであって、両金属磁性薄膜4、5はそれぞれ相互
拡散相を有し、Niの含有量はギャップ3側からIコア
4側に向かって漸次減少している。この場合、図2
(a)に示すように一対のコア1、2のうち一方のみに
2層の金属磁性薄膜4、5を被着しているが、図2
(b)に示すように両コアにそれぞれ2層の金属磁性薄
膜4、5を被着してもよい。
The I core 1 and the C core 2 are Mn--Zn.
A first metal magnetic thin film 4 made of ferrite and made of sendust is applied to the gap facing surface of the I core 1, and a second metal magnetic thin film 5 made of super sendust having a saturation magnetic flux density higher than that of sendust is attached to the surface thereof. It is covered. The composition of the first metal magnetic thin film 4 is Fe-Al-Si.
And the composition of the second metal magnetic thin film 5 is Fe-Ni-Al.
-Si, both metal magnetic thin films 4 and 5 each have an interdiffusion phase, and the Ni content gradually decreases from the gap 3 side toward the I core 4 side. In this case,
As shown in FIG. 2A, two layers of metal magnetic thin films 4 and 5 are deposited on only one of the pair of cores 1 and 2.
As shown in (b), two layers of metal magnetic thin films 4 and 5 may be attached to both cores.

【0011】上記複合型磁気ヘッドチップを製造する場
合、Iコア1のギャップ対向面にFe、Al及びSiを
含有する合金ターゲットを用いてスパッタによりセンダ
ストを厚さ0.8〜1.2μmに被着し、さらにその上
にFe、Ni、Al及びSiを含有する合金ターゲット
を用いてスーパーセンダストをスパッタにより厚さ0.
8〜1.2μmに被着する。次ぎに金属磁性薄膜が被着
されたIコア1を670℃に1時間保持して、センダス
トとスーパーセンダストとにそれぞれ相互拡散層を有す
るようにした。なおこの相互拡散でNi含有量は、ギャ
ップ3側からIコア1側に向かって漸次減少するように
拡散される。この後、Iコア1とCコア2とをギャップ
3を有するようにガラス材6で接合する。なお前記のス
パッタは、RFパワー350W、ターゲットとコア間距
離70mm、コア温度300℃、到達真空度5×10-4
Pa、ガス圧力7×10-1Paの条件で行った。
In manufacturing the above-mentioned composite magnetic head chip, sendust is deposited on the surface of the I core 1 facing the gap to a thickness of 0.8 to 1.2 μm by sputtering using an alloy target containing Fe, Al and Si. Then, super sendust is sputtered thereon with an alloy target containing Fe, Ni, Al and Si to a thickness of 0.
It is deposited to 8 to 1.2 μm. Next, the I core 1 coated with the metal magnetic thin film was kept at 670 ° C. for 1 hour so that sendust and super sendust each had an interdiffusion layer. By this mutual diffusion, the Ni content is diffused so as to gradually decrease from the gap 3 side toward the I core 1 side. After that, the I core 1 and the C core 2 are joined with the glass material 6 so as to have the gap 3. The above-mentioned sputter has an RF power of 350 W, a target-core distance of 70 mm, a core temperature of 300 ° C., and an ultimate vacuum of 5 × 10 −4.
It was performed under the conditions of Pa and gas pressure of 7 × 10 −1 Pa.

【0012】上記のようにして作成した磁気ヘッドチッ
プについて、透磁率μと磁束密度Bと保磁力Hcとを測
定して結果を表1に示した。また表1には、比較のた
め、フェライトコアにセンダストのみを1層被着して作
成した比較例1と、フェライトコアにスーパーセンダス
トのみを1層被着した比較例2を作成して、それらにつ
いても同様に測定して結果を示した。なお各磁気ヘッド
チップは、いづれも670℃で熱処理した。以下の表1
によれば、本発明の磁気ヘッドは比較例に比較して透磁
率及び磁束密度が共に大きいことがわかる。
Magnetic permeability μ, magnetic flux density B and coercive force Hc of the magnetic head chip prepared as described above were measured and the results are shown in Table 1. In addition, in Table 1, for comparison, Comparative Example 1 in which only one layer of sendust was applied to the ferrite core and Comparative Example 2 in which only one layer of super sendust was applied to the ferrite core were produced, and Was also measured in the same manner and the results are shown. Each magnetic head chip was heat-treated at 670 ° C. Table 1 below
According to the results, the magnetic head of the present invention has both higher magnetic permeability and magnetic flux density than the comparative example.

【0013】[0013]

【表1】 [Table 1]

【0014】次ぎに上記表1の各磁気ヘッドチップにつ
いて、オーバーライト特性、再生出力特性、疑似ギャッ
プの発生、金属磁性薄膜の膜剥れについてテストし、そ
の結果を表2に示した。
Next, each magnetic head chip shown in Table 1 was tested for overwrite characteristics, reproduction output characteristics, generation of pseudo gaps, and film peeling of the metal magnetic thin film, and the results are shown in Table 2.

【表2】 上記の表2より、本発明のものは比較例よりもオーバー
ライト特性と再生出力ともに良いことがわかる。これは
上記表1に示した本発明のものが透磁率と磁束密度が大
きいことに対応していることがわかる。また膜剥れに関
しても、本発明の方が剥れにくくなっている。これは第
1と第2金属磁性薄膜の2層が相互拡散層を有している
ためと考えられる。
[Table 2] It can be seen from Table 2 above that the present invention has better overwrite characteristics and reproduction output than the comparative example. It can be seen that this corresponds to the high permeability and high magnetic flux density of the present invention shown in Table 1 above. Also, with respect to film peeling, the present invention is less likely to peel. It is considered that this is because the two layers of the first and second magnetic metal thin films have mutual diffusion layers.

【0015】[0015]

【発明の効果】本発明の複合型磁気ヘッドチップでは、
フェライトコアのギャップ側対向面にセンダストとスー
パーセンダストからなる2層の金属磁性薄膜を被着させ
ているので、磁束密度と透磁率を共に大きくすることが
でき、オーバーライト特性が向上してノイズの発生を防
止でき、しかも再生出力が向上する。
According to the composite type magnetic head chip of the present invention,
Since two layers of metallic magnetic thin films composed of sendust and super sendust are applied to the facing surface of the ferrite core on the gap side, both the magnetic flux density and the magnetic permeability can be increased, and the overwrite characteristics are improved to reduce noise. It can be prevented from occurring, and the reproduction output is improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の複合型磁気ヘッドチップの斜視図であ
る。
FIG. 1 is a perspective view of a composite magnetic head chip of the present invention.

【図2】複合型磁気ヘッドチップのギャップ付近の異な
る2種類(a)、(b)の部分斜視図である。
FIG. 2 is a partial perspective view of two different types (a) and (b) near the gap of the composite magnetic head chip.

【図3】浮上式複合型磁気ヘッドの斜視図である。FIG. 3 is a perspective view of a floating composite magnetic head.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 Iコア 2 Cコア 3 ギャップ 4 第1金属磁性薄膜 5 第2金属磁性薄膜 1 I core 2 C core 3 Gap 4 First metal magnetic thin film 5 Second metal magnetic thin film

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 諏訪部 繁和 埼玉県熊谷市三ケ尻5200番地日立金属株式 会社磁性材料研究所内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Shigekazu Suwabe 5200 Mikashiri, Kumagaya-shi, Saitama Hitachi Metals Co., Ltd.

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 磁気ギャップを介して一対のフェライト
コアを対向させて配置し、その少なくとも一方のコアの
対向面に金属磁性薄膜を被着させた磁気ヘッドチップに
おいて、フェライトコアのギャップ側対向面に透磁率が
大きく高飽和磁束密度の第1の金属磁性薄膜が被着され
るとともに、その表面に前記より大きな飽和磁束密度の
第2の金属磁性薄膜が被着されていることを特徴とする
複合型磁気ヘッドチップ。
1. A magnetic head chip in which a pair of ferrite cores are arranged to face each other via a magnetic gap, and a metal magnetic thin film is adhered to the facing surface of at least one of the cores. Is coated with a first metal magnetic thin film having a large magnetic permeability and a high saturation magnetic flux density, and a second metal magnetic thin film having a larger saturation magnetic flux density is deposited on the surface thereof. Composite type magnetic head chip.
【請求項2】 第1の金属磁性薄膜はセンダストからな
り、第2の金属磁性薄膜はスーパーセンダストからなっ
ていることを特徴とする請求項1に記載の複合型磁気ヘ
ッドチップ。
2. The composite magnetic head chip according to claim 1, wherein the first metal magnetic thin film is made of sendust, and the second metal magnetic thin film is made of super sendust.
【請求項3】 第1金属磁性薄膜と第2金属磁性薄膜と
は、それぞれ相互拡散相を有し、Ni含有量が磁気ギャ
ップ側からフェライトコア側に向かって漸次減少してい
ることを特徴とする請求項1に記載の複合型磁気ヘッド
チップ。
3. The first metal magnetic thin film and the second metal magnetic thin film each have an interdiffusion phase, and the Ni content gradually decreases from the magnetic gap side toward the ferrite core side. The composite type magnetic head chip according to claim 1.
【請求項4】 請求項1乃至3のいずれかに記載の複合
型磁気ヘッドチップは、そのギャップ側のトラック部が
絞り加工がされていることを特徴とする複合型磁気ヘッ
ドチップ。
4. The composite magnetic head chip according to claim 1, wherein the track portion on the gap side is drawn.
【請求項5】 請求項4に記載の複合型磁気ヘッドチッ
プが、非磁性のスライダのスリットに装着されているこ
とを特徴とする浮上式複合型磁気ヘッド。
5. A flying composite magnetic head, wherein the composite magnetic head chip according to claim 4 is mounted in a slit of a non-magnetic slider.
【請求項6】 磁気ギャップを介して一対のフェライト
コアを対向させて配置し、その少なくとも一方のコアの
対向面に金属磁性薄膜を被着させた複合型磁気ヘッドチ
ップの製造方法であって、フェライトコアのギャップ側
の面に、透磁率が大きく高飽和磁束密度のセンダストか
らなる第1金属磁性薄膜を被着し、次ぎに第1金属磁性
薄膜の表面にそれより飽和磁束密度の大きなスーパーセ
ンダストからなる第2金属磁性薄膜を被着し、その後5
00〜700℃の温度条件で熱処理したことを特徴とす
る複合型磁気ヘッドチップの製造方法。
6. A method of manufacturing a composite magnetic head chip, comprising a pair of ferrite cores arranged to face each other with a magnetic gap interposed therebetween, and a metal magnetic thin film deposited on the facing surface of at least one of the cores. A first metal magnetic thin film made of sendust having a high magnetic permeability and a high saturation magnetic flux density is applied to the surface of the ferrite core on the gap side, and then a super sendust having a larger saturation magnetic flux density than that on the surface of the first metal magnetic thin film. A second metal magnetic thin film consisting of
A method for manufacturing a composite magnetic head chip, characterized in that the heat treatment is performed under a temperature condition of 00 to 700 ° C.
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