JP3271077B2

JP3271077B2 - Magnetic head and method of manufacturing the same

Info

Publication number: JP3271077B2
Application number: JP04724792A
Authority: JP
Inventors: 健二香取
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 1992-03-04
Filing date: 1992-03-04
Publication date: 2002-04-02
Anticipated expiration: 2017-04-02
Also published as: JPH05250628A

Description

DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、例えばビデオテープレ
コーダ（ＶＴＲ）用あるいは磁気ディスク用磁気ヘッド
に適用して好適な磁気ヘッドおよびその製造方法に関す
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic head suitable for use in, for example, a magnetic head for a video tape recorder (VTR) or a magnetic disk and a method of manufacturing the same .

【０００２】[0002]

【従来の技術】近年、ＶＴＲ用あるいは磁気ディスク用
の磁気ヘッドにおいて、高周波に対応するための低イン
ダクタンス化が、または、磁気記録媒体の高保持力化に
対応するための強力なギャップ磁界発生が、または、ト
ラック密度上昇に伴う狭トラック化に対応するための再
生効率の増加などが求められている。従来、メタル媒体
対応ヘッドは、図１１に示すように、フェライトと金属
軟磁性膜を組み合わせた複合ヘッドが主に用いられてき
た。このタイプの磁気ディスクは、比較的良好な生産性
と高信頼性を有していた。一方、金属軟磁性膜を両側に
配置せずに、片側のみに設置した方が、磁界分布の影響
から、書き込み能力がかえって増強されるという報告も
ある（１９９０年電子情報通信学会春期全国大会予稿集
ＳＣ−５−６）。また、フェライト上に、金属軟磁性膜
を成膜した場合、フェライト側に応力が導入され、フェ
ライトの実効的な透磁率を低下させる場合がある。この
ようなことを考慮に入れた結果、図１に示すような構造
の磁気ディスクが提案されている。他方、今後、より高
周波に移行する場合、磁気ヘッドのインダクタンスをよ
り低下させる必要があり、そのためには、フェライトを
用いない磁気ヘッドが考えられる。2. Description of the Related Art In recent years, a magnetic head for a VTR or a magnetic disk has been required to have a low inductance to cope with a high frequency or to generate a strong gap magnetic field to cope with a high coercive force of a magnetic recording medium. Or, there is a demand for an increase in reproduction efficiency in order to cope with a narrower track accompanying an increase in track density. Conventionally, as a head compatible with a metal medium, as shown in FIG. 11 , a composite head combining a ferrite and a metal soft magnetic film has been mainly used. This type of magnetic disk had relatively good productivity and high reliability. On the other hand, there is a report that writing performance can be enhanced by disposing the metal soft magnetic film on one side instead of both sides, due to the influence of the magnetic field distribution. Collection SC-5-6). Further, when a metal soft magnetic film is formed on ferrite, stress is introduced on the ferrite side, and the effective magnetic permeability of the ferrite may be reduced. As a result of taking this into consideration, a magnetic disk having a structure as shown in FIG. 1 has been proposed. On the other hand, when shifting to higher frequencies in the future, it is necessary to further reduce the inductance of the magnetic head, and for that purpose, a magnetic head that does not use ferrite is considered.

【０００３】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図１の
ような構造とした場合、今度は、金属軟磁性膜２の端面
において、疑似ギャップノイズを生じ、再生特性に問題
を生じる結果となった。また、フェライトを用いないギ
ャップ膜平行タイプにおいても、膜端面にて疑似ギャッ
プによるノイズが生じることが問題となった。However, when the structure as shown in FIG. 1 is employed, a pseudo gap noise is generated at the end face of the metal soft magnetic film 2, which results in a problem in reproduction characteristics. Also, in the gap film parallel type that does not use ferrite, there is a problem that noise due to a pseudo gap occurs at the film end surface.

【０００４】本発明は、このような課題に鑑みてなされ
たものであり、金属軟磁性膜の端面における疑似ギャッ
プ効果を減少させることができる磁気ヘッドおよびぞの
製造方法を提供することを目的とする。The present invention has been made in view of the above problems, and has been made in view of the above circumstances. A magnetic head and a magnetic head capable of reducing a pseudo gap effect at an end face of a metal soft magnetic film.
It is intended to provide a manufacturing method .

【０００５】[0005]

【課題を解決するための手段】本発明の磁気ヘッドは、
例えば図１に示すように、突合せ面に磁気ギャップ５を
形成する一対の磁気コア半体のうち、少なくとも一方の
磁気コア半体が、非磁性基板３とこの非磁性基板３の突
合せ面上に成膜された金属軟磁性膜２により構成される
磁気ヘッドにおいて、この金属軟磁性膜２は単層であ
り、この金属軟磁性膜２の透磁率は磁気ギャップ５面か
ら遠ざかる方向に連続的に低下しているものである。ま
た、本発明の磁気ヘッドは、突合せ面に磁気ギャップを
形成する一対の磁気コア半体のうち、少なくとも一方の
磁気コア半体が、非磁性基板とこの非磁性基板の突合せ
面上に成膜された金属軟磁性膜により構成される磁気ヘ
ッドにおいて、上記金属軟磁性膜は単層であり、上記金
属軟磁性膜の組成は磁気ギャップ面から遠ざかる方向に
変化し、上記金属軟磁性膜の透磁率は磁気ギャップ面か
ら遠ざかる方向に低下しているものである。また、本発
明の磁気ヘッドの製造方法は、突合せ面に磁気ギャップ
を形成する一対の磁気コア半体のうち、少なくとも一方
の磁気コア半体が、非磁性基板とこの非磁性基板の突合
せ面上に成膜された金属軟磁性膜により構成される磁気
ヘッドの製造方法において、スパッタあるいは蒸着によ
る成膜の条件を変化させることにより、上記金属軟磁性
膜の透磁率を磁気ギャップ面から遠ざかる方向に連続的
に低下させる方法である。 According to the present invention, there is provided a magnetic head comprising:
For example, as shown in FIG. 1, at least one magnetic core half of a pair of magnetic core halves forming a magnetic gap 5 at the butting surface is provided on the nonmagnetic substrate 3 and the butting surface of the nonmagnetic substrate 3. In a magnetic head composed of the formed metal soft magnetic film 2, the metal soft magnetic film 2 is a single layer.
Thus, the magnetic permeability of the metal soft magnetic film 2 continuously decreases in the direction away from the magnetic gap 5 surface. Ma
In addition, the magnetic head of the present invention has a magnetic gap at the abutting surface.
At least one of the pair of magnetic core halves to be formed
The magnetic core half butt the non-magnetic substrate and this non-magnetic substrate
A magnetic head composed of a metal soft magnetic film formed on a surface
The metal soft magnetic film is a single layer,
The composition of the soft magnetic film in the direction away from the magnetic gap surface
And the magnetic permeability of the metal soft magnetic film is
It decreases in the direction away from it. In addition,
Ming's method of manufacturing a magnetic head uses a magnetic gap
At least one of a pair of magnetic core halves forming
Of the non-magnetic substrate and the non-magnetic substrate
Magnetism composed of a metal soft magnetic film deposited on the surface
In the method of manufacturing the head,
By changing the conditions of film formation,
Continuous permeability in the direction away from the magnetic gap plane
It is a method of lowering.

【０００６】[0006]

【作用】本発明の磁気ヘッドによれば、突合せ面に磁気
ギャップ５を形成する一対の磁気コア半体のうち、少な
くとも一方の磁気コア半体が、非磁性基板３とこの非磁
性基板３の突合せ面上に成膜された金属軟磁性膜２によ
り構成される磁気ヘッドにおいて、この金属軟磁性膜２
は単層であり、この金属軟磁性膜２の透磁率を磁気ギャ
ップ５面から遠ざかる方向に連続的に低下させることに
より、金属軟磁性膜の端面における疑似ギャップ効果を
減少させることができることから、低ノイズで、周波数
うねりが低くて、かつ、書き込み能力に優れた磁気ヘッ
ドを得ることができる。According to the magnetic head of the present invention, at least one magnetic core half of the pair of magnetic core halves forming the magnetic gap 5 at the butting surface is composed of the nonmagnetic substrate 3 and the nonmagnetic substrate 3. In a magnetic head composed of the metal soft magnetic film 2 formed on the butting surface, the metal soft magnetic film 2
Is a single layer. By continuously decreasing the magnetic permeability of the metal soft magnetic film 2 in a direction away from the magnetic gap 5, the pseudo gap effect at the end face of the metal soft magnetic film can be reduced. A magnetic head having low noise, low frequency waviness, and excellent write performance can be obtained.

【０００７】[0007]

【実施例】以下、本発明磁気ヘッドの一実施例について
図１及び図２を参照して説明する。図１は、突合せ面に
磁気ギャップ５を形成する一対の磁気コア半体のうち、
少なくとも一方の磁気コア半体が、非磁性基板３とこの
非磁性基板３の突合せ面上に成膜された金属軟磁性膜２
により構成される磁気ヘッドにおいて、この金属軟磁性
膜２の透磁率を磁気ギャップ５面から遠ざかる方向に連
続的に低下させた磁気ヘッドを示すものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the magnetic head according to the present invention will be described below with reference to FIGS. FIG. 1 shows a pair of magnetic core halves forming a magnetic gap 5 at the butted surface.
At least one of the magnetic core halves has a non-magnetic substrate 3 and a metal soft magnetic film 2 formed on the butted surface of the non-magnetic substrate 3.
Is a magnetic head in which the magnetic permeability of the metal soft magnetic film 2 is continuously reduced in a direction away from the magnetic gap 5 surface.

【０００８】図１に示すように、リーディング側（テー
プの走行方向に対して、ギャップより後方側を言う。）
にはバルクフェライト材を、トレーリング側（テープの
走行方向に対して、ギャップより前方側を言う。）に
は、非磁性基板上に成膜した金属軟磁性材料を用いる。
ここで、金属軟磁性膜１の透磁率は、図２に示したよう
に、ギャップ５側から非磁性基板３側へ連続的に低下す
るように作製する。これにより、端面での明確な疑似ギ
ャップが存在しなくなり、良好な再生特性が得られるよ
うになる。As shown in FIG. 1, the leading side (referred to the rear side of the gap with respect to the running direction of the tape).
, A metal soft magnetic material formed on a non-magnetic substrate is used on the trailing side (referred to the front side of the gap with respect to the running direction of the tape).
Here, the magnetic permeability of the metal soft magnetic film 1 is manufactured so as to continuously decrease from the gap 5 side to the non-magnetic substrate 3 side as shown in FIG. As a result, a clear pseudo gap does not exist at the end face, and good reproduction characteristics can be obtained.

【０００９】金属軟磁性膜には、センダスト、ソフマッ
クス、Ｃｏ系アモルファス、Ｃｏ−Ｎ系、Ｆｅ−Ｎ系、
Ｃｏ−Ｃ系、Ｆｅ−Ｃ系などの材料を用いることができ
る。この場合、いずれの材料においても、スパッタある
いは蒸着による成膜の条件を変化させることにより、図
２に示すような、透磁率が連続的に変化する膜を容易に
得ることができる。また、フェライト１には、ノイズ低
減のため、単結晶−多結晶接合フェライトを用いてもよ
い。The soft metal magnetic film includes Sendust, Sofmax, Co-based amorphous, Co-N-based, Fe-N-based,
Co-C-based, Fe-C-based materials and the like can be used. In this case, for any of the materials, a film whose magnetic permeability changes continuously as shown in FIG. 2 can be easily obtained by changing the conditions of film formation by sputtering or vapor deposition. Further, a single crystal-polycrystal junction ferrite may be used as the ferrite 1 for noise reduction.

【００１０】次に、本発明磁気ヘッドの他の実施例につ
いて、図３〜図１１を参照しながら説明する。図１にお
いては、フェライトおよび非磁性基板の双方ともに、ト
ラック幅加工を施した例を示したが、図３、図４、およ
び図５に示すように、どちらか一方のみ、トラック幅加
工をした組合せとしてもよい。図４の例においては、フ
ェライトの片端に電気抵抗の低い金属薄膜（Ａｕ、Ａｇ
など）を被着させている。こうすることにより、隣接ト
ラックから磁束が侵入しようとした際、電気抵抗の低い
薄膜において渦電流が発生し、この渦電流は、磁束の侵
入を妨げるように磁界を発生させることになる。これに
より、クロストークを低減させることができる。この
際、電気抵抗の低い金属薄膜とフェライトとの間にＳｉ
Ｏ₂などの絶縁体を設置してもよい。Next, another embodiment of the magnetic head of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 1 shows an example in which track width processing is performed on both the ferrite and the non-magnetic substrate. However, as shown in FIGS. 3, 4, and 5, only one of the track width processing is performed. It may be a combination. In the example of FIG. 4, a metal thin film (Au, Ag) having a low electric resistance is provided on one end of the ferrite.
Etc.). In this way, when a magnetic flux attempts to enter from an adjacent track, an eddy current is generated in the thin film having a low electric resistance, and the eddy current generates a magnetic field so as to prevent the entry of the magnetic flux. Thereby, crosstalk can be reduced. At this time, Si is placed between the ferrite and the metal thin film having a low electric resistance.
An insulator such as O ₂ may be provided.

【００１１】巻線窓は、図６に示すように、フェライト
側に加工することが望ましい。薄膜は、段差などで不連
続な膜とすると、透磁率が低下する場合があるからであ
る。また、非磁性基板は、摩耗特性をフェライトと同一
にする必要があり、このため、Ｎｉ−Ｚｎフェライトな
どの非磁性フェライトを使用することもできる。また、
薄膜コア材は、うず電流低減などのため、中間層（Ｓｉ
Ｏ₂、Ｓｉ−Ｎなど）を挟んで積層としてもよい。しか
し、この場合、中間層は、疑似ギャップとならない程度
に極薄である必要がある。The winding window is desirably formed on the ferrite side as shown in FIG. This is because if the thin film is discontinuous due to a step or the like, the magnetic permeability may decrease. Further, the non-magnetic substrate needs to have the same wear characteristics as the ferrite. Therefore, a non-magnetic ferrite such as a Ni—Zn ferrite can be used. Also,
The thin film core material is made of an intermediate layer (Si
O ₂ , Si—N, etc.) may be stacked. However, in this case, the intermediate layer needs to be extremely thin so as not to cause a pseudo gap.

【００１２】次に、本発明磁気ヘッドの一実施例の具体
的な内容を説明する。ここでは、図１に示す形状の磁気
ヘッドを作製した。作製条件は以下のとおりである。トラック幅：２０μｍ非磁性基板：Ｎｉ−Ｚｎフェライトギャップ長：０．２５μｍギャップ深さ：１５μｍ薄膜コア厚：２０μｍコア材：Ｆｅ−Ａｌ−Ｎｂ−Ｎ−Ｏ膜（成膜はｒ
ｆスパッタ法による。）ターゲット：Ｆｅ₉₇Ａｌ₁Ｎｂ₂ａｔ％スパッタガス：Ａｒ、Ｎ₂、Ｏ₂ ここで、スパッタガスの条件について説明する。まず、
成膜初期においては、Ａｒ／Ｎ₂／Ｏ₂比を２０／０．
６／１０に設定した。この条件では、透磁率は、３以下
であった。成膜終期には、Ａｒ／Ｎ₂／Ｏ₂比を２０
／０．６／０．４となるように、Ｎ₂、Ｏ₂流量を連続
的に変化させた。この磁気ヘッドでは、図７に示すよう
に、うねりのないｆ特性が得られた。比較として、Ａｒ
／Ｎ₂／Ｏ₂比を２０／０．６／０．４固定とし、他は
同じ条件で成膜したところ、疑似ギャップノイズが生
じ、ｆ特のうねりが観察された。Next, the specific contents of one embodiment of the magnetic head of the present invention will be described. Here, a magnetic head having the shape shown in FIG. 1 was manufactured. The fabrication conditions are as follows. Track width: 20 μm Non-magnetic substrate: Ni—Zn ferrite Gap length: 0.25 μm Gap depth: 15 μm Thin film core thickness: 20 μm Core material: Fe—Al—Nb—NO film (film is r
By f sputtering method. ) Target: Fe ₉₇ Al ₁ Nb ₂ at% Sputtering gas: Ar, N ₂ , O ₂ Here, the conditions of the sputtering gas will be described. First,
In the initial stage of film formation, the ratio of Ar / N ₂ / O ₂ is set to 20/0.
It was set to 6/10. Under these conditions, the magnetic permeability was 3 or less. At the end of film formation, the Ar / N ₂ / O ₂ ratio is set to 20.
The flow rates of N ₂ and O ₂ were continuously changed so as to be /0.6/0.4. With this magnetic head, as shown in FIG. 7, f-characteristics without waviness were obtained. For comparison, Ar
When the / N ₂ / O ₂ ratio was fixed at 20 / 0.6 / 0.4 and the film was formed under the same conditions except for the above, pseudo gap noise was generated and f-shaped undulation was observed.

【００１３】次に、他の実施例の具体的な内容について
説明する。ここでは、図１２に示した通常のフェライト
−金属複合型ＭＩＧヘッドで、フェライト材の代わりに
非磁性基板を用い、かつ、金属軟磁性膜の透磁率を図１
０（図１０の下側に示した図は、図９に示した磁気ヘッ
ド上端の金属軟磁性膜の拡大断面図である。）に示すよ
うに、ギャップ面から遠ざかるにつれて連続的に低下す
るようにした（図８参照）。これにより、ギャップに面
していない磁気コア端面では、明確な透磁率の不連続部
分が存在しなくなり、端面からの疑似信号出力を低下さ
せることができた。Next, the specific contents of another embodiment will be described. Here, in the ordinary ferrite-metal composite type MIG head shown in FIG. 12, a non-magnetic substrate is used instead of the ferrite material, and the magnetic permeability of the metal soft magnetic film is shown in FIG.
0 (the lower part of FIG. 10 is an enlarged sectional view of the metal soft magnetic film at the upper end of the magnetic head shown in FIG. 9). As shown in FIG. (See FIG. 8). As a result, the discontinuity of the magnetic permeability was not present on the end face of the magnetic core not facing the gap, and the pseudo signal output from the end face could be reduced.

【００１４】ここで、連続的に透磁率を低下させる方法
としては種々の方法があるが、具体的な例をいくつか挙
げることとする。まず、Ｃｏ−Ｎｂ−Ｚｒなどスパッタ
アモルファスの場合は、投入電力を変化させて、Ｃｏ／
ＮｂＺｒ比を変えるか、あるいは、スパッタガス中に連
続的に不純物ガスを導入する方法がある。次に、Ｆｅ−
Ａｌ−Ｓｉ（センダスト）、Ｆｅ−Ｒｕ−Ｇａ−Ｓｉ
（ソフマックス）などの場合は、スパッタガス圧を変化
させるか、あるいは、不純物ガスを導入する方法があ
る。さらに、Ｆｅ−Ａｌ−Ｎｂ−Ｏ−Ｎ、Ｆｅ−Ｔａ−
Ｎ、Ｆｅ−Ｚｒ−Ｎ、または、Ｃｏ−Ｆｅ−Ｚｒ−Ｙ−
Ｎ、Ｃｏ−Ｎｂ−Ｚｒ−Ｎ、または、Ｆｅ−Ｔａ−Ｃ、
Ｆｅ−Ｈｆ−Ｃなど、反応スパッタ系の場合は、スパッ
タ反応ガスの割合を連続的に変化させる方法がある。以
上のように種々の方法があるが、いずれの方法によって
も容易に透磁率を低下させることができる。Here, there are various methods for continuously lowering the magnetic permeability, but some specific examples will be given. First, in the case of a sputtered amorphous material such as Co - Nb - Zr, the input power is changed to change Co /
There is a method of changing the NbZr ratio or of continuously introducing an impurity gas into the sputtering gas. Next, Fe −
Al - Si (Sendust), Fe-Ru-Ga-Si
In the case of (Sofmax) or the like, there is a method of changing the sputtering gas pressure or introducing an impurity gas. Further, Fe-Al-Nb-ON, Fe-Ta-
N, Fe-Zr-N, or Co-Fe-Zr- Y-
N, Co-Nb-Zr-N, or Fe-Ta-C,
In the case of a reactive sputtering system such as Fe-Hf-C, there is a method of continuously changing the ratio of the sputtering reactive gas. Although there are various methods as described above, the magnetic permeability can be easily reduced by any of the methods.

【００１５】[0015]

【００１６】具体的な内容は以下のようであるが、寸
法、材料などはこれに限定されるものではない（図８参
照）。基板：結晶化ガラス磁気コア厚：２０μｍギャップ長：０．２５μｍギャップ深さ：１３μｍトラック幅：２０μｍコア材：Ｆｅ−Ａｌ−Ｎｂ−Ｎ−Ｏ膜（成膜はｒ
ｆスパッタ法による。）ターゲット：Ｆｅ₉₇Ａｌ₁Ｎｂ₂ａｔ％。スパッタガス：Ａｒ、Ｎ₂、Ｏ₂ ここで、成膜初期には、Ａｒ／Ｎ₂／Ｏ₂比を２０／５
／１０に設定した。この条件では、透磁率は、３以下で
あった。成膜終期には、Ａｒ／Ｎ₂／Ｏ₂比を２０／
０．６／０．４となるように、Ｎ₂、Ｏ₂流量を連続的
に変化させた。比較として、Ａｒ／Ｎ₂／Ｏ₂比を２０
／０．６／０．４固定とし、他は同じ条件で成膜したと
ころ、ガス流量固定の場合には、疑似信号出力と本来の
出力の干渉によるｆ特のうねりが生じたが、上述の実施
例では、うねりはほとんど見られなかった。The specific contents are as follows, but the dimensions and materials are not limited to these (see FIG. 8). Substrate: crystallized glass Magnetic core thickness: 20 μm Gap length: 0.25 μm Gap depth: 13 μm Track width: 20 μm Core material: Fe—Al—Nb—N—O film
By f sputtering method. ) Target: Fe ₉₇ Al ₁ Nb ₂ at%. Sputtering gas: Ar, N ₂ , O ₂ Here, the ratio of Ar / N ₂ / O ₂ is 20/5 in the initial stage of film formation.
/ 10. Under these conditions, the magnetic permeability was 3 or less. At the end of the film formation, the Ar / N ₂ / O ₂ ratio is set to 20 /
The flow rates of N ₂ and O ₂ were continuously changed so as to be 0.6 / 0.4. As a comparison, an Ar / N ₂ / O ₂ ratio of 20
/0.6/0.4 was fixed and the film was formed under the same conditions except for the above. In the case of the fixed gas flow rate, f-shaped undulations due to interference between the pseudo signal output and the original output occurred. In the example, almost no swell was observed.

【００１７】以上のことから、本例によれば、突合せ面
に磁気ギャップ５を形成する一対の磁気コア半体のう
ち、少なくとも一方の磁気コア半体が、非磁性基板３と
この非磁性基板３の突合せ面上に成膜された金属軟磁性
膜２により構成される磁気ヘッドにおいて、この金属軟
磁性膜２の透磁率を磁気ギャップ５面から遠ざかる方向
に連続的に低下させた磁気ヘッドとすることにより、金
属軟磁性膜の端面における疑似ギャップ効果を減少させ
ることができることから、低ノイズで、周波数うねりが
低くて、かつ、書き込み能力に優れた磁気ヘッドを得る
ことができる。また、インダクタンスを低下させること
ができることから、高周波特性は良好なものとなる。ま
た、フェライトに金属軟磁性膜からの応力が生じないた
め、フェライトの透磁率が悪化しなくなる。また、生産
性が向上する。From the above, according to the present embodiment, at least one of the pair of magnetic core halves forming the magnetic gap 5 at the butting surface is composed of the nonmagnetic substrate 3 and the nonmagnetic substrate 3. A magnetic head comprising a metal soft magnetic film 2 formed on the abutting surface of No. 3 wherein the magnetic permeability of the metal soft magnetic film 2 is continuously reduced in a direction away from the magnetic gap 5 surface; By doing so, the pseudo gap effect on the end face of the metal soft magnetic film can be reduced, so that a magnetic head having low noise, low frequency waviness, and excellent write performance can be obtained. Further, since the inductance can be reduced, the high-frequency characteristics are good. In addition, since no stress is generated in the ferrite from the metal soft magnetic film, the magnetic permeability of the ferrite does not deteriorate. Further, productivity is improved.

【００１８】なお、本発明は上述の実施例に限らず本発
明の要旨を逸脱することなくその他種々の構成を採り得
ることはもちろんである。It should be noted that the present invention is not limited to the above-described embodiment, but can adopt various other configurations without departing from the gist of the present invention.

【００１９】[0019]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
金属軟磁性膜の端面における疑似ギャップ効果を減少さ
せることができることから、低ノイズで、周波数うねり
が低くて、かつ、書き込み能力に優れた磁気ヘッドを得
ることができる。また、インダクタンスを低下させるこ
とができることから、高周波特性は良好なものとなる。
また、フェライトに金属軟磁性膜からの応力が生じない
ため、フェライトの透磁率が悪化しなくなる。As described above, according to the present invention,
Since the pseudo gap effect at the end face of the metal soft magnetic film can be reduced, a magnetic head having low noise, low frequency waviness, and excellent write performance can be obtained. Further, since the inductance can be reduced, the high-frequency characteristics are good.
In addition, since no stress is generated in the ferrite from the metal soft magnetic film, the magnetic permeability of the ferrite does not deteriorate.

[Brief description of the drawings]

【図１】本発明磁気ヘッドの一実施例を示す構成図であ
る。FIG. 1 is a configuration diagram showing one embodiment of a magnetic head of the present invention.

【図２】金属軟磁性膜の断面方向の透磁率を示す線図で
ある。FIG. 2 is a diagram showing magnetic permeability in a cross-sectional direction of a metal soft magnetic film.

【図３】本発明磁気ヘッドの他の実施例を示す構成図で
ある。FIG. 3 is a configuration diagram showing another embodiment of the magnetic head of the present invention.

【図４】本発明磁気ヘッドの他の実施例を示す構成図で
ある。FIG. 4 is a configuration diagram showing another embodiment of the magnetic head of the present invention.

【図５】本発明磁気ヘッドの他の実施例を示す構成図で
ある。FIG. 5 is a configuration diagram showing another embodiment of the magnetic head of the present invention.

【図６】本発明磁気ヘッドの正面図である。FIG. 6 is a front view of the magnetic head of the present invention.

【図７】本発明磁気ヘッドのｆ特を示す線図である。FIG. 7 is a diagram showing characteristics of the magnetic head of the present invention.

【図８】本発明磁気ヘッドの他の実施例を示す構成図で
ある。FIG. 8 is a configuration diagram showing another embodiment of the magnetic head of the present invention.

【図９】本発明磁気ヘッドの正面図である。FIG. 9 is a front view of the magnetic head of the present invention.

【図１０】金属軟磁性膜の断面方向の透磁率を示す線図
である。FIG. 10 is a diagram showing magnetic permeability in a cross-sectional direction of a metal soft magnetic film.

【図１１】従来の磁気ヘッドの例を示す構成図である。FIG. 11 is a configuration diagram showing an example of a conventional magnetic head.

[Explanation of symbols]

１フェライト２金属軟磁性膜３非磁性基板４ガラス等５ギャップ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Ferrite 2 Metallic soft magnetic film 3 Non-magnetic substrate 4 Glass etc. 5 Gap

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G11B 5/127 - 5/235 ──────────────────────────────────────────────────続き Continued on the front page (58) Field surveyed (Int.Cl. ⁷ , DB name) G11B 5/127-5/235

Claims

(57) [Claims]

At least one magnetic core half of a pair of magnetic core halves forming a magnetic gap at an abutting surface is composed of a nonmagnetic substrate and a metal soft film formed on the abutting surface of the nonmagnetic substrate. In the magnetic head constituted by a magnetic film, the metal soft magnetic film is a single layer, and the magnetic permeability of the metal soft magnetic film continuously decreases in a direction away from a magnetic gap surface. head.

2. A pair of magnetic gaps formed at abutting surfaces.
At least one of the magnetic core halves of
Is deposited on the non-magnetic substrate and the butted surface of the non-magnetic substrate.
Of magnetic head composed of soft metal magnetic film
Te, the metal soft magnetic film is a single layer, the composition of the metal soft magnetic film moves away from the magnetic gap surface
Direction, and the magnetic permeability of the metal soft magnetic film moves away from the magnetic gap surface.
The magnetic head is characterized by being lowered in the direction of the magnetic head.

3. The composition of the metal soft magnetic film changes continuously.
3. The magnetic head according to claim 2, wherein:

4. One half of a magnetic core is made of a magnetic substrate.
Ri, the magnetic core halves, set a recess at an end portion of the magnetic gap side
Only subjected to the track width processing, the low electric resistance on the surface of the concave metal thin film formed child
The magnetic head according to claim 1, 2 or 3,
De.

5. A pair of magnetic core halves, a magnetic substrate and a non-magnetic
It consists gender substrate, only the non-magnetic substrate, a recess in the end portion of the magnetic gap side
And have a track width machined.
4. The magnetic head according to claim 1, 2, or 3.

6. A pair which forms a magnetic gap at the butted surfaces.
At least one of the magnetic core halves of
Is deposited on the non-magnetic substrate and the butted surface of the non-magnetic substrate.
Of magnetic head composed of metal soft magnetic film
In the method, the conditions for film formation by sputtering or evaporation should be changed.
With this, the magnetic permeability of the metal soft magnetic film is changed to the magnetic gap surface.
To a feature of continuously reducing away from the
Manufacturing method of a magnetic head.

7. The method according to claim 1, wherein the metal soft magnetic film is a sputtered film, and the film forming condition is applied power.
7. The method for manufacturing a magnetic head according to item 6.

8. The sputtering film is made of Co-based amorphous gold.
8. The magnetic head according to claim 7, wherein the magnetic head comprises a metal.
Manufacturing method.

9. A sputtered film is made of Co-Nb-Zr.
8. The method according to claim 7, wherein the metal is made of rufus metal.
A method for manufacturing a magnetic head.

10. The metal soft magnetic film is a sputtered film, and the conditions for the film formation are the proportion of an impurity gas in the sputter gas.
7. A method of manufacturing a magnetic head according to claim 6, wherein:
Law.

11. The sputtering film is made of a Co-based amorphous material.
It is characterized by being made of metal or Fe-Si based crystalline metal
The method for manufacturing a magnetic head according to claim 10, wherein

12. A sputtered film is made of Co-Nb-Zr.
Morphas metal, or Fe-Al-Si or Fe
-Ru-Ga-Si crystalline metal
The method for manufacturing a magnetic head according to claim 10.

13. The method according to claim 12, wherein the metal soft magnetic film is a sputtered film, and the film forming condition is a sputter gas pressure.
A method for manufacturing a magnetic head according to claim 6.

14. The sputtered film is made of Fe-Si based crystalline gold.
14. The magnetic head according to claim 13, wherein the magnetic head comprises
Manufacturing method.

15. The sputtered film is made of Fe—Al—Si or
Is made of Fe-Ru-Ga-Si crystal metal.
14. The method for manufacturing a magnetic head according to claim 13, wherein:

16. The metal soft magnetic film is a sputtered film, and the condition for film formation is a ratio of a reactive gas in a sputter gas.
7. A method of manufacturing a magnetic head according to claim 6, wherein:
Law.

17. The sputtering film is formed by reactive sputtering.
17. The magnetic head according to claim 16, wherein
Manufacturing method.

18. A sputtered film is made of a Co—N based, Fe—N
, Co-C or Fe-C
The method for manufacturing a magnetic head according to claim 16, wherein

19. The sputtered film is made of Fe--Al--Nb--O
-N, Fe-Ta-N, Fe-Zr-N, Co-Fe-
Zr-Y-N, Co-Nb-Zr-N, Fe-Ta-
C or Fe-Hf-C
A method for manufacturing a magnetic head according to claim 16.

20. The sputtered film is made of Fe-Al-Nb-N
It consists -O, Subattagasu is a feature in that it consists of Ar, N _{_2,} O ₂
The method of manufacturing a magnetic head according to claim 16.