JPH06200887A - 回転真空ポンプ - Google Patents
回転真空ポンプInfo
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- JPH06200887A JPH06200887A JP4360497A JP36049792A JPH06200887A JP H06200887 A JPH06200887 A JP H06200887A JP 4360497 A JP4360497 A JP 4360497A JP 36049792 A JP36049792 A JP 36049792A JP H06200887 A JPH06200887 A JP H06200887A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotor
- vacuum pump
- cylinder
- piston
- vane
- Prior art date
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- Pending
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- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 回転真空ポンプの排気容量を装置自体の形状
を大型化せずに増大させることができ、また、同じ排気
容量の場合には、装置自体の形状を小型化することによ
り装置の製造コストを低減することのできる回転真空ポ
ンプを提供すること。 【構成】 回転真空ポンプにおいて、シリンダ１内の吸
気口７側と排気口８側とを区分し、一端を真空ポンプ本
体内に嵌挿するピストン翼板２と、該ピストン翼板２と
揺動自在に連結された、シリンダ１内周面に摺接しなが
ら回転する円筒状のロータ３とからなり、前記円筒状の
ロータ３を回転軸６により駆動する。また、通常の揺動
ピストン形ポンプのロータの中に上記構成の装置を組み
込むことにより、揺動ピストン形ポンプのロータの内容
積を排気に利用する。
を大型化せずに増大させることができ、また、同じ排気
容量の場合には、装置自体の形状を小型化することによ
り装置の製造コストを低減することのできる回転真空ポ
ンプを提供すること。 【構成】 回転真空ポンプにおいて、シリンダ１内の吸
気口７側と排気口８側とを区分し、一端を真空ポンプ本
体内に嵌挿するピストン翼板２と、該ピストン翼板２と
揺動自在に連結された、シリンダ１内周面に摺接しなが
ら回転する円筒状のロータ３とからなり、前記円筒状の
ロータ３を回転軸６により駆動する。また、通常の揺動
ピストン形ポンプのロータの中に上記構成の装置を組み
込むことにより、揺動ピストン形ポンプのロータの内容
積を排気に利用する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は回転真空ポンプに関する
ものである。
ものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、回転真空ポンプとしては、図１３
に示すカム形ポンプや図１４に示す揺動ピストン形ポン
プ等が一般的に用いられている。これらの装置は、シリ
ンダ内の吸気口側と排気口側とを区分するベーン又はピ
ストン翼板と、シリンダ内周面に摺接しながら回転軸に
より回転駆動するロータにより、吸入・圧縮・排気を行
いながら吸入側の真空度を上げていくものである。そし
て、これらの装置は、一般的に、シリンダ部等を一部油
中に浸漬又は装置に給油することにより、外気の進入を
防ぐ構造となっているが、これにより油の一部はシリン
ダ内に導入し、シリンダとロータ、その他の摺動部分の
潤滑と気密を保持する機能及び圧縮空間の死容積を埋め
る機能を果たすものである。
に示すカム形ポンプや図１４に示す揺動ピストン形ポン
プ等が一般的に用いられている。これらの装置は、シリ
ンダ内の吸気口側と排気口側とを区分するベーン又はピ
ストン翼板と、シリンダ内周面に摺接しながら回転軸に
より回転駆動するロータにより、吸入・圧縮・排気を行
いながら吸入側の真空度を上げていくものである。そし
て、これらの装置は、一般的に、シリンダ部等を一部油
中に浸漬又は装置に給油することにより、外気の進入を
防ぐ構造となっているが、これにより油の一部はシリン
ダ内に導入し、シリンダとロータ、その他の摺動部分の
潤滑と気密を保持する機能及び圧縮空間の死容積を埋め
る機能を果たすものである。
【０００３】ところで、これらの装置は、構造が簡単
で、特に図１４に示す揺動ピストン形ポンプの場合、そ
の上強固で、大排気容量のものも作成できるという特色
を有している。
で、特に図１４に示す揺動ピストン形ポンプの場合、そ
の上強固で、大排気容量のものも作成できるという特色
を有している。
【０００４】しかしながら、これらの装置の場合、ポン
プの排気容量と密接に関係するシリンダの容積のうちロ
ータが占める割合が大きく、ポンプの排気容量を維持し
ながらロータの形状を何の手段も施さずに小型化するこ
とは自ずと限界があり、またポンプの回転速度を上げる
ことも摺動部の摩擦の問題等で限界があるため、大排気
容量のものを作成しようとすると装置自体が大型になる
という問題点を有していた。
プの排気容量と密接に関係するシリンダの容積のうちロ
ータが占める割合が大きく、ポンプの排気容量を維持し
ながらロータの形状を何の手段も施さずに小型化するこ
とは自ずと限界があり、またポンプの回転速度を上げる
ことも摺動部の摩擦の問題等で限界があるため、大排気
容量のものを作成しようとすると装置自体が大型になる
という問題点を有していた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、回転真空ポ
ンプの排気容量を装置自体の形状を大型化せずに増大さ
せることができ、また、同じ排気容量の場合には、装置
自体の形状を小型化することにより装置の製造コストを
低減することのできる回転真空ポンプを提供することを
目的とする。
ンプの排気容量を装置自体の形状を大型化せずに増大さ
せることができ、また、同じ排気容量の場合には、装置
自体の形状を小型化することにより装置の製造コストを
低減することのできる回転真空ポンプを提供することを
目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本第１発明は、シリンダ内の吸気口側と排気口側と
を区分し、一端を真空ポンプ本体内に嵌挿するピストン
翼板と、該ピストン翼板と揺動自在に連結された、シリ
ンダ内周面に摺接しながら回転する円筒状のロータとか
らなり、前記円筒状のロータを回転軸により駆動するこ
とを要旨とする。
め、本第１発明は、シリンダ内の吸気口側と排気口側と
を区分し、一端を真空ポンプ本体内に嵌挿するピストン
翼板と、該ピストン翼板と揺動自在に連結された、シリ
ンダ内周面に摺接しながら回転する円筒状のロータとか
らなり、前記円筒状のロータを回転軸により駆動するこ
とを要旨とする。
【０００７】本第２発明は、シリンダ内の吸気口側と排
気口側とを区分し、一端をスライドピンに嵌挿する中空
状のピストン翼板を有し、シリンダ内周面に摺接しなが
ら回転する中空の円筒状のロータと、前記ピストン翼板
の中空内を摺動し、前記円筒状のロータ内の第２吸気口
側と第２排気口側とを区分する第２ピストン翼板と、該
第２ピストン翼板と揺動自在に連結された、前記円筒状
のロータ内周面に摺接しながら回転する小ロータとから
なり、前記円筒状のロータと小ロータを共通の回転軸に
より駆動することを要旨とする。
気口側とを区分し、一端をスライドピンに嵌挿する中空
状のピストン翼板を有し、シリンダ内周面に摺接しなが
ら回転する中空の円筒状のロータと、前記ピストン翼板
の中空内を摺動し、前記円筒状のロータ内の第２吸気口
側と第２排気口側とを区分する第２ピストン翼板と、該
第２ピストン翼板と揺動自在に連結された、前記円筒状
のロータ内周面に摺接しながら回転する小ロータとから
なり、前記円筒状のロータと小ロータを共通の回転軸に
より駆動することを要旨とする。
【０００８】本第３発明は、シリンダ内の吸気口側と排
気口側とを区分し、一端をスライドピンに嵌挿する中空
状のピストン翼板を有し、シリンダ内周面に摺接しなが
ら回転する中空の円筒状のロータと、前記ピストン翼板
の中空内を摺動し、前記円筒状のロータ内の第２吸気口
側と第２排気口側とを区分するベーンと、該ベーンがバ
ネにより付勢されて摺接し、前記円筒状のロータ内周面
に摺接しながら回転する小ロータとからなり、前記円筒
状のロータと小ロータを共通の回転軸により駆動するこ
とを要旨とする。
気口側とを区分し、一端をスライドピンに嵌挿する中空
状のピストン翼板を有し、シリンダ内周面に摺接しなが
ら回転する中空の円筒状のロータと、前記ピストン翼板
の中空内を摺動し、前記円筒状のロータ内の第２吸気口
側と第２排気口側とを区分するベーンと、該ベーンがバ
ネにより付勢されて摺接し、前記円筒状のロータ内周面
に摺接しながら回転する小ロータとからなり、前記円筒
状のロータと小ロータを共通の回転軸により駆動するこ
とを要旨とする。
【０００９】
【作 用】上記のように構成された本第１発明の回転真
空ポンプによれば、回転軸を駆動することにより、シリ
ンダ内の吸気口側と排気口側とを区分し、一端を真空ポ
ンプ本体内に嵌挿するピストン翼板と、該ピストン翼板
と揺動自在に連結された、シリンダ内周面に摺接しなが
ら回転する円筒状のロータが移動することによってシリ
ンダ内の排気口側の容積が減少し、それによって気体を
圧縮して排気口から気体を排出する。そして、本第１発
明の場合、ピストン翼板とロータとは、揺動自在に連結
する構成としているため、ロータの形状を小型化しても
連結部分の気密を保持することができ、また、摺動摩擦
もない。さらに、駆動部の形状及びその作動がシンプル
であるため、バランスがよくまたその修正も容易である
ため、ポンプの回転速度をより一層上げることが可能と
なる。
空ポンプによれば、回転軸を駆動することにより、シリ
ンダ内の吸気口側と排気口側とを区分し、一端を真空ポ
ンプ本体内に嵌挿するピストン翼板と、該ピストン翼板
と揺動自在に連結された、シリンダ内周面に摺接しなが
ら回転する円筒状のロータが移動することによってシリ
ンダ内の排気口側の容積が減少し、それによって気体を
圧縮して排気口から気体を排出する。そして、本第１発
明の場合、ピストン翼板とロータとは、揺動自在に連結
する構成としているため、ロータの形状を小型化しても
連結部分の気密を保持することができ、また、摺動摩擦
もない。さらに、駆動部の形状及びその作動がシンプル
であるため、バランスがよくまたその修正も容易である
ため、ポンプの回転速度をより一層上げることが可能と
なる。
【００１０】また、本第２発明の回転真空ポンプによれ
ば、この回転真空ポンプは従来の揺動ピストン形ポンプ
のロータの中に上記本第１発明の装置を組み込んだ形状
をしていることからも明らかなように、回転軸を駆動す
ることにより、シリンダ内の吸気口側と排気口側とを区
分し、一端をスライドピンに嵌挿する中空状のピストン
翼板を有し、シリンダ内周面に摺接しながら回転する中
空の円筒状のロータが移動することによってシリンダ内
の排気口側の容積が減少し、それによって気体を圧縮し
て排気口から気体を排出する。これと同時に、ピストン
翼板の中空内を摺動し、円筒状のロータ内の第２吸気口
側と第２排気口側とを区分する第２ピストン翼板と、該
第２ピストン翼板と揺動自在に連結された、前記円筒状
のロータ内周面に摺接しながら回転する小ロータが移動
することによって円筒状のロータ内の第２排気口側の容
積が減少し、それによって気体を圧縮して第２排気口か
ら気体を排出する。そして、本第２発明の場合、従来の
揺動ピストン形ポンプのロータの内容積を排気のために
使用できるものである。また、第２ピストン翼板と小ロ
ータとは、揺動自在に連結する構成としているため、ロ
ータの形状を小型化しても連結部分の気密を保持するこ
とができ、また、摺動摩擦もない。
ば、この回転真空ポンプは従来の揺動ピストン形ポンプ
のロータの中に上記本第１発明の装置を組み込んだ形状
をしていることからも明らかなように、回転軸を駆動す
ることにより、シリンダ内の吸気口側と排気口側とを区
分し、一端をスライドピンに嵌挿する中空状のピストン
翼板を有し、シリンダ内周面に摺接しながら回転する中
空の円筒状のロータが移動することによってシリンダ内
の排気口側の容積が減少し、それによって気体を圧縮し
て排気口から気体を排出する。これと同時に、ピストン
翼板の中空内を摺動し、円筒状のロータ内の第２吸気口
側と第２排気口側とを区分する第２ピストン翼板と、該
第２ピストン翼板と揺動自在に連結された、前記円筒状
のロータ内周面に摺接しながら回転する小ロータが移動
することによって円筒状のロータ内の第２排気口側の容
積が減少し、それによって気体を圧縮して第２排気口か
ら気体を排出する。そして、本第２発明の場合、従来の
揺動ピストン形ポンプのロータの内容積を排気のために
使用できるものである。また、第２ピストン翼板と小ロ
ータとは、揺動自在に連結する構成としているため、ロ
ータの形状を小型化しても連結部分の気密を保持するこ
とができ、また、摺動摩擦もない。
【００１１】また、本第３発明の回転真空ポンプによれ
ば、本第２発明を変形したもので、回転軸を駆動するこ
とにより、シリンダ内の吸気口側と排気口側とを区分
し、一端をスライドピンに嵌挿する中空状のピストン翼
板を有し、シリンダ内周面に摺接しながら回転する中空
の円筒状のロータが移動することによってシリンダ内の
排気口側の容積が減少し、それによって気体を圧縮して
排気口から気体を排出する。これと同時に、ピストン翼
板の中空内を摺動し、円筒状のロータ内の第２吸気口側
と第２排気口側とを区分するベーンと、該ベーンがバネ
により付勢されて摺接し、前記円筒状のロータ内周面に
摺接しながら回転する小ロータが移動することによって
円筒状のロータ内の第２排気口側の容積が減少し、それ
によって気体を圧縮して第２排気口から気体を排出す
る。そして、本第３発明の場合、従来の揺動ピストン形
ポンプのロータの内容積を排気のために使用できるもの
である。
ば、本第２発明を変形したもので、回転軸を駆動するこ
とにより、シリンダ内の吸気口側と排気口側とを区分
し、一端をスライドピンに嵌挿する中空状のピストン翼
板を有し、シリンダ内周面に摺接しながら回転する中空
の円筒状のロータが移動することによってシリンダ内の
排気口側の容積が減少し、それによって気体を圧縮して
排気口から気体を排出する。これと同時に、ピストン翼
板の中空内を摺動し、円筒状のロータ内の第２吸気口側
と第２排気口側とを区分するベーンと、該ベーンがバネ
により付勢されて摺接し、前記円筒状のロータ内周面に
摺接しながら回転する小ロータが移動することによって
円筒状のロータ内の第２排気口側の容積が減少し、それ
によって気体を圧縮して第２排気口から気体を排出す
る。そして、本第３発明の場合、従来の揺動ピストン形
ポンプのロータの内容積を排気のために使用できるもの
である。
【００１２】
【実施例】以下本発明を図示の実施例に基づいて説明す
る。図１〜図７は、本第１発明の回転真空ポンプの１実
施例を示したもので、この回転真空ポンプは、回転軸６
に偏心して固定し、シリンダ１内摺面に摺接しながら回
転する円筒状のロータ３をシリンダ１内に設ける。ロー
タ３は図５に示すように回転軸６を挿通する貫通孔３ａ
を有し、ロータ３と回転軸６とはキーにより固定する。
ロータ３の両端部に小径部３ｂ，３ｂを設け、両小径部
３ｂ，３ｂに図４に示すピストン翼板駆動リング４，４
を嵌合し、さらに、ピストン翼板駆動リング４，４に図
６に示すピストン翼板２を揺動自在に連結する。このピ
ストン翼板２とピストン翼板駆動リング４，４の連結
は、ピストン翼板２の端部に穿設した透孔２ａとピスト
ン翼板駆動リング４の突部に穿設した透孔４ａに連結ピ
ン５を挿通することにより行う。そして、ピストン翼板
２の一端は、真空ポンプ本体内に穿設し、吸気側に連通
した透孔に摺動自在に挿通する。ピストン翼板２の一側
面には溝を設け、シリンダ１の吸気口７としている。な
お、図３に示すように、シリンダ１に開口を設け、これ
を吸気口７ａとしてもよい。一方、ピストン翼板２及び
ロータ３を隔てて吸気口７，７ａの反対側に排気口８を
設け、排気口８には排気弁９を併設する。これによっ
て、シリンダ１内をピストン翼板２とロータ３によって
２つの部分Ｘ，Ｙに区分する。
る。図１〜図７は、本第１発明の回転真空ポンプの１実
施例を示したもので、この回転真空ポンプは、回転軸６
に偏心して固定し、シリンダ１内摺面に摺接しながら回
転する円筒状のロータ３をシリンダ１内に設ける。ロー
タ３は図５に示すように回転軸６を挿通する貫通孔３ａ
を有し、ロータ３と回転軸６とはキーにより固定する。
ロータ３の両端部に小径部３ｂ，３ｂを設け、両小径部
３ｂ，３ｂに図４に示すピストン翼板駆動リング４，４
を嵌合し、さらに、ピストン翼板駆動リング４，４に図
６に示すピストン翼板２を揺動自在に連結する。このピ
ストン翼板２とピストン翼板駆動リング４，４の連結
は、ピストン翼板２の端部に穿設した透孔２ａとピスト
ン翼板駆動リング４の突部に穿設した透孔４ａに連結ピ
ン５を挿通することにより行う。そして、ピストン翼板
２の一端は、真空ポンプ本体内に穿設し、吸気側に連通
した透孔に摺動自在に挿通する。ピストン翼板２の一側
面には溝を設け、シリンダ１の吸気口７としている。な
お、図３に示すように、シリンダ１に開口を設け、これ
を吸気口７ａとしてもよい。一方、ピストン翼板２及び
ロータ３を隔てて吸気口７，７ａの反対側に排気口８を
設け、排気口８には排気弁９を併設する。これによっ
て、シリンダ１内をピストン翼板２とロータ３によって
２つの部分Ｘ，Ｙに区分する。
【００１３】また、ロータ３と回転軸６との関係を図８
〜図９に示すように構成することにより、ロータの形状
をより一層小型化（シリンダに占める容積にして２０％
以上の削減）することができる。なお、この場合、ピス
トン翼板駆動リング４，４をロータ３の両端部の小径部
３ｂ，３ｂに嵌合できるようにロータ３本体に回転軸６
の一部又は全部を固着手段（図示せず。）を用いて着脱
可能に設ける。また、回転軸６は、駆動手段とキー等の
連結手段（図示せず。）を用いて連結する。
〜図９に示すように構成することにより、ロータの形状
をより一層小型化（シリンダに占める容積にして２０％
以上の削減）することができる。なお、この場合、ピス
トン翼板駆動リング４，４をロータ３の両端部の小径部
３ｂ，３ｂに嵌合できるようにロータ３本体に回転軸６
の一部又は全部を固着手段（図示せず。）を用いて着脱
可能に設ける。また、回転軸６は、駆動手段とキー等の
連結手段（図示せず。）を用いて連結する。
【００１４】このように構成した回転真空ポンプの回転
軸６を駆動することにより、図１及び図７（（ａ）→
（ｂ）→（ｃ）→（ｄ）→（ａ）・・・）に示すよう
に、矢印Ａで示される吸気された気体は、ピストン翼板
２とロータ３が移動することによってシリンダ１内の排
気口８側の容積Ｙが減少し、それによって気体を圧縮し
て排気口から気体を矢印Ｂで示されるように排出する。
この装置の場合、ピストン翼板２とロータ３とは、揺動
自在に連結する構成としているため、ロータの形状を小
型化しても連結部分の気密を保持することができ、ま
た、摺動摩擦もない。
軸６を駆動することにより、図１及び図７（（ａ）→
（ｂ）→（ｃ）→（ｄ）→（ａ）・・・）に示すよう
に、矢印Ａで示される吸気された気体は、ピストン翼板
２とロータ３が移動することによってシリンダ１内の排
気口８側の容積Ｙが減少し、それによって気体を圧縮し
て排気口から気体を矢印Ｂで示されるように排出する。
この装置の場合、ピストン翼板２とロータ３とは、揺動
自在に連結する構成としているため、ロータの形状を小
型化しても連結部分の気密を保持することができ、ま
た、摺動摩擦もない。
【００１５】次に、図１０〜図１１は、本第２発明の回
転真空ポンプの１実施例を示したもので、この回転ポン
プは、従来の揺動ピストン形ポンプのロータの中に上記
本第１発明の実施例の装置を組み込んだものであり、回
転軸１６に偏心して固定したロータ端板１１の周囲を摺
回し、シリンダ２１内摺面に摺接しながら回転する中空
の円筒状のロータ２４をシリンダ２１内に設ける。ロー
タ端板１１と回転軸１６とはキーにより固定する。ロー
タ２４に中空状のピストン翼板２２を固設する。ピスト
ン翼板２２の一端は、真空ポンプ本体に回動自在に設け
たスライドピン２３に摺動自在に挿通する。そして、ピ
ストン翼板２２及びロータ２４を隔てて吸気口２７及び
排気口２８を設け、排気口２８には排気弁２９を併設す
る。これによって、シリンダ２１内をピストン翼板２２
とロータ２４によって２つの部分に区分する。さらに、
回転軸１６に偏心して固定し、ロータ２４内摺面に摺接
しながら回転する小ロータ１３を中空のロータ２４内に
設ける。小ロータ１３は、上記本第１発明の実施例と同
様、ロータ２４と共通の回転軸１６を挿通する貫通孔を
有し、小ロータ１３と回転軸１６とはキーにより固定す
る。小ロータ１３の両端部に小径部を設け、両小径部に
ピストン翼板駆動リング１４，１４を嵌合し、さらに、
ピストン翼板駆動リング１４，１４に第２ピストン翼板
１２を揺動自在に連結する。この第２ピストン翼板１２
とピストン翼板駆動リング１４，１４の連結は、第２ピ
ストン翼板１２の端部に穿設した透孔とピストン翼板駆
動リング１４の突部に穿設した透孔に連結ピン１５を挿
通することにより行う。そして、第２ピストン翼板１２
の一端は、ピストン翼板２２の中空内に摺動自在に挿通
する。ピストン翼板２２には、吸気側とロータ２４内を
連通する透孔を設けロータ２４の第２吸気口１７として
いる。第２ピストン翼板１２の一側面及びそれと対向す
るピストン翼板２２の内側面にはそれぞれ溝１８ａ，１
８ｂを設け、第２排気口１８とし、第２ピストン翼板１
２及び小ロータ１３を以て第２吸気口１７と第２排気口
１８を隔てるようにする。第２排気口１８は、スライド
ピン２３に穿設した排気路２３ａと連通し、排気弁（図
示せず）を併設する。これによって、ロータ２４内を第
２ピストン翼板１２と小ロータ１３によって２つの部分
に区分する。
転真空ポンプの１実施例を示したもので、この回転ポン
プは、従来の揺動ピストン形ポンプのロータの中に上記
本第１発明の実施例の装置を組み込んだものであり、回
転軸１６に偏心して固定したロータ端板１１の周囲を摺
回し、シリンダ２１内摺面に摺接しながら回転する中空
の円筒状のロータ２４をシリンダ２１内に設ける。ロー
タ端板１１と回転軸１６とはキーにより固定する。ロー
タ２４に中空状のピストン翼板２２を固設する。ピスト
ン翼板２２の一端は、真空ポンプ本体に回動自在に設け
たスライドピン２３に摺動自在に挿通する。そして、ピ
ストン翼板２２及びロータ２４を隔てて吸気口２７及び
排気口２８を設け、排気口２８には排気弁２９を併設す
る。これによって、シリンダ２１内をピストン翼板２２
とロータ２４によって２つの部分に区分する。さらに、
回転軸１６に偏心して固定し、ロータ２４内摺面に摺接
しながら回転する小ロータ１３を中空のロータ２４内に
設ける。小ロータ１３は、上記本第１発明の実施例と同
様、ロータ２４と共通の回転軸１６を挿通する貫通孔を
有し、小ロータ１３と回転軸１６とはキーにより固定す
る。小ロータ１３の両端部に小径部を設け、両小径部に
ピストン翼板駆動リング１４，１４を嵌合し、さらに、
ピストン翼板駆動リング１４，１４に第２ピストン翼板
１２を揺動自在に連結する。この第２ピストン翼板１２
とピストン翼板駆動リング１４，１４の連結は、第２ピ
ストン翼板１２の端部に穿設した透孔とピストン翼板駆
動リング１４の突部に穿設した透孔に連結ピン１５を挿
通することにより行う。そして、第２ピストン翼板１２
の一端は、ピストン翼板２２の中空内に摺動自在に挿通
する。ピストン翼板２２には、吸気側とロータ２４内を
連通する透孔を設けロータ２４の第２吸気口１７として
いる。第２ピストン翼板１２の一側面及びそれと対向す
るピストン翼板２２の内側面にはそれぞれ溝１８ａ，１
８ｂを設け、第２排気口１８とし、第２ピストン翼板１
２及び小ロータ１３を以て第２吸気口１７と第２排気口
１８を隔てるようにする。第２排気口１８は、スライド
ピン２３に穿設した排気路２３ａと連通し、排気弁（図
示せず）を併設する。これによって、ロータ２４内を第
２ピストン翼板１２と小ロータ１３によって２つの部分
に区分する。
【００１６】このように構成した回転真空ポンプの回転
軸１６を駆動することにより、矢印Ａで示される吸気さ
れた気体は、ピストン翼板２２とロータ２４及び第２ピ
ストン翼板１２と小ロータ１３が移動することによって
シリンダ２１及びロータ２４内の排気口２８，１８側の
容積が共に減少し、それによって気体を圧縮して排気口
から気体を矢印Ｂ１及びＢ２で示されるように排出す
る。この装置の場合、従来の揺動ピストン形ポンプと異
なり、ロータの内容積を排気のために使用できる。ま
た、第２ピストン翼板１２と小ロータ１３とは、揺動自
在に連結する構成としているため、ロータの形状を小型
化しても連結部分の気密を保持することができ、また、
摺動摩擦もない。
軸１６を駆動することにより、矢印Ａで示される吸気さ
れた気体は、ピストン翼板２２とロータ２４及び第２ピ
ストン翼板１２と小ロータ１３が移動することによって
シリンダ２１及びロータ２４内の排気口２８，１８側の
容積が共に減少し、それによって気体を圧縮して排気口
から気体を矢印Ｂ１及びＢ２で示されるように排出す
る。この装置の場合、従来の揺動ピストン形ポンプと異
なり、ロータの内容積を排気のために使用できる。ま
た、第２ピストン翼板１２と小ロータ１３とは、揺動自
在に連結する構成としているため、ロータの形状を小型
化しても連結部分の気密を保持することができ、また、
摺動摩擦もない。
【００１７】次に、図１２は、本第３発明の回転真空ポ
ンプの１実施例を示したもので、この回転ポンプは、上
記本第２発明の実施例の装置における第２ピストン翼板
１２に代えて、バネ１９により小ロータ１３側に付勢さ
れたベーン２０を小ロータ１３に摺接することによって
第２吸気口１７側と第２排気口１８側の気密を保持する
ようにしたものである。なお、その他の点は、上記本第
２発明の実施例の装置と同様であるので、その他の構成
及び作用の記載は省略する。この装置の場合、従来の揺
動ピストン形ポンプと異なり、ロータの内容積を排気の
ために使用できる。
ンプの１実施例を示したもので、この回転ポンプは、上
記本第２発明の実施例の装置における第２ピストン翼板
１２に代えて、バネ１９により小ロータ１３側に付勢さ
れたベーン２０を小ロータ１３に摺接することによって
第２吸気口１７側と第２排気口１８側の気密を保持する
ようにしたものである。なお、その他の点は、上記本第
２発明の実施例の装置と同様であるので、その他の構成
及び作用の記載は省略する。この装置の場合、従来の揺
動ピストン形ポンプと異なり、ロータの内容積を排気の
ために使用できる。
【００１８】そして、上記の装置はいずれも、一般的に
シリンダ部等を一部油中に浸漬又は装置に給油すること
により、外気の進入を防ぐ構造となっており、これによ
り油の一部はシリンダ内に導入し、シリンダとロータ、
その他の摺動部分の潤滑と気密を保持する機能及び圧縮
空間の死容積を埋める機能を果たす点は、従来の回転真
空ポンプと同様である。
シリンダ部等を一部油中に浸漬又は装置に給油すること
により、外気の進入を防ぐ構造となっており、これによ
り油の一部はシリンダ内に導入し、シリンダとロータ、
その他の摺動部分の潤滑と気密を保持する機能及び圧縮
空間の死容積を埋める機能を果たす点は、従来の回転真
空ポンプと同様である。
【００１９】
【発明の効果】本第１発明及び第２発明によれば、従来
のカム形ポンプにおいてベーンとロータの摺接角度を所
定値以上確保しなければならないため困難であったロー
タの形状の小型化を達成することが可能となるととも
に、従来のカム形ポンプにおいて問題となっていたベー
ンとロータとの摺動摩擦がないので、ポンプの回転速度
を従来より上げることが可能となる。特に、本第１発明
によれば、駆動部の形状及びその作動がシンプルである
ため、バランスがよくまたその修正も容易であるため、
ポンプの回転速度をより一層上げることが可能となる。
また、本第２発明及び第３発明によれば、従来の揺動ピ
ストン形ポンプにおいて問題となっていたロータの内容
積を排気に有効に利用することが可能となる。その結
果、回転真空ポンプの排気容量を装置自体の形状を大型
化せずに、簡単な構造で飛躍的に増大することができ、
また、同じ排気容量の場合には、装置自体の形状を小型
化することが可能でこれにより装置の製造コストを低減
することができる。
のカム形ポンプにおいてベーンとロータの摺接角度を所
定値以上確保しなければならないため困難であったロー
タの形状の小型化を達成することが可能となるととも
に、従来のカム形ポンプにおいて問題となっていたベー
ンとロータとの摺動摩擦がないので、ポンプの回転速度
を従来より上げることが可能となる。特に、本第１発明
によれば、駆動部の形状及びその作動がシンプルである
ため、バランスがよくまたその修正も容易であるため、
ポンプの回転速度をより一層上げることが可能となる。
また、本第２発明及び第３発明によれば、従来の揺動ピ
ストン形ポンプにおいて問題となっていたロータの内容
積を排気に有効に利用することが可能となる。その結
果、回転真空ポンプの排気容量を装置自体の形状を大型
化せずに、簡単な構造で飛躍的に増大することができ、
また、同じ排気容量の場合には、装置自体の形状を小型
化することが可能でこれにより装置の製造コストを低減
することができる。
【図１】本第１発明の１実施例の回転真空ポンプを示す
図。
図。
【図２】本第１発明の１実施例の回転真空ポンプの要部
を示す図。
を示す図。
【図３】本第１発明の他の実施例の回転真空ポンプの要
部を示す図。
部を示す図。
【図４】本第１発明のピストン翼板駆動リングを示す
図。
図。
【図５】本第１発明のロータを示す図。
【図６】本第１発明のピストン翼板を示す図。
【図７】本第１発明の１実施例の回転真空ポンプの作動
状態を示す図。
状態を示す図。
【図８】本第１発明の他の実施例のロータを示す図。
【図９】本第１発明の他の実施例の回転真空ポンプの要
部を示す図。
部を示す図。
【図１０】本第２発明の１実施例の回転真空ポンプを示
す図。
す図。
【図１１】本第２発明の１実施例の回転真空ポンプの要
部を示す図。
部を示す図。
【図１２】本第３発明の１実施例の回転真空ポンプを示
す図。
す図。
【図１３】従来のカム形ポンプの作動状態を示す図。
【図１４】従来の揺動ピストン形ポンプの作動状態を示
す図。
す図。
１ シリンダ ２ ピストン翼板 ３ ロータ ６ 回転軸 ７ 吸気口 ７ａ 吸気口 ８ 排気口 １２ 第２ピストン翼板 １３ 小ロータ １６ 回転軸 １７ 第２吸気口 １８ 第２排気口 １９ バネ ２０ ベーン ２１ シリンダ ２２ ピストン翼板 ２３ スライドピン ２４ ロータ ２７ 吸気口 ２８ 排気口
Claims (3)
- 【請求項１】 回転真空ポンプにおいて、シリンダ
（１）内の吸気口（７，７ａ）側と排気口（８）側とを
区分し、一端を真空ポンプ本体内に嵌挿するピストン翼
板（２）と、該ピストン翼板（２）と揺動自在に連結さ
れた、シリンダ（１）内周面に摺接しながら回転する円
筒状のロータ（３）とからなり、前記円筒状のロータ
（３）を回転軸（６）により駆動することを特徴とする
回転真空ポンプ。 - 【請求項２】 回転真空ポンプにおいて、シリンダ（２
１）内の吸気口（２７）側と排気口（２８）側とを区分
し、一端をスライドピン（２３）に嵌挿する中空状のピ
ストン翼板（２２）を有し、シリンダ（２１）内周面に
摺接しながら回転する中空の円筒状のロータ（２４）
と、前記ピストン翼板（２２）の中空内を摺動し、前記
円筒状のロータ（２４）内の第２吸気口（１７）側と第
２排気口（１８）側とを区分する第２ピストン翼板（１
２）と、該第２ピストン翼板（１２）と揺動自在に連結
された、前記円筒状のロータ（２４）内周面に摺接しな
がら回転する小ロータ（１３）とからなり、前記円筒状
のロータ（２４）と小ロータ（１３）を共通の回転軸
（１６）により駆動することを特徴とする回転真空ポン
プ。 - 【請求項３】 回転真空ポンプにおいて、シリンダ（２
１）内の吸気口（２７）側と排気口（２８）側とを区分
し、一端をスライドピン（２３）に嵌挿する中空状のピ
ストン翼板（２２）を有し、シリンダ（２１）内周面に
摺接しながら回転する中空の円筒状のロータ（２４）
と、前記ピストン翼板（２２）の中空内を摺動し、前記
円筒状のロータ（２４）内の第２吸気口（１７）側と第
２排気口（１８）側とを区分するベーン（２０）と、該
ベーン（２０）がバネ（１９）により付勢されて摺接
し、前記円筒状のロータ（２４）内周面に摺接しながら
回転する小ロータ（１３）とからなり、前記円筒状のロ
ータ（２４）と小ロータ（１３）を共通の回転軸（１
６）により駆動することを特徴とする回転真空ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4360497A JPH06200887A (ja) | 1992-12-28 | 1992-12-28 | 回転真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4360497A JPH06200887A (ja) | 1992-12-28 | 1992-12-28 | 回転真空ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06200887A true JPH06200887A (ja) | 1994-07-19 |
Family
ID=18469659
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4360497A Pending JPH06200887A (ja) | 1992-12-28 | 1992-12-28 | 回転真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06200887A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108087274A (zh) * | 2017-12-11 | 2018-05-29 | 加西贝拉压缩机有限公司 | 一种转子压缩机的吸气结构 |
-
1992
- 1992-12-28 JP JP4360497A patent/JPH06200887A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108087274A (zh) * | 2017-12-11 | 2018-05-29 | 加西贝拉压缩机有限公司 | 一种转子压缩机的吸气结构 |
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