JPH06194410A - Burn-in apparatus - Google Patents

Burn-in apparatus

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Publication number
JPH06194410A
JPH06194410A JP4342824A JP34282492A JPH06194410A JP H06194410 A JPH06194410 A JP H06194410A JP 4342824 A JP4342824 A JP 4342824A JP 34282492 A JP34282492 A JP 34282492A JP H06194410 A JPH06194410 A JP H06194410A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
burn
board
chip
ammeter
terminal
Prior art date
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Pending
Application number
JP4342824A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Noboru Yamakawa
昇 山河
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
JFE Steel Corp
Original Assignee
Kawasaki Steel Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Kawasaki Steel Corp filed Critical Kawasaki Steel Corp
Priority to JP4342824A priority Critical patent/JPH06194410A/en
Publication of JPH06194410A publication Critical patent/JPH06194410A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PURPOSE:To improve the analyzing efficiency of failures of a burn-in apparatus without making the apparatus considerably complicated or large in scale, etc. CONSTITUTION:An ammeter 5 is interposed between a terminal (a) of a burn-in board 1 and a fuse 3, and also an ammeter 6 is provided between a terminal (b) and a driver 2. An electric resistance between the terminals (a) and (c) is measured from the indicated value of the ammeter 5and a voltage of a power source VDD. A voltmeter 4 monitors whether a normal voltage is impressed to the terminal (b). An electric resistance between the terminals (b) and (c) is measured from the indicated value of the ammeter 6 and that of the voltmeter 4. Based on the measured values of the electric resistances, it is detected that a failure is given rise to in the burn-in board 1 or an IC chip mounted on the board 1.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、ICチップを過負荷
状態で稼働させてスクリーニングを行うバーンイン装置
の改良に関し、特に、不良解析の能率向上等を図ったも
のである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an improvement in a burn-in device for screening by operating an IC chip in an overloaded state, and particularly to improve the efficiency of failure analysis.

【0002】[0002]

【従来の技術】ICチップの初期不良発生率の低減等を
図るためのスクリーニングの一方法としてバーンインが
あり、バーンインを実行するバーンイン装置は、一般に
複数個のICチップが実装されたバーンイン・ボードを
複数枚搭載し、所定温度(例えば、125℃),所定電
圧(例えば、7V)の過負荷状態でICチップを稼働可
能に構成されている。
2. Description of the Related Art Burn-in is one of the screening methods for reducing the initial failure rate of IC chips, and a burn-in device for executing burn-in is generally a burn-in board on which a plurality of IC chips are mounted. A plurality of IC chips are mounted, and the IC chips can be operated under an overload condition of a predetermined temperature (for example, 125 ° C.) and a predetermined voltage (for example, 7 V).

【0003】図2は従来のバーンイン装置の構成の一部
分を示していて、一枚のバーンイン・ボード1に電源V
DDやクロック信号CLKを供給する部分の回路図であ
る。即ち、かかるバーンイン・ボード1は三つの端子
a,b及びcを有していて、端子aが電源VDDに接続さ
れ、端子bがクロック信号CLKに応じて駆動するドラ
イバ2の出力側に接続され、端子cが接地に接続されて
いる。そして、端子a及び電源VDD間には、バーンイン
・ボード1に実装された不良ICチップの破壊時等に生
じる過大電流対策としてヒューズ3が設けられている。
また、ドライバ2の出力側には、バーンイン・ボード1
に正しい電圧が印加されているか否かを監視するために
電圧計4が設けられている。
FIG. 2 shows a part of the structure of a conventional burn-in system, in which one burn-in board 1 is provided with a power source V.
It is a circuit diagram of a portion that supplies DD and a clock signal CLK. That is, the burn-in board 1 has three terminals a, b and c, the terminal a is connected to the power supply V DD , and the terminal b is connected to the output side of the driver 2 which is driven according to the clock signal CLK. The terminal c is connected to the ground. A fuse 3 is provided between the terminal a and the power supply V DD as a measure against an excessive current generated when the defective IC chip mounted on the burn-in board 1 is destroyed.
Also, the burn-in board 1 is connected to the output side of the driver 2.
A voltmeter 4 is provided to monitor whether the correct voltage is applied to the.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図2に
示したような従来の構成にあっては、バーンイン中にバ
ーンイン・ボード1やICチップに生じた不良は、ヒュ
ーズ3の断線又は電圧計4の表示値から検出することに
なるが、ヒューズ3が断線するレベル以下の大電流はこ
のヒューズ3によっては検出することはできないし、バ
ーンイン・ボード1又はこれに実装されたICチップの
電気的特性が変化してもドライバ2の駆動能力によって
カバーされて多少の変化は電圧計4には現れないので、
極めて重大な異常でなければバーンイン中に検出するこ
とができなかった。換言すれば、電流の多少の上昇でヒ
ューズ3が断線したり、バーンイン・ボード1等の多少
の電気的特性の変化によってクロック信号の電圧値が変
動してしまうようでは、バーンイン自体が頻繁に中断さ
れて能率が著しく低下してしまうのである。
However, in the conventional configuration as shown in FIG. 2, a defect that has occurred in the burn-in board 1 or the IC chip during burn-in is caused by the disconnection of the fuse 3 or the voltmeter 4. However, a large current below the level at which the fuse 3 is disconnected cannot be detected by the fuse 3, and the electrical characteristics of the burn-in board 1 or the IC chip mounted on the burn-in board 1 are not detected. Is changed by the driving capability of the driver 2 and a slight change does not appear in the voltmeter 4,
Only a very serious abnormality could be detected during burn-in. In other words, if the fuse 3 is blown due to a slight increase in the current, or the voltage value of the clock signal fluctuates due to a slight change in the electrical characteristics of the burn-in board 1 or the like, the burn-in itself is frequently interrupted. As a result, the efficiency is significantly reduced.

【0005】そして、バーンイン・ボード1自体の機能
チェックは一般にボード・チェッカーと呼ばれる装置に
よって行われるのであるが、かかるチェックをバーンイ
ンの度に行うと大きな負担となるため、通常は定期的な
検査によって行われていた。従って、定期的な検査の合
間にバーンイン・ボード1に不良が生じてもそれを検出
することはできなかった。
The function check of the burn-in board 1 itself is generally performed by a device called a board checker. However, performing such a check every burn-in is a heavy burden, and therefore, it is usually performed by a regular inspection. It was done. Therefore, even if a defect occurs in the burn-in board 1 between regular inspections, it cannot be detected.

【0006】つまり、上記従来の構成にあっては、バー
ンイン中にICチップに不良が生じても、バーンイン・
ボードにICチップを実装した状態でその不良を検出す
ることができないから、不良の原因がICチップ自体に
あるのか、ICチップの誤挿入等にあるのか、バーンイ
ン・ボード1にあるのか、或いはバーンイン装置にある
のか識別するのが困難であった。即ち、ICチップに不
良が生じた場合には、不良の原因がバーンイン・ボード
にあるか識別するために、そのICチップが実装されて
いたバーンイン・ボードの機能チェックが必要であるの
に、不良が生じたICチップが同時にバーンイン装置に
搭載されていた多数のバーンイン・ボードの内のいずれ
のバーンイン・ボードに実装されていたかを知るには、
バーンイン・ボード毎にICを識別するという面倒な作
業を行わなければならないし、その作業を行わない場合
には、ICチップに不良が確認された後に使用した全て
のバーンイン・ボードの機能チェックを行わなければな
らないからである。特に、ICチップの不良の原因がI
Cチップの誤挿入等にある場合には、ICチップをバー
ンイン・ボードから取り外した後にその原因を知ること
は非常に困難である。
That is, in the above-mentioned conventional configuration, even if a defect occurs in the IC chip during burn-in, burn-in
Since the defect cannot be detected in the state where the IC chip is mounted on the board, whether the cause of the defect is the IC chip itself, the incorrect insertion of the IC chip, the burn-in board 1, or the burn-in board 1. It was difficult to identify if it was in the device. That is, when a defect occurs in the IC chip, it is necessary to check the function of the burn-in board on which the IC chip is mounted in order to identify whether the cause of the defect is the burn-in board. To find out which burn-in board among the many burn-in boards that were simultaneously mounted in the burn-in device, the IC chip in which the
The troublesome work of identifying the IC for each burn-in board must be performed. If this work is not performed, the function check of all burn-in boards used after the IC chip is confirmed to be defective. Because it must be. In particular, the cause of defective IC chips is I
When the C chip is erroneously inserted, it is very difficult to know the cause after removing the IC chip from the burn-in board.

【0007】なお、バーンイン装置自体にボード・チェ
ッカーのような機能を持たせることも考えられるが、装
置の構成が複雑になるし、バーンインの度にボードのチ
ェックを行うことはたとえ同一装置内であっても長時間
を要することとなり、コストのアップ等を招いてしまう
ため現実的な解決策ではない。本発明は、このような従
来の技術における未解決の課題に着目してなされたもの
であって、過大な負担をかけることなく、ICチップを
実装した状態のバーンイン・ボードの不良のチェックを
可能とすることにより、不良解析を容易に行うことがで
きるバーンイン装置を提供することを目的としている。
Although it is conceivable that the burn-in device itself has a function such as a board checker, the structure of the device becomes complicated, and it is not necessary to check the board every burn-in even in the same device. Even if there is, it will take a long time, which will lead to an increase in cost, etc., so this is not a practical solution. The present invention has been made by paying attention to such unsolved problems in the conventional technique, and enables checking of defects in a burn-in board with an IC chip mounted thereon without imposing an excessive burden. By doing so, it is an object of the present invention to provide a burn-in device capable of easily performing defect analysis.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明に係るバーンイン装置は、ICチップを実装
してバーンイン装置に搭載されるバーンイン・ボードの
所定端子間の電気抵抗を、そのバーンイン・ボードを搭
載した状態で測定可能な抵抗測定手段を設けている。
In order to achieve the above object, a burn-in device according to the present invention has an electric resistance between predetermined terminals of a burn-in board mounted with an IC chip and mounted on the burn-in device. A resistance measuring unit is provided that can measure with the burn-in board installed.

【0009】[0009]

【作用】抵抗測定手段が、ICチップを実装した状態の
バーンイン・ボードの所定端子間の電気抵抗を測定する
と、バーンイン・ボード及びこれに実装されているIC
チップ全体の電気抵抗が測定されることになる。そし
て、所定端子間の電気抵抗値は、正常な場合には所定の
範囲内に収まっているはずであるから、その所定の範囲
から外れた場合には、バーンイン・ボード又はこれに実
装されているICチップに不良が生じたと判断できる。
When the resistance measuring means measures the electric resistance between the predetermined terminals of the burn-in board with the IC chip mounted, the burn-in board and the IC mounted on the burn-in board are measured.
The electrical resistance of the entire chip will be measured. Since the electric resistance value between the predetermined terminals should be within the predetermined range in the normal case, when it is out of the predetermined range, it is mounted on the burn-in board or this. It can be determined that a defect has occurred in the IC chip.

【0010】従って、バーンイン終了後には、その抵抗
測定手段の測定結果から異常が生じていると判断された
バーンイン・ボード及びそれに実装されていたICチッ
プのみを検査すれば、不良が生じたICチップの特定
と、その原因がICチップにあるのか、バーンイン・ボ
ードにあるのか、或いはバーンイン装置にあるのかの確
認とが行える。
Therefore, after the burn-in is completed, if only the burn-in board and the IC chip mounted on the burn-in board determined to be abnormal from the measurement result of the resistance measuring means are inspected, the defective IC chip is generated. And whether the cause is in the IC chip, in the burn-in board, or in the burn-in device.

【0011】そして、ICチップを実装した状態のバー
ンイン・ボードの所定端子間の電気抵抗に基づいてバー
ンイン・ボード及びこれに実装されたICチップの不良
を検出する構成であるから、不良の検出のためだけにボ
ード・チェッカーのように長時間を要することもない
し、バーンインの開始前,実行中及び実行後のいずれで
あっても不良の検出が行える。
Since the defect of the burn-in board and the IC chip mounted on the burn-in board is detected based on the electric resistance between the predetermined terminals of the burn-in board with the IC chip mounted, the defect can be detected. Therefore, it does not require a long time like a board checker, and defects can be detected before, during, and after burn-in.

【0012】[0012]

【実施例】以下、この発明の実施例を図面に基づいて説
明する。図1は本発明の一実施例を示す図であり、バー
ンイン装置の構成の一部分を示していて、一枚のバーン
イン・ボード1に電源VDDやクロック信号CLKを供給
する部分の回路図である。なお、従来の構成と同等の構
成には、同じ符号を付しその重複する説明は省略する。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a diagram showing one embodiment of the present invention, showing a part of the structure of a burn-in device, and a circuit diagram of a part for supplying a power supply V DD and a clock signal CLK to one burn-in board 1. . The same components as those of the conventional configuration are designated by the same reference numerals, and the duplicated description will be omitted.

【0013】即ち、本実施例にあっては、バーンイン・
ボード1の端子aとヒューズ3との間に電流計5を介装
するとともに、バーンイン・ボード1の端子bとドライ
バ2との間に電流計6を介装した。従って、電源VDD
接続された端子aと接地に接続された端子cとの間の電
気抵抗は、電流計5の表示値及び電源VDDの電圧値から
知ることができる。また、ドライバ2に接続された端子
bと端子cとの間の電気抵抗は、電圧計4及び電流計6
の表示値から知ることができる。
That is, in this embodiment, the burn-in
An ammeter 5 was interposed between the terminal a of the board 1 and the fuse 3, and an ammeter 6 was interposed between the terminal b of the burn-in board 1 and the driver 2. Therefore, the electric resistance between the terminal a connected to the power supply V DD and the terminal c connected to the ground can be known from the display value of the ammeter 5 and the voltage value of the power supply V DD . The electrical resistance between the terminals b and c connected to the driver 2 is measured by the voltmeter 4 and the ammeter 6.
It can be known from the displayed value of.

【0014】そして、端子aと端子cとの間の電気抵抗
及び端子bと端子cとの間の電気抵抗は、このバーンイ
ン・ボード1及びこれに実装されているICチップに不
良が生じていなければ、所定の範囲内に収まるはずであ
るから、それら電気抵抗を監視することにより、このバ
ーンイン・ボード1又はこれに実装されているICチッ
プに不良が生じたことを検出することができる。
The electric resistance between the terminals a and c and the electric resistance between the terminals b and c must be defective in the burn-in board 1 and the IC chip mounted on the burn-in board 1. For example, since it should fall within a predetermined range, it is possible to detect that a defect has occurred in the burn-in board 1 or the IC chip mounted on the burn-in board 1 by monitoring the electric resistances.

【0015】しかも、かかる不良の検出は、バーンイン
の開始前,実行中及び実行後のいずれにおいても行うこ
とができる。従って、バーンインの実行前に行えば、例
えば不良ICチップの混入やICチップの誤挿入、或い
は既に故障しているバーンイン・ボード等を容易に発見
することができる。また、バーンインの実行中や実行後
に行えば、多数搭載されているバーンイン・ボードの
内、いずれのバーンイン・ボードにおいてバーンインの
最中に不良が生じたかを発見することができるし、その
バーンイン・ボードがバーンイン装置内のどこに搭載さ
れていたかも知ることができるから、バーンイン・ボー
ドの異常やバーンイン装置の異常を早期に且つ容易に発
見することができる。
In addition, such a defect can be detected before starting burn-in, during burn-in, and after burn-in. Therefore, if the burn-in is performed before the burn-in is performed, it is possible to easily find, for example, a defective IC chip mixed in, an IC chip erroneously inserted, or a burn-in board that has already failed. Also, by performing burn-in during or after burn-in, it is possible to find out which burn-in board among the many burn-in boards has failed during burn-in. Since it is possible to know where in the burn-in device the device was mounted, it is possible to quickly and easily detect an abnormality in the burn-in board or an abnormality in the burn-in device.

【0016】そして、不良が発生しているバーンイン・
ボードが特定されれば、先ず、その不良がICチップに
あるのか、バーンイン・ボードにあるのか、或いはバー
ンイン装置にあるのかを容易に特定することができる
し、例えば、ICチップに不良が生じている場合でも、
ICチップ自体に原因があるのか、バーンイン・ボード
に原因があるのかの特定も容易に行える。
Then, the burn-in
When the board is specified, first, it is possible to easily specify whether the failure is in the IC chip, the burn-in board, or the burn-in device. For example, when the failure occurs in the IC chip. Even if
It is possible to easily identify whether the cause is the IC chip itself or the burn-in board.

【0017】さらに、本実施例の構成であれば、従来の
構成に比べても特に大幅な設計変更等は不要であり、装
置の大幅な複雑化,大型化等をも招くことがないから、
従来の問題点を現実的なレベルで解決することができ
る。なお、バーンイン・ボード1に過大電流が流れた場
合にはヒューズ3の断線により対処し、端子bに正常な
電圧が印加されているか否かは電圧計4の表示値により
確認する点に関しては、従来と同様である。
Further, the structure of this embodiment does not require a particularly large design change as compared with the conventional structure, and does not cause a large complication or an increase in size of the apparatus.
The conventional problems can be solved at a realistic level. Incidentally, regarding the point that the burn-in board 1 is dealt with by the disconnection of the fuse 3 when an excessive current flows, and whether the normal voltage is applied to the terminal b is confirmed by the displayed value of the voltmeter 4. It is the same as the conventional one.

【0018】ここで、本実施例では、電流計5,6及び
電圧計4によって、抵抗測定手段が構成される。なお、
上記実施例では、端子a及び端子c間の電気抵抗と、端
子b及び端子c間の電気抵抗を測定する構成としている
が、場合によっては何れか一方であってもよい。
Here, in this embodiment, the ammeters 5 and 6 and the voltmeter 4 constitute resistance measuring means. In addition,
In the above embodiment, the electrical resistance between the terminals a and c and the electrical resistance between the terminals b and c are measured, but either one may be measured depending on the case.

【0019】また、上記実施例では、印加された電圧に
対する電流を測定して抵抗値を測定しているが、決めら
れた電流を供給するバーンイン装置であれば電圧計を設
けて抵抗値を測定可能とすればよい。さらに、特に図示
はしないが、電流計5,6及び電圧計4の測定値をマイ
クロコンピュータ等に供給し、所定の演算処理を実行し
て抵抗値を算出し、その算出結果をCRT等に表示した
り、特に抵抗値の大きな変動が生じた場合には警報ラン
プを点滅させる等の構成としてもよい。
In the above embodiment, the resistance value is measured by measuring the current with respect to the applied voltage. However, if the burn-in device supplies a predetermined current, a voltmeter is provided to measure the resistance value. It should be possible. Further, although not particularly shown, the measured values of the ammeters 5 and 6 and the voltmeter 4 are supplied to a microcomputer or the like, predetermined calculation processing is executed to calculate a resistance value, and the calculation result is displayed on a CRT or the like. Alternatively, the alarm lamp may be blinked when a large change in resistance value occurs.

【0020】[0020]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
バーンイン・ボードの所定端子間の電気抵抗を、そのバ
ーンイン・ボードをバーンイン装置に搭載した状態で測
定可能としたため、装置の大幅な複雑化や大型化等を招
くことなく、バーンインの開始前,実行中及び実行後の
いずれにおいても不良を検出することが可能であるか
ら、例えば不良ICチップの混入やICチップの誤挿
入、或いは既に故障しているバーンイン・ボード等を容
易に発見することができ、バーンイン・ボードの異常や
バーンイン装置の異常を早期に且つ容易に発見すること
ができ、そして、不良がICチップにあるのか、バーン
イン・ボードにあるのか、或いはバーンイン装置にある
のかを容易に特定することができるし、例えば、ICチ
ップに不良が生じている場合でも、ICチップ自体に原
因があるのか、バーンイン・ボードに原因があるのかの
特定も容易に行えるという種々の効果がある。
As described above, according to the present invention,
Since the electrical resistance between the specified terminals of the burn-in board can be measured while the burn-in board is mounted on the burn-in device, the burn-in can be performed before the start of burn-in without significantly complicating or increasing the size of the device. Since it is possible to detect defects both during and after execution, it is possible to easily find out, for example, mixing of defective IC chips, erroneous insertion of IC chips, or burn-in boards that have already failed. , Burn-in board abnormality and burn-in equipment abnormality can be detected early and easily, and it is easy to identify whether the defect is in the IC chip, in the burn-in board, or in the burn-in equipment. Even if there is a defect in the IC chip, it may be possible that the IC chip itself has a cause or burns. Of specific is there due to down board also has various effects that easily.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施例を示す回路図である。FIG. 1 is a circuit diagram showing an embodiment of the present invention.

【図2】従来の構成を示す回路図である。FIG. 2 is a circuit diagram showing a conventional configuration.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 バーンイン・ボード 2 ドライバ 3 ヒューズ 4 電圧計 5,6 電流計 1 Burn-in board 2 Driver 3 Fuse 4 Voltmeter 5, 6 Ammeter

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ICチップを実装してバーンイン装置に
搭載されるバーンイン・ボードの所定端子間の電気抵抗
を、そのバーンイン・ボードを搭載した状態で測定可能
な抵抗測定手段を設けたことを特徴とするバーンイン装
置。
1. A resistance measuring means for measuring the electric resistance between predetermined terminals of a burn-in board mounted on a burn-in device with an IC chip mounted thereon is provided. And burn-in equipment.
JP4342824A 1992-12-22 1992-12-22 Burn-in apparatus Pending JPH06194410A (en)

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