JPH06194340A - イオン測定装置 - Google Patents
イオン測定装置Info
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- JPH06194340A JPH06194340A JP5233352A JP23335293A JPH06194340A JP H06194340 A JPH06194340 A JP H06194340A JP 5233352 A JP5233352 A JP 5233352A JP 23335293 A JP23335293 A JP 23335293A JP H06194340 A JPH06194340 A JP H06194340A
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/62—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating the ionisation of gases, e.g. aerosols; by investigating electric discharges, e.g. emission of cathode
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 小型で、気体の流れに最小の乱れしか与え
ず、気体の流れの方向及び速度に依存せず、そのセンサ
が長いケーブルを介して処理装置に接続可能な気体中の
イオンを測定する装置を提供する。 【構成】 センサを構成する球形の電極１の周囲に気体
が流れて気体中のイオンの電荷が電極に付与することに
より、電極から電流が流れて演算増幅器３の反転入力に
供給される。制御回路９の制御によりスイッチ８が切り
替えられ、正イオンの数の測定の場合は負電圧源７、負
イオンの数の測定の場合は正電圧源６、イオン・バラン
スの測定の場合はアース電位１４が、増幅器の非反転入
力に供給され、電極の電圧が信号レベルによらずに一定
となる。演算増幅器と抵抗４は電流／電圧変換器を構成
し、電極からの電流を電圧に変換して評価回路１０に供
給し、Ｒｉｅｃｋの式に基づいてイオンの数を求める。
得られた数は比較回路１２で上限及び下限スレッショル
ド値と比較され、範囲以外の場合は警報部１３から警報
を発生する。イオンの数ははディスプレイ１１に表示さ
れる。
ず、気体の流れの方向及び速度に依存せず、そのセンサ
が長いケーブルを介して処理装置に接続可能な気体中の
イオンを測定する装置を提供する。 【構成】 センサを構成する球形の電極１の周囲に気体
が流れて気体中のイオンの電荷が電極に付与することに
より、電極から電流が流れて演算増幅器３の反転入力に
供給される。制御回路９の制御によりスイッチ８が切り
替えられ、正イオンの数の測定の場合は負電圧源７、負
イオンの数の測定の場合は正電圧源６、イオン・バラン
スの測定の場合はアース電位１４が、増幅器の非反転入
力に供給され、電極の電圧が信号レベルによらずに一定
となる。演算増幅器と抵抗４は電流／電圧変換器を構成
し、電極からの電流を電圧に変換して評価回路１０に供
給し、Ｒｉｅｃｋの式に基づいてイオンの数を求める。
得られた数は比較回路１２で上限及び下限スレッショル
ド値と比較され、範囲以外の場合は警報部１３から警報
を発生する。イオンの数ははディスプレイ１１に表示さ
れる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、気体中のイオンを測定
するイオン測定装置に関する。
するイオン測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来技術においては、イオン・カウンタ
の形態で気体中のイオンを測定する測定装置が開示され
ており、その測定装置では、センサが、気体を誘電体と
する大型で円筒形のコンデンサによって構成され、イオ
ン・カウンタによって検出すべき気体が、該コンデンサ
の中を通過するよう構成されている。そして、コンデン
サの電極には高電圧が印加されており、正イオンは負に
帯電された電極に、負イオンは正に帯電された電極に引
き付けられ、そこでこれらのイオンに帯電されていた電
荷が、イオンから取り除かれる。その結果として生じる
電流を測定することによって、イオン・カウント（イオ
ンの数）の測定を行う。更に、イオン・バランスを測定
することを可能にする装置も知られており、この装置に
おいては、気体が電極を通過して流れ、一方の極性の過
剰な電荷が、対応して方向付けられた測定可能な電流を
生じさせる。イオンの移動度は極性に依存するから、気
体中でのイオンの密度が幾分異なっている場合には、電
極上で電荷の均衡（イオン・バランス）が存在してい
る。
の形態で気体中のイオンを測定する測定装置が開示され
ており、その測定装置では、センサが、気体を誘電体と
する大型で円筒形のコンデンサによって構成され、イオ
ン・カウンタによって検出すべき気体が、該コンデンサ
の中を通過するよう構成されている。そして、コンデン
サの電極には高電圧が印加されており、正イオンは負に
帯電された電極に、負イオンは正に帯電された電極に引
き付けられ、そこでこれらのイオンに帯電されていた電
荷が、イオンから取り除かれる。その結果として生じる
電流を測定することによって、イオン・カウント（イオ
ンの数）の測定を行う。更に、イオン・バランスを測定
することを可能にする装置も知られており、この装置に
おいては、気体が電極を通過して流れ、一方の極性の過
剰な電荷が、対応して方向付けられた測定可能な電流を
生じさせる。イオンの移動度は極性に依存するから、気
体中でのイオンの密度が幾分異なっている場合には、電
極上で電荷の均衡（イオン・バランス）が存在してい
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】この従来技術を基礎と
して、本発明の目的は、小型で場所を取らず、気体の流
れに最小の乱れしか与えず、気体の流れの方向及び速度
に依存せず、そのセンサが長いケーブルを介して電子的
な処理装置に接続可能であるような、気体中のイオンを
測定する装置を提供することにある。
して、本発明の目的は、小型で場所を取らず、気体の流
れに最小の乱れしか与えず、気体の流れの方向及び速度
に依存せず、そのセンサが長いケーブルを介して電子的
な処理装置に接続可能であるような、気体中のイオンを
測定する装置を提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明の上記目的は、周
囲を気体が流れて該気体中のイオンが電荷を与えるセン
サを用いており、電荷によって生じる電流を評価する電
気回路を備えた気体中のイオン測定装置において、セン
サが流れに好都合な形状をした電極として構成され、固
定した電圧が該電極に加えられるように構成された気体
中のイオン測定装置によって達成されるものである。本
発明においては、センサが、１つの電極によって構成さ
れていて流れの観点から好都合であり、またセンサが、
例えば球形で２０ｍｍ未満と非常に小さく形成されるこ
とによって、気体の流れはほとんど乱されることなく、
イオンの電荷が方向にほとんど依存しない様態で記録さ
れる。アース電位すなわち基準電位に対する電極の電圧
は、電気回路によって与えられる。したがって、センサ
は、長いケーブルによって接続できるが、これは、ケー
ブルのキャパシタンスが測定信号によって逆の極性に帯
電されることがないからである。加えられる電圧は、た
とえば３０Ｖ未満と非常に小さく、それによって、周囲
との関連でセンサのキャパシタンスが非常に小さいこと
とも併せて、センサによって影響される電圧は非常に小
さくなる。
囲を気体が流れて該気体中のイオンが電荷を与えるセン
サを用いており、電荷によって生じる電流を評価する電
気回路を備えた気体中のイオン測定装置において、セン
サが流れに好都合な形状をした電極として構成され、固
定した電圧が該電極に加えられるように構成された気体
中のイオン測定装置によって達成されるものである。本
発明においては、センサが、１つの電極によって構成さ
れていて流れの観点から好都合であり、またセンサが、
例えば球形で２０ｍｍ未満と非常に小さく形成されるこ
とによって、気体の流れはほとんど乱されることなく、
イオンの電荷が方向にほとんど依存しない様態で記録さ
れる。アース電位すなわち基準電位に対する電極の電圧
は、電気回路によって与えられる。したがって、センサ
は、長いケーブルによって接続できるが、これは、ケー
ブルのキャパシタンスが測定信号によって逆の極性に帯
電されることがないからである。加えられる電圧は、た
とえば３０Ｖ未満と非常に小さく、それによって、周囲
との関連でセンサのキャパシタンスが非常に小さいこと
とも併せて、センサによって影響される電圧は非常に小
さくなる。
【０００５】また本発明においては、更なる発展と改良
とを可能にするために、周期的に異なる電圧を供給する
ことを特徴としており、これによって、正イオンの数
（負の電圧）と、負のイオンの数（正の電圧）と、イオ
ン・バランス（ゼロ電圧）とを測定することが可能であ
り、それにより、これら３つの場合のすべてにおいて、
球形センサまでイオンの電荷で運ばれる電流の値が決定
される。好ましくは、電流は、帰還型演算増幅器を有し
かつ球形センサの電位を一定に保つことを確実にする電
流／電圧変換器によって測定される。たとえば３０ｍＨ
ｚを遮断周波数とするローパスフィルタによって、電流
を濾波することによって、周期的な交流電界（フィール
ド）や、僅かに影響されたオフセット電流等によって引
き起こされる干渉を抑制することが可能になる。好適実
施例では、所定の時間にわたって電流をアップスロープ
（up-slope）積分することによって、交流成分は大部分
が除去される。測定値は、所定の（上限及び下限）のス
レッショルド値と比較されて、その値を超えるかあるい
は下回る際に信号が発せられる。本発明によれば、空気
の流れが通過する、集積回路等の製造のためのクリーン
ルームでのイオン密度などを、モニタすることができ
る。
とを可能にするために、周期的に異なる電圧を供給する
ことを特徴としており、これによって、正イオンの数
（負の電圧）と、負のイオンの数（正の電圧）と、イオ
ン・バランス（ゼロ電圧）とを測定することが可能であ
り、それにより、これら３つの場合のすべてにおいて、
球形センサまでイオンの電荷で運ばれる電流の値が決定
される。好ましくは、電流は、帰還型演算増幅器を有し
かつ球形センサの電位を一定に保つことを確実にする電
流／電圧変換器によって測定される。たとえば３０ｍＨ
ｚを遮断周波数とするローパスフィルタによって、電流
を濾波することによって、周期的な交流電界（フィール
ド）や、僅かに影響されたオフセット電流等によって引
き起こされる干渉を抑制することが可能になる。好適実
施例では、所定の時間にわたって電流をアップスロープ
（up-slope）積分することによって、交流成分は大部分
が除去される。測定値は、所定の（上限及び下限）のス
レッショルド値と比較されて、その値を超えるかあるい
は下回る際に信号が発せられる。本発明によれば、空気
の流れが通過する、集積回路等の製造のためのクリーン
ルームでのイオン密度などを、モニタすることができ
る。
【０００６】
【実施例】本発明に係るイオン測定装置の回路を示した
図面を参照しつつ、本発明の実施例を以下に説明する。
図１において、１はセンサを構成する電極であり、球形
の電極として構成され好ましくは２０ｍｍ未満の直径を
有している。電極１は、制御部９によって制御されるス
イッチ２を介して、演算増幅器３の反転入力に接続され
ており、この接続は数メートルの長さのケーブルで行う
ことができる。演算増幅器３の出力は、抵抗４を介して
該演算増幅器３の反転入力に負帰還されており、電流／
電圧変換器として機能する。演算増幅器３の出力の交流
分は、抵抗４と並列接続されたコンデンサ５を介して、
負帰還されている。演算増幅器３の非反転入力は、制御
部９によって制御されるスイッチ８を介して、基準電位
１４、正の電圧源６および負の電圧源７のいずれかに接
続される。演算増幅器３の出力は、評価回路１０に接続
され、この評価回路１０の出力は、ディスプレイ１１と
比較回路１２と警報部１３とに接続されている。評価回
路１０と比較回路１２とは、また、制御部９によって制
御される。
図面を参照しつつ、本発明の実施例を以下に説明する。
図１において、１はセンサを構成する電極であり、球形
の電極として構成され好ましくは２０ｍｍ未満の直径を
有している。電極１は、制御部９によって制御されるス
イッチ２を介して、演算増幅器３の反転入力に接続され
ており、この接続は数メートルの長さのケーブルで行う
ことができる。演算増幅器３の出力は、抵抗４を介して
該演算増幅器３の反転入力に負帰還されており、電流／
電圧変換器として機能する。演算増幅器３の出力の交流
分は、抵抗４と並列接続されたコンデンサ５を介して、
負帰還されている。演算増幅器３の非反転入力は、制御
部９によって制御されるスイッチ８を介して、基準電位
１４、正の電圧源６および負の電圧源７のいずれかに接
続される。演算増幅器３の出力は、評価回路１０に接続
され、この評価回路１０の出力は、ディスプレイ１１と
比較回路１２と警報部１３とに接続されている。評価回
路１０と比較回路１２とは、また、制御部９によって制
御される。
【０００７】クリーンルームでは、空気中の電荷は、空
気のイオン化によって中性化される。このような中性化
の目的のために、たとえばイオン密度の連続的なモニタ
が必要であり、これが図１に示した装置によって行われ
る。電極１を通過して流れる空気などの気体中のイオン
・カウント（イオンの数）を測定するために、制御部９
は、正または負の電圧源６、７にスイッチ８を選択的に
接続するよう制御する。これにより正または負の電圧が
演算増幅器３の非反転入力に印加され、演算増幅器の性
質により電極１の電圧はこの正または負の電圧に設定さ
れる。球形の電極１を経由して流れるイオンが、方向に
ほとんど依存することなく電荷を電極１に運び、それに
より、評価可能な電流が流れる。電極１が球形であれ
ば、Ｒｉｅｃｋによれば、この球形電極に吸収される電
流は、 Ｉ+＝４πｅｎ+κ+ＣＵ- として決定される。ここで、Ｒは球形の半径、ｅは基本
電荷、ｎはイオンの数、κはイオンの移動度、Ｃは環境
に対する球形のキャパシタンス、Ｕはアース電位に対す
る球形の電圧である。
気のイオン化によって中性化される。このような中性化
の目的のために、たとえばイオン密度の連続的なモニタ
が必要であり、これが図１に示した装置によって行われ
る。電極１を通過して流れる空気などの気体中のイオン
・カウント（イオンの数）を測定するために、制御部９
は、正または負の電圧源６、７にスイッチ８を選択的に
接続するよう制御する。これにより正または負の電圧が
演算増幅器３の非反転入力に印加され、演算増幅器の性
質により電極１の電圧はこの正または負の電圧に設定さ
れる。球形の電極１を経由して流れるイオンが、方向に
ほとんど依存することなく電荷を電極１に運び、それに
より、評価可能な電流が流れる。電極１が球形であれ
ば、Ｒｉｅｃｋによれば、この球形電極に吸収される電
流は、 Ｉ+＝４πｅｎ+κ+ＣＵ- として決定される。ここで、Ｒは球形の半径、ｅは基本
電荷、ｎはイオンの数、κはイオンの移動度、Ｃは環境
に対する球形のキャパシタンス、Ｕはアース電位に対す
る球形の電圧である。
【０００８】負のイオンによって生じる電流について
は、符号が逆になる。上記した式から分かるように、電
流は、気体の速度に依存しない。センサを構成する電極
１からスイッチ２を介して流れる電流は、電流／電圧変
換器として機能する演算増幅器３及び抵抗４によって補
償され、該演算増幅器の出力電圧は、抵抗４と電極１か
らのセンサ電流との積となる。電極１における電圧は、
入力電流には依存せずに、常に演算増幅器３の非反転入
力の値となる。コンデンサ５を介しての負帰還により、
この電流／電圧変換器は低域通過特性を有し、電極１上
にたとえばイオン発生器によって生じる干渉は抑制され
る。このような電気的スプリアス信号は、低いセンサ・
キャパシタンスを介して、干渉電流として干渉源に結合
される。スプリアス交流電圧は、負帰還キャパシタンス
５に対する干渉源へのセンサ・キャパシタンスの比によ
って減衰され、演算増幅器３の出力に現れる。評価回路
１０において、演算増幅器３によって供給される電圧が
一時的に記憶され、Ｒｉｅｃｋの式によって評価されて
存在するイオンの数が決定され、この決定されたイオン
の数がディスプレイ１１上に表示される。
は、符号が逆になる。上記した式から分かるように、電
流は、気体の速度に依存しない。センサを構成する電極
１からスイッチ２を介して流れる電流は、電流／電圧変
換器として機能する演算増幅器３及び抵抗４によって補
償され、該演算増幅器の出力電圧は、抵抗４と電極１か
らのセンサ電流との積となる。電極１における電圧は、
入力電流には依存せずに、常に演算増幅器３の非反転入
力の値となる。コンデンサ５を介しての負帰還により、
この電流／電圧変換器は低域通過特性を有し、電極１上
にたとえばイオン発生器によって生じる干渉は抑制され
る。このような電気的スプリアス信号は、低いセンサ・
キャパシタンスを介して、干渉電流として干渉源に結合
される。スプリアス交流電圧は、負帰還キャパシタンス
５に対する干渉源へのセンサ・キャパシタンスの比によ
って減衰され、演算増幅器３の出力に現れる。評価回路
１０において、演算増幅器３によって供給される電圧が
一時的に記憶され、Ｒｉｅｃｋの式によって評価されて
存在するイオンの数が決定され、この決定されたイオン
の数がディスプレイ１１上に表示される。
【０００９】イオン・バランス測定のためには、制御部
９によりスイッチ８を制御して、演算増幅器３の非反転
入力がアース電位１４（すなわち電圧ゼロ）となるよう
に制御する。好ましくは、スイッチ８は、異なった電
圧、すなわち、正、負、ゼロの電圧が、周期的に演算増
幅器３の非反転入力に加えられて、正のイオン・カウン
ト、負のイオン・カウント、イオン・バランスのそれぞ
れの測定が連続して行われるように制御される。オフセ
ット電流及び電圧のドリフトに起因するエラーを除去す
るために、制御部９は、スイッチ２を通常のインターバ
ルではオフ状態に制御し、電極１によって供給される電
流がない状態で測定が実行される。この測定された値は
評価回路１０に記憶され、それに続いて実行されるすべ
ての測定（スイッチ２がオン）の期間中に、該記憶され
た値が測定期間中の測定値から差し引かれて出力され
る。比較回路１２にはイオン・カウントに対する上限及
び下限のスレショルド電圧が設定されており、比較回路
１２は、評価回路１０から供給される測定値をこのスレ
ショルド値と比較する。測定値がスレショルド値を超え
るか、あるいは下まわる場合には、比較回路１２から信
号が警報部１３に供給されて、警報部１３が光または音
の警告を発生する。評価回路１０では得られた測定値を
記憶しておき、これらの記憶された測定値は、個別にあ
るいはまとめて、データ・ラインを介してパーソナル・
コンピュータに転送され、ディスプレイ１１上に表示さ
れる。
９によりスイッチ８を制御して、演算増幅器３の非反転
入力がアース電位１４（すなわち電圧ゼロ）となるよう
に制御する。好ましくは、スイッチ８は、異なった電
圧、すなわち、正、負、ゼロの電圧が、周期的に演算増
幅器３の非反転入力に加えられて、正のイオン・カウン
ト、負のイオン・カウント、イオン・バランスのそれぞ
れの測定が連続して行われるように制御される。オフセ
ット電流及び電圧のドリフトに起因するエラーを除去す
るために、制御部９は、スイッチ２を通常のインターバ
ルではオフ状態に制御し、電極１によって供給される電
流がない状態で測定が実行される。この測定された値は
評価回路１０に記憶され、それに続いて実行されるすべ
ての測定（スイッチ２がオン）の期間中に、該記憶され
た値が測定期間中の測定値から差し引かれて出力され
る。比較回路１２にはイオン・カウントに対する上限及
び下限のスレショルド電圧が設定されており、比較回路
１２は、評価回路１０から供給される測定値をこのスレ
ショルド値と比較する。測定値がスレショルド値を超え
るか、あるいは下まわる場合には、比較回路１２から信
号が警報部１３に供給されて、警報部１３が光または音
の警告を発生する。評価回路１０では得られた測定値を
記憶しておき、これらの記憶された測定値は、個別にあ
るいはまとめて、データ・ラインを介してパーソナル・
コンピュータに転送され、ディスプレイ１１上に表示さ
れる。
【００１０】上述の実施例では、アース電位を基準とす
る一定電圧が電極１に周期的に供給されたが、別の実施
例では、電極１にアース電位に基づく電圧を供給するた
めに、演算増幅器の非反転入力がアース回路に供給され
るようにし、この目的のためにレイアウトのアース回路
への修正を必要とする。電極１における電圧がアース電
位に関するものである場合には、気体の流れからの逆極
性のイオンが自らの電荷を電極に与える。測定される電
流は、対応するイオンの数に正比例する。説明した実施
例では、周期的な交流電界による干渉あるいは僅かに影
響されたオフセット電圧は、ローパスフィルタによって
濾波することによって除去される。別の実施例では、電
流は、積分器において所与の期間にわたってアップ・ス
ロープ積分されて、イオン・カウントがＲｉｅｃｋの式
を用いて積分時間の関数として決定される。その後積分
器は、リセットされる。積分された信号のレベルは、測
定される直流成分の値を与え、信号中の交流成分は大部
分抑制される。上述の説明では、球形を電極１として使
用したが、別の流れの観点から好都合な形状（流線形や
楕円体等）を使用してもかまわない。
る一定電圧が電極１に周期的に供給されたが、別の実施
例では、電極１にアース電位に基づく電圧を供給するた
めに、演算増幅器の非反転入力がアース回路に供給され
るようにし、この目的のためにレイアウトのアース回路
への修正を必要とする。電極１における電圧がアース電
位に関するものである場合には、気体の流れからの逆極
性のイオンが自らの電荷を電極に与える。測定される電
流は、対応するイオンの数に正比例する。説明した実施
例では、周期的な交流電界による干渉あるいは僅かに影
響されたオフセット電圧は、ローパスフィルタによって
濾波することによって除去される。別の実施例では、電
流は、積分器において所与の期間にわたってアップ・ス
ロープ積分されて、イオン・カウントがＲｉｅｃｋの式
を用いて積分時間の関数として決定される。その後積分
器は、リセットされる。積分された信号のレベルは、測
定される直流成分の値を与え、信号中の交流成分は大部
分抑制される。上述の説明では、球形を電極１として使
用したが、別の流れの観点から好都合な形状（流線形や
楕円体等）を使用してもかまわない。
【００１１】
【発明の効果】本発明は以上のように構成されて、セン
サを構成する電極が気体の流れに会った例えば球形等の
形状に形成されているので、気体中のイオン測定装置を
小型で場所を取らずに構成でき、また気体の流れに最小
の乱れしか与えずに測定できるので高精度の測定ができ
る。
サを構成する電極が気体の流れに会った例えば球形等の
形状に形成されているので、気体中のイオン測定装置を
小型で場所を取らずに構成でき、また気体の流れに最小
の乱れしか与えずに測定できるので高精度の測定ができ
る。
【図１】本発明の一実施例のブロック図である。７
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ハンス−ヘンリヒ・シュティール ドイツ連邦共和国 デー−14167 ベルリ ン，ニーエンケンパー・シュトラーセ ２ (72)発明者 ヨアヒム・ローア ドイツ連邦共和国 デー−12163 ベルリ ン，ホルシュタイニシェ・シュトラーセ ６
Claims (9)
- 【請求項１】 センサの周囲を気体が流れて、該気体中
のイオンが該センサに電荷を与え、該電荷によって生じ
る電流を電気回路において評価するように構成された、
気体中のイオン測定装置において、センサが、気体の流
れに好適な形状をした電極（１）として構成され、かつ
一定電圧が電極に供給されていることを特徴とする気体
中のイオンを測定するイオン測定装置。 - 【請求項２】 請求項１記載のイオン測定装置におい
て、電極（１）が球形であることを特徴とするイオン測
定装置。 - 【請求項３】 請求項１または２記載のイオン測定装置
において、正のイオンの数を測定する場合に負の電圧
を、負のイオンの数を測定する場合に正の電圧を、イオ
ン・バランスを測定する場合に基準電圧に関してゼロの
電圧を、供給することを特徴とするイオン測定装置。 - 【請求項４】 請求項１〜３のいずれかに記載のイオン
測定装置において、交流及び直流電界を抑制するため
に、電極からの電流がローパスフィルタによって濾波さ
れることを特徴とするイオン測定装置。 - 【請求項５】 請求項１〜４のいずれかに記載のイオン
測定装置において、電気回路が、電流／電圧変換器
（３、４）を含んでいることを特徴とするイオン測定装
置。 - 【請求項６】 請求項１〜５のいずれかに記載のイオン
測定装置において、該装置は、制御部（９）によって制
御されるスイッチ（８）を備えており、該スイッチによ
って、周期的な態様で異なる電圧が電極（１）に与えら
れることを特徴とするイオン測定装置。 - 【請求項７】 請求項５記載のイオン測定装置におい
て、電流／電圧変換器が、負帰還経路に抵抗（４）を備
えた演算増幅器（３）として構成されていることを特徴
とするイオン測定装置。 - 【請求項８】 請求項１〜７のいずれかに記載のイオン
測定装置において、イオン・カウントは、電荷によって
生じる電流を電気回路によって評価し、測定したイオン
・カウントと設定されたスレショルド値とを比較回路
（１２）によって比較することによって、決定されるこ
とを特徴とするイオン測定装置。 - 【請求項９】 請求項１〜４、６〜８のいずれかに記載
のイオン測定装置において、該装置は、電極によって供
給される電流のアップスロープ積分のための積分器を備
えており、該積分器はそれぞれの場合において、所定の
時間後にリセットされるよう構成されていることを特徴
とするイオン測定装置。
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|---|---|---|---|---|
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Families Citing this family (14)
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|---|---|---|---|---|
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| DE10144094C1 (de) * | 2001-09-03 | 2003-05-08 | Hans-Henrich Stiehl | Amperometrische Sonde zur Messung des elektrischen Raumpotentials und von Ionendichten in einem Gas |
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| DE102006026531B3 (de) * | 2006-03-11 | 2007-09-20 | Strebe, Angelika | Erdsonde zur Wärmegewinnung |
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| US4531486A (en) * | 1983-05-02 | 1985-07-30 | Battelle Development Corporation | Apparatus and method for measuring the concentration of particles in a gas |
| SU1392482A1 (ru) * | 1985-12-04 | 1988-04-30 | Новосибирский государственный университет им.Ленинского комсомола | Способ измерени электропроводности газовой среды |
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| US4853637A (en) * | 1987-02-11 | 1989-08-01 | Conax Florida Corporation | Fluid conductivity sensor for actuating an electroexploding device |
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Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007132867A (ja) * | 2005-11-11 | 2007-05-31 | Shimadzu Corp | ガスイオンモニタ装置及びそれを用いたエアロゾル測定装置 |
| JP4655896B2 (ja) * | 2005-11-11 | 2011-03-23 | 株式会社島津製作所 | ガスイオンモニタ装置を用いたエアロゾル測定装置 |
| WO2013015092A1 (ja) * | 2011-07-27 | 2013-01-31 | シャープ株式会社 | イオン量測定装置、イオン量測定方法及びイオン発生装置 |
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