JPH06193929A - クリーンユニットのフィルタ支持方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 大型のクリーンユニットの担持にも使用で
き、工期の短縮、コストダウンも可能な、クリーンユニ
ットのフィルタ支持方法及び装置を得る。 【構成】 クリーンユニット本体２１の接続金具２５に
取り付けられた吊ボルト２４によって支持される第１部
材４１と、第１部材に着脱自在に固定される第２部材４
２とでフィルタ支持枠２３を構成し、第２部材４２でク
リーンユニット２０のフィルタ２２を担持する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明はクリーンルームの天井
部分に設けられるクリーンユニットの支持方法及び装置
に関する。

【０００２】

【従来の技術】図６はクリーンユニットとアルミグリッ
ドで構成されるクリーンルーム１０の概念図を示し、天
井部分にファン、フィルタ等を内蔵するクリーンユニッ
ト２０を並設し、周囲に間仕切り１を設け、その内部を
クリーンエリア２とする。下方には通気性を有する床３
を設ける。５は天井を示す。

【０００３】クリーンユニット２０のフィルタを経た清
浄空気Ｒ₁ がクリーンエリア２に入り、通気性を有する
床３からＲ₂ として下方に抜け、間仕切り１の下をくぐ
って上昇し、Ｒ₃ としてクリーンユニット２０に還流す
る。空気が還流する時、要すれば空気の温度、湿度を調
整する空調ユニット４を設けてもよい。

【０００４】図７はクリーンユニット２０の支持方式の
一例を示し、クリーンユニット支持枠２３を吊ボルト２
４で支持し、支持枠２３でクリーンユニット２０を担持
している。２１はファン等を内蔵するクリーンユニット
本体、２２はフィルタを示している。吊ボルト２４は上
方にある取付パイプなどに取り付けられている。又支持
枠２３には蛍光灯７６が取り付けられている。

【０００５】支持枠２３は図８に示すように、グリッド
状に形成され、その上に縦横に、クリーンユニットが並
置される。このようなクリーンユニットとアルミグリッ
ドの構成によるクリーンルームは、天井全面からクリー
ンエアを層流に流すことができるため、起清浄空間を形
成するのに適し、小型のクリーンユニットとすることに
よりクリーンユニットをアルミグリッドへ載置すること
も容易で、フレキシビリティもあるが、小型のユニット
を数多く必要とし、ユニットの製作費、ユニットの保守
管理、天井、床、リターンスペースまで含めたシステム
全体の必要スペースの点では大型のユニットを使用する
システムやローカルリターンの出来るシステムの方が勝
っている。

【０００６】図９は従来の取り付け方法を示し、例えば
建屋の天井７０から吊ボルト７１で取付パイプ７２を吊
し、それから吊ボルト２４でグリッド状の支持枠２３を
吊し、クリーンユニット２０（フィルタ単体でもよい）
を斜めにして、２０′に示す如くグリッドの間から天井
に入れ、支持枠２３に載置する。この方法はクリーンユ
ニットが大型になると極めて困難である。

【０００７】天井裏が高ければ天井内を横方向に運搬す
ることもできるが、これは可成天井裏が高くなければな
らない。

【０００８】

【解決すべき課題】最近は、クリーンルームの形成に際
して、省エネルギー、イニシァルコストの減少、ランニ
ングコストの低下等の要求が高まって来た。そのために
は、小型のファンモータを取り付けるよりは、大型のフ
ァンモータを用いるのがよいことが判った。例えば一例
として風量１５ｍ³ ／分、モータ出力１５０ｗのファン
モータをＡ、風量３６ｍ³ ／分、モータ出力３００ｗの
ファンモータをＢとした場合、シロッコファン効率、三
相モータ効率、三相モータ力率を夫々比較すると、 Ａ Ｂ シロッコファン効率 約４０％ ４７．７％ 三相モータ効率 ５０〜６０％ ７０．８％ 三相モータ力率 約６０％ ６９％ となる。

【０００９】このようにファンモータを大型にした方が
効率がよくなり、省エネルギーに役立ち、小型のクリー
ンユニットを数多く使用するものに比べ建設費も安くな
り、ランニングコストも低減される。しかしながらファ
ンモータを大型にすると、それだけクリーンユニット自
体も大きく、かつ重くなり、図９に示したようには簡単
に取り付けることはできなくなり、さらにクリーンユニ
ット自体も支持枠に載置されるのみでなく、自身の荷重
も支える必要がある。

【００１０】例えば図１０にそのような状態の一例を示
し、クリーンユニット２０自体が鉤２７を備え、吊ボル
ト２８で吊られて支持されている。クリーンユニット２
０は互に接続金具２５を介して接続され、クリーンユニ
ットに取り付けられたフィルタを支持するフィルタ支持
枠２３′は接続金具２５に取り付けられた吊ボルト２４
で支持されている。

【００１１】このような大型のクリーンユニットは支持
枠２３′に斜にさしこむことができないので、まずクリ
ーンユニット２０を支持し、その後で支持枠２３′を形
成せねばならない。支持枠２３は従来技術の中で述べた
アルミグリッドと同じ機能の部材であるが、従来のアル
ミグリッドはクリーンユニットの交換の際にも基本的に
取り外さないものとして設置されているが、支持枠２３
はフィルタの交換時には取り外す必要がある。そしてア
ルミグリッド（支持枠２３）の下部には蛍光灯が取り付
けられる。

【００１２】蛍光灯はクリーンエリア全面に分散してア
ルミグリッド（支持枠２３に相当）に取り付けられるの
で数が多く、支持枠２３を外す際蛍光灯まで含めて外す
ことは、その作業が大変であり、また電気配線を切離
し、接続をするのは安全性、信頼性の点からもしない方
がよい。またクリーンユニットの運転表示もアルミグリ
ッド（支持枠２３）に取り付けるとクリーンルーム内か
ら運転状態を知ることができ便利である。この表示ユニ
ットもクリーンユニット１台毎に必要とされ、クリーン
エリア全面に分散してアルミグリッド（支持枠２３）に
多数取り付けられ、蛍光灯の場合と同様支持枠２３を外
す際に表示装置は外さないようになっていることが望ま
しい。

【００１３】また、クリーンルーム内に設置される生産
ラインの工程間搬送用のレールの支持は天井から吊下げ
られ、その吊ボルトを支持枠２３に取り付けることがで
きると便利である。工程間搬送用のレールは取付精度が
きびしく、クリーンユニットのフィルタ交換の際も外す
ことはできない。また重量が約１００ｋｇ／ｍと重いた
め支持枠２３の強度もそれに見合うものでなくてはなら
ない。

【００１４】

【課題を解決するための手段】この発明では前記の課題
を解決するために、支持枠がユニット本体に取り付けら
れた接続金具に固定された第１部材と、この第１部材に
着脱可能に固定され、フィルタを担持する第２部材から
なるようなフィルタの支持方法及び装置を得たものであ
り、さらに蛍光灯ソケット、クリーンユニットの運転表
示灯、工程間搬送レールの吊ボルトが第１部材に取り付
け可能で第２部材の着脱の妨げにならない構造とした支
持装置も得た。

【００１５】

【実施例】図１はこの発明の支持枠によるクリーンユニ
ットの担持状態を示す断面図であって、２０はクリーン
ユニットを示し、２１はファン等を内蔵するクリーンユ
ニット本体、３０はフィルタシール枠、３１はフィルタ
シール枠の下方鍔部、３２はシール溝、３３はシール溝
を滿している半固形シール材、２２は高性能フィルタ、
３４はクリーンユニット本体とフィルタシール枠との接
合ボルト、２５はクリーンユニット本体同士の接続金
具、２６は接続ボルトを夫々表している。

【００１６】又明らかに図示されてはいないが、図１に
示す例ではクリーンユニット本体も吊られてその重量を
支えられている（図１０参照） 支持枠４０は前記の接続金具２５に取り付けられた吊ボ
ルト２４によって支持されている第１部材４１と、この
第１部材４１にボルト６２によって着脱自在に固定され
ている第２部材４２とから構成されている。第２部材４
２は第１部材４１より幅が広いので、第２部材４２の肩
部にフィルタ２２を担持することができる。 図示の例
では第１部材４１はその内部にナット付座板６１を内包
しており、下方からボルト６２をその座板６１のナット
に締めつけることにより第２部材４２を第１部材４１に
固定する。ボルト６２を外せば第２部材４２を取り外す
ことができる。

【００１７】さらに図示の例ではカバーとしての第３部
材４３をハット型タイプ座金６３を介してビス６４で取
り付けている。図２はフィルタ支持枠４０の交叉部分を
示す図で、第１支持部材４１の交叉部分上面にボルト孔
４４とその両側のボルト孔４５，４５とがあけられてい
る。孔４４は第１部材４１の位置が調整できるように長
孔となっている。

【００１８】そして第１部材接続金具５０を介して直角
方向の第１部材４１・・・・を固定する。５１，５２は
ボルト孔、５３は吊ボルト２４の中心線を示している。
図３は第１部材に蛍光灯７６を取り付けた状態を分解し
て示したもので、４１は第１部材、４２は第２部材であ
って、７４は第１部材に取り付けたソケット取付チャン
ネル、７７はチャンネル７４に固定したソケット取付金
具、７８は蛍光灯ソケット、７９は第２部材を設けた孔
で、ソケット取付金具７７と蛍光灯ソケット７８とが通
過できるようになっていて、第２部材の取付、取外しの
ときソケット部分が障害にならない。

【００１９】破線７５は第１部材に第２部材を固定する
ビスの線を示している。フィルタ交換のときは蛍光灯の
ランプを外し第２部材を外せばフィルタを取り出すこと
ができる。図４は送風機の運転状況の表示灯を第１部材
に取り付けた状態を分解して示したもので、４１は第１
部材、４２は第２部材で８１は第１部材４１に取り付け
た表示ユニットであって、表示灯取付チャンネル８２、
表示灯取付金具８３、２ケの表示灯８４とからなってい
る。表示灯は運転表示灯と異常表示灯の２ケが組み合さ
れている。８５は第２部材に取り付けた表示灯カバー、
８６はそのカバーの一部をなす透明アクリル部である。
第２部材には表示ユニット８１が通過しうる孔８７があ
けられている。

【００２０】フィルタを外すのには、表示灯カバー８５
を外し、第２部材を外せばよい。図５は工程間搬送装置
を支持するレールの支持金具を取り付けた状態を分解し
て示したもので、４１は第１部材、４２は第２部材、９
１は第１部材に取り付けた吊ボルト、９２は吊ボルト９
１によって第１部材４１から吊下げられている工程間搬
送レール支持金具であって、搬送レールは図の２点鎖線
ＸＹの方向に置かれる。

【００２１】９３は第２部材にあけられた吊ボルト９１
を通すための孔、破線９４は第１部材に第２部材を取り
付けるビスの線を示す。又９５はビスを取り付けるプレ
ートナットである。フィルタ交換のときは、ビスを外し
て第２部材を下方に降ろし、第１部材と第２部材の高さ
の差がフィルタの厚み以上になれば、フィルタを図のＡ
方向に引き出すことができる。

【００２２】

【作用】この発明のフィルタ支持方法及び装置は前記の
如き構成であって、そのため、乱流域がほとんどない層
流の高清浄クリーンルームで天井アルミグリッドには蛍
光灯、表示灯、あるいは工程間搬送用レールのような重
量物を支える吊ボルトなどが固定できる。

【００２３】

【効果】この発明のフィルタ支持方法及び装置は前記の
ような従来の小型のクリーンユニットとアルミグリッド
の方式の利点と、ファンモータの効率アップとローカル
リターンとが可能になり、天井、床、ダクトスペースが
小さくてすむ大型ユニットの利点との両方を有し、それ
によりイニシャルコスト、ランニングコストの低減が可
能で省エネのシステムが可能になった。

【図面の簡単な説明】

【図１】クリーンユニットの担持部を示す断面図。

【図２】支持枠の交叉部を示す図。

【図３】蛍光灯を取り付けた状態を示す図。

【図４】表示灯を取り付けた状態を示す図。

【図５】工程間搬送レール支持金具を取り付けた状態を
示す図。

【図６】クリーンルームの説明図。

【図７】クリーンユニットの従来の支持方式の説明図。

【図８】支持枠の斜視図。

【図９】クリーンユニットの従来の取付法の説明図。

【図１０】大型クリーンユニットの支持方式の一例の説
明図。

【符号の説明】

１ 間仕切り ２ クリーンエリア ３ 通気床 ４ 空調ユニット ５ 天井 １０ クリーンルーム ２０ クリーンユニット ２１ クリーンユニット本体 ２２ フィルタ ２３ クリーンユニット支持枠 ２４ 吊ボルト ２５ 接続金具 ２６ 接続ボルト ２７ 鉤 ２８ 吊ボルト ３０ フィルタシール枠 ３１ 鍔部 ３２ シール溝 ３３ 半固型シール材 ３４ 接合ボルト ４０ フィルタ支持枠 ４１ 第１部材 ４２ 第２部材 ４３ 第３部材 ４４，４５ ボルト孔 ５０ 第１部材接合金具 ５１，５２ ボルト孔 ５３ 吊ボルト中心線 ６１ ナット付座金 ６２ ボルト ６３ ハット型タップ座板 ６４ ビス ７４ ソケット取付チャンネル ７５ ビスの線 ７６ 蛍光灯 ７７ ソケット取付金具 ７８ 蛍光灯ソケット ７９ 孔 ８１ 表示ユニット ８２ 表示灯取付チャンネル ８３ 表示灯取付金具 ８４ 表示灯 ８５ 表示灯カバー ８６ 透明アクリル部 ８７ 孔 ９１ 吊ボルト ９２ 工程間搬送レール支持金具 ９３ 孔 ９４ ビスの線 ９５ プレートナット

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 徳岡 慎一 東京都品川区北品川６丁目７番35号 ソニ ー株式会社内 (72)発明者 加藤 泰司 東京都品川区北品川６丁目７番35号 ソニ ー株式会社内 (72)発明者 柿崎 治郎 東京都中央区銀座８丁目21番１号 浜離宮 ビル 株式会社竹中工務店東京本店内 (72)発明者 谷口 和人 福岡県福岡市中央区天神４丁目２番20号 天神幸ビル株式会社竹中工務店九州支店内 (72)発明者 加嶋 正一 東京都新宿区西新宿２丁目６番１号 株式 会社大気社内 (72)発明者 北川 透 東京都新宿区西新宿２丁目６番１号 株式 会社大気社内 (72)発明者 福岡 宗男 東京都中央区京橋２丁目５番12号 東洋熱 工業株式会社東京本店内 (72)発明者 五十嵐 豊 東京都江東区有明１丁目２番25号 東洋熱 工業株式会社東京工場内

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 クリーンルームの天井部分に設置された
   クリーンユニットの下にアルミグリッドを設け、そのア
   ルミグリッドはフィルタを支える支持枠でフィルタを取
   り付けた状態でユニットの下面とフィルタ上面が気密に
   接合されるクリーンユニットのフィルタ支持方法におい
   て、 クリーンユニット本体ケーシングは建築物に吊ボルトで
   固定し、フィルタを支持する支持枠は本体ケーシングの
   接続金具に吊ボルトで固定した第１部材と、この第１部
   材に着脱可能に固定されフィルタを担持する第２部材に
   分けるようにしたことを特徴とするフィルタ支持方法。
2. 【請求項２】 クリーンルームの天井部分に設置された
   クリーンユニットの下にアルミグリッドを設け、そのア
   ルミグリッドはフィルタを支える支持枠でフィルタを取
   り付けた状態でユニットの下面とフィルタ上面が気密に
   接合されるクリーンユニットのフィルタ支持装置におい
   て、 クリーンユニット本体ケーシングは建築物に吊ボルトで
   固定し、フィルタを支持する支持枠は、本体ケーシング
   の接続金具に吊ボルトで固定された第１部材と、この第
   １部材に着脱可能に固定されフィルタを担持する第２部
   材とに分けられ、 第１部材には蛍光灯のソケットを組込んであり、第２部
   材の着脱に支障のない構成となっていることを特徴とす
   るフィルタ支持装置。
3. 【請求項３】 前記の第１部材にはクリーンユニットの
   送風機の運転状況を知らせる運転表示ランプが組込んで
   あり、第２部材の着脱に支障のない構成となっているこ
   とを特徴とした前記請求項２記載のフィルタ支持装置。
4. 【請求項４】 前記の第１部材は、工程間搬送装置のレ
   ールを支持する機能を有することを特徴とする前記請求
   項２記載のフィルタ支持装置。