JPH0619095Y2 - Contact sensor - Google Patents

Contact sensor

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JPH0619095Y2
JPH0619095Y2 JP1988019035U JP1903588U JPH0619095Y2 JP H0619095 Y2 JPH0619095 Y2 JP H0619095Y2 JP 1988019035 U JP1988019035 U JP 1988019035U JP 1903588 U JP1903588 U JP 1903588U JP H0619095 Y2 JPH0619095 Y2 JP H0619095Y2
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JP
Japan
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contact
leaf springs
bolt
contactor
base
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JP1988019035U
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重宏 斉藤
理彦 中村
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Adtec Engineering Co Ltd
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Adtec Engineering Co Ltd
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  • Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)

Description

【考案の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 この考案は接触センサに関し、揺れが少なく、接触圧力
の調整が容易な接触センサを提供することを目的とす
る。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION <Industrial field of application> The present invention relates to a contact sensor, and an object thereof is to provide a contact sensor which has less fluctuation and whose contact pressure can be easily adjusted.

〈従来の技術〉 センサには種々の構成のものが有るが、その中に対象物
に直接接触させて対象物の所定の特性を検出する接触セ
ンサが知られている。
<Prior Art> There are various types of sensors, and among them, a contact sensor that directly contacts an object and detects a predetermined characteristic of the object is known.

そして近時、液晶表示の回路の短絡等を検出するために
このような接触センサを液晶基板に接触させたまま摺動
させて回路の状態を検出する試みがなされている。
In recent years, in order to detect a short circuit or the like in a liquid crystal display circuit, an attempt has been made to detect the state of the circuit by sliding such a contact sensor while keeping contact with the liquid crystal substrate.

しかし、このように摺動接触させてセンサを用いる場
合、センサの接触圧力の調整が非常に難しい問題があっ
た。即ち、接触圧力が大きすぎると対象物に傷を付ける
上、接触子の摩耗が多くなる欠点がある。また、接触圧
力が小さいと非接触となり、検出の信頼性が悪化する欠
点がある。
However, when the sensor is used in such a sliding contact, it is very difficult to adjust the contact pressure of the sensor. That is, if the contact pressure is too high, the object is scratched and the contactor wears more. In addition, when the contact pressure is small, there is a non-contact, and the reliability of detection deteriorates.

また、回路等は凹凸があり均一な平面ではないことか
ら、接触子を摺動させると回路部分で接触子がバウンド
する問題があり、この欠点の解決が望まれていた。
Further, since a circuit or the like has irregularities and is not a uniform plane, there is a problem that the contact bounces at the circuit part when the contact is slid, and it has been desired to solve this defect.

〈考案の概要〉 本考案は上記した従来の接触センサの問題点を解決すべ
くなされたもので、両端と基部とを固定された少なくと
も2枚の板ばねから成る保持体と、該保持体の先端部に
装着された接触子と、該保持体を上下方向任意位置で下
から支持することにより前記2枚の板ばねを撓ませて、
該板ばねの反発力による接触子の接触圧力を調整する支
持体と、前記保持体と支持体の非接触を検出する手段と
を設けたことを基本的な特徴とするものである。
<Outline of the Invention> The present invention has been made in order to solve the above-mentioned problems of the conventional contact sensor, and includes a holder composed of at least two leaf springs having both ends and a base fixed, and a holder of the holder. The two leaf springs are bent by supporting the contactor attached to the tip and the holding body from below at arbitrary positions in the vertical direction,
A basic feature is that a support body that adjusts the contact pressure of the contact due to the repulsive force of the leaf spring and a means that detects non-contact between the holding body and the support body are provided.

以上の構成において、支持体による保持体の上下方向支
持位置により、板ばねの反発力が異なり、上方位置にあ
るほど反発力は強くなる。これにより、接触子の接触圧
力の調整が行える。また、2以上の板ばねを用いること
から、重量が軽く、バウンドを抑制できる。更に支持位
置による接触子の位置及び角度変化が少ない。また検出
する手段により接触子の対象物への接触を検出すること
ができる。
In the above structure, the repulsive force of the leaf spring varies depending on the vertical support position of the holding body by the support body, and the repulsive force becomes stronger as the leaf spring is located higher. Thereby, the contact pressure of the contactor can be adjusted. Moreover, since two or more leaf springs are used, the weight is light and bounce can be suppressed. Further, there is little change in the position and angle of the contact due to the supporting position. Further, it is possible to detect the contact of the contact with the object by the detecting means.

〈実施例〉 以下本考案の一実施例を図面に基づいて説明する。<Embodiment> An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.

第1図において2、3はそれぞれ板ばねであり、互いに
平行になっている。板ばね2、3はこの実施例では厚さ
0.1mm程度の鋼製のものを用いている。この板ばね
2、3の両端は当板20、ボルト21により固定されて
いる。すなわち、その先端部においては板ばね2、3の
間にホルダ10を挟み、外側に当板20、20を当てボ
ルト21、21により締結した構造になっている。一方
基部においては延出腕23を間に挟み、同様に当板2
0、20を当てボルト21、21により締結した構造に
なっている。板ばね2、3の固定の構造はこれに限定さ
れるものではなく、例えば溶接等により固着する等種々
の構造を採用することが出来る。
In FIG. 1, 2 and 3 are leaf springs, which are parallel to each other. In this embodiment, the leaf springs 2 and 3 are made of steel and have a thickness of about 0.1 mm. Both ends of the leaf springs 2 and 3 are fixed by a contact plate 20 and bolts 21. That is, the tip end portion has a structure in which the holder 10 is sandwiched between the leaf springs 2 and 3, and the contact plates 20 and 20 are attached to the outside by fastening bolts 21 and 21. On the other hand, at the base part, the extension arm 23 is sandwiched between,
The structure is such that 0 and 20 are fastened with contact bolts 21 and 21. The structure for fixing the leaf springs 2 and 3 is not limited to this, and various structures such as fixing by welding or the like can be adopted.

ホルダ10には接触子1を嵌挿するための斜孔が所定の
角度で設けられており、ここに接触子1が嵌挿してい
る。この接触子1はその下方向への突出長さを変えるこ
とが可能なように、ボルト11により締結する構成にな
っている。
The holder 10 is provided with an oblique hole for inserting the contactor 1 at a predetermined angle, and the contactor 1 is inserted therein. The contactor 1 is configured to be fastened with a bolt 11 so that the downward protruding length thereof can be changed.

板ばね2、3の基部の当板20、ボルト21の間には電
極22が介装され、ここから接触子1の検出信号を外部
に導くようになっている。
An electrode 22 is provided between the contact plate 20 and the bolt 21 at the base of the leaf springs 2 and 3, and the detection signal of the contact 1 is guided to the outside from this electrode 22.

延出腕23は側面クランク形状をなし、その先端部は前
記したように板ばね2、3間に固着し、その基部はボル
ト24、24により水平可動基台5に固定されている。
The extending arm 23 has a side crank shape, and its tip is fixed between the leaf springs 2 and 3 as described above, and its base is fixed to the horizontally movable base 5 by bolts 24 and 24.

水平可動基台5の先端部にはボルト41により支持腕4
0が水平方向に延出して装着されている。この支持腕4
0から垂直可動板42が下方向に垂下している。この垂
直可動板42には長孔44が形成され、ここで止めネジ
43により上下方向位置調整可能に支持腕40に固定さ
れている。垂直可動板42の下端には更に水平方向に延
びる水平腕45がボルト47、47により固着されてい
る。水平腕45の先端部には当接突起46が設けられて
おり、該当接突起46が板ばね2、3の先端部の下側に
位置し、板ばね2、3を下から支持して、板ばね2、3
の上下方向位置を調整するように構成されている。上記
各部材により支持体4が構成されている。
The support arm 4 is attached to the tip of the horizontally movable base 5 with a bolt 41.
0 extends horizontally and is mounted. This support arm 4
The vertical movable plate 42 hangs downward from 0. An elongated hole 44 is formed in the vertical movable plate 42, and is fixed to the support arm 40 by a set screw 43 so that the vertical position of the movable plate 42 can be adjusted. A horizontal arm 45 extending in the horizontal direction is further fixed to the lower end of the vertically movable plate 42 by bolts 47, 47. A contact protrusion 46 is provided on the tip of the horizontal arm 45, and the contact protrusion 46 is located below the tip of the leaf springs 2 and 3 to support the leaf springs 2 and 3 from below. Leaf springs 2 and 3
Is configured to adjust the vertical position of the. The support member 4 is configured by the above members.

なお、当接突起46と水平腕45との間には電極48が
介装され、当接突起46と板ばね2、3の下側の当板2
0との接触、非接触を検出するようになっている。
An electrode 48 is interposed between the contact protrusion 46 and the horizontal arm 45, and the contact protrusion 46 and the lower contact plate 2 of the leaf springs 2 and 3 are interposed.
It is designed to detect contact and non-contact with 0.

水平可動基台5はL字型の垂直可動基台6の水平部下側
にあり溝50を介して水平方向移動可能に装着されてい
る。垂直可動基台6の水平部先端と水平可動基台5の上
部の間にはバネ51が介装され、またボルト52が水平
可動基台5から垂直可動基台6に掛けて装着されてい
る。ボルト52は垂直可動基台6の水平部先端に螺合
し、このボルト52を回すことにより水平可動基台5を
水平移動出来るようになっている。垂直可動基台6の水
平部には長孔63が形成され、ここにボルト53が貫通
し、水平可動基台5に螺合している。このボルト53に
より所定の位置に水平可動基台5を固定できるようにな
っている。
The horizontally movable base 5 is located below the horizontal portion of the L-shaped vertically movable base 6 and is mounted so as to be horizontally movable via a groove 50. A spring 51 is interposed between the tip of the horizontal portion of the vertically movable base 6 and the upper portion of the horizontally movable base 5, and a bolt 52 is mounted by hanging from the horizontally movable base 5 to the vertically movable base 6. . The bolt 52 is screwed onto the tip of the horizontal portion of the vertically movable base 6, and the horizontal movable base 5 can be moved horizontally by turning the bolt 52. A long hole 63 is formed in a horizontal portion of the vertically movable base 6, and a bolt 53 penetrates through the elongated hole 63 and is screwed into the horizontally movable base 5. The bolt 53 allows the horizontally movable base 5 to be fixed at a predetermined position.

垂直可動基台6の垂直部は同様にあり溝60を介して基
台7に垂直方向移動可能に装着されている。そして基台
7との間にバネ61が介装され、ボルト62により上下
方向移動可能になっている。また、この垂直部には長孔
64が設けられ、ここにボルト65が貫通し、基台7に
螺合している。このボルト65により垂直可動基台6は
上下方向所定の位置に固定されるようになっている。
Similarly, the vertical portion of the vertically movable base 6 is mounted on the base 7 via the groove 60 so as to be vertically movable. Then, a spring 61 is interposed between the base 7 and the base 7, and can be vertically moved by a bolt 62. In addition, an elongated hole 64 is provided in this vertical portion, and a bolt 65 penetrates this hole and is screwed into the base 7. The vertically movable base 6 is fixed to a predetermined position in the vertical direction by the bolt 65.

なお基台7にはこの実施例では上記した構造が2セット
(目的に応じて更に、セット数を増しても良い)装着さ
れており、2本の接触子1により検査を行うように構成
されている。他のセットも構成は上記と全く同じである
から説明は省略する。
In this embodiment, two sets of the above-mentioned structures are mounted on the base 7 (the number of sets may be further increased depending on the purpose), and the inspection is performed by the two contacts 1. ing. The configuration of the other sets is exactly the same as that described above, and thus the description thereof is omitted.

次に使用方法を説明する。Next, the usage method will be described.

まず垂直可動板42を動かし、板ばね2、3の上下位置
を調整して、接触子1の接触圧を決定する。すなわち、
板ばね2、3の先端部を当接突起46により上方向に持
ち上げれば、板ばね2、3は撓んで、その反発力により
接触子1の接触圧が得られる。この時、本考案では少な
くとも2枚の板ばね2、3を用い、しかもその両端を固
定してあるため、接触子1は上下移動だけで水平方向の
移動は殆ど生じない。これを第2図に一枚の板ばねSを
用いた場合と対比して、模式的に示す。(A)が本考案
の場合、(B)が一枚の板ばねSを用いた場合を示す。
(A)では板ばね2、3を持ち上げると板ばね2と3の
伸びを均衡させるためにS字形状を描く。そのため、接
触子1は上下方向に移動するだけで、角度が変わること
はない。一方一枚の板ばねSを用いた場合(B)に示す
ように接触子1は回動してその角度を変え、その先端部
が大きく移動する。
First, the vertical movable plate 42 is moved to adjust the vertical positions of the leaf springs 2 and 3 to determine the contact pressure of the contact 1. That is,
When the tip ends of the leaf springs 2 and 3 are lifted upward by the contact protrusion 46, the leaf springs 2 and 3 are bent, and the contact pressure of the contactor 1 is obtained by the repulsive force. At this time, in the present invention, at least two leaf springs 2 and 3 are used, and both ends thereof are fixed. Therefore, the contactor 1 moves only up and down and hardly moves in the horizontal direction. This is schematically shown in FIG. 2 in comparison with the case where one leaf spring S is used. (A) shows the case of this invention, (B) shows the case where one leaf spring S is used.
In (A), when the leaf springs 2 and 3 are lifted, an S-shape is drawn to balance the elongation of the leaf springs 2 and 3. Therefore, the contact 1 only moves in the vertical direction and the angle does not change. On the other hand, when one leaf spring S is used, as shown in (B), the contactor 1 is rotated to change its angle, and its tip end is largely moved.

以上により接触圧を設定したら、垂直可動基台6を上下
に動かし、接触子1の先端を対象物に接触させる。
After the contact pressure is set as described above, the vertically movable base 6 is moved up and down to bring the tip of the contactor 1 into contact with the object.

接触子1が対象物に接触すると、当接突起46と板ばね
2、3の下側の当板20が僅かに離れ、当接突起46、
当板20間が非導通になり、これが電極48から検出さ
れる。当接突起46と当板20の非導通が検出された
ら、その位置より0.3mm程度追い込みその位置で垂直
可動基台6を固定する。他方の接触子1も同様に調整し
た上、これら2個の接触子1をそれぞれの水平可動基台
5を水平方向に移動し、前後方向の位置調整を行い、そ
の位置で各水平可動基台を固定する。そして対象物を移
動するか、或は基台7を移動させ接触子1を対象物に摺
動接触させて対象物の検査を行う。接触子1の検出信号
は電極22から得られる。
When the contact 1 comes into contact with the object, the contact protrusion 46 and the lower contact plate 20 of the leaf springs 2 and 3 are slightly separated, and the contact protrusion 46,
There is a non-conduction between the contact plates 20, which is detected by the electrode 48. When non-conduction between the contact projection 46 and the contact plate 20 is detected, the vertical movable base 6 is fixed at that position by pushing in about 0.3 mm from that position. The other contact 1 is also adjusted in the same manner, and then these two contacts 1 are moved horizontally in the respective horizontally movable bases 5 to adjust the position in the front-back direction, and at each position, the horizontally movable bases 5 are adjusted. To fix. Then, the object is moved, or the base 7 is moved to bring the contactor 1 into sliding contact with the object to inspect the object. The detection signal of the contact 1 is obtained from the electrode 22.

摺動中、対象物が液晶回路のように凹凸が有るものであ
ってもバウンドを生じることがなく、接触子1の対象物
への接触は維持される。これは板ばね2、3が2枚の板
ばねから構成されるために、非常に軽量であるためであ
る。また第2図の(A)で説明したようにS字型に曲が
ろうとするためにバウンドを抑制するためであると考え
られる。
During sliding, even if the object has irregularities such as a liquid crystal circuit, bouncing does not occur, and the contact of the contactor 1 with the object is maintained. This is because the leaf springs 2 and 3 are composed of two leaf springs, and thus are extremely lightweight. Further, it is considered that this is because the bounce is suppressed because the bending tends to be S-shaped as described in FIG. 2 (A).

以上説明したように上記構造においては、支持体4の上
下位置を調整するだけで、簡単に接触子1の接触圧を調
整することが出来る。しかも、接触子1の角度変化が全
くなく、また対象物に凹凸があってもバウンドすること
なく、安定した接触を得ることが出来る。そのため、液
晶の回路チェック等に適用した場合、安定した検出が可
能であり、しかも液晶面を傷つける等の危険がなく、こ
れらの分野に好適なセンサである。
As described above, in the above structure, the contact pressure of the contactor 1 can be easily adjusted only by adjusting the vertical position of the support body 4. Moreover, there is no change in the angle of the contactor 1, and even if the object has irregularities, it does not bounce and stable contact can be obtained. Therefore, when applied to a liquid crystal circuit check or the like, stable detection is possible, and there is no danger of damaging the liquid crystal surface, and the sensor is suitable for these fields.

〈考案の効果〉 以上説明したように、本考案の接触センサは両端と基部
とを固定された少なくとも2枚の板ばねから成る保持体
と、該保持体の先端部に装着された接触子と、該保持体
を上下方向任意位置で下から支持することにより前記2
枚の板ばねを撓ませて、該板ばねの反発力による接触子
の接触圧力を調整する支持体と、前記保持体と支持体の
非接触を検出する手段とを設けた構成になっているた
め、簡単に接触子の接触圧を調整することが可能であ
り、また接触子の対象物との接触を検出することができ
る。更に接触センサの欠点であったバウンドも抑制でき
る効果がある。
<Effects of the Invention> As described above, the contact sensor of the present invention includes a holding body composed of at least two leaf springs whose both ends and a base are fixed, and a contactor attached to the tip of the holding body. , By supporting the holder from below at an arbitrary position in the vertical direction,
It is configured such that a support body that bends the plate springs to adjust the contact pressure of the contact due to the repulsive force of the plate springs and a means that detects non-contact between the holding body and the support body are provided. Therefore, the contact pressure of the contactor can be easily adjusted, and the contact of the contactor with the object can be detected. Further, there is an effect that the bounce which is a defect of the contact sensor can be suppressed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図は本考案の一実施例の側面図、第2図は動作説明
のための模式図である。 1:接触子,2:板ばね,3:板ばね,4:支持体,
5:水平可動基台,6:垂直可動基台,7:基台,1
0:ホルダ,11:ボルト,20:当板,21:ボル
ト,22:電極,23:延出腕,24:ボルト,40:
支持腕,41:ボルト,42:垂直可動板,43:止め
ネジ,44:長孔,45:水平腕,46:当接突起,4
7:ボルト,48:電極,50:あり溝,51:バネ,
52:ボルト,53:ボルト,60:あり溝,61:バ
ネ,62:ボルト,63:長孔,64:長孔,65:ボ
ルト。
FIG. 1 is a side view of an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a schematic diagram for explaining the operation. 1: contactor, 2: leaf spring, 3: leaf spring, 4: support,
5: Horizontal movable base, 6: Vertical movable base, 7: Base, 1
0: Holder, 11: Bolt, 20: Contact plate, 21: Bolt, 22: Electrode, 23: Extension arm, 24: Bolt, 40:
Support arm, 41: Bolt, 42: Vertical movable plate, 43: Set screw, 44: Long hole, 45: Horizontal arm, 46: Contact protrusion, 4
7: bolt, 48: electrode, 50: dovetail groove, 51: spring,
52: bolt, 53: bolt, 60: dovetail groove, 61: spring, 62: bolt, 63: long hole, 64: long hole, 65: bolt.

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】[Scope of utility model registration request] 【請求項1】両端と基部とを固定された少なくとも2枚
の板ばねから成る保持体と、 該保持体の先端部に装着された接触子と、 該保持体を上下方向任意位置で下から支持することによ
り前記2枚の板ばねを撓ませて、該板ばねの反発力によ
る接触子の接触圧力を調整する支持体と、 前記保持体と支持体の非接触を検出する手段と、 を設けたことを特徴とする接触センサ。
1. A holding body composed of at least two leaf springs whose both ends and a base are fixed to each other, a contactor attached to a tip of the holding body, and the holding body from below at an arbitrary position in the vertical direction. A support body that bends the two leaf springs by supporting them to adjust the contact pressure of the contact due to the repulsive force of the leaf springs; and a means for detecting non-contact between the holding body and the support body. A contact sensor characterized by being provided.
JP1988019035U 1988-02-16 1988-02-16 Contact sensor Expired - Lifetime JPH0619095Y2 (en)

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Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2531043Y2 (en) * 1990-09-28 1997-04-02 アンリツ株式会社 Probe head tip structure
JP2531042Y2 (en) * 1990-09-28 1997-04-02 アンリツ株式会社 Probe head
JP4717144B2 (en) * 2010-01-08 2011-07-06 日置電機株式会社 Contact probe fixture
JP5968158B2 (en) * 2012-08-10 2016-08-10 株式会社日本マイクロニクス Contact probe and probe card
JP6584816B2 (en) * 2015-04-20 2019-10-02 日置電機株式会社 Probe unit and probe unit manufacturing method
JP6534558B2 (en) * 2015-04-20 2019-06-26 日置電機株式会社 Probe unit and probe unit manufacturing method
JP6651359B2 (en) * 2016-01-08 2020-02-19 日置電機株式会社 Probe unit, probing mechanism and substrate inspection device

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6150048A (en) * 1984-08-20 1986-03-12 Nippon Seiko Kk Probe-needle lifting device
JPS62163763U (en) * 1986-04-08 1987-10-17

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