JPH06183772A - 光ファイバ母材の製造装置 - Google Patents
光ファイバ母材の製造装置Info
- Publication number
- JPH06183772A JPH06183772A JP35412692A JP35412692A JPH06183772A JP H06183772 A JPH06183772 A JP H06183772A JP 35412692 A JP35412692 A JP 35412692A JP 35412692 A JP35412692 A JP 35412692A JP H06183772 A JPH06183772 A JP H06183772A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical fiber
- fiber preform
- soot
- measuring device
- load measuring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01486—Means for supporting, rotating or translating the preforms being formed, e.g. lathes
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 スート堆積製造中の光ファイバ母材の重量を
常時検知測定できるものを提供する。 【構成】 スートを付着堆積させる石英棒１Ａを把持す
るチャック２とこれを回転させる回転駆動部３とをコラ
ム５から垂下取り付けるところにロードセルのような荷
重測定装置１０を介在させて常時光ファイバ母材１の成
長過程における重量増大を検知測定する。これにより光
ファイバ母材１の品質管理を製造過程において実施で
き、またスートの剥落現象などの事故も無人的に検知で
き、不良品の光ファイバ母材を知らずに製造し続けるよ
うな事態を防止できる。
常時検知測定できるものを提供する。 【構成】 スートを付着堆積させる石英棒１Ａを把持す
るチャック２とこれを回転させる回転駆動部３とをコラ
ム５から垂下取り付けるところにロードセルのような荷
重測定装置１０を介在させて常時光ファイバ母材１の成
長過程における重量増大を検知測定する。これにより光
ファイバ母材１の品質管理を製造過程において実施で
き、またスートの剥落現象などの事故も無人的に検知で
き、不良品の光ファイバ母材を知らずに製造し続けるよ
うな事態を防止できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明はＶＡＤ法による光ファ
イバ母材の製造装置に関するものである。
イバ母材の製造装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ＶＡＤ法によって光ファイバ母材を製造
する方法は、図２に示されるように石英棒１Ａの一端を
チャック２で把持し、これを回転させながら下部にバー
ナ７によって所定のガラススートを付着堆積させ、この
堆積が所望の大きさに肥大成長するにつれて石英棒１Ａ
を鉛直方向に上方に引き上げてゆくものである。
する方法は、図２に示されるように石英棒１Ａの一端を
チャック２で把持し、これを回転させながら下部にバー
ナ７によって所定のガラススートを付着堆積させ、この
堆積が所望の大きさに肥大成長するにつれて石英棒１Ａ
を鉛直方向に上方に引き上げてゆくものである。
【０００３】この従来方法を実施する製造装置として
は、コラム５に取り付けられる昇降案内レール６に沿っ
て滑動するスライダ８を設け、このスライダ８にモータ
４によってチャック２を回転させる回転駆動部３を取り
付け、スライダ８の昇降運動駆動機構はコラム８に内蔵
される構成が普通である。
は、コラム５に取り付けられる昇降案内レール６に沿っ
て滑動するスライダ８を設け、このスライダ８にモータ
４によってチャック２を回転させる回転駆動部３を取り
付け、スライダ８の昇降運動駆動機構はコラム８に内蔵
される構成が普通である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】光ファイバ母材の製造
過程において、石英棒に付着堆積させるガラススート、
つまり二酸化珪素や二酸化ゲルマニウムのスートが一部
はがれて脱落することがあり、これが大きい重量の大き
い塊の場合はバーナを破壊する事故を引き起こすことも
ある。このような大事故にならないまでも、脱落の時点
で光ファイバ母材の外形に著しい変化が生じ、このまま
バーナによる従前通りのスート付着を続行していては不
良の光ファイバ母材を知らずに製造し続けることになっ
てしまうという欠点があった。
過程において、石英棒に付着堆積させるガラススート、
つまり二酸化珪素や二酸化ゲルマニウムのスートが一部
はがれて脱落することがあり、これが大きい重量の大き
い塊の場合はバーナを破壊する事故を引き起こすことも
ある。このような大事故にならないまでも、脱落の時点
で光ファイバ母材の外形に著しい変化が生じ、このまま
バーナによる従前通りのスート付着を続行していては不
良の光ファイバ母材を知らずに製造し続けることになっ
てしまうという欠点があった。
【０００５】
【課題を解決するための手段】これらの発明は上述の課
題を解決するためになされたものであって、請求項１に
示す発明がとる解決手段はコラムに支持されて鉛直方向
に昇降運動できる回転駆動部に取り付けられたチャック
に把持された石英棒にガラススートを付着堆積させ、こ
のスート堆積の成長肥大につれて前記石英棒を上方に引
き上げるように構成された光ファイバ母材の製造装置に
おいて、前記チャックが前記回転駆動部に荷重測定装置
を介して垂下取り付けられていることを特徴とする光フ
ァイバ母材の製造装置である。
題を解決するためになされたものであって、請求項１に
示す発明がとる解決手段はコラムに支持されて鉛直方向
に昇降運動できる回転駆動部に取り付けられたチャック
に把持された石英棒にガラススートを付着堆積させ、こ
のスート堆積の成長肥大につれて前記石英棒を上方に引
き上げるように構成された光ファイバ母材の製造装置に
おいて、前記チャックが前記回転駆動部に荷重測定装置
を介して垂下取り付けられていることを特徴とする光フ
ァイバ母材の製造装置である。
【０００６】また請求項２に示す発明による解決手段
は、上記の装置において前記荷重測定装置の計測値が前
記ガラススートを発生させるバーナに燃焼ガスを供給す
る供給管の途中に設けられる電磁開閉弁の開閉制御を行
うように構成されてなる光ファイバ母材の製造装置であ
る。
は、上記の装置において前記荷重測定装置の計測値が前
記ガラススートを発生させるバーナに燃焼ガスを供給す
る供給管の途中に設けられる電磁開閉弁の開閉制御を行
うように構成されてなる光ファイバ母材の製造装置であ
る。
【０００７】
【作用】荷重測定装置は光ファイバ母材における一部ス
ートの脱落を直ちに検知する。この検知値によってはバ
ーナへの燃焼ガスの供給停止などの対策が取られる。
ートの脱落を直ちに検知する。この検知値によってはバ
ーナへの燃焼ガスの供給停止などの対策が取られる。
【０００８】
【実施例】図１についてこの発明の一実施例装置を説明
する。図２に示した従来装置と同一の要素については同
一の符号を使用し、詳細な説明は省略する。昇降案内レ
ール６に沿って滑動できるスライダ１１には水平方向に
延びる支持アーム９を取付け、この支持アーム９の下
に、例えばロードセルのような荷重測定装置１０を取り
付ける。
する。図２に示した従来装置と同一の要素については同
一の符号を使用し、詳細な説明は省略する。昇降案内レ
ール６に沿って滑動できるスライダ１１には水平方向に
延びる支持アーム９を取付け、この支持アーム９の下
に、例えばロードセルのような荷重測定装置１０を取り
付ける。
【０００９】しかしてこの荷重測定装置１０の下面であ
る検知面から適宜の部材を介して回転駆動部３を垂下取
り付ける。回転駆動部３は石英棒１Ａを把持するチャッ
ク２を回転させるモータ４を含むチャック２の回転機構
部分である。この場合チャック２の把持中心が荷重測定
装置１０の重量検知部の中央にくるようにセットするの
が好ましい。すなわちこれは、荷重測定装置１０の下方
に取り付けられている回転駆動部３、石英棒１Ａを含む
光ファイバ母材１の全重量を検知測定できる装置であ
る。
る検知面から適宜の部材を介して回転駆動部３を垂下取
り付ける。回転駆動部３は石英棒１Ａを把持するチャッ
ク２を回転させるモータ４を含むチャック２の回転機構
部分である。この場合チャック２の把持中心が荷重測定
装置１０の重量検知部の中央にくるようにセットするの
が好ましい。すなわちこれは、荷重測定装置１０の下方
に取り付けられている回転駆動部３、石英棒１Ａを含む
光ファイバ母材１の全重量を検知測定できる装置であ
る。
【００１０】荷重測定装置１０の零点の設定はスート付
着量ゼロ、つまり光ファイバ母材１の製造開始時に合わ
せる。つまり荷重測定装置１０はこのときからその検知
計測する重量は増加一途の道を辿るわけである。
着量ゼロ、つまり光ファイバ母材１の製造開始時に合わ
せる。つまり荷重測定装置１０はこのときからその検知
計測する重量は増加一途の道を辿るわけである。
【００１１】もし製造中の光ファイバ母材１の表面から
スートの脱落が発生すれば、荷重測定装置１０の示す値
はここではじめて減少を示すことになるから、そのスー
ト脱落現象の生起を直ちに、しかも監視作業者不在の状
態でも自動的に検知することができるわけである。スー
トの脱落などが発生しない定常な作業状態であってもこ
の荷重測定装置１０の測定結果は光ファイバ母材１の品
質管理に応用でき、例えばこの光ファイバ母材１の製造
条件を一定に保つことができる。
スートの脱落が発生すれば、荷重測定装置１０の示す値
はここではじめて減少を示すことになるから、そのスー
ト脱落現象の生起を直ちに、しかも監視作業者不在の状
態でも自動的に検知することができるわけである。スー
トの脱落などが発生しない定常な作業状態であってもこ
の荷重測定装置１０の測定結果は光ファイバ母材１の品
質管理に応用でき、例えばこの光ファイバ母材１の製造
条件を一定に保つことができる。
【００１２】たとえばこの荷重測定装置１０をバーナ７
に燃焼ガスを供給する管路の途中に設けた適宜の電磁開
閉弁１２に接続し、荷重測定装置１０がその測定値の減
少を捉えた時点で直ちにこの電磁開閉弁１２を閉めるよ
うに構成すれば、従来起こりがちだったスート脱落を知
らずに従前通りのスート付着を続行するような不都合が
自動的に防止できることが分かる。
に燃焼ガスを供給する管路の途中に設けた適宜の電磁開
閉弁１２に接続し、荷重測定装置１０がその測定値の減
少を捉えた時点で直ちにこの電磁開閉弁１２を閉めるよ
うに構成すれば、従来起こりがちだったスート脱落を知
らずに従前通りのスート付着を続行するような不都合が
自動的に防止できることが分かる。
【００１３】
【発明の効果】この発明によれば、荷重測定装置によっ
て光ファイバ母材の堆積成長の過程を数値的に把握でき
るから光ファイバ母材の品質管理に極めて有用である。
また光ファイバ母材における一部スートの脱落を直ちに
検知できるから、この検知値によってはバーナへの燃焼
ガスの供給停止などの対策を自動的に取ることができ、
不良品の光ファイバ母材を製造し続けるような事態を防
止できる効果がある。
て光ファイバ母材の堆積成長の過程を数値的に把握でき
るから光ファイバ母材の品質管理に極めて有用である。
また光ファイバ母材における一部スートの脱落を直ちに
検知できるから、この検知値によってはバーナへの燃焼
ガスの供給停止などの対策を自動的に取ることができ、
不良品の光ファイバ母材を製造し続けるような事態を防
止できる効果がある。
【図１】この発明の一実施例を示す側断面図である。
【図２】対応する従来装置を示す側断面図である。
１ 光ファイバ母材 １Ａ 石英棒 ２ チャック ３ 回転駆動部 ４ モータ ５ コラム ６ 昇降案内レール ７ バーナ ８，１１ スライダ ９ 支持アーム １０ 荷重測定装置
Claims (2)
- 【請求項１】 コラム（５）に支持されて鉛直方向に昇
降運動できる回転駆動部（３）に取り付けられたチャッ
ク（２）に把持された石英棒（１Ａ）にガラススートを
付着堆積させ、このスート堆積の成長肥大につれて前記
石英棒（１Ａ）を上方に引き上げるように構成された光
ファイバ母材の製造装置において、前記チャック（２）
が前記回転駆動部（３）に荷重測定装置（１０）を介し
て垂下取り付けられていることを特徴とする光ファイバ
母材の製造装置。 - 【請求項２】 前記荷重測定装置（１０）の計測値が前
記ガラススートを発生させるバーナ（７）に燃焼ガスを
供給する管路の途中に設けられる電磁開閉弁（１２）の
開閉制御を行うように構成されてなる請求項１記載の光
ファイバ母材の製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35412692A JPH06183772A (ja) | 1992-12-15 | 1992-12-15 | 光ファイバ母材の製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35412692A JPH06183772A (ja) | 1992-12-15 | 1992-12-15 | 光ファイバ母材の製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06183772A true JPH06183772A (ja) | 1994-07-05 |
Family
ID=18435472
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35412692A Pending JPH06183772A (ja) | 1992-12-15 | 1992-12-15 | 光ファイバ母材の製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06183772A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102951839A (zh) * | 2011-08-12 | 2013-03-06 | 住友电气工业株式会社 | 玻璃微粒堆叠体的制造装置以及制造方法 |
-
1992
- 1992-12-15 JP JP35412692A patent/JPH06183772A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102951839A (zh) * | 2011-08-12 | 2013-03-06 | 住友电气工业株式会社 | 玻璃微粒堆叠体的制造装置以及制造方法 |
| CN102951839B (zh) * | 2011-08-12 | 2016-09-07 | 住友电气工业株式会社 | 玻璃微粒堆叠体的制造装置以及制造方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6113686A (en) | Single crystal growing method and apparatus | |
| TW567253B (en) | Crystal pulling method and apparatus | |
| US5080296A (en) | Low tension wire transfer system | |
| EP0940484A1 (en) | Single crystal pulling apparatus | |
| EP0400995B1 (en) | Single crystal pulling apparatus and method | |
| EP0373899B1 (en) | Monocrystal ingot pulling apparatus | |
| JPH06183772A (ja) | 光ファイバ母材の製造装置 | |
| JPH07172981A (ja) | 半導体単結晶の製造装置および製造方法 | |
| US5725660A (en) | Semiconductor single crystal growing apparatus | |
| JP3964002B2 (ja) | 単結晶保持装置及び単結晶保持方法 | |
| JPH10120489A (ja) | 単結晶の引上げ方法 | |
| US5624474A (en) | Optical fiber preform manufacturing apparatus which measures a vertical load with three cells | |
| US5328713A (en) | Precise regulation of fluidized bed weight in pyrolytically coating substrates | |
| TW515855B (en) | Single crystal pull-up apparatus and single crystal pull-up method | |
| JP2000063142A (ja) | 光ファイバ線引き炉及び光ファイバ線引き方法 | |
| EP0749354B1 (en) | Regulation of pyrocarbon coating | |
| JPH07138040A (ja) | 光ファイバ用母材の製造装置 | |
| JPH08501126A (ja) | 流動床における熱分解堆積物 | |
| JPH0747520B2 (ja) | 単結晶引き上げ装置 | |
| US20050087126A1 (en) | Non-contact orbit control system for Czochralski crystal growth | |
| JP2789064B2 (ja) | 単結晶の引上げ方法及び引上げ装置 | |
| JPS63285131A (ja) | 光ファイバ母材の製造装置 | |
| JP2003212582A (ja) | 光ファイバ母材の加熱方法及びこれに用いられる加熱炉 | |
| KR100204110B1 (ko) | 유동층 내열 분해 부착 | |
| JPH11106281A (ja) | 単結晶引上げ装置 |