JPH0618305A - マスフローコントローラのセンサ装置 - Google Patents
マスフローコントローラのセンサ装置Info
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- JPH0618305A JPH0618305A JP5083002A JP8300293A JPH0618305A JP H0618305 A JPH0618305 A JP H0618305A JP 5083002 A JP5083002 A JP 5083002A JP 8300293 A JP8300293 A JP 8300293A JP H0618305 A JPH0618305 A JP H0618305A
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- Japan
- Prior art keywords
- sensor device
- mass flow
- flow controller
- sensor
- power
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-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K5/00—Plug valves; Taps or cocks comprising only cut-off apparatus having at least one of the sealing faces shaped as a more or less complete surface of a solid of revolution, the opening and closing movement being predominantly rotary
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D7/00—Control of flow
- G05D7/06—Control of flow characterised by the use of electric means
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
- G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
- G01F1/6847—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow where sensing or heating elements are not disturbing the fluid flow, e.g. elements mounted outside the flow duct
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- Fluid Mechanics (AREA)
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- Mechanical Engineering (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 周囲の温度変化に関係なく、センサ装置の内
部温度を恒常、一定に維持させ、流入するガス量を正確
に検知し得るようにし、高精度の半導体製造に適用され
るようにしたマスフローコントローラのセンサ装置を提
供する。 【構成】 センサ装置の内部温度は臨界値以下に降下す
るとサーモスタット２４によりコネクタ２３の電源がオ
フされ、センサ装置の内部温度は臨界値以上に上昇する
とサーモスタット２４によりコネクタ２３の電源がオン
される。上記のように冷却板２１を制御することによ
り、センサ装置の内部温度を恒常、一定に維持すること
ができる。
部温度を恒常、一定に維持させ、流入するガス量を正確
に検知し得るようにし、高精度の半導体製造に適用され
るようにしたマスフローコントローラのセンサ装置を提
供する。 【構成】 センサ装置の内部温度は臨界値以下に降下す
るとサーモスタット２４によりコネクタ２３の電源がオ
フされ、センサ装置の内部温度は臨界値以上に上昇する
とサーモスタット２４によりコネクタ２３の電源がオン
される。上記のように冷却板２１を制御することによ
り、センサ装置の内部温度を恒常、一定に維持すること
ができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ガスの流量を制御する
マスフローコントローラ（Ｍａｓｓ Ｆｌｏｗ Ｃｏｎ
ｔｒｏｌｌｅｒ：以下、ＭＦＣと略す）のセンサ装置に
関するもので、くわしくは、周囲の温度変化に関わりな
く正確にガスの流量を検知し得るようにしたマスフロー
コントローラのセンサ装置に関するものである。
マスフローコントローラ（Ｍａｓｓ Ｆｌｏｗ Ｃｏｎ
ｔｒｏｌｌｅｒ：以下、ＭＦＣと略す）のセンサ装置に
関するもので、くわしくは、周囲の温度変化に関わりな
く正確にガスの流量を検知し得るようにしたマスフロー
コントローラのセンサ装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】以下、従来のマスフローコントローラの
センサ装置について図面を参照しながら説明する。図２
は従来のマスフローコントローラの概略構成図である。
図３は従来のマスフローコントローラのセンサ装置の概
略ブロック図である。
センサ装置について図面を参照しながら説明する。図２
は従来のマスフローコントローラの概略構成図である。
図３は従来のマスフローコントローラのセンサ装置の概
略ブロック図である。
【０００３】従来、ガスの流量を調節するマスフローコ
ントローラにおいては、図２に示すように、両側に入口
連結部２と出口連結部３とが各々連結されたメインボデ
ィ１と、メインボディ１の入口連結部２の側に設置さ
れ、メインボディ１に流入されるガスの流量を感知する
センサ装置４と、メインボディ１の出口連結部３の側に
設置され、ガスの流量を調節するバルブ５と、出力端子
のコネクタ７とが具備され、コネクタ７によりセンサ装
置４に電源を供給する基板６と、を備えていた。かつ、
センサ装置４においては、図３に示すように、外面に保
温板１１が接着されたケース１２が形成され、両側の端
部に入口１３ａと出口１３ｂとが各々形成された折曲形
状のセンサ管１３がケース１２の内側に挿設され、セン
サ管１３の入口１３ａおよび出口１３ｂがメインボディ
１に各々接合され、入口１３ａおよび出口１３ｂの部位
がケース１２に各々Ｏリング１６、１６′により固定さ
れ、センサ管１３の上部の外周面の両側には各々アップ
ストリームコイル１４およびダウンストリームコイル１
５が巻設されて、アップストリームコイル１４およびダ
ウンストリームコイル１５がそのセンサ管１３内に流入
されるガスの熱量を感知するようになっていた。
ントローラにおいては、図２に示すように、両側に入口
連結部２と出口連結部３とが各々連結されたメインボデ
ィ１と、メインボディ１の入口連結部２の側に設置さ
れ、メインボディ１に流入されるガスの流量を感知する
センサ装置４と、メインボディ１の出口連結部３の側に
設置され、ガスの流量を調節するバルブ５と、出力端子
のコネクタ７とが具備され、コネクタ７によりセンサ装
置４に電源を供給する基板６と、を備えていた。かつ、
センサ装置４においては、図３に示すように、外面に保
温板１１が接着されたケース１２が形成され、両側の端
部に入口１３ａと出口１３ｂとが各々形成された折曲形
状のセンサ管１３がケース１２の内側に挿設され、セン
サ管１３の入口１３ａおよび出口１３ｂがメインボディ
１に各々接合され、入口１３ａおよび出口１３ｂの部位
がケース１２に各々Ｏリング１６、１６′により固定さ
れ、センサ管１３の上部の外周面の両側には各々アップ
ストリームコイル１４およびダウンストリームコイル１
５が巻設されて、アップストリームコイル１４およびダ
ウンストリームコイル１５がそのセンサ管１３内に流入
されるガスの熱量を感知するようになっていた。
【０００４】上記のように構成された従来のＭＦＣのセ
ンサ装置４の作用を説明すると、以下のようになる。ま
ず、ＭＦＣのメインボディ１の入口連結部２からガスが
流入すると、前記流入ガス中約５ＣＣ程度のガスがセン
タ管１３の入口１３ａを通って流入され、アップストリ
ームコイル１４側からダウンストリームコイル１５側に
流れる。そして、センサ管１３中を流れるガスの速度は
メインボディ１に流れるガスの流量に比例し、ガスの流
量が増えるとガスの速度は速くなり、ガスの流量が減る
とガスの速度は遅くなる。また、すべてのガスはガスの
流量および種類に従い異なる比熱（Ｓｐｅｃｉｆｉｃ
Ｈｅａｔ）を有し、一定なガスの熱量はガスの速度に比
例する。そこで、センサ装置４のセンサ管１３に巻かれ
たアップストリームコイル１４における熱量Ｔ1 とダウ
ンストリームコイル１５の熱量Ｔ 2 との差（Ｔ1 −Ｔ2
＝ΔＴ）は、アップストリームコイル１４およびダウン
ストリームコイル１５を通過するガスの速度の差に比例
する。したがって、アップストリームコイル１４および
ダウンストリームコイル１５における微小な熱量差（Δ
Ｔ）をこれらに対応する電圧値に変換させ、この電圧値
からガスの速度差を計算して、単位時間あたりのメイン
ボディ１に流れるガスの流量を計算していた。
ンサ装置４の作用を説明すると、以下のようになる。ま
ず、ＭＦＣのメインボディ１の入口連結部２からガスが
流入すると、前記流入ガス中約５ＣＣ程度のガスがセン
タ管１３の入口１３ａを通って流入され、アップストリ
ームコイル１４側からダウンストリームコイル１５側に
流れる。そして、センサ管１３中を流れるガスの速度は
メインボディ１に流れるガスの流量に比例し、ガスの流
量が増えるとガスの速度は速くなり、ガスの流量が減る
とガスの速度は遅くなる。また、すべてのガスはガスの
流量および種類に従い異なる比熱（Ｓｐｅｃｉｆｉｃ
Ｈｅａｔ）を有し、一定なガスの熱量はガスの速度に比
例する。そこで、センサ装置４のセンサ管１３に巻かれ
たアップストリームコイル１４における熱量Ｔ1 とダウ
ンストリームコイル１５の熱量Ｔ 2 との差（Ｔ1 −Ｔ2
＝ΔＴ）は、アップストリームコイル１４およびダウン
ストリームコイル１５を通過するガスの速度の差に比例
する。したがって、アップストリームコイル１４および
ダウンストリームコイル１５における微小な熱量差（Δ
Ｔ）をこれらに対応する電圧値に変換させ、この電圧値
からガスの速度差を計算して、単位時間あたりのメイン
ボディ１に流れるガスの流量を計算していた。
【０００５】しかしながら、センサ装置４においては、
周囲の温度または圧力に敏感に影響され、通常のＭＦＣ
は０℃、７６０Ｔｏｒｒの条件下で動作するようになっ
ているが、実際にはこれらの設定条件とは異なった温度
および圧力の条件下で使用されるため、センサ装置４の
正確性は非常に低下され、約５％〜２５％の誤差が生じ
ていた。そこで、周囲の温度からセンサ装置を遮断させ
るため、ケース１２の周辺に保温板を重ねて接着して使
用していた。
周囲の温度または圧力に敏感に影響され、通常のＭＦＣ
は０℃、７６０Ｔｏｒｒの条件下で動作するようになっ
ているが、実際にはこれらの設定条件とは異なった温度
および圧力の条件下で使用されるため、センサ装置４の
正確性は非常に低下され、約５％〜２５％の誤差が生じ
ていた。そこで、周囲の温度からセンサ装置を遮断させ
るため、ケース１２の周辺に保温板を重ねて接着して使
用していた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上記のように構成され
た従来のＭＦＣのセンサ装置においては、センサ装置が
周囲の温度に敏感に影響され、センサ装置を周囲の温度
から遮断される保温板を接地してもセンサ装置の誤差は
やはり発生するという問題があった。また、小型のセン
サ装置においては、保温板の設置が容易でなく、煩雑で
あるという問題もあった。
た従来のＭＦＣのセンサ装置においては、センサ装置が
周囲の温度に敏感に影響され、センサ装置を周囲の温度
から遮断される保温板を接地してもセンサ装置の誤差は
やはり発生するという問題があった。また、小型のセン
サ装置においては、保温板の設置が容易でなく、煩雑で
あるという問題もあった。
【０００７】本発明は上記課題を解決するためのもので
あって、周囲の温度変化に関係なく、センサ装置内部の
温度を恒常、一定に維持させ、流入されるガス量を正確
に検知し得るようにして高精度の半導体製造装置に適用
されるようにしたマスフローコントローラのセンサ装置
を提供することを目的とする。
あって、周囲の温度変化に関係なく、センサ装置内部の
温度を恒常、一定に維持させ、流入されるガス量を正確
に検知し得るようにして高精度の半導体製造装置に適用
されるようにしたマスフローコントローラのセンサ装置
を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明のマスフローコン
トローラのセンサ装置は、外面に保温板が接着されたケ
ースと、ケースの内側に設置され、両側の端部がマスコ
ントローラのメインボディに各々接合されたセンサ管
と、センサ管の外周面の両側に各々巻設され、センサ管
の内側に流入されるガスの熱量を感知するアップストリ
ームコイルおよびダウンストリームコイルと、アップス
トリームコイルおよびダウンストリームコイルの感知熱
量差を電圧に変換させる熱電変換部と、熱電変換部によ
り変換された電圧値を増幅させる増幅部と、増幅部によ
り増幅された電圧値を線形化されるリニアライザと、電
源コネクタと、を具備したマスフローコントローラのセ
ンサ装置であって、センサ装置の内部温度を恒常一定に
維持させる冷却手段と、センサ装置の内部温度が臨界値
からはずれるとき、冷却手段の電源をオンまたはオフさ
せるサーモスタットとを備えている。
トローラのセンサ装置は、外面に保温板が接着されたケ
ースと、ケースの内側に設置され、両側の端部がマスコ
ントローラのメインボディに各々接合されたセンサ管
と、センサ管の外周面の両側に各々巻設され、センサ管
の内側に流入されるガスの熱量を感知するアップストリ
ームコイルおよびダウンストリームコイルと、アップス
トリームコイルおよびダウンストリームコイルの感知熱
量差を電圧に変換させる熱電変換部と、熱電変換部によ
り変換された電圧値を増幅させる増幅部と、増幅部によ
り増幅された電圧値を線形化されるリニアライザと、電
源コネクタと、を具備したマスフローコントローラのセ
ンサ装置であって、センサ装置の内部温度を恒常一定に
維持させる冷却手段と、センサ装置の内部温度が臨界値
からはずれるとき、冷却手段の電源をオンまたはオフさ
せるサーモスタットとを備えている。
【０００９】
【作用】本発明のマスフローコントローラのセンサ装置
においては、マスフローコントローラの各部に電源が供
給されると、コネクタから−１５ＶＤＣの電源が熱電線
およびサーモスタットを通って冷却手段に供給される。
次いで、冷却手段はアンチモンおよびビスマスの異なる
ワイヤの連結によって周辺の熱を吸入し、センサ装置内
部の湿度を恒常、１０℃程度の一定温度に維持させる
が、この場合、センサ装置の内部温度が臨界値以下に降
下するとサーモスタットによりコネクタの電源がオフさ
れ、センサ装置の内部温度が臨界値以上に上昇するとサ
ーモスタットによりコネクタの電源がオンされる。
においては、マスフローコントローラの各部に電源が供
給されると、コネクタから−１５ＶＤＣの電源が熱電線
およびサーモスタットを通って冷却手段に供給される。
次いで、冷却手段はアンチモンおよびビスマスの異なる
ワイヤの連結によって周辺の熱を吸入し、センサ装置内
部の湿度を恒常、１０℃程度の一定温度に維持させる
が、この場合、センサ装置の内部温度が臨界値以下に降
下するとサーモスタットによりコネクタの電源がオフさ
れ、センサ装置の内部温度が臨界値以上に上昇するとサ
ーモスタットによりコネクタの電源がオンされる。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の一実施例のマスフローコント
ローラのセンサ装置について図面を参照しながら説明す
る。図１は本発明の一実施例のマスフローコントローラ
のセンサ装置の構成を示すブロック図である。
ローラのセンサ装置について図面を参照しながら説明す
る。図１は本発明の一実施例のマスフローコントローラ
のセンサ装置の構成を示すブロック図である。
【００１１】図１に示すように、本発明に係るマスフロ
ーコントローラのセンサ装置においては、外面に保温板
１１が接着されたケース１２と、ケース１２の内側に接
地され、入口１３ａおよび出口１３ｂを有して折曲形成
されたセンサ管１３と、センサ管１３の上部の外周の両
側に各々巻設され、センサ管１３に流入されるガスの熱
量を感知するアップストリームコイル１４およびダウン
ストリームコイル１５と、アップストリームコイル１４
およびダウンストリームコイル１５の感知熱量差を電圧
に変換させる熱電変換部１９と、熱電変換部１９により
変換された電圧を増幅させる増幅部１７と、増幅部１７
により増幅された電圧を０〜５ＶＤＣ間の値に線形化さ
せるリニアライザ（Ｌｉｎｅａｒｉｚｅｒ）１８と、冷
却手段としてケース１２の内側の所定部位に設置され、
センサ装置の温度を一定に維持させる冷却板２１と、ケ
ース１２の外側に設置され、電源を供給するコネクタ２
３と、冷却板２１およびコネクタ２３の間に連接された
ペルチェ熱電線（ｐｅｌｔｉｅｒ ｔｈｅｒｍｏｅｌｅ
ｃｔｒｉｃ ｗｉｒｅ）２２と、ケース１２の内側の所
定部位に設置され、センサ装置の温度が臨界値からはず
れるとき、冷却板２１に印加する電源をオンまたはオフ
させてセンサ装置の内部温度を一定温度に維持させるサ
ーモスタット２４と、により構成されている。かつ、セ
ンサ管１３においては、入口１３ａおよび出口１３ｂが
各々マスフローコントローラのメインボディに接合さ
れ、入口１３ａおよび出口１３ｂの部位がケース１２に
各々Ｏリング１６、１６′により固定されている。ま
た、ペルチェ熱電線２２においては、電源コネクタ２３
の−１５ＶＤＣ電源端子２３ａに連結されたアンチモン
ワイヤ２２ａと、電源コネクタ２３の接地端子２３ｂに
連結されたビスマスワイヤ２２ｂと、を備えている。さ
らに、サーモスタット２４は、アンチモンワイヤ２２ａ
と連結線２５により連結されている。図３の中で、従来
の装置と同様な部品には同一符号を用いて説明した。
ーコントローラのセンサ装置においては、外面に保温板
１１が接着されたケース１２と、ケース１２の内側に接
地され、入口１３ａおよび出口１３ｂを有して折曲形成
されたセンサ管１３と、センサ管１３の上部の外周の両
側に各々巻設され、センサ管１３に流入されるガスの熱
量を感知するアップストリームコイル１４およびダウン
ストリームコイル１５と、アップストリームコイル１４
およびダウンストリームコイル１５の感知熱量差を電圧
に変換させる熱電変換部１９と、熱電変換部１９により
変換された電圧を増幅させる増幅部１７と、増幅部１７
により増幅された電圧を０〜５ＶＤＣ間の値に線形化さ
せるリニアライザ（Ｌｉｎｅａｒｉｚｅｒ）１８と、冷
却手段としてケース１２の内側の所定部位に設置され、
センサ装置の温度を一定に維持させる冷却板２１と、ケ
ース１２の外側に設置され、電源を供給するコネクタ２
３と、冷却板２１およびコネクタ２３の間に連接された
ペルチェ熱電線（ｐｅｌｔｉｅｒ ｔｈｅｒｍｏｅｌｅ
ｃｔｒｉｃ ｗｉｒｅ）２２と、ケース１２の内側の所
定部位に設置され、センサ装置の温度が臨界値からはず
れるとき、冷却板２１に印加する電源をオンまたはオフ
させてセンサ装置の内部温度を一定温度に維持させるサ
ーモスタット２４と、により構成されている。かつ、セ
ンサ管１３においては、入口１３ａおよび出口１３ｂが
各々マスフローコントローラのメインボディに接合さ
れ、入口１３ａおよび出口１３ｂの部位がケース１２に
各々Ｏリング１６、１６′により固定されている。ま
た、ペルチェ熱電線２２においては、電源コネクタ２３
の−１５ＶＤＣ電源端子２３ａに連結されたアンチモン
ワイヤ２２ａと、電源コネクタ２３の接地端子２３ｂに
連結されたビスマスワイヤ２２ｂと、を備えている。さ
らに、サーモスタット２４は、アンチモンワイヤ２２ａ
と連結線２５により連結されている。図３の中で、従来
の装置と同様な部品には同一符号を用いて説明した。
【００１２】上記のように構成された本発明に係るマス
フローコントローラのセンサ装置の作用を説明すると次
のようになる。まず、マスフローコントローラの各部お
よびコネクタ２３に電源が供給されると、コネクタ２３
から−１５ＶＤＣの電源が出力され、ペルチェ熱電線２
２およびサーモスタット２４を通って冷却板２１に供給
される。次いで、冷却板２１は電源が供給されたとき、
互いに異なるアンチモンワイヤ２２ａおよびビスマスワ
イヤ２２ｂの連結により周辺の熱を吸収し、センサ装置
の内部温度を恒常、約１０℃程度に維持させるが、この
場合、冷却板２１が継続して熱を吸収し、センサ装置の
内部温度が臨界値以下に降下すると、サーモスタット２
４の作用により、コネクタ２３からの電源がオフされ
る。その後、センサ装置の内部温度が臨界値以上に上昇
すると、サーモスタット２４の作用により、コネクタ２
３からの電源がオンされる。したがって、センサ装置は
周囲の温度変化に関係なく、センサ管１３に流入される
ガスの熱量差を正確に感知し、感知した熱量差はマスフ
ローコントローラのメインボディに流入する単位時間あ
たりのガス流量に換算され、この換算値に基づいて、Ｍ
ＦＣのメインボディに流入されるガスの流量が制御され
る。
フローコントローラのセンサ装置の作用を説明すると次
のようになる。まず、マスフローコントローラの各部お
よびコネクタ２３に電源が供給されると、コネクタ２３
から−１５ＶＤＣの電源が出力され、ペルチェ熱電線２
２およびサーモスタット２４を通って冷却板２１に供給
される。次いで、冷却板２１は電源が供給されたとき、
互いに異なるアンチモンワイヤ２２ａおよびビスマスワ
イヤ２２ｂの連結により周辺の熱を吸収し、センサ装置
の内部温度を恒常、約１０℃程度に維持させるが、この
場合、冷却板２１が継続して熱を吸収し、センサ装置の
内部温度が臨界値以下に降下すると、サーモスタット２
４の作用により、コネクタ２３からの電源がオフされ
る。その後、センサ装置の内部温度が臨界値以上に上昇
すると、サーモスタット２４の作用により、コネクタ２
３からの電源がオンされる。したがって、センサ装置は
周囲の温度変化に関係なく、センサ管１３に流入される
ガスの熱量差を正確に感知し、感知した熱量差はマスフ
ローコントローラのメインボディに流入する単位時間あ
たりのガス流量に換算され、この換算値に基づいて、Ｍ
ＦＣのメインボディに流入されるガスの流量が制御され
る。
【００１３】
【発明の効果】以上に説明したように、本発明に係るマ
スフローコントローラのセンサ装置においては、センサ
装置の内部温度を恒常、一定に維持させる冷却手段とサ
ーモスタットとを備えているため、センサ装置の周囲の
温度変化に関係なく、マスコントローラのメインボディ
内に流入されるガスの流量を正確に感知するようになっ
て、高精度の半導体製造に適用し得るという効果があ
る。
スフローコントローラのセンサ装置においては、センサ
装置の内部温度を恒常、一定に維持させる冷却手段とサ
ーモスタットとを備えているため、センサ装置の周囲の
温度変化に関係なく、マスコントローラのメインボディ
内に流入されるガスの流量を正確に感知するようになっ
て、高精度の半導体製造に適用し得るという効果があ
る。
【図１】本発明に係るマスフローコントローラのセンサ
装置のブロック図である。
装置のブロック図である。
【図２】従来のマスフローコントローラの概略構成図で
ある。
ある。
【図３】従来のマスフローコントローラのセンサ装置の
概略ブロック図である。
概略ブロック図である。
１１ 保護板 １２ ケース １３ センサ管 １４ アップストリームコイル １５ ダウンストリームコイル １７ 増幅部 １８ リニアライザ １９ 熱電変換部 ２１ 冷却板 ２２ 熱電線 ２２ａ アンチモンワイヤ ２２ｂ ビスマスワイヤ ２３ コネクタ ２３ａ 電源端子 ２３ｂ 接地端子 ２４ サーモスタット ２５ 連結線
Claims (3)
- 【請求項１】 外面に保温板が接着されたケースと、前
記ケースの内側に設置され、両側の端部がマスコントロ
ーラのメインボディに各々接合されたセンサ管と、前記
センサ管の外周面の両側に各々巻設され、前記センサ管
の内側に流入されるガスの熱量を感知するアップストリ
ームコイルおよびダウンストリームコイルと、前記アッ
プストリームコイルおよびダウンストリームコイルの感
知熱量差を電圧に変換させる熱電変換部と、前記熱電変
換部により変換された電圧値を増幅させる増幅部と、前
記増幅部により増幅された電圧値を線形化させるリニア
ライザと、電源コネクタと、を具備したマスフローコン
トローラのセンサ装置であって、 前記センサ装置の内部温度を恒常一定に維持させる冷却
手段と、 前記センサ装置の内部温度が臨界値からはずれるとき、
前記冷却手段の電源をオンまたはオフさせるサーモスタ
ットと、 を備えたマスフローコントローラのセンサ装置。 - 【請求項２】 前記冷却手段は、前記ケースの内側の所
定部位に設置された冷却板と、前記冷却板と前記電源コ
ネクタとの間に連結されたペルチェ熱電線と、を備えた
請求項１記載のマスフローコントローラのセンサ装置。 - 【請求項３】 前記ペルチェ熱電線は、前記電源コレク
タの電源端子に連結されたアンチモンワイヤと、前記電
源コネクタの接地端子に連結されたビスマスワイヤと、
からなる請求項２記載のマスフローコントローラのセン
サ装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019920006299A KR940011791B1 (ko) | 1992-04-15 | 1992-04-15 | 온도안정화 매스 플로우 컨트롤러 센서 |
| KR1992P6299 | 1992-04-15 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0618305A true JPH0618305A (ja) | 1994-01-25 |
Family
ID=19331825
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5083002A Pending JPH0618305A (ja) | 1992-04-15 | 1993-04-09 | マスフローコントローラのセンサ装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5373737A (ja) |
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