JPH06177570A - 電子部品を内蔵したモジュールを支持しかつ冷却するラックおよびそのラックに挿入するためのモジュール - Google Patents

電子部品を内蔵したモジュールを支持しかつ冷却するラックおよびそのラックに挿入するためのモジュール

Info

Publication number
JPH06177570A
JPH06177570A JP5180218A JP18021893A JPH06177570A JP H06177570 A JPH06177570 A JP H06177570A JP 5180218 A JP5180218 A JP 5180218A JP 18021893 A JP18021893 A JP 18021893A JP H06177570 A JPH06177570 A JP H06177570A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
module
rack
groove
wall portion
cooling
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP5180218A
Other languages
English (en)
Inventor
Stephen J R Smith
ステイーブン・ジエイ.アール.スミス
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
BAE Systems PLC
Original Assignee
British Aerospace PLC
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by British Aerospace PLC filed Critical British Aerospace PLC
Publication of JPH06177570A publication Critical patent/JPH06177570A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K7/00Constructional details common to different types of electric apparatus
    • H05K7/20Modifications to facilitate cooling, ventilating, or heating
    • H05K7/20536Modifications to facilitate cooling, ventilating, or heating for racks or cabinets of standardised dimensions, e.g. electronic racks for aircraft or telecommunication equipment
    • H05K7/20627Liquid coolant without phase change
    • H05K7/20636Liquid coolant without phase change within sub-racks for removing heat from electronic boards

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Aviation & Aerospace Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Cooling Or The Like Of Electrical Apparatus (AREA)
  • Mounting Of Printed Circuit Boards And The Like (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 モジュールが挿入されたときモジュールを冷
却する一層有効な手段を備えたラックを提供すること 【構成】 電子部品を内蔵するモジュールを支持しかつ
冷却するラックが記載される。ラックは前記モジュール
をうけ入れる複数の溝を形成されている。溝(10)は壁部
分(14)の内面によって画定され、モジュールは溝に設置
されたとき壁部分に熱的に組合わされる。冷却流体は溝
を形成する壁部分の外面の周囲に分配される。熱は電子
部品からモジュールと溝の壁の間の熱的結合によって引
出される。有利なのは、壁部分が各モジュールをほぼ包
囲して最大の冷却容量を生ずることである。さらに、モ
ジュールおよび/または溝の壁は可撓性で、それらは撓
むことができ、そこでモジュールが溝に嵌合されたと
き、モジュールと溝の壁の物理的接触が可能であるが、
モジュールを溝に出し入れするとき接触は起こらない。
圧縮性のある、モジュールと溝の壁の間を位置決めする
熱伝導性のシム(48)も開示されている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】本発明は電子部品を内蔵したモジュールを
支持しかつ冷却するラック、および該ラックに支持され
るモジュールに関する。航空電子技術のような電子技術
の多くの分野において、電子装置を内蔵した種々の別々
のモジュールを一緒に接続するのを容易にするためラッ
クを使用することは普通のことである。一組の離れたコ
ネクタが前記各モジュール上の対応する形状のコネクタ
に接続するためラック上に設置される。そこで、多くの
数および型のモジュールを特殊な装置全体の作用の必要
に応じて出し入れすることができる。この技術に通じた
人々に周知のように、すべての電子部品は程度の差こそ
あるが作用中発熱する。ある用途(たとえば電子計算
機)において周囲の空気だけで十分に冷却できるか、そ
うでなければ送風機が部品の周りから暖かい空気を排除
し新鮮な、冷たい空気を吸い込んで、たとえば多くのパ
ソコンに対して、所望の冷却作用を達成することができ
る。除熱の問題は、たとえばプリント回路板に設置する
とき、着脱式電子モジュールの分野における普通の慣行
のように、部品をケーシングに内蔵し、そこに内蔵され
た電子部品に対する損傷を減少し、それらの輸送および
貯蔵を容易にすることによって複雑化する。
【0002】従来のいくつかの提案は、ある程度の成功
および失敗とともに、ラックに接続されたときモジュー
ルの冷却を可能にした。そのような提案の一つは、上下
に中空面を備え、そこから冷却流体が供給されるラック
を使用することである。各面は一組の凹所を形成され、
そこに上面の場合立方形の電子モジュールの上端部分
が、また下面の場合モジュールのもっとも下の部分が挿
入される。モジュールの形状、配置および凹所が浅いこ
とのため、上、下面と直接接触するモジュールの面部分
の割合は比較的小さく、除熱量は少ない。別の提案はモ
ジュールに冷却流体が流通する溝を形成することであ
る。この装置の場合、各モジュールは流体入口および出
口を備え、それらは上記提案に示された型のラックの凹
所の適当な位置に形成された流体出口および入口とそれ
ぞれ整合され、それにより冷却流体がモジュールを通過
することができる。後の提案はよく除熱を達成したが、
実施するのに高価かつ複雑であった。その訳は各モジュ
ールが自体の流体通路を必要とし、さらに制御装置を冷
却剤がそのときモジュールが設置されていないラックの
凹所に供給されるのを防止するため冷却剤分配のため設
けなければならないからである。本発明の目的はラック
などに挿入されたときモジュールを冷却する一層有効な
装置を提供することにある。
【0003】本発明の特徴によれば、電子部品を内蔵し
たモジュールを支持しかつ冷却するラックにおいて、ラ
ックは前記モジュールをうけ入れるための溝を有し、溝
は壁部分の内面によって画定され、モジュールは該面部
分に対して前記溝に設置されるとき熱的に組合わされ、
冷却流体が前記壁の外面の周囲に分配されることを特徴
とする電子部品を内蔵したモジュールを支持しかつ冷却
するラックが提供される。前記壁は前記モジュールをほ
ぼ取囲むのが好ましい。そこで一層多くの熱がモジュー
ルから除去される。前記壁は可撓性で、前記溝に設置さ
れるとき前記モジュールに対して移動しうるのが有利で
ある。そこで壁部分はモジュールと接触して除熱を改善
するが、しかもモジュールは容易に取出すことができ
る。壁部分はその上に作用する冷却流体の圧力に応じて
移動する。また壁部分はモジュールが溝に設置されると
きモジュールに対して押圧するよう弾性変形する。
【0004】必要に応じて、ラックは前記壁部分と前記
モジュールの間に挿入される圧縮可能な、伝熱性シムを
さらに備える。これらのシムはモジュールと同時にまた
は引続いてラックに挿入され、モジュールと溝の間の間
隙を橋絡することによって除熱を可能にする。本発明の
別の特徴によれば、上記ラックに挿入するためのモジュ
ールが提供され、モジュールは、前記モジュールが前記
溝に設置されたとき溝の壁部分に対して押圧するように
弾性変形しうる外壁部分を備えている。本発明を一層よ
く理解するため、添付図面を参照して本発明の実施例を
下記において説明する。本発明の理解を助けるため、一
つ以上の図面に現れる同様の部品は同じ参照符号で示さ
れている。
【0005】最初図1を参照すると、複数の溝10を形
成されたラックは全体的に12で示されている。ラック
12の溝10は、それぞれ高熱伝導度の材料から作られ
た各壁部分14の内面によって画定されている。ラック
12のケーシング16の外面と各溝10の壁部分14の
外面の間は、図示しない冷却流体によって占められてい
る。冷却流体はタンクまたは図示しないある他の流体源
から矢印20によって示されたように入口ノズル18に
供給される。流体はノズル18からラック12の下部に
流れ込み、ついで、破線矢印24によって示されたよう
に溝10の間の区域22を上昇し、最後にラック12の
上面に達し、そして矢印30によって示されたように出
口ノズル28から流出する。流出した冷却剤は冷却さ
れ、所望により循環する。
【0006】図1をさらに参照すると、溝10に嵌合す
るような大きさのモジュール32は所用の特殊な機能を
奏することができる図示しない印刷回路板上に配置され
た電子部品を収容している。電子部品は一端にコネクタ
36を設けられた保護ケーシング34に内蔵されてい
る。ケーシング34は高熱伝導度の材料から作られてい
る。モジュール32が奏する機能が主プロセッサ装置に
必要になるとき、モジュール32がラック12に、たと
えば溝10′に矢印38によって示すように、挿入され
る。モジュール32が完全に溝10′内に挿入される
と、モジュール上のコネクタ36は溝10′のもっとも
後端の部分に設置された対応した大きさのコネクタ40
に結合される。コネクタ36および40はデータを電気
的に、光学的にまたは他の方法でモジュール32とコネ
クタ40に接続された図示しない主プロセッサの間に伝
達することができる。たとえば、このプロセッサは航空
機の総合飛行制御および推進制御システム(IFPC
S)とすることができる。
【0007】モジュール32が主プロセッサに接続され
るとき、モジュールに内蔵された電子部品は作動され、
発熱し始める。この熱はラック12の他の溝に収容され
ているある数の他の同様の部品から発生する熱に加えら
れ、重大な事態を招くことになり、部品の誤作動を生ず
る。これを避けるため、作用中のモジュールよりも冷た
い冷却流体が入口ノズル18を通ってラックに給送され
る。モジュール32のケースと溝10′の内面との熱的
接触をよくするため、モジュール32が溝の出入りの
際、容易に摺動しうるようにするともに、溝の垂直壁部
分14′は可撓性に構成されている。
【0008】図2は垂直壁14′の撓み範囲を示し、垂
直壁14′は壁がほぼ真直ぐでモジュール32に接触せ
ず、容易に挿脱しうる実線で示された位置42から、壁
がモジュール32が一旦溝に完全に挿入され各コネクタ
36および40が接続されモジュール32と接触する位
置まで撓む。垂直壁の移動は矢印46によって示されて
いる。壁に対して二つの位置を設けることにより、モジ
ュール32の容易な挿脱を確保するとともに、壁が位置
44にあるときモジュールケーシング34と壁14′の
間でかなりの面積が接触できるようにし、それによりモ
ジュール32から溝10′への熱伝導を改善している。
よい熱伝導はモジュールケーシング34からの熱伝導を
可能にし、内蔵された電子部品の作用によって加熱され
るモジュールケーシング34から、垂直壁14′を通っ
てラック12のケーシング16に流通する冷却液体に伝
達される。しかして、冷却流体の温度は上昇し、続いて
出口ノズル28、モジュールケーシング34を通って排
出され、したがって部品の温度は低下する。溝10′の
垂直壁14′の撓みは多くの方法で得られる。たとえ
ば、十分に高圧の冷却流体を供給することによって壁が
十分に撓むと、壁は流体圧力に対応して位置44を占め
る。
【0009】図3はモジュールと冷却流体の間に所望の
よい熱伝導度を得る別の方法を示している。この方法に
よれば、圧縮しうるシムが溝10の垂直壁14′とモジ
ュール32の間に設置される。シム48はモジュール3
2と同じときに挿入されるかまたは引続いて挿入され
る。モジュールと溝の壁の間に設置されると、シム48
は矢印49によって示されたように圧縮、保持され、そ
れによりモジュールケーシング34と冷却流体の間の熱
的接触を(壁部分14′を介して)生ずる。シムがよい
熱伝導度を有する金属から作られるならば、シムはモジ
ュール32内の部品を十分よく冷却するであろう。シム
48の圧縮性は、たとえばシムを金属の波状片から形成
することによって促進される。
【0010】図4はモジュールケーシング34と溝の壁
の間のよい熱的伝導度を得るさらに別の変形を示す。こ
の方法において、モジュールケーシング34は同様に可
撓性材料から作られる。有利なのは、壁は位置52にお
いてすなわちモジュール32が溝に挿入されるとき真直
ぐであり、壁は位置54においてすなわちモジュール3
2が完全に溝10′に挿入され各コネクタ36および4
0が接続された後、破線で示されたように外向きに押さ
れる。モジュール垂直壁50の移動は、たとえば、壁に
作用するらせんばねによって、または所望の運動を生ず
る他の手段によって実施される。モジュール32の垂直
壁50の移動方向は矢印56によって示されている。
【0011】図2,3および4を参照して記載したよい
熱伝導度を生ずる方法のいかなる組合わせも、それらの
単独の使用に加えて使用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】モジュールが挿入される複数の溝を有するラッ
クの斜視図である。
【図2】モジュールが挿入されるラックの一つの溝の端
面図である。
【図3】モジュールが挿入されるラックの別の一つの溝
の端面図である。
【図4】モジュールが挿入されるラックのさらに別の一
つの溝の端面図である。
【符号の説明】
10 溝 12 ラック 14 壁部分 16 ケーシング 18 入口ノズル 26 頂面 28 出口ノズル 32 モジュール 34 保護ケーシング 36 コネクタ 40 コネクタ 48 シム 50 モジュール垂直壁
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成5年8月31日
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0005
【補正方法】変更
【補正内容】
【0005】最初図1を参照すると、複数の溝10を形
成されたラックは全体的に12で示されている。ラック
12の溝10は、それぞれ高熱伝導度の材料から作られ
た各壁部分14の内面によって画定されている。ラック
12のケーシング16の外面と各溝10の壁部分14の
外面の間は、図示しない冷却流体によって占められてい
る。冷却流体はタンクまたは図示しないある他の流体源
から矢印によって示されたように入口ノズル18に供
給される。流体はノズル18からラック12の下部20
に流れ込み、ついで、破線矢印24によって示されたよ
うに溝10の間の区域22を上昇し、最後にラック12
の上面26に達し、そして矢印30によって示されたよ
うに出口ノズル28から流出する。流出した冷却剤は冷
却され、所望により循環する。
フロントページの続き (72)発明者 ステイーブン・ジエイ.アール.スミス イギリス国.ランカシヤー・ピーアール 4・1エイエツクス.プレストン.ワート ン・エアロドローム(番地その他表示な し).ブリテツシユ・エアロスペース・デ フエンス・リミテツド内

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 電子部品を内蔵したモジュールを支持し
    かつ冷却するラックにおいて、ラックは前記モジュール
    をうけ入れる溝を有し、溝は壁部分の内面によって画定
    され、モジュールは前記溝に設置されるとき該面部分に
    対して熱的に組合わされ、冷却流体が前記壁部分外面の
    周囲に分配されることを特徴とする電子部品を内蔵した
    モジュールを支持しかつ冷却するラック。
  2. 【請求項2】 前記壁部分は前記モジュールをほぼ取囲
    むことを特徴とする請求項1に記載の電子部品を内蔵し
    たモジュールを支持しかつ冷却するラック。
  3. 【請求項3】 前記壁部分は可撓性で、前記溝に設置さ
    れたとき前記モジュールに対して移動しうることを特徴
    とする請求項1または2に記載の電子部品を内蔵したモ
    ジュールを支持しかつ冷却するラック。
  4. 【請求項4】 前記壁部分はそこに作用する冷却流体圧
    力に応じて移動することを特徴とする請求項3に記載の
    電子部品を内蔵したモジュールを支持しかつ冷却するラ
    ック。
  5. 【請求項5】 前記壁部分はモジュールが前記溝に設置
    されるとき前記モジュールに対して押圧するように変形
    しうることを特徴とする請求項3に記載の電子部品を内
    蔵したモジュールを支持しかつ冷却するラック。
  6. 【請求項6】 前記壁部分と前記モジュールの間に挿入
    される圧縮可能な、伝熱性シムをさらに備えたことを特
    徴とする請求項3に記載の電子部品を内蔵したモジュー
    ルを支持しかつ冷却するラック。
  7. 【請求項7】 請求項1ないし6のいずれか一項に記載
    のラックに挿入されるためのモジュールにおいて、前記
    モジュールは、前記モジュールが前記溝に設置されたと
    き溝の壁部分に対してそれらを押圧するように弾性変形
    しうる、外壁を有することを特徴とするラックに挿入さ
    れるためのモジュール。
JP5180218A 1992-07-21 1993-07-21 電子部品を内蔵したモジュールを支持しかつ冷却するラックおよびそのラックに挿入するためのモジュール Pending JPH06177570A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
GB9215442:6 1992-07-21
GB929215442A GB9215442D0 (en) 1992-07-21 1992-07-21 Cooling of electronic components

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH06177570A true JPH06177570A (ja) 1994-06-24

Family

ID=10719019

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP5180218A Pending JPH06177570A (ja) 1992-07-21 1993-07-21 電子部品を内蔵したモジュールを支持しかつ冷却するラックおよびそのラックに挿入するためのモジュール

Country Status (3)

Country Link
EP (1) EP0580412A1 (ja)
JP (1) JPH06177570A (ja)
GB (1) GB9215442D0 (ja)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012501544A (ja) * 2008-09-02 2012-01-19 インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション 電子部品システム・キャビネット用の冷却システム
WO2013140531A1 (ja) * 2012-03-19 2013-09-26 富士通株式会社 発熱装置の冷却装置
JP2014049691A (ja) * 2012-09-03 2014-03-17 Hitachi Metals Ltd 通信モジュールの冷却構造及び通信装置
JP2015090877A (ja) * 2013-11-05 2015-05-11 日立金属株式会社 伝送モジュールの実装構造
JP2016009599A (ja) * 2014-06-24 2016-01-18 日立金属株式会社 通信モジュール

Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SE9604705L (sv) 1996-12-20 1998-06-21 Ericsson Telefon Ab L M Förfarande och medel för att arrangera värmeöverföring
EP1011300A3 (en) * 1998-12-15 2001-01-03 Honeywell Inc. Cabinet for housing printed circuit boards
US6356444B1 (en) * 1999-06-03 2002-03-12 Fujitsu Network Communications, Inc. Card shelf heat transfer system and method
US6981543B2 (en) 2001-09-20 2006-01-03 Intel Corporation Modular capillary pumped loop cooling system
US6693797B2 (en) * 2002-01-04 2004-02-17 Intel Corporation Computer system having a chassis-level thermal interface component and a frame-level thermal interface component that are thermally engageable with and disengageable from one another
US6836407B2 (en) 2002-01-04 2004-12-28 Intel Corporation Computer system having a plurality of server units transferring heat to a fluid flowing through a frame-level fluid-channeling structure
US7133283B2 (en) 2002-01-04 2006-11-07 Intel Corporation Frame-level thermal interface component for transfer of heat from an electronic component of a computer system
US7800910B2 (en) 2005-06-02 2010-09-21 Koninklijke Philips Electronics N V Electronic appliance provided with a cooling assembly for cooling a consumer insertable module, and cooling assembly for cooling such module
DE202006007275U1 (de) * 2006-05-06 2006-09-07 Schroff Gmbh Baugruppenträger mit einem Gehäuse zur Aufnahme von Steckbaugruppen
DE102007013906B4 (de) * 2007-03-22 2009-12-10 Airbus Deutschland Gmbh Kühlanordnung für elektronische Bauteile sowie damit ausgestatteter Elektronikschrank
DE102009030017A1 (de) * 2009-06-23 2010-12-30 Bayerische Motoren Werke Aktiengesellschaft Vorrichtung zur Spannungsversorgung eines Kraftfahrzeugs mit einem Kühlerblock
DE102009030016A1 (de) 2009-06-23 2010-12-30 Bayerische Motoren Werke Aktiengesellschaft Vorrichtung zur Spannungsversorung eines Kraftfahrzeugs mit einem Kühlerblock
DE102010033806A1 (de) * 2010-08-09 2012-02-09 Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen Batteriepack
US9049803B2 (en) * 2011-09-22 2015-06-02 Panduit Corp. Thermal management infrastructure for IT equipment in a cabinet
WO2014210106A1 (en) 2013-06-26 2014-12-31 Molex Incorporated Thermal interposer suitable for electronic modules
JP6651967B2 (ja) * 2016-04-19 2020-02-19 富士通株式会社 液冷サーバ
US20240130074A1 (en) * 2021-01-21 2024-04-18 Stem Technologies | Ixora Holding B.V. Immersive Cooling Unit for Cooling Electronic Components and Method of Using the Same

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4493010A (en) * 1982-11-05 1985-01-08 Lockheed Corporation Electronic packaging module utilizing phase-change conductive cooling
US4594862A (en) * 1984-01-21 1986-06-17 British Aerospace Public Limited Company Heat transfer arrangement
CA1283225C (en) * 1987-11-09 1991-04-16 Shinji Mine Cooling system for three-dimensional ic package

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012501544A (ja) * 2008-09-02 2012-01-19 インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション 電子部品システム・キャビネット用の冷却システム
WO2013140531A1 (ja) * 2012-03-19 2013-09-26 富士通株式会社 発熱装置の冷却装置
JP2014049691A (ja) * 2012-09-03 2014-03-17 Hitachi Metals Ltd 通信モジュールの冷却構造及び通信装置
US9320170B2 (en) 2012-09-03 2016-04-19 Hitachi Metals, Ltd. Communication module-cooling structure and communication device
JP2015090877A (ja) * 2013-11-05 2015-05-11 日立金属株式会社 伝送モジュールの実装構造
JP2016009599A (ja) * 2014-06-24 2016-01-18 日立金属株式会社 通信モジュール

Also Published As

Publication number Publication date
GB9215442D0 (en) 1992-09-02
EP0580412A1 (en) 1994-01-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH06177570A (ja) 電子部品を内蔵したモジュールを支持しかつ冷却するラックおよびそのラックに挿入するためのモジュール
US4777561A (en) Electronic module with self-activated heat pipe
US10225958B1 (en) Liquid cooling system for a data center
US6625023B1 (en) Modular spray cooling system for electronic components
US9918408B2 (en) Method and apparatus to manage coolant pressure and flow for an array of liquid submerged electronic devices
US7110260B2 (en) Method and apparatus for cooling heat-generating structure
US4493010A (en) Electronic packaging module utilizing phase-change conductive cooling
US7675748B2 (en) Disk array system
US6996996B1 (en) Sealed spray cooling system
US7961465B2 (en) Low cost liquid cooling
US20080013283A1 (en) Mechanism for cooling electronic components
US8542488B2 (en) Cooling apparatus for an IC
US3843910A (en) Cooling system for components generating large amounts of heat
JPWO2002046677A1 (ja) 冷却システムおよび吸熱装置
EP2033502A2 (en) Passive conductive cooling module
EP0565297B1 (en) Cooling system
US8844609B2 (en) Cooling manifold
US20110209855A1 (en) Cooling system for computer components
JP2014170537A (ja) 液圧分配器
US6007176A (en) Passive cooling arrangement for a thermal ink jet printer
CN109413964A (zh) 一种与卫星平台结构热控一体化的星载相控阵雷达载荷
WO1997043887A1 (en) Heat spreader system and method for cooling heat generating components
CA2734925A1 (en) Aircraft signal computer system having a plurality of modular signal computer units
CN105722373B (zh) 用不同的流体冷却板冷却设有电子板的设备的方法和装置
JPH09283958A (ja) 集積回路の高効率冷却構造