JPH06177111A - 遠心式基板乾燥装置 - Google Patents
遠心式基板乾燥装置Info
- Publication number
- JPH06177111A JPH06177111A JP34357192A JP34357192A JPH06177111A JP H06177111 A JPH06177111 A JP H06177111A JP 34357192 A JP34357192 A JP 34357192A JP 34357192 A JP34357192 A JP 34357192A JP H06177111 A JPH06177111 A JP H06177111A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotor
- substrate holding
- movable
- holding members
- lock member
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
- Drying Of Solid Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 被処理基板を保持し、回転することで基板の
液切り乾燥をする遠心式基板乾燥装置において、ロータ
の回転時において、可動基板保持部材を閉じた状態に維
持するロック部材の外れ防止を行う。 【構成】 可動基板保持部材２３とはテンションバー３
８を介し、ロック部材３３とは連動杆３９を介して連結
される揺動杆３６をロータ５に回動自在に設ける。ロー
タの回転中のテンションバーの振動を直接ロック部材に
伝えることがなくなり、ロック部材の外れ防止ができ
る。
液切り乾燥をする遠心式基板乾燥装置において、ロータ
の回転時において、可動基板保持部材を閉じた状態に維
持するロック部材の外れ防止を行う。 【構成】 可動基板保持部材２３とはテンションバー３
８を介し、ロック部材３３とは連動杆３９を介して連結
される揺動杆３６をロータ５に回動自在に設ける。ロー
タの回転中のテンションバーの振動を直接ロック部材に
伝えることがなくなり、ロック部材の外れ防止ができ
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体基板等の被処理
基板の液切り乾燥を行う、遠心式基板乾燥装置に関する
ものである。
基板の液切り乾燥を行う、遠心式基板乾燥装置に関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の遠心式基板乾燥装置として、特開
平６０−５９７４０号公報が知られている。この遠心式
基板乾燥装置は、縦軸心で高速回転するロ−タに複数枚
の基板を収容したキャリアを複数個収容しロ−タの回転
による遠心力で洗浄液を分離させるものである。
平６０−５９７４０号公報が知られている。この遠心式
基板乾燥装置は、縦軸心で高速回転するロ−タに複数枚
の基板を収容したキャリアを複数個収容しロ−タの回転
による遠心力で洗浄液を分離させるものである。
【０００３】又、この縦軸心のロ−タに替わるものとし
て図５、図６に示す横軸心のロ−タによる遠心式基板乾
燥装置が提案されている。この基板乾燥装置４６は、チ
ャンバ４７内のロ−タ４８をその軸の一端に設けられた
モ−タ４９によって高速回転させ、このロ−タ４８内に
備えられるキャリア５０、５１に複数枚収容する被処理
基板５２の水滴を分離させるものである。
て図５、図６に示す横軸心のロ−タによる遠心式基板乾
燥装置が提案されている。この基板乾燥装置４６は、チ
ャンバ４７内のロ−タ４８をその軸の一端に設けられた
モ−タ４９によって高速回転させ、このロ−タ４８内に
備えられるキャリア５０、５１に複数枚収容する被処理
基板５２の水滴を分離させるものである。
【０００４】ロ−タ４８には一対の可動基板保持部材５
３、５４がシャフト５５、５６に揺動自在に設けられて
おり、この可動基板保持部材５３、５４を連動杆５７で
連結し、ロック部材５８と可動基板保持部材５３の係合
ピン５９に係合することで、可動基板保持部材５３、５
４を閉じた状態に維持し、キャリア５０、５１をロータ
４８内に保持している。
３、５４がシャフト５５、５６に揺動自在に設けられて
おり、この可動基板保持部材５３、５４を連動杆５７で
連結し、ロック部材５８と可動基板保持部材５３の係合
ピン５９に係合することで、可動基板保持部材５３、５
４を閉じた状態に維持し、キャリア５０、５１をロータ
４８内に保持している。
【０００５】このロック部材５８は軸６０に固定され、
軸６０はロータ４８に対して回転するように設けられて
おり、ロック部材５８と可動基板保持部材５４とをテン
ションバー６１によって連結することで、軸６０を回動
すればロック部材５８が回動し、これに連動して可動基
板保持部材５３、５４が揺動し開閉するようにしてあ
る。
軸６０はロータ４８に対して回転するように設けられて
おり、ロック部材５８と可動基板保持部材５４とをテン
ションバー６１によって連結することで、軸６０を回動
すればロック部材５８が回動し、これに連動して可動基
板保持部材５３、５４が揺動し開閉するようにしてあ
る。
【０００６】なお、本装置はテンションバー６１の弾性
を利用して、可動基板保持部材５３、５４を閉じロック
部材５８を係合ピン５９に係合させた状態を保つように
している。
を利用して、可動基板保持部材５３、５４を閉じロック
部材５８を係合ピン５９に係合させた状態を保つように
している。
【０００７】開閉蓋６２はチャンバ４７の開閉を行うも
ので、キャリア５０、５１の取り付け取り外しのときは
これを開き、ロ−タ４８の回転時はこれを閉じる。又、
排水口６３は、ロ−タ４８の回転によって分離された水
滴を外部に排出するためのものである。
ので、キャリア５０、５１の取り付け取り外しのときは
これを開き、ロ−タ４８の回転時はこれを閉じる。又、
排水口６３は、ロ−タ４８の回転によって分離された水
滴を外部に排出するためのものである。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら従来の構
成でロ−タ４８が回転すると、可動基板保持部材５３、
５４やロック部材５８等に遠心力や振動が作用し次の様
な問題が発生していた。
成でロ−タ４８が回転すると、可動基板保持部材５３、
５４やロック部材５８等に遠心力や振動が作用し次の様
な問題が発生していた。
【０００９】ロック部材５８は本来テンションバー６１
によって係合ピン５９と係合状態に維持されているが、
このテンションバー６１は弾性を有するので、遠心力、
回転時における振動および遠心力により開こうとする可
動基板保持部材５４から受ける力等によって振動し、こ
の振動が逆にロック部材５８を引っ張ってロック部材５
８と係合ピン５９の係合状態を解除してしまっていた。
によって係合ピン５９と係合状態に維持されているが、
このテンションバー６１は弾性を有するので、遠心力、
回転時における振動および遠心力により開こうとする可
動基板保持部材５４から受ける力等によって振動し、こ
の振動が逆にロック部材５８を引っ張ってロック部材５
８と係合ピン５９の係合状態を解除してしまっていた。
【００１０】このような遠心式基板乾燥装置で上記問題
を解決するためには、例えばテンションバーを固くして
ロック部材を外れにくくしたり、両方の基板保持部材を
それぞれ別のロック部材での止めたりすることでも行え
るが、前者によれば操作性が重くなる欠点があり、後者
では構成が複雑になる欠点があった。
を解決するためには、例えばテンションバーを固くして
ロック部材を外れにくくしたり、両方の基板保持部材を
それぞれ別のロック部材での止めたりすることでも行え
るが、前者によれば操作性が重くなる欠点があり、後者
では構成が複雑になる欠点があった。
【００１１】本発明の目的は、現状の遠心式基板乾燥装
置と大差のない簡単な構成で、その操作性を損なうこと
なく、ロータの回転時に被処理基板のロータ内への保持
状態が解除されることが決してない遠心式基板乾燥装置
を提供することにある。
置と大差のない簡単な構成で、その操作性を損なうこと
なく、ロータの回転時に被処理基板のロータ内への保持
状態が解除されることが決してない遠心式基板乾燥装置
を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決する手段】本発明の特徴とするところは、
第１に複数の被処理基板を並列に収容するキャリアを載
置し、かつ第一と第二の可動基板保持部材を揺動自在に
備え、この二個の可動保持部材を閉じることでキャリア
と被処理基板を自体に保持するロータを有し、このロー
タを回転し被処理基板の乾燥を行う遠心式基板乾燥装置
において、第一と第二の可動基板保持部材間を連結する
連動杆と、第一または第二の何れか一方の可動基板保持
部材に設けられた係合ピンと、この係合ピンと係合する
係合部を備えロータに揺動自在に設けられるロック部材
と、第二の可動基板保持部材とはテンションバーを介し
て連結し、ロック部材とは連動杆を介して連結され、ロ
ータに揺動自在に設けられる揺動杆とを有する遠心式基
板乾燥装置にある。
第１に複数の被処理基板を並列に収容するキャリアを載
置し、かつ第一と第二の可動基板保持部材を揺動自在に
備え、この二個の可動保持部材を閉じることでキャリア
と被処理基板を自体に保持するロータを有し、このロー
タを回転し被処理基板の乾燥を行う遠心式基板乾燥装置
において、第一と第二の可動基板保持部材間を連結する
連動杆と、第一または第二の何れか一方の可動基板保持
部材に設けられた係合ピンと、この係合ピンと係合する
係合部を備えロータに揺動自在に設けられるロック部材
と、第二の可動基板保持部材とはテンションバーを介し
て連結し、ロック部材とは連動杆を介して連結され、ロ
ータに揺動自在に設けられる揺動杆とを有する遠心式基
板乾燥装置にある。
【００１３】第２に複数の被処理基板を並列に収容し、
かつ第一と第二の可動基板保持部材を揺動自在に備え、
この二個の可動保持部材を閉じることで被処理基板を自
体に保持するロータを有し、このロータを回転し被処理
基板の乾燥を行う遠心式基板乾燥装置において、第一と
第二の可動基板保持部材間を連結する連動杆と、第一ま
たは第二の何れか一方の可動基板保持部材に設けられた
係合ピンと、この係合ピンと係合する係合部を備えロー
タに揺動自在に設けられるロック部材と、第二の可動基
板保持部材とはテンションバーを介して連結し、ロック
部材とは連動杆を介して連結され、ロータに揺動自在に
設けられる揺動杆とを有する遠心式基板乾燥装置にあ
る。
かつ第一と第二の可動基板保持部材を揺動自在に備え、
この二個の可動保持部材を閉じることで被処理基板を自
体に保持するロータを有し、このロータを回転し被処理
基板の乾燥を行う遠心式基板乾燥装置において、第一と
第二の可動基板保持部材間を連結する連動杆と、第一ま
たは第二の何れか一方の可動基板保持部材に設けられた
係合ピンと、この係合ピンと係合する係合部を備えロー
タに揺動自在に設けられるロック部材と、第二の可動基
板保持部材とはテンションバーを介して連結し、ロック
部材とは連動杆を介して連結され、ロータに揺動自在に
設けられる揺動杆とを有する遠心式基板乾燥装置にあ
る。
【００１４】
【実施例】本発明の実施例を図をもとに説明する。図１
は遠心式基板乾燥装置の正面断面図で、図２は図１にお
ける同装置を右方向から見た側部断面図で、図３は図２
の一部拡大図である。
は遠心式基板乾燥装置の正面断面図で、図２は図１にお
ける同装置を右方向から見た側部断面図で、図３は図２
の一部拡大図である。
【００１５】遠心式基板乾燥装置１は、チャンバ２上部
に開閉自在のフタ３を設け、下部に排水口４を設け、内
部に横軸受式のロータ５を設けている。
に開閉自在のフタ３を設け、下部に排水口４を設け、内
部に横軸受式のロータ５を設けている。
【００１６】このロータ５は一対の側板６、７をキャリ
ア載置板８と複数のシャフト９、１０、１１、１２、１
３、１４とで連結し、軸１５を回動自在に設け、側板
６、７の内側に内側板１６、１７を設け、その間に側板
６と内側板１６との間に軸１８を側板７と内側板１７と
の間に軸１９を架せたもので、このロータ５には複数枚
の被処理基板２０を平行に並べて収容するキャリア２
１、２２が、そのキャリア載置板８に載置されている。
ア載置板８と複数のシャフト９、１０、１１、１２、１
３、１４とで連結し、軸１５を回動自在に設け、側板
６、７の内側に内側板１６、１７を設け、その間に側板
６と内側板１６との間に軸１８を側板７と内側板１７と
の間に軸１９を架せたもので、このロータ５には複数枚
の被処理基板２０を平行に並べて収容するキャリア２
１、２２が、そのキャリア載置板８に載置されている。
【００１７】可動基板保持部材２３、２４はそれぞれシ
ャフト１３、１４に揺動自在に設けられており、この可
動基板保持部材２３と２４とを連動杆２５で連結するこ
とで、両者を連動させ開閉可能としている。そして可動
基板保持部材２３、２４にはこれを閉じたときにキャリ
ア２１、２２の上部を保持するキャリア保持杆２６、２
７と、被処理基板２０を保持する基板保持杆２８、２９
とが備えられている。
ャフト１３、１４に揺動自在に設けられており、この可
動基板保持部材２３と２４とを連動杆２５で連結するこ
とで、両者を連動させ開閉可能としている。そして可動
基板保持部材２３、２４にはこれを閉じたときにキャリ
ア２１、２２の上部を保持するキャリア保持杆２６、２
７と、被処理基板２０を保持する基板保持杆２８、２９
とが備えられている。
【００１８】また可動基板保持部材２４には後述するロ
ック部材３２と係合する係合ピン３０が設けられ、可動
基板保持部材２３にはこの係合ピン３０と係合させるた
め一部を切欠いた係合部３１が設けられており、この係
合ピン３０の位置は、シャフト１３、１４の中間点にあ
る。
ック部材３２と係合する係合ピン３０が設けられ、可動
基板保持部材２３にはこの係合ピン３０と係合させるた
め一部を切欠いた係合部３１が設けられており、この係
合ピン３０の位置は、シャフト１３、１４の中間点にあ
る。
【００１９】ロック部材３３は軸１９に揺動自在に設け
られ、可動基板保持部材２４の係合ピン３０と係合させ
るため一部を切欠いた係合部３４が設けられている。こ
のロック部材３３はその軸１９を、ロータの回転軸中心
と、係合部３４を係合ピン３０に係合したときの接点と
を結ぶ直線の延長線上に位置させている。
られ、可動基板保持部材２４の係合ピン３０と係合させ
るため一部を切欠いた係合部３４が設けられている。こ
のロック部材３３はその軸１９を、ロータの回転軸中心
と、係合部３４を係合ピン３０に係合したときの接点と
を結ぶ直線の延長線上に位置させている。
【００２０】軸１５は側板６、７および内側板１６、１
７に対し回動するように備えられており、この軸１５に
は揺動杆３５、３６と、この軸１５を回動させるための
操作杆３７が固定されている。
７に対し回動するように備えられており、この軸１５に
は揺動杆３５、３６と、この軸１５を回動させるための
操作杆３７が固定されている。
【００２１】この揺動杆３６には可動基板保持部材２４
と連結するテンションバー３８とロック部材３３と連結
する連動杆３９を設けており、前記操作杆３７を操作す
ることで、揺動杆３６が回転し、可動基板保持部材２
３、２４の開閉と、ロック部材３３の係合ピン３０への
係合とその解除が行える。
と連結するテンションバー３８とロック部材３３と連結
する連動杆３９を設けており、前記操作杆３７を操作す
ることで、揺動杆３６が回転し、可動基板保持部材２
３、２４の開閉と、ロック部材３３の係合ピン３０への
係合とその解除が行える。
【００２２】図２は可動基板保持部材２３、２４を閉
じ、ロック部材３３の係合部３４を係合ピン３０に係合
させた状態である。この状態はテンションバー３８の弾
性を利用して拘束されている。なおモータ４０はロータ
５を回転させる駆動源である。
じ、ロック部材３３の係合部３４を係合ピン３０に係合
させた状態である。この状態はテンションバー３８の弾
性を利用して拘束されている。なおモータ４０はロータ
５を回転させる駆動源である。
【００２３】次に本実施例の動作について説明する。ま
ずキャリア２１、２２のロ−タ５への装着は、例えばロ
ボットアームによって行われ、このときフタ３は開けら
れており、図３に示すように可動基板保持部材２３、２
４は開けられ、ロック部材３３は係合ピン３０への係合
を解除した状態としてある。
ずキャリア２１、２２のロ−タ５への装着は、例えばロ
ボットアームによって行われ、このときフタ３は開けら
れており、図３に示すように可動基板保持部材２３、２
４は開けられ、ロック部材３３は係合ピン３０への係合
を解除した状態としてある。
【００２４】キャリア載置板８にキャリア２１、２２が
載置されると、操作杆３７を回動させる。これにより揺
動杆３６が図３において左回転し、その回転に従ってロ
ック部材３３はいったん右回転した後、左回転し、可動
基板保持部材２４は左回転し、連動杆２５を介して可動
基板保持部材２３は右回転する。
載置されると、操作杆３７を回動させる。これにより揺
動杆３６が図３において左回転し、その回転に従ってロ
ック部材３３はいったん右回転した後、左回転し、可動
基板保持部材２４は左回転し、連動杆２５を介して可動
基板保持部材２３は右回転する。
【００２５】この動きは、まず可動基板保持部材２３、
２４のキャリア保持杆２６、２７がキャリア２１、２２
と接し、可動基板保持部材２３、２４が停止する。この
とき係合ピン３０と係合部３１とは係合している。
２４のキャリア保持杆２６、２７がキャリア２１、２２
と接し、可動基板保持部材２３、２４が停止する。この
とき係合ピン３０と係合部３１とは係合している。
【００２６】この可動基板保持部材２３、２４の停止は
揺動杆３６の回転を停止させようとするが、テンション
バー３８が弾性変形することで、揺動杆３６は停止する
ことなく回転する。このテンションバー３８の弾性変形
は揺動杆３６のデッドポイントを越えるまで揺動杆３６
の回転の抵抗となるが、これを越えると一気にロック部
材３３が係合ピン３０と係合するまで揺動杆３６は回転
する。
揺動杆３６の回転を停止させようとするが、テンション
バー３８が弾性変形することで、揺動杆３６は停止する
ことなく回転する。このテンションバー３８の弾性変形
は揺動杆３６のデッドポイントを越えるまで揺動杆３６
の回転の抵抗となるが、これを越えると一気にロック部
材３３が係合ピン３０と係合するまで揺動杆３６は回転
する。
【００２７】このようにしてキャリア２１、２２のロー
タ５への保持と、可動基板保持部材２３、２４のロック
が行えたら、フタ３を閉じ、ロータ５を高速回転させ被
処理基板２０の乾燥処理がされる。
タ５への保持と、可動基板保持部材２３、２４のロック
が行えたら、フタ３を閉じ、ロータ５を高速回転させ被
処理基板２０の乾燥処理がされる。
【００２８】この回転によって生じる遠心力により可動
揺動基板２３、２４は開こうとするが、可動基板保持部
材２４に設けられた係合ピン３０に、可動基板保持部材
２３の係合部３１と、ロック部材３３の係合部３４を係
合することで、二個の可動基板保持部材２３、２４を一
つのロック部材３３で確実に固定維持することができる
とともに、ロータ５の回転中にロック部材３３は二個の
可動基板保持部材２３、２４の遠心力による力を受ける
ので、係合ピン３０と係合部３４の接点での摩擦力が大
きくなり、ロック部材３３が外れにくくなる。
揺動基板２３、２４は開こうとするが、可動基板保持部
材２４に設けられた係合ピン３０に、可動基板保持部材
２３の係合部３１と、ロック部材３３の係合部３４を係
合することで、二個の可動基板保持部材２３、２４を一
つのロック部材３３で確実に固定維持することができる
とともに、ロータ５の回転中にロック部材３３は二個の
可動基板保持部材２３、２４の遠心力による力を受ける
ので、係合ピン３０と係合部３４の接点での摩擦力が大
きくなり、ロック部材３３が外れにくくなる。
【００２９】またロータ５の回転による遠心力および振
動によりテンションバー３８が振動しても揺動杆３６と
連動杆３９とを介することで直接ロック部材３３に伝わ
ることがなく、ロック部材３３が外れないようにしてあ
る。
動によりテンションバー３８が振動しても揺動杆３６と
連動杆３９とを介することで直接ロック部材３３に伝わ
ることがなく、ロック部材３３が外れないようにしてあ
る。
【００３０】なお、本実施例において可動基板保持部材
をロックする機構を、図１を右方向より見た側面図をも
とに説明しているが、ロータ３の左部にもロック部材３
２および図示しない同様の機構を設けており、両側に設
けることで可動基板保持部材２３、２４の両端部をロッ
クすることができ、可動基板保持部材２３、２４がねじ
れないので、キャリア２１、２２および被処理基板２０
を確実に保持することができる。
をロックする機構を、図１を右方向より見た側面図をも
とに説明しているが、ロータ３の左部にもロック部材３
２および図示しない同様の機構を設けており、両側に設
けることで可動基板保持部材２３、２４の両端部をロッ
クすることができ、可動基板保持部材２３、２４がねじ
れないので、キャリア２１、２２および被処理基板２０
を確実に保持することができる。
【００３１】図４は本発明の別の実施例を示すもので、
被処理基板２０を直接ロータ５内に保持するものであ
る。被処理基板２０は、被処理基板２０の収容枚数分の
保持用の溝が切られた基板保持部材４１、４２、４３に
直接載置し、可動基板保持部材４４、４５を閉じ保持す
るものである。
被処理基板２０を直接ロータ５内に保持するものであ
る。被処理基板２０は、被処理基板２０の収容枚数分の
保持用の溝が切られた基板保持部材４１、４２、４３に
直接載置し、可動基板保持部材４４、４５を閉じ保持す
るものである。
【００３２】なお、この二個の実施例において、図２お
よび図４の左側の可動基板保持部材２３、４４を右側の
可動基板保持部材２４、４５と係合させ、この右側の可
動基板保持部材２４、４５をロック部材によりロックし
ているが、図中左側の可動基板保持部材２３、４４の係
合部をなくし、可動基板保持部材２３、４４のみをロッ
ク部材でロックしても良い。また、逆に可動基板保持部
材２３、４４側に係合ピンを設けこの可動基板保持部材
２３、４４をロックしても良い。この場合両方の可動基
板保持部材は連動杆によって連結されているので、一方
をロックすれば他方も十分に閉じた状態が維持され同様
の効果がえられる。
よび図４の左側の可動基板保持部材２３、４４を右側の
可動基板保持部材２４、４５と係合させ、この右側の可
動基板保持部材２４、４５をロック部材によりロックし
ているが、図中左側の可動基板保持部材２３、４４の係
合部をなくし、可動基板保持部材２３、４４のみをロッ
ク部材でロックしても良い。また、逆に可動基板保持部
材２３、４４側に係合ピンを設けこの可動基板保持部材
２３、４４をロックしても良い。この場合両方の可動基
板保持部材は連動杆によって連結されているので、一方
をロックすれば他方も十分に閉じた状態が維持され同様
の効果がえられる。
【００３３】また、本発明は揺動杆とロック部材との間
に連動杆を介してロック部材を自由に位置させることが
できるので、設計の自由度が上げられる。
に連動杆を介してロック部材を自由に位置させることが
できるので、設計の自由度が上げられる。
【００３４】
【発明の効果】本発明によれば、揺動杆を回動させるだ
けの操作で、可動基板保持部材を閉じさせ、被処理基板
をロータ内に保持し、ロック部材により可動基板保持部
材を閉じた状態にロックできると共に、ロータの回転時
における遠心力や振動によるテンションバーの振動によ
るロック部材に与える影響を抑えることができ、これに
よりロック部材の外れることのない確実な遠心式基板乾
燥装置が提供できる。
けの操作で、可動基板保持部材を閉じさせ、被処理基板
をロータ内に保持し、ロック部材により可動基板保持部
材を閉じた状態にロックできると共に、ロータの回転時
における遠心力や振動によるテンションバーの振動によ
るロック部材に与える影響を抑えることができ、これに
よりロック部材の外れることのない確実な遠心式基板乾
燥装置が提供できる。
【図１】第１の実施例における遠心式基板乾燥装置の正
面断面図
面断面図
【図２】図１の遠心式基板乾燥装置の右方向から見た側
部断面図
部断面図
【図３】図２の一部拡大図
【図４】第２の実施例における遠心式基板乾燥装置の側
部断面図
部断面図
【図５】従来の遠心式基板乾燥装置の正面断面図
【図６】従来の遠心式基板乾燥装置の側部断面図
１ 遠心式基板乾燥装置 ２ チャンバ ５ ロータ １９ 被処理基板 ２１、２２キャリア ２３、２４、４４、４５ 可動基板保持部材 ２５ 連動杆 ３０ 係合ピン ３３ ロック部材 ３４ 係合部 ３６ 揺動杆 ３８ テンションバー ３９ 連動杆
Claims (2)
- 【請求項１】 複数の被処理基板を並列に収容するキャ
リアを載置し、かつ第一と第二の可動基板保持部材を揺
動自在に備え、この二個の可動保持部材を閉じることで
キャリアと被処理基板を自体に保持するロータを有し、
このロータを回転し被処理基板の乾燥を行う遠心式基板
乾燥装置において、第一と第二の可動基板保持部材間を
連結する連動杆と、第一または第二の何れか一方の可動
基板保持部材に設けられた係合ピンと、この係合ピンと
係合する係合部を備えロータに揺動自在に設けられるロ
ック部材と、第二の可動基板保持部材とはテンションバ
ーを介して連結し、ロック部材とは連動杆を介して連結
され、ロータに揺動自在に設けられる揺動杆とを有する
ことを特徴とする遠心式基板乾燥装置 - 【請求項２】 複数の被処理基板を並列に収容し、かつ
第一と第二の可動基板保持部材を揺動自在に備え、この
二個の可動保持部材を閉じることで被処理基板を自体に
保持するロータを有し、このロータを回転し被処理基板
の乾燥を行う遠心式基板乾燥装置において、第一と第二
の可動基板保持部材間を連結する連動杆と、第一または
第二のどちらか一方の可動基板保持部材に設けられた係
合ピンと、この係合ピンと係合する係合部を備えロータ
に揺動自在に設けられるロック部材と、第二の可動基板
保持部材とはテンションバーを介して連結し、ロック部
材とは連動杆を介して連結され、ロータに揺動自在に設
けられる揺動杆とを有することを特徴とする遠心式基板
乾燥装置
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34357192A JP2876443B2 (ja) | 1992-12-01 | 1992-12-01 | 遠心式基板乾燥装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34357192A JP2876443B2 (ja) | 1992-12-01 | 1992-12-01 | 遠心式基板乾燥装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06177111A true JPH06177111A (ja) | 1994-06-24 |
| JP2876443B2 JP2876443B2 (ja) | 1999-03-31 |
Family
ID=18362557
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34357192A Expired - Fee Related JP2876443B2 (ja) | 1992-12-01 | 1992-12-01 | 遠心式基板乾燥装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2876443B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6370791B1 (en) * | 2000-03-10 | 2002-04-16 | Semitool, Inc. | Processing machine with lockdown rotor |
| CN113063272A (zh) * | 2021-04-14 | 2021-07-02 | 创微微电子(常州)有限公司 | 晶圆烘干槽、晶圆烘干方法和晶圆烘干装置 |
-
1992
- 1992-12-01 JP JP34357192A patent/JP2876443B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6370791B1 (en) * | 2000-03-10 | 2002-04-16 | Semitool, Inc. | Processing machine with lockdown rotor |
| US7127828B2 (en) | 2000-03-10 | 2006-10-31 | Semitool, Inc. | Lockdown rotor for a processing machine |
| CN113063272A (zh) * | 2021-04-14 | 2021-07-02 | 创微微电子(常州)有限公司 | 晶圆烘干槽、晶圆烘干方法和晶圆烘干装置 |
| CN113063272B (zh) * | 2021-04-14 | 2023-11-17 | 创微微电子(常州)有限公司 | 晶圆烘干槽、晶圆烘干方法和晶圆烘干装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2876443B2 (ja) | 1999-03-31 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100933100B1 (ko) | 원심분리기 | |
| EP1486604A2 (en) | Door locking mechanism | |
| WO2016037551A1 (zh) | 滚筒洗衣机 | |
| WO2016019877A1 (zh) | 滚筒洗衣机 | |
| JPH06177111A (ja) | 遠心式基板乾燥装置 | |
| WO2016034084A1 (zh) | 滚筒洗衣机 | |
| JP2663492B2 (ja) | 基板の回転式表面処理装置 | |
| JPH06177112A (ja) | 遠心式基板乾燥装置 | |
| KR100465690B1 (ko) | 드럼세탁기의 도어 개폐장치 | |
| WO2016019876A1 (zh) | 滚筒洗衣机 | |
| EP0120388A1 (en) | Washing drum for laundry washing machines of the top-loading type | |
| JP2002282581A (ja) | 洗濯機の蓋ロック装置 | |
| JP2876458B2 (ja) | 遠心式基板乾燥装置 | |
| JPH11279851A (ja) | オ―プンエンド紡績装置 | |
| JPS59115087A (ja) | 自動洗濯機 | |
| JP3550385B2 (ja) | 回転乾燥装置におけるウエハ保持機構 | |
| JP2003014529A (ja) | ホッパ及びそれを備えた計量装置 | |
| KR200209992Y1 (ko) | 세탁기의 도어 록킹장치 | |
| RU2083744C1 (ru) | Устройство для запирания крышки центрифуги | |
| KR950005182Y1 (ko) | 드럼식 세탁기의 도어록커 | |
| JP2561727Y2 (ja) | ウエハ回転乾燥装置 | |
| CN101666020A (zh) | 滚筒式洗衣机 | |
| JPH0744014Y2 (ja) | 半導体製造装置 | |
| JP4023881B2 (ja) | パチンコ機の玉入賞装置 | |
| JPH0956979A (ja) | 洗濯機 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19981117 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
|
| R370 | Written measure of declining of transfer procedure |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R370 |
|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313532 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |