JPH0617098Y2 - 粒子加速器のスクリーンモニタ - Google Patents
粒子加速器のスクリーンモニタInfo
- Publication number
- JPH0617098Y2 JPH0617098Y2 JP3834590U JP3834590U JPH0617098Y2 JP H0617098 Y2 JPH0617098 Y2 JP H0617098Y2 JP 3834590 U JP3834590 U JP 3834590U JP 3834590 U JP3834590 U JP 3834590U JP H0617098 Y2 JPH0617098 Y2 JP H0617098Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- screen
- camera
- scale
- vacuum duct
- particle accelerator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Particle Accelerators (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この考案は、シンクロトロン等の粒子加速器において、
真空ダクト中の荷電粒子ビーム位置を計測するためのス
クリーンモニタに関し、ビーム位置の正確な計測を可能
にしたものである。
真空ダクト中の荷電粒子ビーム位置を計測するためのス
クリーンモニタに関し、ビーム位置の正確な計測を可能
にしたものである。
近年、シンクロトロンは、シンクロトロン放射光（ＳＯ
Ｒ）装置として、超々ＬＳＩ回路の作成、医療分野にお
ける診断、分子解折、構造解析等様々な分野への適用が
期待されている。
Ｒ）装置として、超々ＬＳＩ回路の作成、医療分野にお
ける診断、分子解折、構造解析等様々な分野への適用が
期待されている。
シンクロトロン放射光装置の概要を第２図に示す。荷電
粒子発生装置（電子銃等）１０で発生した荷電粒子は線
型加速装置（ライナック）１２で光速近くに加速され、
ビーム輸送部１４の偏向電磁石１６で偏向されて、イン
フレクタ１８を介してシンクロトロン２０の真空ダクト
２２内に入射される。真空ダクト２２に入射された荷電
粒子は高周波加速空洞２１でエネルギを与えられながら
収束電磁石２３で所定の軌道を保持しつつ偏向電磁石２
４で偏向されて、真空ダクト２２内を回り続ける。偏向
電磁石２４で偏向される時に発生するシンクロトロン放
射光はビームチャンネル２６を通して例えば露光装置２
８に送られて超々ＬＳＩ回路作成用の光源等として利用
される。
粒子発生装置（電子銃等）１０で発生した荷電粒子は線
型加速装置（ライナック）１２で光速近くに加速され、
ビーム輸送部１４の偏向電磁石１６で偏向されて、イン
フレクタ１８を介してシンクロトロン２０の真空ダクト
２２内に入射される。真空ダクト２２に入射された荷電
粒子は高周波加速空洞２１でエネルギを与えられながら
収束電磁石２３で所定の軌道を保持しつつ偏向電磁石２
４で偏向されて、真空ダクト２２内を回り続ける。偏向
電磁石２４で偏向される時に発生するシンクロトロン放
射光はビームチャンネル２６を通して例えば露光装置２
８に送られて超々ＬＳＩ回路作成用の光源等として利用
される。
粒子加速器においては、運転開始当初に荷電粒子ビーム
が真空ダクト内の所定の軌道を通っているかどうかを確
かめるため、線型加速装置１２、ビーム輸送部１４、真
空ダクト（蓄積リング）２２の各部にスクリーンモニタ
を入れてビーム位置の計測を行なっている。
が真空ダクト内の所定の軌道を通っているかどうかを確
かめるため、線型加速装置１２、ビーム輸送部１４、真
空ダクト（蓄積リング）２２の各部にスクリーンモニタ
を入れてビーム位置の計測を行なっている。
スクリーンモニタは、例えば第３図に示すように、真空
ダクト３０内のビーム３３が通る位置にスクリーン３２
を進出、退出可能に配置する。スクリーン３２には蛍光
物質が塗布されており、ビームが衝突した位置で蛍光を
発する。スクリーン３２の側方にはカメラ（テレビカメ
ラ等）３４が配設され、スクリーン３２上の蛍光を観測
する。この観測を行なうため、スクリーン３２はビーム
軸に対してカメラ３４の方向に適当な角度θだけ水平方
向に傾斜して配設されている。
ダクト３０内のビーム３３が通る位置にスクリーン３２
を進出、退出可能に配置する。スクリーン３２には蛍光
物質が塗布されており、ビームが衝突した位置で蛍光を
発する。スクリーン３２の側方にはカメラ（テレビカメ
ラ等）３４が配設され、スクリーン３２上の蛍光を観測
する。この観測を行なうため、スクリーン３２はビーム
軸に対してカメラ３４の方向に適当な角度θだけ水平方
向に傾斜して配設されている。
スクリーン３２は運転時にはビーム軌道位置から退出し
て、ビームの通過の妨げとならないようにされている。
運転開始時には、スクリーン３２はビーム軌道位置に進
出する。進出状態で、真空ダクト３０中にビームを入射
すると、スクリーン３２の面のいずれかの部分に衝突
し、その部分で蛍光を発する。そして、この位置をカメ
ラ３４で観測することによりビームの所定の軌道からの
ずれを測定することができ、このずれに応じて電磁石の
励磁量を調整することによりビームの軌道を修正するこ
とができる。修正が終了したらスクリーン３２をビーム
軌道から退出させる。
て、ビームの通過の妨げとならないようにされている。
運転開始時には、スクリーン３２はビーム軌道位置に進
出する。進出状態で、真空ダクト３０中にビームを入射
すると、スクリーン３２の面のいずれかの部分に衝突
し、その部分で蛍光を発する。そして、この位置をカメ
ラ３４で観測することによりビームの所定の軌道からの
ずれを測定することができ、このずれに応じて電磁石の
励磁量を調整することによりビームの軌道を修正するこ
とができる。修正が終了したらスクリーン３２をビーム
軌道から退出させる。
従来におけるスクリーン３２は、例えば第４図に正面図
で示すように、ガラス等の基板３６に原点３７（ビーム
の設計軌道位置）を中心に垂直方向および水平方向に等
間隔にけがき等で目盛３８，４０を付して構成され、カ
メラ３４の画面から蛍光を発した点４２が原点３７から
どれだけずれているかを目盛３８，４０で計測してずれ
量を計測していた。
で示すように、ガラス等の基板３６に原点３７（ビーム
の設計軌道位置）を中心に垂直方向および水平方向に等
間隔にけがき等で目盛３８，４０を付して構成され、カ
メラ３４の画面から蛍光を発した点４２が原点３７から
どれだけずれているかを目盛３８，４０で計測してずれ
量を計測していた。
前記第４図のスクリーン３２を使用すると、垂直方向は
ビーム軸に対して直角に配されるので、目盛４０はビー
ムの垂直方向位置に正確に対応したものとなるが、水平
方向はビーム軸に対して角度θ傾斜して配されるので、
目盛３８はビームの水平方向位置に正確に対応しなくな
り、ビーム位置の水平方向のずれを正確に計測すること
ができなかった。
ビーム軸に対して直角に配されるので、目盛４０はビー
ムの垂直方向位置に正確に対応したものとなるが、水平
方向はビーム軸に対して角度θ傾斜して配されるので、
目盛３８はビームの水平方向位置に正確に対応しなくな
り、ビーム位置の水平方向のずれを正確に計測すること
ができなかった。
この考案は、前記従来の技術における欠点を解決して、
真空ダクト中のビーム位置を正確に計測することができ
るスクリーンモニタを提供しようとすものである。
真空ダクト中のビーム位置を正確に計測することができ
るスクリーンモニタを提供しようとすものである。
この考案は、粒子加速器の真空ダクト中のビーム位置に
進出、退出可能に配設されて、ビームが衝突した位置で
蛍光を発するスクリーンと、このスクリーン面を望むよ
うに配設されたカメラとを具え、前記スクリーンを前記
カメラの方向に傾斜させて配設するとともに、このスク
リーンにこの傾斜による距離変化を修正した目盛を付し
てなるものである。
進出、退出可能に配設されて、ビームが衝突した位置で
蛍光を発するスクリーンと、このスクリーン面を望むよ
うに配設されたカメラとを具え、前記スクリーンを前記
カメラの方向に傾斜させて配設するとともに、このスク
リーンにこの傾斜による距離変化を修正した目盛を付し
てなるものである。
この考案によれば、スクリーンを傾斜して配したことに
よる距離変化を修正して目盛を付したので、ビーム位置
を正確に計測することができる。
よる距離変化を修正して目盛を付したので、ビーム位置
を正確に計測することができる。
この考案の一実施例を以下説明する。この実施例では、
スクリーンモニタを前記第３図と同様に配置している。
スクリーンモニタを前記第３図と同様に配置している。
すなわち、第３図のスクリーンモニタは、ビームが通過
する真空ダクト３０中のビーム３３が通る位置にスクリ
ーン３２が進出、退出可能に配置されている。スクリー
ン３２の側方にはカメラ（テレビカメラ等）３４が配設
され、スクリーン３２上の蛍光を観測する。この観測を
行なうため、スクリーン３２はビーム軸に対してカメラ
３４の方向に適当な角度θだけ水平方向に傾斜して配設
されている。
する真空ダクト３０中のビーム３３が通る位置にスクリ
ーン３２が進出、退出可能に配置されている。スクリー
ン３２の側方にはカメラ（テレビカメラ等）３４が配設
され、スクリーン３２上の蛍光を観測する。この観測を
行なうため、スクリーン３２はビーム軸に対してカメラ
３４の方向に適当な角度θだけ水平方向に傾斜して配設
されている。
スクリーン３２は運転時にはビーム軌道位置から退出し
て、ビームの通過の妨げとならないようにされている。
運転開始時には、スクリーン３２はビーム軌道位置に進
出する。
て、ビームの通過の妨げとならないようにされている。
運転開始時には、スクリーン３２はビーム軌道位置に進
出する。
この考案の原理について説明する。第５図に示すよう
に、スクリーン３２はビーム軸に対して水平方向に角度
θ傾斜して配置されている。ビーム軸に直角な方向の単
位長をとすると、この単位長はスクリーン３２の面
では に拡大され、さらにカメラ３４の方向へは に拡大されることになる。したがって、スクリーン３２
に対し、垂直方向に単位距離ごとに目盛を付すること
すれば、水平方向には ごとに目盛を付せば、垂直方向および水平方向ともビー
ム位置のずれに対して等間隔の目盛となる。
に、スクリーン３２はビーム軸に対して水平方向に角度
θ傾斜して配置されている。ビーム軸に直角な方向の単
位長をとすると、この単位長はスクリーン３２の面
では に拡大され、さらにカメラ３４の方向へは に拡大されることになる。したがって、スクリーン３２
に対し、垂直方向に単位距離ごとに目盛を付すること
すれば、水平方向には ごとに目盛を付せば、垂直方向および水平方向ともビー
ム位置のずれに対して等間隔の目盛となる。
第１図は、このような考えに基づきスクリーン３２上に
付した目盛の一実施例を正面図で示すものである。スク
リーン３２はガラス板等の基板４５で構成され、その表
面またはその内部には螢光物質が塗布または混入され
て、荷電粒子ビーム（例えば電子ビーム）が衝突した位
置から蛍光を発する。
付した目盛の一実施例を正面図で示すものである。スク
リーン３２はガラス板等の基板４５で構成され、その表
面またはその内部には螢光物質が塗布または混入され
て、荷電粒子ビーム（例えば電子ビーム）が衝突した位
置から蛍光を発する。
スクリーン３２上には、垂直方向の目盛４６と水平方向
の目盛４８が縦横にかけがき等により付されている。垂
直方向の目盛４６は単位距離ごとに付され、水平方向
の目盛４８は ごとに付されている。
の目盛４８が縦横にかけがき等により付されている。垂
直方向の目盛４６は単位距離ごとに付され、水平方向
の目盛４８は ごとに付されている。
第１図のスクリーン３２のカメラ３４による画像を第６
図に示す。スクリーン３２の水平方向の目盛４８はスク
リーン３２の傾斜分修正されているので、カメラ３４の
画像により、蛍光を発した点５０の位置を目盛４６，４
８から直読すれば、原点５２に対するビーム位置の垂直
方向および水平方向ずれを正確に計測することができ軌
道位置の修正が容易になる。
図に示す。スクリーン３２の水平方向の目盛４８はスク
リーン３２の傾斜分修正されているので、カメラ３４の
画像により、蛍光を発した点５０の位置を目盛４６，４
８から直読すれば、原点５２に対するビーム位置の垂直
方向および水平方向ずれを正確に計測することができ軌
道位置の修正が容易になる。
前記実施例においては、カメラを真空ダクトの横方向に
配置したのでスクリーンを水平方向に傾けるようにした
が、カメラを真空ダクトの上下方向に配置する場合に
は、スクリーンを垂直方向に傾けるようにすればよく、
その場合は垂直方向の目盛を修正すればよい。また、カ
メラを真空ダクトの横方向と上下方向の中間位置に配置
する場合には、スクリーンを垂直方向および水平方向に
傾けるようにすればよく、その場合は垂直方向および水
平方向の目盛を修正すればよい。
配置したのでスクリーンを水平方向に傾けるようにした
が、カメラを真空ダクトの上下方向に配置する場合に
は、スクリーンを垂直方向に傾けるようにすればよく、
その場合は垂直方向の目盛を修正すればよい。また、カ
メラを真空ダクトの横方向と上下方向の中間位置に配置
する場合には、スクリーンを垂直方向および水平方向に
傾けるようにすればよく、その場合は垂直方向および水
平方向の目盛を修正すればよい。
以上説明したように、この考案によれば、スクリーンを
傾斜して配したことによる距離変化を修正して目盛を付
したので、ビーム位置を正確に計測することができる。
傾斜して配したことによる距離変化を修正して目盛を付
したので、ビーム位置を正確に計測することができる。
第１図は、この考案の一実施例を示すスクリーンの正面
図である。 第２図は、シンクロトロン装置の概要を示す平面図であ
る。 第３図は、スクリーンモニタの概要を示す平面断面図で
ある。 第４図は、従来におけるスクリーンの正面図である。 第５図は、この考案の原理を説明する図である。 第６図は、カメラ３４による第１図のスクリーンの画像
を示す図である。 ３０……真空ダクト、３２……スクリーン、３４……カ
メラ、４６，４８……目盛。
図である。 第２図は、シンクロトロン装置の概要を示す平面図であ
る。 第３図は、スクリーンモニタの概要を示す平面断面図で
ある。 第４図は、従来におけるスクリーンの正面図である。 第５図は、この考案の原理を説明する図である。 第６図は、カメラ３４による第１図のスクリーンの画像
を示す図である。 ３０……真空ダクト、３２……スクリーン、３４……カ
メラ、４６，４８……目盛。
Claims (1)
- 【請求項１】粒子加速器の真空ダクト中のビーム位置に
進出、退出可能に配設されて、ビームが衝突した位置で
蛍光を発するスクリーンと、 このスクリーン面を望むように配設されたカメラとを具
え、 前記スクリーンを前記カメラの方向に傾斜させて配設す
るとともに、このスクリーンにこの傾斜による距離変化
を修正した目盛を付してなる粒子加速器のスクリーンモ
ニタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3834590U JPH0617098Y2 (ja) | 1990-04-10 | 1990-04-10 | 粒子加速器のスクリーンモニタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3834590U JPH0617098Y2 (ja) | 1990-04-10 | 1990-04-10 | 粒子加速器のスクリーンモニタ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03128880U JPH03128880U (ja) | 1991-12-25 |
| JPH0617098Y2 true JPH0617098Y2 (ja) | 1994-05-02 |
Family
ID=31546266
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3834590U Expired - Lifetime JPH0617098Y2 (ja) | 1990-04-10 | 1990-04-10 | 粒子加速器のスクリーンモニタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0617098Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5057814B2 (ja) * | 2007-03-26 | 2012-10-24 | 株式会社 エピア | 折畳み式の足温器 |
-
1990
- 1990-04-10 JP JP3834590U patent/JPH0617098Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03128880U (ja) | 1991-12-25 |
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