JPH06167623A - フィルタ挿入光導波路および光集積回路 - Google Patents
フィルタ挿入光導波路および光集積回路Info
- Publication number
- JPH06167623A JPH06167623A JP32069292A JP32069292A JPH06167623A JP H06167623 A JPH06167623 A JP H06167623A JP 32069292 A JP32069292 A JP 32069292A JP 32069292 A JP32069292 A JP 32069292A JP H06167623 A JPH06167623 A JP H06167623A
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- JP
- Japan
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- filter
- core
- optical waveguide
- groove
- light
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 フィルタでの光の回折現象を防止するフィル
タ挿入光導波路および光集積回路を提供する。 【構成】 クラッド３中にコア２を埋め込んで光導波路
４を形成し、その光導波路４にコア２と交差する溝５を
設け、この溝５にフィルタ７を挿入してなるフィルタ挿
入光導波路９において、溝５の両側近傍でコア２の幅を
溝５に近付くにつれて拡大させて形成した。
タ挿入光導波路および光集積回路を提供する。 【構成】 クラッド３中にコア２を埋め込んで光導波路
４を形成し、その光導波路４にコア２と交差する溝５を
設け、この溝５にフィルタ７を挿入してなるフィルタ挿
入光導波路９において、溝５の両側近傍でコア２の幅を
溝５に近付くにつれて拡大させて形成した。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光導波路中にフィルタ
を挿入したフィルタ挿入光導波路に係り、特に、フィル
タでの光の回折現象を防止するフィルタ挿入光導波路お
よび光集積回路に関するものである。
を挿入したフィルタ挿入光導波路に係り、特に、フィル
タでの光の回折現象を防止するフィルタ挿入光導波路お
よび光集積回路に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】光導波路は、基板上に光を通すためのコ
アが線状に形成され、その周りにクラッドが満たされて
構成される。コアの一端から注入された光はコア内を通
って他端に到達することになる。通常、コアは延長上の
どこでも一定の幅となるように形成されている。
アが線状に形成され、その周りにクラッドが満たされて
構成される。コアの一端から注入された光はコア内を通
って他端に到達することになる。通常、コアは延長上の
どこでも一定の幅となるように形成されている。
【０００３】この光導波路に任意の波長の光だけを通し
たいときには、フィルタを備えた光導波路を使用する。
光導波路内にフィルタを具備する光導波路、即ちフィル
タ挿入光導波路は、クラッド中にコアを埋め込んで光導
波路を形成し、その後、この光導波路をエッチングして
コアにコアと交差する溝を設け、この溝にフィルタを挿
入して形成する。溝はコアと直交してもよいし斜めでも
よい。フィルタはある波長帯域の光を透過させ、それ以
外の波長の光を遮断するものである。このフィルタを上
記のように溝に挿入し、光学的接着剤によって固定す
る。コア内を通る光は、フィルタによって、ある波長帯
域の光だけが透過するようになる。
たいときには、フィルタを備えた光導波路を使用する。
光導波路内にフィルタを具備する光導波路、即ちフィル
タ挿入光導波路は、クラッド中にコアを埋め込んで光導
波路を形成し、その後、この光導波路をエッチングして
コアにコアと交差する溝を設け、この溝にフィルタを挿
入して形成する。溝はコアと直交してもよいし斜めでも
よい。フィルタはある波長帯域の光を透過させ、それ以
外の波長の光を遮断するものである。このフィルタを上
記のように溝に挿入し、光学的接着剤によって固定す
る。コア内を通る光は、フィルタによって、ある波長帯
域の光だけが透過するようになる。
【０００４】フィルタ挿入光導波路は、１つの光導波路
を通る２種以上の波長の光を、２つの光導波路に波長別
に選択的に分岐する光分岐に応用される。光分岐には、
２つの光導波路のコア同士をその延長上のどこかで接近
させて形成した方向性結合器が用いられる。方向性結合
器は、一方のコアを通る光がコア同士の接近部で他方の
コアに流れ込むことを利用して、２種の波長の光を両方
とも２つのコアに分岐するものである。その２つの出口
側にそれぞれの波長帯域を有するフィルタを設けておけ
ば、フィルタの下流側には、２種の波長の光が別々に取
り出せることになる。
を通る２種以上の波長の光を、２つの光導波路に波長別
に選択的に分岐する光分岐に応用される。光分岐には、
２つの光導波路のコア同士をその延長上のどこかで接近
させて形成した方向性結合器が用いられる。方向性結合
器は、一方のコアを通る光がコア同士の接近部で他方の
コアに流れ込むことを利用して、２種の波長の光を両方
とも２つのコアに分岐するものである。その２つの出口
側にそれぞれの波長帯域を有するフィルタを設けておけ
ば、フィルタの下流側には、２種の波長の光が別々に取
り出せることになる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、フィルタ挿
入光導波路は、コアに設けた溝にフィルタを挿入して形
成されるが、コアの幅が比較的狭いのに対してこれに交
差させて挿入するフィルタの方はどうしてもコア幅方向
の大きさが大きくなる。コアは、周りをクラッドで囲ま
れているのでコア内の光は、コアの幅に応じた比較的狭
い範囲に存在している。フィルタのところでは、フィル
タがクラッドにも割り込んでいるので、その部分だけ光
の通ることのできる幅が広くなっていることになる。即
ち、フィルタの部分で光導波路が急に広くなっていると
考えることができる。
入光導波路は、コアに設けた溝にフィルタを挿入して形
成されるが、コアの幅が比較的狭いのに対してこれに交
差させて挿入するフィルタの方はどうしてもコア幅方向
の大きさが大きくなる。コアは、周りをクラッドで囲ま
れているのでコア内の光は、コアの幅に応じた比較的狭
い範囲に存在している。フィルタのところでは、フィル
タがクラッドにも割り込んでいるので、その部分だけ光
の通ることのできる幅が広くなっていることになる。即
ち、フィルタの部分で光導波路が急に広くなっていると
考えることができる。
【０００６】このように狭いとことから広いところへ光
が出てくると、光の回折現象が起きる。光の回折現象は
スリットを通過した後の光の回り込みの現象としてよく
知られているが、フィルタの部分で光導波路が急に広く
なっている状態はスリットの出口と同じであるから、コ
アからフィルタに入った光は光の回折現象によって拡が
ってしまう。光の拡がった部分は、クラッドへの放射損
失となる。このようにフィルタを設けたことによって、
そのフィルタのために光の回折現象による損失が生じる
ことは問題である。
が出てくると、光の回折現象が起きる。光の回折現象は
スリットを通過した後の光の回り込みの現象としてよく
知られているが、フィルタの部分で光導波路が急に広く
なっている状態はスリットの出口と同じであるから、コ
アからフィルタに入った光は光の回折現象によって拡が
ってしまう。光の拡がった部分は、クラッドへの放射損
失となる。このようにフィルタを設けたことによって、
そのフィルタのために光の回折現象による損失が生じる
ことは問題である。
【０００７】そこで、本発明の目的は、上記課題を解決
し、フィルタでの光の回折現象を防止するフィルタ挿入
光導波路および光集積回路を提供することにある。
し、フィルタでの光の回折現象を防止するフィルタ挿入
光導波路および光集積回路を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、クラッド中にコアを埋め込んで光導波路を
形成し、その光導波路にコアと交差する溝を設け、この
溝にフィルタを挿入してなるフィルタ挿入光導波路にお
いて、溝の両側近傍でコアの幅を上記溝に近付くにつれ
て拡大させて形成したものである。
に本発明は、クラッド中にコアを埋め込んで光導波路を
形成し、その光導波路にコアと交差する溝を設け、この
溝にフィルタを挿入してなるフィルタ挿入光導波路にお
いて、溝の両側近傍でコアの幅を上記溝に近付くにつれ
て拡大させて形成したものである。
【０００９】上記コアを石英系ガラスで形成し、且つガ
ラス基板上に設けてもよい。
ラス基板上に設けてもよい。
【００１０】また、フィルタ挿入光集積回路は、基板上
に２本の光導波路からなる方向性結合器を複数集積し、
各方向性結合器の光導波路に、コアと交差する溝を設
け、上記溝の両側近傍でコアの幅を上記溝に近付くにつ
れて拡大させて形成すると共にこの溝にフィルタを挿入
したものである。
に２本の光導波路からなる方向性結合器を複数集積し、
各方向性結合器の光導波路に、コアと交差する溝を設
け、上記溝の両側近傍でコアの幅を上記溝に近付くにつ
れて拡大させて形成すると共にこの溝にフィルタを挿入
したものである。
【００１１】
【作用】上記構成により、溝の両側近傍でコアの幅が溝
に近付くにつれて拡大されている。従って、光導波路を
比較的狭い幅に制限されて通る光が、溝に近付くにつれ
て幅を拡げ、フィルタに入射するときには充分な幅を有
している。これは上記光の回折現象を起こすスリットに
おいて、スリット幅を拡げたことに相当し、よく知られ
ているようにスリット幅が広ければ光の回折現象の大き
さが小さくなること（ホイヘンスの原理）から、フィル
タに入射する光は光の回折現象によって大きく拡がるこ
とがない。フィルタを通った光は、溝の反対側のコアに
入射し、溝から遠ざかるに従って徐々に幅が狭められて
元のように比較的狭い幅に収まる。フィルタでの光の回
折現象が小さいので、所望の波長の光においてはフィル
タ透過前後でほとんど損失がない。
に近付くにつれて拡大されている。従って、光導波路を
比較的狭い幅に制限されて通る光が、溝に近付くにつれ
て幅を拡げ、フィルタに入射するときには充分な幅を有
している。これは上記光の回折現象を起こすスリットに
おいて、スリット幅を拡げたことに相当し、よく知られ
ているようにスリット幅が広ければ光の回折現象の大き
さが小さくなること（ホイヘンスの原理）から、フィル
タに入射する光は光の回折現象によって大きく拡がるこ
とがない。フィルタを通った光は、溝の反対側のコアに
入射し、溝から遠ざかるに従って徐々に幅が狭められて
元のように比較的狭い幅に収まる。フィルタでの光の回
折現象が小さいので、所望の波長の光においてはフィル
タ透過前後でほとんど損失がない。
【００１２】
【実施例】以下本発明の一実施例を添付図面に基づいて
詳述する。
詳述する。
【００１３】図３は、本発明によるフィルタ挿入光集積
回路の例である。フィルタ挿入光集積回路１０内の光導
波路４において、円Ａの部分が拡大されて図１に、その
断面が図２に示されている。
回路の例である。フィルタ挿入光集積回路１０内の光導
波路４において、円Ａの部分が拡大されて図１に、その
断面が図２に示されている。
【００１４】図１、図２に示されるように、ガラス基板
１上に石英系ガラスからなる所定の高さと幅を有するコ
ア２が形成され、その周り（上部及び側部）にクラッド
３が満たされて、コア２がクラッド３中に埋め込まれた
形の光導波路４が形成されている。ここで図の左側を光
導波路の上流４ｕ、右側を下流４ｄとする。コア２の幅
は、円外では所定の比較的狭い幅ｗに形成されている
が、円内では上流４ｕから下流４ｄに向かって徐々に幅
が拡大されテーパ状を呈している。その最大幅ｗmax の
位置に、コア２の長手方向に対して直角にコア２と交差
する溝５が設けられている。溝５は、コア２の長手方向
に一定の幅を有し、コア２の両側に接するクラッド３内
に食い込むまで延長され、厚み方向にもガラス基板１内
に食い込むまで延長されている。光導波路４の表面側で
はクラッド３が取り除かれて開口部６が形成されてい
る。溝５の下流側では、上流４ｕから下流４ｄに向かっ
て徐々にコア２の幅が縮小され、前記溝５の上流４ｕ側
と逆のテーパ状を呈している。
１上に石英系ガラスからなる所定の高さと幅を有するコ
ア２が形成され、その周り（上部及び側部）にクラッド
３が満たされて、コア２がクラッド３中に埋め込まれた
形の光導波路４が形成されている。ここで図の左側を光
導波路の上流４ｕ、右側を下流４ｄとする。コア２の幅
は、円外では所定の比較的狭い幅ｗに形成されている
が、円内では上流４ｕから下流４ｄに向かって徐々に幅
が拡大されテーパ状を呈している。その最大幅ｗmax の
位置に、コア２の長手方向に対して直角にコア２と交差
する溝５が設けられている。溝５は、コア２の長手方向
に一定の幅を有し、コア２の両側に接するクラッド３内
に食い込むまで延長され、厚み方向にもガラス基板１内
に食い込むまで延長されている。光導波路４の表面側で
はクラッド３が取り除かれて開口部６が形成されてい
る。溝５の下流側では、上流４ｕから下流４ｄに向かっ
て徐々にコア２の幅が縮小され、前記溝５の上流４ｕ側
と逆のテーパ状を呈している。
【００１５】溝５には、その開口部６よりフィルタ７が
挿入されている。フィルタ７は、コア２の直角方向には
溝５の大きさに略一致し、光導波路４の厚み方向にはガ
ラス基板１内の溝底部５ａに接すると共に開口部６から
はクラッド３より外方に突き出すような大きさに形成さ
れている。フィルタ７の上下流面７ｕ、７ｄと溝５に現
れるコア２断面とは、それぞれ光学接着剤８で接着され
ている。図２のフィルタ７は、波長１．３μｍの光を透
過し、１．５５μｍの光を遮断するような帯域特性を有
している。光導波路４は、溝５にフィルタ７が挿入され
たことによりフィルタ挿入光導波路９になっている。
挿入されている。フィルタ７は、コア２の直角方向には
溝５の大きさに略一致し、光導波路４の厚み方向にはガ
ラス基板１内の溝底部５ａに接すると共に開口部６から
はクラッド３より外方に突き出すような大きさに形成さ
れている。フィルタ７の上下流面７ｕ、７ｄと溝５に現
れるコア２断面とは、それぞれ光学接着剤８で接着され
ている。図２のフィルタ７は、波長１．３μｍの光を透
過し、１．５５μｍの光を遮断するような帯域特性を有
している。光導波路４は、溝５にフィルタ７が挿入され
たことによりフィルタ挿入光導波路９になっている。
【００１６】次に実施例の作用を述べる。
【００１７】図２のフィルタ挿入光導波路９の上流４ｕ
からの光は、比較的狭い幅ｗであったものが、コア２が
テーパ状に拡がっているので、徐々に幅を拡げて最大幅
ｗmax となりフィルタ７に至る。フィルタ７において波
長１．３μｍの帯域の光が透過され、１．５５μｍを含
む他の帯域の光が遮断される。フィルタ７を透過した波
長１．３μｍの帯域の光は、コア２のテーパ状形状に従
って徐々に幅を狭め、やがて元のように比較的狭い幅ｗ
に収まる。
からの光は、比較的狭い幅ｗであったものが、コア２が
テーパ状に拡がっているので、徐々に幅を拡げて最大幅
ｗmax となりフィルタ７に至る。フィルタ７において波
長１．３μｍの帯域の光が透過され、１．５５μｍを含
む他の帯域の光が遮断される。フィルタ７を透過した波
長１．３μｍの帯域の光は、コア２のテーパ状形状に従
って徐々に幅を狭め、やがて元のように比較的狭い幅ｗ
に収まる。
【００１８】図５には、フィルタ７の位置における光の
回折現象の様子が、本発明の実施例と従来例について示
されている。図５を用いて比較を行う。図５（ａ）は、
従来の光導波路のフィルタ７近傍を示しておりコア２の
幅はｗで一定である。図５（ｂ）は、本発明の光導波路
のフィルタ近傍を示しておりコアの幅はｗからｗma x ま
で拡がっている。
回折現象の様子が、本発明の実施例と従来例について示
されている。図５を用いて比較を行う。図５（ａ）は、
従来の光導波路のフィルタ７近傍を示しておりコア２の
幅はｗで一定である。図５（ｂ）は、本発明の光導波路
のフィルタ近傍を示しておりコアの幅はｗからｗma x ま
で拡がっている。
【００１９】従来例では進行方向両側を制限されコア２
内に閉じ込められて透過する光が、制限のないフィルタ
７内に入射するとき、光の回折現象を起こして拡がる。
このとき、従来の一定幅の狭いコア２からフィルタ７に
入射した光は、比較的大きな角度αで拡がる。拡がった
光は、フィルタ７を経てクラッド３中に吸収され放射損
失となる。一方、本発明のコア２は、フィルタ７の直前
において充分に幅が広いので、フィルタ７に入射した光
は、比較的小さな角度βで拡がる。フィルタ７の下流側
においてもコア２は充分に幅が広いので、殆どの光がコ
ア２に入射され、クラッド３に漏れ込む光は少ない。
内に閉じ込められて透過する光が、制限のないフィルタ
７内に入射するとき、光の回折現象を起こして拡がる。
このとき、従来の一定幅の狭いコア２からフィルタ７に
入射した光は、比較的大きな角度αで拡がる。拡がった
光は、フィルタ７を経てクラッド３中に吸収され放射損
失となる。一方、本発明のコア２は、フィルタ７の直前
において充分に幅が広いので、フィルタ７に入射した光
は、比較的小さな角度βで拡がる。フィルタ７の下流側
においてもコア２は充分に幅が広いので、殆どの光がコ
ア２に入射され、クラッド３に漏れ込む光は少ない。
【００２０】図３を用いて、本発明のフィルタ挿入光集
積回路の実施例を説明する。フィルタ挿入光集積回路１
０は、方向性結合器１１を利用した光分岐１２を集積し
たものであって、ガラス基板１上に２本の光導波路
４-1、４-2からなる方向性結合器１１を複数集積し、各
方向性結合器１１の光導波路に、コア２と交差する溝５
を設け、溝５の両側近傍でコア２の幅を溝５に近付くに
つれて拡大させて形成すると共にこの溝５にフィルタ７
を挿入したものである。
積回路の実施例を説明する。フィルタ挿入光集積回路１
０は、方向性結合器１１を利用した光分岐１２を集積し
たものであって、ガラス基板１上に２本の光導波路
４-1、４-2からなる方向性結合器１１を複数集積し、各
方向性結合器１１の光導波路に、コア２と交差する溝５
を設け、溝５の両側近傍でコア２の幅を溝５に近付くに
つれて拡大させて形成すると共にこの溝５にフィルタ７
を挿入したものである。
【００２１】各方向性結合器１１において、２つの光導
波路４は、それぞれの上流側を入力ポート１３とし、そ
の延長上（図１の中央部）でコア２同士が接近させて設
けられている。方向性結合器１１は、一方の光導波路４
のコア２を通る光がコア２同士の接近部で他方の光導波
路４のコア２に流れ込むことを利用して、２種の波長の
光を両方とも２つのコア２に分岐するものである。ここ
では第１入力ポート１３-1には波長１．３μｍの光（破
線）と波長１．５５μｍの光（点線）とが重畳されて導
かれており、第２入力ポート１３-2は光入力のない状態
である。コア２同士の接近部の下流側はそれぞれ第１、
第２の出力ポート１４-1、１４-2である。この実施例で
は、第２出力ポート１４-2の光導波路に図１で説明した
フィルタ挿入光導波路が使用されている。
波路４は、それぞれの上流側を入力ポート１３とし、そ
の延長上（図１の中央部）でコア２同士が接近させて設
けられている。方向性結合器１１は、一方の光導波路４
のコア２を通る光がコア２同士の接近部で他方の光導波
路４のコア２に流れ込むことを利用して、２種の波長の
光を両方とも２つのコア２に分岐するものである。ここ
では第１入力ポート１３-1には波長１．３μｍの光（破
線）と波長１．５５μｍの光（点線）とが重畳されて導
かれており、第２入力ポート１３-2は光入力のない状態
である。コア２同士の接近部の下流側はそれぞれ第１、
第２の出力ポート１４-1、１４-2である。この実施例で
は、第２出力ポート１４-2の光導波路に図１で説明した
フィルタ挿入光導波路が使用されている。
【００２２】第１入力ポート１３-1から波長１．３μｍ
の光と波長１．５５μｍの光とが入力されると、方向性
結合器１１によりそれぞれの光の何％かが第２出力ポー
ト１４-2の側の光導波路４-2に結合される。結合されな
かった光はそのまま第１出力ポート１４-1から出力され
る。第２出力ポート１４-2側の光導波路４-2に結合され
た光のうち波長１．３μｍの光はフィルタ７を透過して
第２出力ポート１４-2に出力される。波長１．５５μｍ
の光はフィルタ７で遮断されて第２出力ポート１４-2に
は出力されない。このように、フィルタ挿入光集積回路
１０は、各光分岐１２において、２種の波長の光から、
１種の波長の光を選択的に分岐できるものである。
の光と波長１．５５μｍの光とが入力されると、方向性
結合器１１によりそれぞれの光の何％かが第２出力ポー
ト１４-2の側の光導波路４-2に結合される。結合されな
かった光はそのまま第１出力ポート１４-1から出力され
る。第２出力ポート１４-2側の光導波路４-2に結合され
た光のうち波長１．３μｍの光はフィルタ７を透過して
第２出力ポート１４-2に出力される。波長１．５５μｍ
の光はフィルタ７で遮断されて第２出力ポート１４-2に
は出力されない。このように、フィルタ挿入光集積回路
１０は、各光分岐１２において、２種の波長の光から、
１種の波長の光を選択的に分岐できるものである。
【００２３】次にフィルタとフィルタ挿入光導波路の製
造工程の一例を説明する。図４に示されるように＜１１
０＞方向に厚み８００μｍを有するＳｉウエハ４１の片
面に５μｍ以下の酸化膜４２を形成し、反対面にＴｉＯ
2 −ＳｉＯ2 多層膜からなるフィルタ膜４３を蒸着す
る。両面にレジスト４４を塗布した後、両面マスクアラ
イナを使用し、フィルタ膜４３側に幅ｄ1 、酸化膜４２
側に幅ｄ2 （＞ｄ1 ）でマスクし、露光・現像によりレ
ジストを除去する。レジストを除去された部分のフィル
タ膜４３及び酸化膜４２をＨＦ−ＮＨ4 Ｆ水溶液を用い
てウエットエッチングにより除去する。さらに、これら
の部分のＳｉ基板４１をＫＯＨ水溶液を用いてウエット
エッチングにより除去すると、Ｓｉ基板４１は２分され
一方にＳｉ基板４１よりフィルタ膜４３が突き出された
ものが残る。これよりレジストを除去するとフィルタ付
Ｓｉ基板４５が形成される。
造工程の一例を説明する。図４に示されるように＜１１
０＞方向に厚み８００μｍを有するＳｉウエハ４１の片
面に５μｍ以下の酸化膜４２を形成し、反対面にＴｉＯ
2 −ＳｉＯ2 多層膜からなるフィルタ膜４３を蒸着す
る。両面にレジスト４４を塗布した後、両面マスクアラ
イナを使用し、フィルタ膜４３側に幅ｄ1 、酸化膜４２
側に幅ｄ2 （＞ｄ1 ）でマスクし、露光・現像によりレ
ジストを除去する。レジストを除去された部分のフィル
タ膜４３及び酸化膜４２をＨＦ−ＮＨ4 Ｆ水溶液を用い
てウエットエッチングにより除去する。さらに、これら
の部分のＳｉ基板４１をＫＯＨ水溶液を用いてウエット
エッチングにより除去すると、Ｓｉ基板４１は２分され
一方にＳｉ基板４１よりフィルタ膜４３が突き出された
ものが残る。これよりレジストを除去するとフィルタ付
Ｓｉ基板４５が形成される。
【００２４】この一方で、ガラス基板１上に石英系ガラ
スからなるコア２とコア２を覆うクラッド３とを設けた
光導波路４をダイシング装置４６にて掘り込み、所望の
位置に溝５を形成する。この溝５にフィルタ付Ｓｉ基板
４５のフィルタ７を挿入し、溝５とフィルタ７とを光学
接着剤８で接着すると共にフィルタ付Ｓｉ基板４５をク
ラッド３にＵＶ樹脂で接着し固定する。
スからなるコア２とコア２を覆うクラッド３とを設けた
光導波路４をダイシング装置４６にて掘り込み、所望の
位置に溝５を形成する。この溝５にフィルタ付Ｓｉ基板
４５のフィルタ７を挿入し、溝５とフィルタ７とを光学
接着剤８で接着すると共にフィルタ付Ｓｉ基板４５をク
ラッド３にＵＶ樹脂で接着し固定する。
【００２５】
【発明の効果】本発明によれば、フィルタでの光の回折
現象が小さくなることにより、光の損失が小さくなり光
導波路の性能が向上する。
現象が小さくなることにより、光の損失が小さくなり光
導波路の性能が向上する。
【図１】本発明の一実施例を示すフィルタ挿入光導波路
の部分拡大図である。
の部分拡大図である。
【図２】図１のＢ−ＢＢ断面図である。
【図３】本発明の一実施例を示すフィルタ挿入光集積回
路の構成図である。
路の構成図である。
【図４】本発明のフィルタ挿入光導波路の製造工程図で
ある。
ある。
【図５】従来のフィルタ挿入光導波路と本発明のフィル
タ挿入光導波路における光の回折現象の説明図である。
タ挿入光導波路における光の回折現象の説明図である。
１ ガラス基板 ２ コア ３ クラッド ４ 光導波路 ５ 溝 ７ フィルタ ９ フィルタ挿入光導波路
Claims (3)
- 【請求項１】 クラッド中にコアを埋め込んで光導波路
を形成し、その光導波路にコアと交差する溝を設け、こ
の溝にフィルタを挿入してなるフィルタ挿入光導波路に
おいて、上記溝の両側近傍でコアの幅を上記溝に近付く
につれて拡大させて形成したことを特徴とするフィルタ
挿入光導波路。 - 【請求項２】 上記コアが石英系ガラスからなり、且つ
ガラス基板上に設けられることを特徴とする請求項１記
載のフィルタ挿入光導波路。 - 【請求項３】 基板上に２本の光導波路からなる方向性
結合器を複数集積し、各方向性結合器の光導波路に、コ
アと交差する溝を設け、上記溝の両側近傍でコアの幅を
上記溝に近付くにつれて拡大させて形成すると共にこの
溝にフィルタを挿入したことを特徴とするフィルタ挿入
光集積回路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32069292A JPH06167623A (ja) | 1992-11-30 | 1992-11-30 | フィルタ挿入光導波路および光集積回路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32069292A JPH06167623A (ja) | 1992-11-30 | 1992-11-30 | フィルタ挿入光導波路および光集積回路 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06167623A true JPH06167623A (ja) | 1994-06-14 |
Family
ID=18124282
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32069292A Pending JPH06167623A (ja) | 1992-11-30 | 1992-11-30 | フィルタ挿入光導波路および光集積回路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06167623A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09292539A (ja) * | 1996-04-26 | 1997-11-11 | Nec Corp | 導波路形コリメータ |
| AU725956B2 (en) * | 1997-05-14 | 2000-10-26 | Nippon Kayaku Kabushiki Kaisha | Heat-sensitive recording material and novel crystal of bisphenol S derivative |
| KR100446524B1 (ko) * | 2002-11-25 | 2004-09-04 | 삼성전자주식회사 | 파장분할 다중화/역다중화기 |
-
1992
- 1992-11-30 JP JP32069292A patent/JPH06167623A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09292539A (ja) * | 1996-04-26 | 1997-11-11 | Nec Corp | 導波路形コリメータ |
| AU725956B2 (en) * | 1997-05-14 | 2000-10-26 | Nippon Kayaku Kabushiki Kaisha | Heat-sensitive recording material and novel crystal of bisphenol S derivative |
| KR100446524B1 (ko) * | 2002-11-25 | 2004-09-04 | 삼성전자주식회사 | 파장분할 다중화/역다중화기 |
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