JPH06163958A - 半導体装置およびその作製方法 - Google Patents
半導体装置およびその作製方法Info
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 36
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 15
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 72
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 37
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 37
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 claims abstract description 21
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 claims abstract description 21
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 30
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 claims description 19
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 15
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 claims description 9
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 claims description 9
- -1 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 claims description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 3
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 abstract 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 51
- 229920002799 BoPET Polymers 0.000 description 29
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 13
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 7
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 6
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 4
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 4
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- 239000004695 Polyether sulfone Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 2
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 2
- 229920002492 poly(sulfone) Polymers 0.000 description 2
- 229920006393 polyether sulfone Polymers 0.000 description 2
- 238000001004 secondary ion mass spectrometry Methods 0.000 description 2
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 241000283986 Lepus Species 0.000 description 1
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 235000010724 Wisteria floribunda Nutrition 0.000 description 1
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 1
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 1
- 230000009477 glass transition Effects 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 239000002985 plastic film Substances 0.000 description 1
- 229920006255 plastic film Polymers 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 238000001552 radio frequency sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
- 239000012808 vapor phase Substances 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/12—Mountings, e.g. non-detachable insulating substrates
- H01L23/14—Mountings, e.g. non-detachable insulating substrates characterised by the material or its electrical properties
- H01L23/145—Organic substrates, e.g. plastic
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- H01L23/48—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
- H01L23/488—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
- H01L23/498—Leads, i.e. metallisations or lead-frames on insulating substrates, e.g. chip carriers
- H01L23/4985—Flexible insulating substrates
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- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/0248—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by their semiconductor bodies
- H01L31/036—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by their semiconductor bodies characterised by their crystalline structure or particular orientation of the crystalline planes
- H01L31/0392—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by their semiconductor bodies characterised by their crystalline structure or particular orientation of the crystalline planes including thin films deposited on metallic or insulating substrates ; characterised by specific substrate materials or substrate features or by the presence of intermediate layers, e.g. barrier layers, on the substrate
- H01L31/03921—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by their semiconductor bodies characterised by their crystalline structure or particular orientation of the crystalline planes including thin films deposited on metallic or insulating substrates ; characterised by specific substrate materials or substrate features or by the presence of intermediate layers, e.g. barrier layers, on the substrate including only elements of Group IV of the Periodic Table
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- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/04—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices
- H01L31/06—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices characterised by potential barriers
- H01L31/075—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices characterised by potential barriers the potential barriers being only of the PIN type, e.g. amorphous silicon PIN solar cells
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- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/0002—Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00
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- H01L2924/10—Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/11—Device type
- H01L2924/12—Passive devices, e.g. 2 terminal devices
- H01L2924/1204—Optical Diode
- H01L2924/12044—OLED
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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- Physics & Mathematics (AREA)
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Abstract
(57)【要約】 (修正有)
【目的】 有機樹脂フィルム基板上に半導体装置を形成
しようとする際に、基板表面に不可避に析出してしまう
オリゴマーが発生しないような、半導体装置の作製方法
を提供する。 【構成】 有機樹脂フィルム基板10表面に予めアクリ
ル樹脂11を塗布することにより、半導体装置作製工程
に中に不可避に発生しまっていた析出物の発生を防止
し、それにより半導体装置の性能を向上して、生産性を
高める。
しようとする際に、基板表面に不可避に析出してしまう
オリゴマーが発生しないような、半導体装置の作製方法
を提供する。 【構成】 有機樹脂フィルム基板10表面に予めアクリ
ル樹脂11を塗布することにより、半導体装置作製工程
に中に不可避に発生しまっていた析出物の発生を防止
し、それにより半導体装置の性能を向上して、生産性を
高める。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、フレキシブル性(柔軟
性)を有する基板である有機樹脂フィルム基板を用いた
半導体装置に関するものである。
性)を有する基板である有機樹脂フィルム基板を用いた
半導体装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、フレキシブル性を有する有機樹脂
フィルム(プラスチックフィルムともいう)を基板とし
て使用した薄膜太陽電池が知られている。
フィルム(プラスチックフィルムともいう)を基板とし
て使用した薄膜太陽電池が知られている。
【0003】上記フレキシブル性を有した基板を用いた
薄膜太陽電池は、ガラス基板等のハード基板(硬い基
板)を用いた薄膜太陽電池に対して、使用用途が広く、
取り扱いやすいという特徴を有する。
薄膜太陽電池は、ガラス基板等のハード基板(硬い基
板)を用いた薄膜太陽電池に対して、使用用途が広く、
取り扱いやすいという特徴を有する。
【0004】上記フレキシブル性を有した基板として
は、ポリイミド、通称PETフィルムと呼ばれるポリエ
チレンテレフタレートのフィルム等が知られている。P
ETフィルムは、汎用のため安くて入手しやすく、線膨
張係数が約3×105 /℃と他の有機樹脂フィルムに比
較して比較的小さいという特徴を有している。また、透
明であるので、ガラス基板を用いる場合と同様に、基板
側から光入射をさせる形式の薄膜太陽を構成できるとい
う特徴を有している。
は、ポリイミド、通称PETフィルムと呼ばれるポリエ
チレンテレフタレートのフィルム等が知られている。P
ETフィルムは、汎用のため安くて入手しやすく、線膨
張係数が約3×105 /℃と他の有機樹脂フィルムに比
較して比較的小さいという特徴を有している。また、透
明であるので、ガラス基板を用いる場合と同様に、基板
側から光入射をさせる形式の薄膜太陽を構成できるとい
う特徴を有している。
【0005】PETフィルムを基板として用いた薄膜太
陽電池を作製する方法としては、ガラス基板を用いる場
合と同様に、アモルファスシリコン半導体(一般にa−
Siと記載される)を気相化学反応法で成膜させる方法
が知られている。また、PETフィルムに限らず有機樹
脂フィルムは、耐熱性が乏しいので、成膜に際して基板
が高温にならないようにすることが重要である。
陽電池を作製する方法としては、ガラス基板を用いる場
合と同様に、アモルファスシリコン半導体(一般にa−
Siと記載される)を気相化学反応法で成膜させる方法
が知られている。また、PETフィルムに限らず有機樹
脂フィルムは、耐熱性が乏しいので、成膜に際して基板
が高温にならないようにすることが重要である。
【0006】
【従来技術の問題点】上記のごとく、耐熱性の問題から
PETフィルムに代表される有機樹脂フィルムを基板と
して薄膜太陽電池を作製しようとする場合、基板温度が
高くならないようにしていた。しかし、例えば基板とし
てPETフィルムを用い、このPETフィルム上に透明
導電膜であるITOを、基板加熱無しの成膜条件でスパ
ッタ法によって成膜した場合、基板の加熱を行わないの
にもかかわらず、フィルム基板表面がスパッタ粒子によ
ってたたかれ発熱してしまう。この結果、PETフィル
ム中からPETフィルム中の未反応原料、充填材、紫外
線吸収剤等がオリゴマーとして析出し、フィルム表面に
凹凸を形成してしまっていた。オリゴマーとは、低い重
合度の重合体をさすものであり、この場合はPETフィ
ルムを構成するポリエチレンテレフタレートよりも融点
あるは軟化点が低いという性質を有する。
PETフィルムに代表される有機樹脂フィルムを基板と
して薄膜太陽電池を作製しようとする場合、基板温度が
高くならないようにしていた。しかし、例えば基板とし
てPETフィルムを用い、このPETフィルム上に透明
導電膜であるITOを、基板加熱無しの成膜条件でスパ
ッタ法によって成膜した場合、基板の加熱を行わないの
にもかかわらず、フィルム基板表面がスパッタ粒子によ
ってたたかれ発熱してしまう。この結果、PETフィル
ム中からPETフィルム中の未反応原料、充填材、紫外
線吸収剤等がオリゴマーとして析出し、フィルム表面に
凹凸を形成してしまっていた。オリゴマーとは、低い重
合度の重合体をさすものであり、この場合はPETフィ
ルムを構成するポリエチレンテレフタレートよりも融点
あるは軟化点が低いという性質を有する。
【0007】また、光電変換層を構成するアモルファス
シリコン半導体をプラズマCVD法によって成膜する際
に、基板を加熱するので、上記のITOを成膜する際に
析出したオリゴマーがこの加熱よって多少成長し、結果
としてフィルム上の凹凸が1μm程度の大きさになって
しまっていた。
シリコン半導体をプラズマCVD法によって成膜する際
に、基板を加熱するので、上記のITOを成膜する際に
析出したオリゴマーがこの加熱よって多少成長し、結果
としてフィルム上の凹凸が1μm程度の大きさになって
しまっていた。
【0008】周知のように、光電変換層を構成するアモ
ルファスシリコン半導体層(一般にPIN型と構成され
る)の厚さは0.2 〜1μm程度であるので、アモルファ
スシリコン半導体層はオリゴマーの発生による凹凸の影
響を大きく受けてしまう。この結果、光電変換層の厚さ
が一定でなくなり光電変換効率が大きく低下してしまっ
ていた。
ルファスシリコン半導体層(一般にPIN型と構成され
る)の厚さは0.2 〜1μm程度であるので、アモルファ
スシリコン半導体層はオリゴマーの発生による凹凸の影
響を大きく受けてしまう。この結果、光電変換層の厚さ
が一定でなくなり光電変換効率が大きく低下してしまっ
ていた。
【0009】このオリゴマーの析出によって、薄膜太陽
電池の構成がどの様な影響を受けるかについて、その一
例を図2を用いて説明する。なお、図2はSEM写真並
びにSIMS(2次イオン質量分析法)による分析に基
づいて作製した模式図面である。
電池の構成がどの様な影響を受けるかについて、その一
例を図2を用いて説明する。なお、図2はSEM写真並
びにSIMS(2次イオン質量分析法)による分析に基
づいて作製した模式図面である。
【0010】図2において、20が有機樹脂フィルム基
板であるPETフィルム(厚さ100μm)であり、2
1がオリゴマー(直径1μm程度の球形形状を有してい
る)であり、22がITO電極(厚さ4000Å)であ
り、23が基板側からPIN型と構成されたアモルファ
スシリコンよりなる光電変換層(厚さ4500Å)であ
り、24がアルミにより構成された裏面電極(厚さ30
00Å)である。図2をみると明らかなように、直径が
1μmにも達するオリゴマーの存在によって、一対の電
極並びに光電変換層が大きく圧迫される。その結果、光
電変換層23の厚さは一定せず、光電変換効率の低下を
きたしてしまう。また、基板上に設けられている第1の
電極を突き抜けてオリゴマーは析出成長するので、多数
のオリゴマーの存在によって第1の導電膜の抵抗が高く
なってしまうという問題も生じる。さらに、集積化構成
をとる場合に必要な電極間の接続や分断のための構成が
困難になるという問題も生じてしまう。
板であるPETフィルム(厚さ100μm)であり、2
1がオリゴマー(直径1μm程度の球形形状を有してい
る)であり、22がITO電極(厚さ4000Å)であ
り、23が基板側からPIN型と構成されたアモルファ
スシリコンよりなる光電変換層(厚さ4500Å)であ
り、24がアルミにより構成された裏面電極(厚さ30
00Å)である。図2をみると明らかなように、直径が
1μmにも達するオリゴマーの存在によって、一対の電
極並びに光電変換層が大きく圧迫される。その結果、光
電変換層23の厚さは一定せず、光電変換効率の低下を
きたしてしまう。また、基板上に設けられている第1の
電極を突き抜けてオリゴマーは析出成長するので、多数
のオリゴマーの存在によって第1の導電膜の抵抗が高く
なってしまうという問題も生じる。さらに、集積化構成
をとる場合に必要な電極間の接続や分断のための構成が
困難になるという問題も生じてしまう。
【0011】以上のように透明導電膜の成膜時に析出
し、アモルファスシリコンの成膜時に成長するオリゴマ
ーのために、完成された薄膜太陽電池の特性は、ガラス
基板上に設けられた光電変換装置に比較して低いものと
なってしまっていた。
し、アモルファスシリコンの成膜時に成長するオリゴマ
ーのために、完成された薄膜太陽電池の特性は、ガラス
基板上に設けられた光電変換装置に比較して低いものと
なってしまっていた。
【0012】一方、一般に有機樹脂基板上にアモルファ
スシリコン薄膜をプラズマCVD法によって成膜しよう
とする際には、その成膜温度が問題となる。 ガラス基
板上にアモルファスシリコンをプラズマCVD法によっ
て成膜しようとする場合には、100〜300度程度の
基板温度が最適であることが知られている。このことか
ら類推して、PETフィルム上においても100度以上
の温度でアモルファスシリコンを成膜することがよいと
考えられるが、成膜温度が高いとPETフィルムの熱膨
張が問題となる。
スシリコン薄膜をプラズマCVD法によって成膜しよう
とする際には、その成膜温度が問題となる。 ガラス基
板上にアモルファスシリコンをプラズマCVD法によっ
て成膜しようとする場合には、100〜300度程度の
基板温度が最適であることが知られている。このことか
ら類推して、PETフィルム上においても100度以上
の温度でアモルファスシリコンを成膜することがよいと
考えられるが、成膜温度が高いとPETフィルムの熱膨
張が問題となる。
【0013】このPETフィルムの熱膨張の問題という
のは、基板が熱膨張してしまうことによって、基板から
アモルファスシリコンが剥がれたり、アモルファスシリ
コンにクラックが発生したりする問題である。なお、こ
の基板熱膨張の問題は、PETフィルムに限った問題で
はなく、有機樹脂フィルムを基板として半導体装置を作
製しようとする際に生じる共通の問題である。このこと
は、前述したようにPETフィルムが有機樹脂フィルム
の中では比較的小さい熱膨張係数を有することを考えて
も明らかである。
のは、基板が熱膨張してしまうことによって、基板から
アモルファスシリコンが剥がれたり、アモルファスシリ
コンにクラックが発生したりする問題である。なお、こ
の基板熱膨張の問題は、PETフィルムに限った問題で
はなく、有機樹脂フィルムを基板として半導体装置を作
製しようとする際に生じる共通の問題である。このこと
は、前述したようにPETフィルムが有機樹脂フィルム
の中では比較的小さい熱膨張係数を有することを考えて
も明らかである。
【0014】また、前述の透明導電膜の成膜時において
析出したオリゴマーがアモルファスシリコンの成膜時に
おける加熱によって成長するので、何らかの方法で基板
の熱膨張の問題を解決したとしても、成長するオリゴマ
ーの問題を解決する必要があった。
析出したオリゴマーがアモルファスシリコンの成膜時に
おける加熱によって成長するので、何らかの方法で基板
の熱膨張の問題を解決したとしても、成長するオリゴマ
ーの問題を解決する必要があった。
【0015】以上のように、従来PETフィルム上にア
モルファスシリコンをプラズマCVD法によって成膜し
ようとする際には、不可避にPETフィルム中から析出
してしまうオリゴマーの成長の問題と、PETフィルム
の熱膨張の問題があり、この2つの問題の兼ね合いで成
膜温度を決定していた。
モルファスシリコンをプラズマCVD法によって成膜し
ようとする際には、不可避にPETフィルム中から析出
してしまうオリゴマーの成長の問題と、PETフィルム
の熱膨張の問題があり、この2つの問題の兼ね合いで成
膜温度を決定していた。
【0016】
【発明の目的】本発明は、有機樹脂フィルム基板上に半
導体装置を形成しようとする際に、基板表面に不可避に
析出してしまうオリゴマーが発生しないような、半導体
装置の構成及びその作製方法を提供することを目的とす
る。
導体装置を形成しようとする際に、基板表面に不可避に
析出してしまうオリゴマーが発生しないような、半導体
装置の構成及びその作製方法を提供することを目的とす
る。
【0017】
【課題を解決するための手段】本発明は、有機樹脂フィ
ルム基板上に形成される半導体装置の作製工程におい
て、有機樹脂フィルム基板表面にアクリル樹脂を塗布す
ることによって、有機樹脂フィルム基板からの析出物で
あるオリゴマーが発生しないようにしたことを特徴とす
るものである。本発明は、PETフィム上にアクリル酸
エステルを主成分とするアクリル樹脂を塗布し、このP
ETフィルムを基板として光電変換装置を作製すると、
従来と同じ工程を施してもオリゴマーが発生しなかった
という実験事実に基づくものである。
ルム基板上に形成される半導体装置の作製工程におい
て、有機樹脂フィルム基板表面にアクリル樹脂を塗布す
ることによって、有機樹脂フィルム基板からの析出物で
あるオリゴマーが発生しないようにしたことを特徴とす
るものである。本発明は、PETフィム上にアクリル酸
エステルを主成分とするアクリル樹脂を塗布し、このP
ETフィルムを基板として光電変換装置を作製すると、
従来と同じ工程を施してもオリゴマーが発生しなかった
という実験事実に基づくものである。
【0018】本発明の有機樹脂フィルムとして、PET
(ポリエチレンテレフタレート)以外に、PES(ポリ
エーテルサルフォン)、PSF(ポリスルフォン)等を
用いることができる。
(ポリエチレンテレフタレート)以外に、PES(ポリ
エーテルサルフォン)、PSF(ポリスルフォン)等を
用いることができる。
【0019】しかしながら、PETがもっともガラス転
移温度が低く、熱によってオリゴマーが発生しやすいの
で、本発明の効果が顕著に現れるのは、PETフィルム
を基板として用いた場合である。
移温度が低く、熱によってオリゴマーが発生しやすいの
で、本発明の効果が顕著に現れるのは、PETフィルム
を基板として用いた場合である。
【0020】アクリル樹脂としては、プラスチックの耐
磨耗性、耐薬品性、耐汚染性を高めるためのハードコー
ト材を用いることができる。
磨耗性、耐薬品性、耐汚染性を高めるためのハードコー
ト材を用いることができる。
【0021】
【作用】有機樹脂基板上にアクリル樹脂を塗布すること
によって、スパッタ時における有機樹脂フィルムからの
オリゴマーの析出をほとんど抑えることができる。
によって、スパッタ時における有機樹脂フィルムからの
オリゴマーの析出をほとんど抑えることができる。
【0022】
【実施例】以下、本発明の構成を利用した実施例を示
し、本発明の構成を実施例に則して説明する。
し、本発明の構成を実施例に則して説明する。
【0023】本実施例は、基板としてポリエチレンテレ
フタレートを主成分とする有機樹脂フィルムであるPE
Tフィルム(厚さ100μm)を用い、薄膜太陽電池を
構成した例である。PETフィルムとしては、東レT5
6またはT60を用いた。このPETフィルムは通常O
HPのシートに用いられるものである。PETフィルム
としては、本実施例のものに限らず、必要に応じて選択
できることはいうまでもない。また、他の有機樹脂フィ
ルムを用いた場合でも程度の差はあれ、本発明の構成が
有効であることはいうまでもない。
フタレートを主成分とする有機樹脂フィルムであるPE
Tフィルム(厚さ100μm)を用い、薄膜太陽電池を
構成した例である。PETフィルムとしては、東レT5
6またはT60を用いた。このPETフィルムは通常O
HPのシートに用いられるものである。PETフィルム
としては、本実施例のものに限らず、必要に応じて選択
できることはいうまでもない。また、他の有機樹脂フィ
ルムを用いた場合でも程度の差はあれ、本発明の構成が
有効であることはいうまでもない。
【0024】図1に本実施例の薄膜太陽電池の構成を示
す。図1において、10は有機樹脂フィルム基板である
PETフィルム(100μm厚)であり、11がアクリ
ル樹脂の層であり、12がITOよりなる透明導電膜で
あり、13が基板側よりPINと構成されたアモルファ
スシリコンよりなる光電変換層であり、14がアルミの
電極である。本実施例に示す薄膜太陽電池は、基板側か
ら光が入射する形式である。
す。図1において、10は有機樹脂フィルム基板である
PETフィルム(100μm厚)であり、11がアクリ
ル樹脂の層であり、12がITOよりなる透明導電膜で
あり、13が基板側よりPINと構成されたアモルファ
スシリコンよりなる光電変換層であり、14がアルミの
電極である。本実施例に示す薄膜太陽電池は、基板側か
ら光が入射する形式である。
【0025】図1には、薄膜太陽電池の最小限度の構成
しか示されていないが、集積化の方法や光電変換層の構
成について、本発明は何ら限定するものでないので、こ
こにでは詳しく記載しない。よって、光電変換層を構成
する半導体の種類も何ら限定されるものではなく、基板
の耐熱性を考慮して適当なものを選択すればよい。以
下、本実施例の作製工程を示す。まず、基板として用い
られる有機樹脂フィルム基板であるPETフィルム(1
00μm厚)10上にアクリル酸エステルを主成分とす
るアクリル樹脂11を7μmの厚さにコートした。ここ
では、アクリル樹脂として、富士化学産業のアロニック
スUV─3700を使用した。このアクリル樹脂は、プ
ラスチックの表面保護用に用いられるものである。コー
トの方法としては、スピナーにより塗布を行い、UV光
によって硬化を行った。なお、アクリル樹脂の厚さは、
0.05〜10μm の厚さの範囲で決めればよいが、あまり薄
いと効果が小さくなってしまう。
しか示されていないが、集積化の方法や光電変換層の構
成について、本発明は何ら限定するものでないので、こ
こにでは詳しく記載しない。よって、光電変換層を構成
する半導体の種類も何ら限定されるものではなく、基板
の耐熱性を考慮して適当なものを選択すればよい。以
下、本実施例の作製工程を示す。まず、基板として用い
られる有機樹脂フィルム基板であるPETフィルム(1
00μm厚)10上にアクリル酸エステルを主成分とす
るアクリル樹脂11を7μmの厚さにコートした。ここ
では、アクリル樹脂として、富士化学産業のアロニック
スUV─3700を使用した。このアクリル樹脂は、プ
ラスチックの表面保護用に用いられるものである。コー
トの方法としては、スピナーにより塗布を行い、UV光
によって硬化を行った。なお、アクリル樹脂の厚さは、
0.05〜10μm の厚さの範囲で決めればよいが、あまり薄
いと効果が小さくなってしまう。
【0026】さらに透明導電膜12としてITOを40
00Åの厚さに公知のRFスパッタ法によって成膜を行
った。なお、この際基板の加熱を行わないでスパッタを
行った。この状態でオリゴマーの発生は殆どなく、アク
リル樹脂塗布の効果が現れていた。
00Åの厚さに公知のRFスパッタ法によって成膜を行
った。なお、この際基板の加熱を行わないでスパッタを
行った。この状態でオリゴマーの発生は殆どなく、アク
リル樹脂塗布の効果が現れていた。
【0027】さらにこの透明導電膜12上に光電変換層
として基板側(光入射側)よりPINと構成されたアモ
ルファスシリコン半導体層を形成した。このアモルファ
スシリコン半導体層の形成方法は、周知のプラズマCV
D法によって行った。その厚さは、P型半導体層が10
0Å、I型半導体層が4000Å、N型半導体層が40
0Åである。なお、成膜中の基板温度は、基板の耐熱性
を考慮して100度で行ったが、必要に応じて室温〜1
80度の範囲で選択することが可能である。
として基板側(光入射側)よりPINと構成されたアモ
ルファスシリコン半導体層を形成した。このアモルファ
スシリコン半導体層の形成方法は、周知のプラズマCV
D法によって行った。その厚さは、P型半導体層が10
0Å、I型半導体層が4000Å、N型半導体層が40
0Åである。なお、成膜中の基板温度は、基板の耐熱性
を考慮して100度で行ったが、必要に応じて室温〜1
80度の範囲で選択することが可能である。
【0028】この光電変換層の構成並びに作製方法は、
本実施例の記載例に限定されることはなく、必要に応じ
て可能な構成をとることができることはいうまでもな
い。
本実施例の記載例に限定されることはなく、必要に応じ
て可能な構成をとることができることはいうまでもな
い。
【0029】その後、裏面電極14としてアルミを真空
蒸着法によって3000Åの厚さに成膜した。他の裏面
電極の種類としては、アルミの他にAg、Cr、Ni、
Mo、SUS等を用いることができる。
蒸着法によって3000Åの厚さに成膜した。他の裏面
電極の種類としては、アルミの他にAg、Cr、Ni、
Mo、SUS等を用いることができる。
【0030】また、図示されていないが、実際にはさら
に樹脂等によって保護膜が形成される。さらに、本実施
例においては触れなかったが、太陽電池システムとして
構成する場合には、複数の光電変換素子(最小単位の太
陽電池)を集積化するのが普通であり、そのための構成
が数々知られているが、本発明の構成には直接関係しな
いのでここでは省略する。
に樹脂等によって保護膜が形成される。さらに、本実施
例においては触れなかったが、太陽電池システムとして
構成する場合には、複数の光電変換素子(最小単位の太
陽電池)を集積化するのが普通であり、そのための構成
が数々知られているが、本発明の構成には直接関係しな
いのでここでは省略する。
【0031】下記表1に、図1に示す本実施例と比較例
との特性を比較した表を示す。この表における比較例
は、本実施例の作製工程において、PETフィルム上に
アクリル樹脂を塗布する工程を省くことによって作製し
た光電変換装置である。従ってPETフィルム上にアク
リル樹脂を塗布されていることを除く他の構成は本実施
例と比較例とは全く同一の構成を有している。
との特性を比較した表を示す。この表における比較例
は、本実施例の作製工程において、PETフィルム上に
アクリル樹脂を塗布する工程を省くことによって作製し
た光電変換装置である。従ってPETフィルム上にアク
リル樹脂を塗布されていることを除く他の構成は本実施
例と比較例とは全く同一の構成を有している。
【0032】
【表1】
【0033】上記表1を見るとわかるように、本発明の
構成であるアクリル樹脂を塗布したPETフィルムを基
板として用いた光電変換装置は、アクリル樹脂を塗布し
ないPETフィルムを基板として用いた光電変換装置
(比較例)に比較して、高い歩留りと変換効率を有して
いることがわかる。
構成であるアクリル樹脂を塗布したPETフィルムを基
板として用いた光電変換装置は、アクリル樹脂を塗布し
ないPETフィルムを基板として用いた光電変換装置
(比較例)に比較して、高い歩留りと変換効率を有して
いることがわかる。
【0034】なお、図3において、Jscは短絡電流(m
A) であり、VOCは開放電圧(V) であり、FFは曲性因
子であり、EFFは変換効率である。また、表1に示す特
性は、AM─1.0 100mW/cm2 の測定条件で計測した値の
サンプルの平均デーダである。
A) であり、VOCは開放電圧(V) であり、FFは曲性因
子であり、EFFは変換効率である。また、表1に示す特
性は、AM─1.0 100mW/cm2 の測定条件で計測した値の
サンプルの平均デーダである。
【0035】
【効果】本発明の構成である有機樹脂基フィルム板上に
アクリル樹脂を塗布する構成をとることにより、この有
機樹脂基板を用いた光電変換装置の作製の際に発生する
オリゴマーの発生を抑えることができ、光電変換装置の
歩留り並びに変換効率を大きく高めることができた。
アクリル樹脂を塗布する構成をとることにより、この有
機樹脂基板を用いた光電変換装置の作製の際に発生する
オリゴマーの発生を抑えることができ、光電変換装置の
歩留り並びに変換効率を大きく高めることができた。
【0036】また、本発明の構成をとると、オリゴマー
の発生を抑えることができるので、基板の加熱に従うオ
リゴマーの発生を考慮する必要がなく、加熱による基板
の熱膨張の問題のみを考えて成膜等の工程をおこなうこ
とができるという特徴を得ることができた。
の発生を抑えることができるので、基板の加熱に従うオ
リゴマーの発生を考慮する必要がなく、加熱による基板
の熱膨張の問題のみを考えて成膜等の工程をおこなうこ
とができるという特徴を得ることができた。
【0037】また、有機樹脂基板上に半導体装置を形成
する際に問題となる要素を一つ排除することができたの
で、作製条件(特に成膜温度)の幅を広くとることがで
きるようになった。
する際に問題となる要素を一つ排除することができたの
で、作製条件(特に成膜温度)の幅を広くとることがで
きるようになった。
【0038】本発明の構成が適用される半導体装置とし
ては、光電変換装置に限られたものではなく、有機樹脂
基板上に形成される発光素子、スイッチング素子、セン
サー等が含まれることはいうまでもない。
ては、光電変換装置に限られたものではなく、有機樹脂
基板上に形成される発光素子、スイッチング素子、セン
サー等が含まれることはいうまでもない。
【図1】 本発明を利用した実施例の光電変換装置の断
面図を示す。
面図を示す。
【図2】 従来の光電変換装置の断面図を示す。
10 有機樹脂フィルム基板 11 アクリル樹脂 12 透明導電膜 13 アモルファスシリコン半導体層 14 裏面電極 20 有機樹脂フィルム基板 21 オリゴマー 22 透明導電膜 23 アモルファスシリコン半導体層 24 裏面電極
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中嶋 節男 神奈川県厚木市長谷398番地 株式会社半 導体エネルギー研究所内
Claims (6)
- 【請求項1】 有機樹脂フィルム基板を用いた半導体装
置であって、前記有機樹脂フィルム基板表面にアクリル
樹脂が塗布されていることを特徴とする半導体装置。 - 【請求項2】 請求項1において、有機樹脂フィルム基
板としてポリエチレンテレフタレートを主成分とする材
料を用いることを特徴とする半導体装置。 - 【請求項3】 有機樹脂フィルム基板を用いた半導体装
置の作製方法であって、前記有機樹脂フィルム基板上に
半導体装置を作製する工程に先立って、前記有機樹脂フ
ィルム基板の表面にアクリル樹脂を塗布する工程を有す
ることを特徴とする半導体装置作製方法。 - 【請求項4】 請求項3において、有機樹脂フィルム基
板としてポリエチレンテレフタレートを主成分とする材
料を用いることを特徴とする半導体装置作製方法。 - 【請求項5】 透光性を有する絶縁性基板と、該絶縁性
基板上に設けられたアクリル樹脂の層と、該アクリル樹
脂の層上に設けられた第1の電極と、該第1の電極上に
設けられた光電変換層と、該光電変換層上に設けられた
第2の電極とを有する半導体装置であって、 前記絶縁性基板としてポリエチレンテレフタレートを主
成分とする有機樹脂フィルムを用いることを特徴とする
半導体装置。 - 【請求項6】 請求項5において、光電変換層として基
板側からPIN型と構成されたアモルファスシリコン半
導体を用いたことを特徴とする半導体装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP40A JPH06163958A (ja) | 1992-02-21 | 1992-02-21 | 半導体装置およびその作製方法 |
US08/019,849 US5427961A (en) | 1992-02-21 | 1993-02-19 | Semiconductor device and method for forming the same |
US08/387,232 US5627404A (en) | 1992-02-21 | 1995-02-13 | Semiconductor device provided on an organic resin substrate |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP40A JPH06163958A (ja) | 1992-02-21 | 1992-02-21 | 半導体装置およびその作製方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06163958A true JPH06163958A (ja) | 1994-06-10 |
Family
ID=13490849
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP40A Pending JPH06163958A (ja) | 1992-02-21 | 1992-02-21 | 半導体装置およびその作製方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US5427961A (ja) |
JP (1) | JPH06163958A (ja) |
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