JPH06160150A - 流量計測装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 低流量域での流量計測を精度よく行うことが
できる流量計測装置を提供するこを目的としている。 【構成】 分岐管路４に設けた第２の圧力調整器５の下
流側に設定流量未満での流量を計測する第２の流量計測
器６を配設し、第２の流量計測器６の出口圧力を第２の
圧力調整器５によってフィードバック制御することによ
り、第２の流量計測器６での流量変動を小さくすること
ができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ガス供給設備等におい
て、ＬＰ（液化石油）ガス等のガスの流量を測定する流
量計測装置に係り、特に低流量域において精度よく流量
計測を行えるようにした流量計測装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】ＬＰガス等のガスを、ガス供給部（例え
ばガスボンベ）から圧力調整器を接続した配管を介して
ガス器具（例えば湯沸器）に供給するガス供給設備にお
いては、ガス使用量の管理やガス漏れ検知のために流量
計測装置が取付けられている。

【０００３】ところで、前記したガス供給設備に取付け
られる流量計測装置は、一般に１つの流量計によって低
流量から高流量まで計測を行っているので、フルイディ
ック流量計を用いた流量計測装置では特に低流量域での
感度が悪く、各器差による誤差も大きくなり、精度のよ
い計測を行うことができない等の問題があった。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上記したように、フル
イディック流量計を用いた従来の流量計測装置は、低流
量域から高流量域までの全流量域にわたって精度のよい
流量計測を行うことが難しかった。

【０００５】本発明は上記した課題を解決する目的でな
され、低流量域における流量計測精度を向上させて、全
流量域にわたって精度よく流量計測できる流量計測装置
を提供しようとするものである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】前記した課題を解決する
ために本発明は、第１に、ガスを高圧側から低圧側に供
給する管路と、該管路に設けた第１の圧力調整手段と、
前記管路の前記第１の圧力調整手段により下流側に設け
た設定流量以上での流量を計測する第１の流量計測手段
と、前記管路の前記第１の圧力調整手段の上流側から分
岐して前記第１の流量計測手段の上流側に連通する分岐
管路と、該分岐管路に設けた第２の圧力調整手段と、前
記分岐管路の前記第２の圧力調整手段の下流側に設けた
設定流量未満での流量を計測する第２の流量計測手段と
を具備し、前記第２の圧力調整手段の出口圧力を前記第
１の圧力調整手段の出口圧力よりも高く設定すると共
に、前記分岐管路の第２の流量計測手段の下流側での出
口圧力を前記第２の圧力調整手段で制御することを特徴
としている。

【０００７】第２に、第１の構成において、第１の流量
計測手段にフルイディック流量計を用いたことを特徴と
している。

【０００８】第３に、第１の構成において、第２の流量
計測手段にオリフィス管を用いたことを特徴としてい
る。

【０００９】第４に、第１の構成において、第１，第２
の各流量計測手段にフルイディック流量計を用いたこと
を特徴としている。

【００１０】第５に、第１，第２，第３または第４の構
成において、第１の圧力調整手段の上流側の管路と分岐
管路との接続部より上流側の管路に、第３の圧力調整手
段を設けたことを特徴としている。

【００１１】

【作用】第１，第２または第３の構成によれば、第２の
圧力調整手段の出口圧力を第１の圧力調整手段の出口圧
力よりも高く設定しているので、ガスの流量が設定流量
未満の時には、第１の圧力調整手段が閉塞することによ
りガスは分岐管路側だけを流れるので、その時の流量を
第２の流量計測手段で計測し、ガスの流量が設定流量以
上になると第２の圧力調整手段の出口圧力が低くなり、
第２の圧力調整手段の出口圧力が第１の圧力調整手段の
閉塞圧力より小さくなった時点から、ガスは管路と分岐
管路の第１，第２の各圧力調整手段を通して流れ、その
時の流量を第１の流量計測手段で計測する。

【００１２】また、設定流量未満での流量を計測する第
２の流量計測手段の下流側での出口圧力を第２の圧力調
整手段で制御することにより、第２の流量計測手段での
流量による圧力変動を小さくすることができるので、低
流量計測範囲が広くなり、計測精度が向上する。

【００１３】第４の構成によれば、低流量域でも高流量
域と同様にフルイディック流量計を用いることで、計測
流体中の異物の影響による劣化が抑制され、可動部を持
たないため劣化が少ないという特徴が高流量域とともに
低流量域でも発揮されることになる。

【００１４】第５の構成によれば、第３の圧力調整手段
により、第１，第２の各圧力調整手段への供給圧力範囲
が狭くなり、これに伴い第１，第２の各圧力調整手段か
らの出口圧力範囲も狭くなるので、安定した出口圧力が
得られて計測精度が向上する。

【００１５】

【実施例】以下、本発明の実施例をＬＰガスのガス供給
設備に適用した場合について詳細に説明する。

【００１６】図１は、本発明の第１実施例に係る流量計
測装置を示す概略構成図である。この図に示すように、
ＬＰガスボンベ（図示省略）と湯沸器等のガス器具（図
示省略）間に接続されている管路１には、第１の圧力調
整手段としての第１の圧力調整器２とその下流側に第１
の流量計測手段としての第１の流量計測器３が設置され
ている。

【００１７】また、管路１には、第１の圧力調整器２の
上流側から分岐して第１の流量計測器３の上流側に連通
する分岐管路４が接続されており、分岐管路４には、第
２の圧力調整手段としての第２の圧力調整器５とその下
流側に第２の流量計測手段としての第２の流量計測器６
が設けられている。尚、図１においてＬＰガスボンベ
（図示省略）は管路１の左端（高圧側）、ガス器具（図
示省略）は管路１の右端（低圧側）に接続されている。

【００１８】高流量域（設定流量以上）のガス流量計測
を行う第１の流量計測器３は、例えばフルイディック流
量計等の流量計によって構成されている。

【００１９】第２の流量計測器６はオリフィス管７、圧
力センサ８、演算部９を備えており、低流量域（設定流
量未満）のガス流量計測を行う。第２の流量計測器６の
計測原理は、オリフィス管７内をガスが通過すると、オ
リフィス管７の上流側と下流側との間に圧力差が生じ、
この圧力差はオリフィス管７を流れるガスの流量との間
に、二次曲線的な相関があり、この関係を利用して低流
量域の流量の計測を行うことができる。

【００２０】このように、第２の流量計測器６は、圧力
センサ８でオリフィス管７の入口と出口との圧力差を測
定し、演算部９で圧力差と流量との関係を演算処理する
とにより流量を計測することができる。

【００２１】図２は、第１の圧力調整器２の一例を示す
断面図である。この第１の圧力調整器２は、本体ケース
５１の下部に流量調整弁部５２が設けられており、流量
調整弁部５２の一方には、ＬＰガスボンベ（図示省略）
と連通されるガス入口５３が形成され、他方には、第１
の流量計測器３の上流側と連通される第１の中間出口５
４が形成されている。

【００２２】本体ケース５１は、内部が第１のダイヤフ
ラム５５で減圧室５６と大気圧室５７とに区画され、減
圧室５６には、第１の流量計測器３の下流側と連通され
る中間出口５８とガス器具（図示省略）側に連通される
ガス出口５９とが形成されている。そして、大気圧室５
７側に配置された圧縮コイルバネ６０で第１のダイヤフ
ラム５５は常時減圧室５６側に付勢され、この圧縮コイ
ルバネ６０の中心部には作動棒体６１が挿通されてい
る。この作動棒体６１の先端部は第１のダイヤフラム５
５の中心部に固定されており、さらに、その先端部は、
第１のダイヤフラム５５を貫通して減圧室５６内に突設
され、連結レバー６２の一端と連結レバー６２の長手方
向に移動可能に係合している。連結レバー６２の他端
は、減圧室５６内の下部に設けた支軸６３を中心に回動
自在に支持されており、この支軸６３側の下端に、流量
調整弁部５２内に設けた支持体６４の先端部６４ａが接
触している。

【００２３】流量調整弁部５２の内部は、ガス入口側圧
力室６５と、ガス出口側圧力室６６とが壁部６７で区画
されている。そして、壁部６７にはノズル部６８が形成
されてガス入口側圧力室６５とガス出口側圧力室６６と
を連通しており、前記支持体６４がノズル部６８を挿通
してガス入口側圧力室６５側に突出している。また、ノ
ズル部６８には、弁体６９が接離自在に配置されてい
る。この弁体６９は、ノズル部６８に当接する弁部７０
と、前記支持体６４の下端部を構成して弁部７０を支持
する支持部７１とで構成され、支持部７１はガス入口側
圧力室６５の内壁との間に配置された圧縮コイルバネ７
２によりノズル部６８側に常時付勢されている。ガス出
口側圧力室６６は、本体ケース５１の減圧室５６と第２
のダイヤフラム７３で区画され、この第２のダイヤフラ
ム７３に支持体６４の先端部６４ａが固定されている。

【００２４】第１の圧力調整器２は上記のように構成さ
れており、減圧室５６の圧力が上昇すると、第１のダイ
ヤフラム５５が圧縮コイルバネ６０の付勢力に抗して大
気圧室５７側に変位し、作動棒体６１を引き上げて、連
結レバー６２を支軸６３を中心に時計方向へ回動させ、
支持体６４を引き上げて、弁部７０をノズル部６８に近
接させてガスの流入量を減らして減圧室５６内のガスの
圧力を低下させる。また、減圧室５６の圧力が下降する
と、第１のダイヤフラム５５が減圧室５６側に変位し、
作動棒体６１を引き下げて、弁部７０をノズル部６８か
ら離間させて、ガスの流入量を増加させて減圧室５６内
のガスの圧力を上昇させる。このようにして、減圧室５
６のガス圧は圧縮コイルバネ６０の付勢力に対応してほ
ぼ一定に保たれる。

【００２５】図３は、第２の圧力調整器５の一例を示す
断面図である。この図に示すように、本体ケース１１の
一端（図では左側）にはガス入口であるインレットポー
ト１２が形成されており、他端（図では右側）にはガス
出口であるアウトレットポート１３が形成されている。
また、本体ケース１１の上面に形成された開口部１１ａ
にはカバー１４が固着されており、本体ケース１１とカ
バー１４との間には、ダイヤフラム１５の周縁が固着さ
れている。

【００２６】ダイヤフラム１５によって、カバー１４側
の大気圧室１６と本体ケース１１内の減圧室１７とに気
密に区画している。ダイヤフラム１５の中心には作動杆
１８が上下に貫通して設けられており、また、ダイヤフ
ラム１５とカバー１４との間には、圧縮コイルバネ１９
が介装され、常時ダイヤフラム１５を減圧室１７側に付
勢している。作動杆１８の下部には、操作レバー２０の
操作端が摺動可能に交叉係合している。操作レバー２０
は、支軸２１を介して本体ケース１１内に回動可能に軸
支されており、その作用端は、インレットポート１２に
連通するノズル部１２ａに対向する弁体２２に作用ピン
２３を介して係合している。

【００２７】また、作動杆１８の大気圧室１６内に突出
した先端にはナット２４が螺着されており、このナット
２４とダイヤフラム１５の中心部との間には安全弁調整
スプリング２５が介装され、常時作動杆１８に一体に形
成された安全弁の弁体２６をダイヤフラム１５の下面
（減圧室１７側）に当接する方向に付勢している。

【００２８】尚、図中２７は、カバー１４に螺着された
スプリング受けであり、２８はダイヤフラム１５の上面
に固定されスプリング１９を支持する座金であり、２９
は、カバー１４の上端に取り付けられたキャップであ
る。

【００２９】第２の圧力調整器５は上記のように構成さ
れており、ガス流量の変動によって減圧室１７内の圧力
が上昇すると、ダイヤフラム１５は圧縮コイルバネ１９
の付勢力に打ち勝って大気圧室１６側に変位し、作動杆
１８を引き上げて操作レバー２０を支軸２１を中心とし
て反時計方向に回動させ、弁体２２をノズル部１２ａに
近接させてガスの流入量を減らし、減圧室１７内のガス
圧を低下させる。

【００３０】また、ガス流量の変動によって減圧室１７
内の圧力が下降すると、ダイヤフラム１５は圧縮コイル
バネ１９のバネ圧によって減圧室１７側に変位し、作動
杆１８を引き下げて操作レバー２０を支軸２１を中心と
して時計方向に回動させて弁体２２をノズル部１２ａか
ら離間させてガスの流入量を増やし、減圧室１７内のガ
ス圧を上昇させる。

【００３１】このようにして、減圧室１７のガス圧は圧
縮コイルバネ１９の付勢力に対応してほぼ一定に保たれ
る。

【００３２】そして、第２の圧力調整器５のガス入口で
あるインレットポート１２に連通するノズル部１２ａと
ガス出口であるアウトレットポート１３間には、減圧室
１７と連通した流路３０が形成されており、この流路３
０には、第２の流量計測器６を構成するオリフィス管７
と、オリフィス管７の上流側と下流側を流れるガスの圧
力差を検出する圧力センサ８が配設されている。

【００３３】また、管路１の第１の流量計測器３及び分
岐管路４の第２の流量計測器６の出口圧力は、それぞれ
第１，第２の圧力調整器２，５によってフィードバック
制御されることにより、第１，第２の流量計測器３，６
での流量変動を小さくすることができる。

【００３４】尚、第２の圧力調整器５の出口圧力が第１
の圧力調整器２の出口よりも高くなるように、各ダイヤ
フラム１５，５５を下方に付勢する圧縮コイルバネ１
９，６０のバネ圧が調整されている。

【００３５】第１の流量計測器３を構成するフルイディ
ック流量計は、例えば図４に示すように構成されてい
る。この図に示すように、ガスが供給される管３１内に
は、中心部にガス流入口３２を形成した円板部材３３
と、円板部材３３の下流側（図では円板部材３３の右
側）に管３１の内周に沿って形成した曲面状の第１の隔
壁３４と、第１の隔壁３４の内側に中心部が開口して断
面を翼状に形成した第２の隔壁３５と、第２の隔壁３５
の内側にガス流入口３２と対向して配設したターゲット
３６と、ターゲット３６の下流側で第１の隔壁３４との
間に排出路３７を形成する第３の隔壁３８とが具備され
ている。

【００３６】そして、管３１内に上流側（図では管３１
の左側）からガス流入口３２を通ししてガスが供給され
ると、供給ガスは、ターゲット３６と第３の隔壁３８で
流動方向が制御され第２の隔壁３５に沿って第１の隔壁
３４と第２の隔壁３５間に形成される流路３９内をガス
流入口３２方向（矢印方向）に流れ、対向位置にある流
路３９側にそれぞれ流入し、排出路３７から排出され
る。

【００３７】このように、流路３９内でガスの流れが交
互に変化することにより、この時のガスの流動方向変化
による圧力変化を流路３９内に設けたパイプ４０ａ，４
０ｂを介して圧力センサ４１で検出し、演算部４２で圧
力センサ４１で検出した圧力情報に基づいて流量を算出
することができる。

【００３８】第１と第２の流量計測器３，６間には、計
測された流量を積算する積算部１０が接続されている。

【００３９】本実施例に係る流量計測装置は上記のよう
に構成されており、ＬＰガスボンベ（図示省略）から所
定の圧力（例えば０．７〜１５．６ｋｇｆ／cm² ）で供
給されるガスの流量が低流量域（設定流量未満）の場合
は、図３に示した第２の圧力調整器５の出口圧力を図２
で示した第１の圧力調整器２の出口圧力よりも高く設定
しているので、第１の圧力調整器２が閉塞し、全供給ガ
スは分岐管路４側を流れる。

【００４０】そして、ガスは第２の圧力調整器５内の流
路３０に設けたオリフィス管７を流れ、オリフィス管７
の入口と出口の圧力差を圧力センサ８で測定し、演算部
９でその時の圧力差と流量との関係を演算処理すること
によってガスの流量を計測する。

【００４１】第２の圧力調整器５の流路３０から出たガ
スは、分岐管路４を介して図４に示したフルイディック
流量計等で構成される第１の流量計測器３を介して所定
の圧力（例えば２８０ｍｍＨ₂ Ｏ）でガス器具（図示省
略）に供給される。

【００４２】このように、第２の流量計測器６の出口圧
力を第２の圧力調整器５で制御することによって、高圧
のＬＰガスボンベ（図示省略）の供給圧力が大きく変動
（例えば０．７〜１５．６ｋｇｆ／cm² ）しても、第２
の圧力調整器５により一定圧で、且つ低圧に制御するこ
とができる。よって、第２の流量計測器６の出口圧力が
一定圧で、且つ低圧になることにより、オリフィス管７
の入口と出口の圧力差を測定する圧力センサ８のシール
は、例えば耐圧２０ｋｇｆ／ｃｍ² 程度の高圧シールに
代えて同１ｋｇｆ／ｃｍ² 程度の中圧シールで済み、コ
スト低下が達成でき、更に低流量計測範囲が広くなり、
計測精度も向上する。

【００４３】そして、ガスの流量が徐々に増加して高流
量域（設定流量以上）になると第２の圧力調整器５の出
口圧力が低くなり、第２の圧力調整器５の出口圧力が第
１の圧力調整器２の閉塞圧力より小さくなった時点か
ら、ガスは管路１と分岐管路４の第１，第２の圧力調整
器２，５を通ってガス器具（図示省略）に供給される。

【００４４】高流量域（設定流量以上）時の第１，第２
の圧力調整器２，５を通して供給されるガスの合計流量
は、第１の流量計測器３で計測される。

【００４５】低流量域と高流量域時に第１の流量計測器
３と第２の流量計測器６とでそれぞれ計測された流量
は、積算部１０で積算される。

【００４６】図５は、本発明の第２実施例に係る流量計
測装置を示す概略構成図である。この実施例は、前記図
１の第１実施例に対し、オリフィス管７を用いた第２の
流量計測器６に代えて、フルイディック流量計を用いた
第２の流量計測器７４を設けたものである。第２の流量
計測器７４は、構造としては図４に示したフルイディッ
ク流量計とほぼ同様なもので、高流量は流せないが、高
感度センサを用いることで微少流量（数リットル／ hou
r ）までの計測が可能であり、第１の流量計測器３のフ
ルイディック流量計の計測（発振）下限界（例えば１０
０リットル／ hour ）以下の流量で用いる。その他の構
成は前記図１の第１実施例と同様である。

【００４７】ここで、ある設定流量（例えば、１００リ
ットル／ hour ）未満においては、低流量側の第２の圧
力調整器５の出口圧力Ｐ₃ が高流量側の第１の圧力調整
器２の閉塞圧力Ｐ₄ 以上であるため、第１の圧力調整器
２のノズル部６８は塞がれ、ガスは低流量側からのみ流
れる。ガス流量が増加しＰ₃ が下がってＰ₄ の閉塞圧力
以下になると、第１の圧力調整器２のノズル部６８が開
いて高流量側からもガスが流れ始める。高流量側から流
れ始める流量においては、第１の流量計測器３における
高流量用フルイディック流量計の計測可能領域にあるた
め、計測不能領域が発生することはない。

【００４８】さらに流量が増えると、第１の流量計測器
３の上流と下流とを連通するフルイディック流量計にお
けるノズルの圧力損失が大きくなるが、第１の流量計測
器３の出口圧力Ｐ₅ は一定に保つ必要があることから、
第１の流量計測器３への供給圧力Ｐ₄ が高くなり、今度
は逆に第２の圧力調整器５の出口圧力Ｐ₃ が第２の圧力
調整器５の閉塞圧力Ｐ₁ 以上になるため、第２の圧力調
整器５のノズル部１２ａが閉塞し、ガスは第１の圧力調
整器２のある高流量側からのみ流れることになる。

【００４９】これら一連の動作により、高流量域では高
流量用フルイディック流量計を備えた第１の流量計測器
３で、低流量域では低流量用フルイディック流量計を備
えた第２の流量計測器７４で、それぞれ計測することが
可能となる。

【００５０】このように低流量域でも高流量域と同様に
フルイディック流量計を用いることで、低流量検出方法
に通常用いられる差圧管の上下流間の圧力差を利用する
方法や流路中の熱線の抵抗変化を利用する方法等におけ
るような不具合、つまり計測するガス中の異物の影響に
よる劣化が抑制され、フルイディック流量計の特徴であ
る可動部を持たないため劣化が少ないという利点が高流
量域とともに低流量域でも発揮されることになる。

【００５１】図６は、本発明の第３実施例に係る流量計
測装置を示す概略構成図である。この実施例は、前記図
１の第１実施例に対し、第１の圧力調整器２の上流側の
管路１と分岐管路４との接続部より上流側の管路１に、
第３の圧力調整手段としての第３の圧力調整器７５を設
けたものである。第３の圧力調整器７５としては、例え
ば図２に示した第１の圧力調整器２あるいは図３に示し
た第２の圧力調整器５と同様のものでよい。

【００５２】第１の圧力調整器１及び第２の圧力調整器
５の上流側に、第３の圧力調整器７５を設ける構成とす
ることで、第１，第２の各圧力調整器２，５への供給圧
力範囲が狭くなり、これに伴い両圧力調整器２，５から
の出口圧力範囲も狭くなり、より安定した出口圧力性能
が得られる。このような出口圧力性能の安定化について
は、低流量側及び高流量側ともに、圧力調整器から流量
計測器へ流したガスを出口圧力を一定にするため再び圧
力調整器へフィードバックさせる構成のため、入口圧力
の変動による出口圧力への影響が大きいので有効であ
る。

【００５３】また、第２の圧力調整器５への供給圧力が
低くなるため、オリフィス管７の差圧が低くなり、圧力
センサ８への負担が軽減する。さらに、第３の圧力調整
器７５に自動切替機構を持たせることで、ＬＰガスボン
ベを複数を使用しているユーザに対しても、他のガス補
給器等を使用することなく対応でき、製品としての付加
価値が向上する。

【００５４】尚、上記第３実施例においては、第２の流
量計測器６にオリフィス管７を用ているが、これに代え
てフルイディック流量計を使用してもよい。

【００５５】

【発明の効果】以上、実施例に基づいて具体的に説明し
たように第１，第２または第３の発明によれば、ガスの
流量が設定流量未満の場合は分岐管路側に流して第２の
流量計測手段で流量を計測して、ガスの流量が設定流量
以上になると管路と分岐管路に流して第１の流量計測手
段で流量を計測し、且つ第２の圧力調整手段の下流側に
第２の流量計測手段を設けて第２の流量計測手段の出口
圧力を第２の圧力調整手段によって制御することによ
り、第２の流量計測手段の出口圧力を一定圧に、且つ低
圧に制御することができる。

【００５６】従って、第２の流量計測手段の低流量計測
範囲が広くなることにより、低流量域での計測精度が向
上し、また、第２の流量計測手段の低流量計測範が広く
なることによって第１の流量計測手段の低流量域側の測
定可能領域を高く設定することができるので、第１の流
量計測手段の低流量域での計測精度も向上する。

【００５７】第４の発明によれば、低流量域でも高流量
域と同様にフルイディック流量計を用いたため、計測流
体中の異物の影響による劣化が抑制され、可動部を持た
ないため劣化が少ないという特徴が高流量域とともに低
流量域でも発揮することができる。

【００５８】第５の発明によれば、第３の圧力調整手段
を設けたことにより、第１，第２の各圧力調整手段への
供給圧力範囲が狭くなり、これに伴い第１，第２の各圧
力調整手段からの出口圧力範囲も狭くなるので、より安
定した出口圧力を得ることができ計測精度を向上させる
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例に係る流量計測装置を示す
概略構成図である。

【図２】図１の流量計測装置における第１の圧力調整器
を示す概略断面図である。

【図３】図１の流量計測装置における第２の圧力調整器
を示す概略断面図である。

【図４】図１の流量計測装置における第１の流量計測器
であるフルイディック流量計を示す概略断面図である。

【図５】本発明の第２実施例に係る流量計測装置を示す
概略構成図である。

【図６】本発明の第３実施例に係る流量計測装置を示す
概略構成図である。

【符号の説明】

１ 管路 ２ 第１の圧力調整器（第１の圧力調整手段） ３ 第１の流量計測器（第１の流量計測手段） ４ 分岐管路 ５ 第２の圧力調整器（第２の圧力調整手段） ６，７４ 第２の流量計測器（第２の流量計測手段） ７ オリフィス管 ８ 圧力センサ ９ 演算部 ７５ 第３の圧力調整器（第３の圧力調整手段）

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ガスを高圧側から低圧側に供給する管路
   と、該管路に設けた第１の圧力調整手段と、前記管路の
   前記第１の圧力調整手段より下流側に設けた設定流量以
   上での流量を計測する第１の流量計測手段と、前記管路
   の前記第１の圧力調整手段の上流側から分岐して前記第
   １の流量計測手段の上流側に連通する分岐管路と、該分
   岐管路に設けた第２の圧力調整手段と、前記分岐管路の
   前記第２の圧力調整手段の下流側に設けた設定流量未満
   での流量を計測する第２の流量計測手段とを具備し、前
   記第２の圧力調整手段の出口圧力を前記第１の圧力調整
   手段の出口圧力よりも高く設定すると共に、前記分岐管
   路の前記第２の流量計測手段の下流側での出口圧力を前
   記第２の圧力調整手段で制御することを特徴とする流量
   計測装置。
2. 【請求項２】 第１の流量計測手段にフルイディック流
   量計を用いたことを特徴とする請求項１記載の流量計測
   装置。
3. 【請求項３】 第２の流量計測手段にオリフィス管を用
   いたことを特徴とする請求項１記載の流量計測装置。
4. 【請求項４】 第１，第２の各流量計測手段にフルイデ
   ィック流量計を用いたことを特徴とする請求項１記載の
   流量計測装置。
5. 【請求項５】 第１の圧力調整手段の上流側の管路と分
   岐管路との接続部より上流側の管路に、第３の圧力調整
   手段を設けたことを特徴とする請求項１，２，３または
   ４記載の流量計測装置。