JPH06159529A - ダイヤフラム弁 - Google Patents
ダイヤフラム弁Info
- Publication number
- JPH06159529A JPH06159529A JP31070192A JP31070192A JPH06159529A JP H06159529 A JPH06159529 A JP H06159529A JP 31070192 A JP31070192 A JP 31070192A JP 31070192 A JP31070192 A JP 31070192A JP H06159529 A JPH06159529 A JP H06159529A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- metal
- diaphragm
- ring
- lid
- flat surface
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Details Of Valves (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】本発明の目的は、メタルＯリングと接触する部
分の精密表面仕上げを容易にし、ダイヤフラム挟着部か
らの外部漏れを無くすダイヤフラム弁を提供するもので
ある。 【構成】この発明によるダイヤフラムのシ−ル機構は、
従来の環状溝を無くしてボディ１の最上部にフラット面
８を設け、メタルＯリング５の内周側にメタルＯリング
スペ−サ２を並置して、ダイヤフラム３をボディ１とふ
た４とで挟着し、ダイヤフラム周縁の挟着部をシ−ルす
ることを特徴とするものである。
分の精密表面仕上げを容易にし、ダイヤフラム挟着部か
らの外部漏れを無くすダイヤフラム弁を提供するもので
ある。 【構成】この発明によるダイヤフラムのシ−ル機構は、
従来の環状溝を無くしてボディ１の最上部にフラット面
８を設け、メタルＯリング５の内周側にメタルＯリング
スペ−サ２を並置して、ダイヤフラム３をボディ１とふ
た４とで挟着し、ダイヤフラム周縁の挟着部をシ−ルす
ることを特徴とするものである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、メタルＯリングを用い
てダイヤフラムの周縁を気密シ−ルする半導体製造装置
等に用いられるダイヤフラム弁に関する。
てダイヤフラムの周縁を気密シ−ルする半導体製造装置
等に用いられるダイヤフラム弁に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のダイヤフラム周縁部のシ−ル機構
は、実開昭６１−６７４７２号で開示された図２に示す
ものがある。このものは、ボディａのダイヤフラムｃと
の接触部に環状溝ｄを形成し、この溝ｄにメタルＯリン
グｆを設け、ダイヤフラムｃをボディａとふたｂで挟着
して外部漏れを防止するようにしていた。又特開昭６４
−３５１７５号で開示された図３に示すものは、ボディ
ａとふたｂとの接触部に環状溝ｄを形成し、この溝ｄに
メタルＯリングｆと環状防護材ｅを設けて外部漏れを防
止するようにしていた。
は、実開昭６１−６７４７２号で開示された図２に示す
ものがある。このものは、ボディａのダイヤフラムｃと
の接触部に環状溝ｄを形成し、この溝ｄにメタルＯリン
グｆを設け、ダイヤフラムｃをボディａとふたｂで挟着
して外部漏れを防止するようにしていた。又特開昭６４
−３５１７５号で開示された図３に示すものは、ボディ
ａとふたｂとの接触部に環状溝ｄを形成し、この溝ｄに
メタルＯリングｆと環状防護材ｅを設けて外部漏れを防
止するようにしていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】小型のダイヤフラム弁
において、ダイヤフラム周縁の気密、外部漏れを無くす
ためにはメタルＯリングｆと接する環状溝ｄの底面は非
常に細かい精度、例えば０．４Ｓ程度の表面粗さが要求
される。上記従来のメタルダイヤフラム弁ではボディａ
に環状溝ｄを必要としており、この環状溝の底面をポリ
ッシング加工するのは溝幅が狭い事もあって手作業とな
り、加工が困難であった。この発明は上記の問題点を解
消し、メタルＯリングと接触する部分の精密表面仕上げ
を容易にし、ダイヤフラム挟着部からの外部漏れを無く
すダイヤフラム弁を提供するものである。
において、ダイヤフラム周縁の気密、外部漏れを無くす
ためにはメタルＯリングｆと接する環状溝ｄの底面は非
常に細かい精度、例えば０．４Ｓ程度の表面粗さが要求
される。上記従来のメタルダイヤフラム弁ではボディａ
に環状溝ｄを必要としており、この環状溝の底面をポリ
ッシング加工するのは溝幅が狭い事もあって手作業とな
り、加工が困難であった。この発明は上記の問題点を解
消し、メタルＯリングと接触する部分の精密表面仕上げ
を容易にし、ダイヤフラム挟着部からの外部漏れを無く
すダイヤフラム弁を提供するものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】この発明によるダイヤフ
ラムのシ−ル機構は、従来の環状溝を無くしてボディ１
の最上部にフラット面８を設け、メタルＯリング５の内
周側にメタルＯリングスペ−サ２を並置して、ダイヤフ
ラム３をボディ１とふた４とで挟着し、ダイヤフラム周
縁の挟着部をシ−ルすることを特徴とするものである。
ラムのシ−ル機構は、従来の環状溝を無くしてボディ１
の最上部にフラット面８を設け、メタルＯリング５の内
周側にメタルＯリングスペ−サ２を並置して、ダイヤフ
ラム３をボディ１とふた４とで挟着し、ダイヤフラム周
縁の挟着部をシ−ルすることを特徴とするものである。
【０００５】
【作用】本発明は上記の構成であるから、ボディ１のメ
タルＯリング５との当接面１３が最上部のフラット面８
にあるため、従来のように旋盤等で環状溝を設ける必要
がなく、またメタルＯリング５との当接部はフラット面
８であるからポリッシング等の精密表面仕上げも短時間
で０．１ｓ未満の精度にできる。また、メタルＯリング
スペ−サ２はメタルＯリング５を過度に締め付けるのを
防止しており、メタルＯリング５の損傷を防止する。
タルＯリング５との当接面１３が最上部のフラット面８
にあるため、従来のように旋盤等で環状溝を設ける必要
がなく、またメタルＯリング５との当接部はフラット面
８であるからポリッシング等の精密表面仕上げも短時間
で０．１ｓ未満の精度にできる。また、メタルＯリング
スペ−サ２はメタルＯリング５を過度に締め付けるのを
防止しており、メタルＯリング５の損傷を防止する。
【０００６】
【実施例】本発明の一実施例のダイヤフラム弁の流路閉
状態を図１に示す。ボディ１は左側に流入口９、右側に
流出口１０、中央部に上向き流路１１を形成し、中央部
に弁座７を装着してある。ボディ１の上面はフラットな
面８に形成してあり、このフラット面８にメタルＯリン
グ５とその内周側にメタルＯリングスペ−サ２を設け、
この上にダイヤフラム３を装着してふた４をボルト１４
で挟着固定してある。ふた４には弁棒６を螺合させてあ
り、弁棒６の操作によってダイヤフラム３が弁座７に当
接して弁が閉止する。開放時、弁棒６を上昇するとダイ
ヤフラム３は弁座７から離れダイヤフラム３とボディ１
との間の流体室１２は流入口９と流出口１０とを連通
し、流入口９から流出口１０へ流体が流れる。
状態を図１に示す。ボディ１は左側に流入口９、右側に
流出口１０、中央部に上向き流路１１を形成し、中央部
に弁座７を装着してある。ボディ１の上面はフラットな
面８に形成してあり、このフラット面８にメタルＯリン
グ５とその内周側にメタルＯリングスペ−サ２を設け、
この上にダイヤフラム３を装着してふた４をボルト１４
で挟着固定してある。ふた４には弁棒６を螺合させてあ
り、弁棒６の操作によってダイヤフラム３が弁座７に当
接して弁が閉止する。開放時、弁棒６を上昇するとダイ
ヤフラム３は弁座７から離れダイヤフラム３とボディ１
との間の流体室１２は流入口９と流出口１０とを連通
し、流入口９から流出口１０へ流体が流れる。
【０００７】ボディ１のメタルＯリング５との当接面１
３はボディ１の最上面に設けたフラット面８にあり、ダ
イヤフラム３とメタルＯリング５をふた４とボディ１と
で挟着することにより外部漏れを無くしている。メタル
Ｏリングスペ−サ２は、メタルＯリング５の押さえしろ
を決めるためであり、またメタルＯリング５を固定する
ためにメタルＯリングスペ−サ２をメタルＯリング５の
内周側に並置している。なお、メタルＯリングスペ−サ
２の材質は、ボディ１と同じＳＵＳ３１６である。
３はボディ１の最上面に設けたフラット面８にあり、ダ
イヤフラム３とメタルＯリング５をふた４とボディ１と
で挟着することにより外部漏れを無くしている。メタル
Ｏリングスペ−サ２は、メタルＯリング５の押さえしろ
を決めるためであり、またメタルＯリング５を固定する
ためにメタルＯリングスペ−サ２をメタルＯリング５の
内周側に並置している。なお、メタルＯリングスペ−サ
２の材質は、ボディ１と同じＳＵＳ３１６である。
【０００８】メタルＯリング５との当接面１３は平面
で、かつボディ１の最上面に設けたフラット面８にある
ため、このフラット面８の仕上げはラップによる粗研磨
を行った後、ポリッシングを施して０．１Ｓ以下まで容
易に仕上げることができた。
で、かつボディ１の最上面に設けたフラット面８にある
ため、このフラット面８の仕上げはラップによる粗研磨
を行った後、ポリッシングを施して０．１Ｓ以下まで容
易に仕上げることができた。
【０００９】
【発明の効果】本発明は、メタルＯリングとの当接面が
平面で、かつボディの最上面に設けたフラット面にある
ため、メタルＯリングとの当接面の精密仕上げが容易に
行え、表面粗さを０．１Ｓ以下に短時間でできる。
平面で、かつボディの最上面に設けたフラット面にある
ため、メタルＯリングとの当接面の精密仕上げが容易に
行え、表面粗さを０．１Ｓ以下に短時間でできる。
【図１】 本発明の一実施例を示すダイヤフラム弁の弁
閉時の縦断面図である。
閉時の縦断面図である。
【図２】 従来のダイヤフラムのシ−ル機構の縦断面図
である。
である。
【図３】 従来のダイヤフラムのシ−ル機構の縦断面図
である。
である。
１ ボディ ２ メタルＯリングスペ−サ ３ ダイヤフラム ４ ふた ５ メタルＯリング ６ 弁棒 ７ 弁座 ８ フラット面 ９ 流入口 １０ 流出口 １１ 上向き流路 １２ 流体室 １３ メタルＯリング５との当接面 １４ 締め付けボルト
Claims (1)
- 【請求項１】 ダイヤフラム３をボディ１とふた４でメ
タルＯリング５を介在して挟着することにより、ダイヤ
フラム下面の流体室１２を外気からシ−ルするダイヤフ
ラム弁において、ボディ１の最上部にフラットな面８を
設け、このフラット面８にメタルＯリング５とメタルＯ
リング５の内周側にメタルＯリングスペ−サ２とを配置
し、前記ダイヤフラム３をボディ１とふた４で挟着して
シ−ルするようにしたことを特徴とするダイヤフラム
弁。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31070192A JPH06159529A (ja) | 1992-11-20 | 1992-11-20 | ダイヤフラム弁 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31070192A JPH06159529A (ja) | 1992-11-20 | 1992-11-20 | ダイヤフラム弁 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06159529A true JPH06159529A (ja) | 1994-06-07 |
Family
ID=18008432
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31070192A Pending JPH06159529A (ja) | 1992-11-20 | 1992-11-20 | ダイヤフラム弁 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06159529A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7243903B2 (en) | 2005-06-22 | 2007-07-17 | Wincek Christopher P | Valve diaphragm with a compression restraining ring, and valve including same |
| US7926785B2 (en) | 2005-06-22 | 2011-04-19 | Wincek Christopher P | Valve diaphragm with a compression restraining ring, and valve including same |
-
1992
- 1992-11-20 JP JP31070192A patent/JPH06159529A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7243903B2 (en) | 2005-06-22 | 2007-07-17 | Wincek Christopher P | Valve diaphragm with a compression restraining ring, and valve including same |
| US7926785B2 (en) | 2005-06-22 | 2011-04-19 | Wincek Christopher P | Valve diaphragm with a compression restraining ring, and valve including same |
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