JPH06156649A

JPH06156649A - 基板搬送装置

Info

Publication number: JPH06156649A
Application number: JP31897792A
Authority: JP
Inventors: Yoji Kitajima; 洋史北島; Takashi Arai; ▲隆▼ 新居; Hironobu Fujino; 裕伸藤野
Original assignee: Sharp Corp
Current assignee: Sharp Corp
Priority date: 1992-11-27
Filing date: 1992-11-27
Publication date: 1994-06-03

Abstract

(57)【要約】【構成】平面基板２が基板搬送アーム６によりカセッ
ト１の基板収納部から取り出されるとき、平面基板２に
おけるカセット１からの取り出し方向と直交する幅方向
の両端部の位置が光学センサ７・８にて検出され、平面
基板２が基板供給方向に搬送されるとき、平面基板２に
おける基板幅方向と直交する長さ方向の両端部の位置が
光学センサ９・１０にて検出される。そして、これら光
学センサ７〜１０の検出結果に基づいて、演算手段によ
り平面基板２の寸法が演算される。【効果】作業者の負担が軽減され、かつ生産性を向上
できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えば、液晶表示パネ
ルの製造工程において、その製造に使用される複数の基
板を運搬および整理するために一時的に収容するカセッ
トに対して、上記の基板の収納および取り出しを行う基
板搬送装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】例えば、液晶表示パネルを製造する際、
その製造に使用される複数の平板状をなす平面基板は、
各工程間等において基板収納用のカセットに一時的に収
納されることにより、整理され運搬される。そして、上
記のカセットに対する平面基板の取出しおよび収納は、
基板搬送装置により自動的に行われている。

【０００３】図８に示すように、上記のカセット５１に
は、左右の側壁部に多数の基板保持部５１ａ…が形成さ
れ、平面基板５２は、その両側部が対向する両側の基板
保持部５１ａ・５１ａにより支持された状態で、両基板
保持部５１ａ・５１ａおよびこれら基板保持部５１ａ・
５１ａ間の部位からなる基板収納部５１ｂに収納され
る。

【０００４】一方、上記従来の基板搬送装置は、平面基
板５２をその下面側から保持する基板搬送アーム５３を
備え、この基板搬送アーム５３におけるカセット５１と
の対向方向への進退移動によりカセット５１に対する平
面基板５２の収納および取り出しを行っている。また、
工程上において平面基板５２の寸法の確認が必要な場
合、カセット５１から平面基板５２を取り出して所定の
処理位置へ搬送するときに、例えば基板搬送アーム５３
を停止させた状態で作業者にて、手作業あるいは所定の
測定装置の操作により平面基板５２の寸法が測定されて
いる。また、カセット５１への収納動作の際には、カセ
ット５１に対する平面基板５２の位置補正は特に行われ
ず、平面基板５２をカセット５１へ収納する動作の繰り
返しによって得られた基板搬送装置におけるカセット５
１に対しての平面基板５２の大まかな位置精度と、平面
基板５２の幅Ｗ₁に対して基板保持部５１ａ・５１ａ間
の幅Ｗ₂を広めに設定していることを頼りに、収納位置
に対する平面基板５２の多少の位置ずれを許容して、カ
セット５１への平面基板５２の収納が行われている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところが、上記のよう
にして作業者が平面基板５２の寸法を測定すること、即
ち平面基板５２を所定の製造ラインから取り出してその
寸法を測定することは、生産工程の効率的な運営、即ち
生産性を害するとともに、作業者に余計な負担を強いる
ものとなっている。また、カセット５１における基板保
持部５１ａ・５１ａの間隔は、カセット５１によって異
なることがあり、このような場合において、基板搬送装
置の基板搬送アーム５３に対して平面基板５２の位置が
一方へずれていると、平面基板５２をカセット５１に収
納する際、適切に平面基板５２を収納できないばかり
か、基板保持部５１ａに平面基板５２が衝突して損傷す
る虞がある。従って、このような場合においても、生産
性が害されるという問題点を有している。

【０００６】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明の基板搬
送装置は、上記の課題を解決するために、基板収納部に
基板が収納される基板収納手段に対しての収納および取
り出し方向と、これらの方向とは別の基板供給方向と
に、駆動手段にて駆動される基板保持部材により基板を
保持して搬送する基板搬送装置において、基板が基板保
持部材により基板収納手段の基板収納部から取り出され
るときの基板の移動軌跡との対応部位に設けられ、上記
の基板における基板収納手段からの取り出し方向と直交
する幅方向の両端部の位置を検出する基板幅検出手段
と、基板が基板保持部材により基板供給方向に搬送され
るときの基板の移動軌跡との対応部位に設けられ、基板
における上記の基板幅方向と直交する長さ方向の両端部
の位置を検出する基板長さ検出手段と、上記の基板幅検
出手段と基板長さ検出手段との検出結果に基づいて、基
板の寸法を演算する演算手段とを備えていることを特徴
としている。

【０００７】請求項２の発明の基板搬送装置は、上記の
課題を解決するために、基板収納部に基板が収納される
基板収納手段に対しての収納および取り出し方向と、こ
の収納方向と直交する基板幅方向とに、駆動手段にて駆
動される基板保持部材により基板を保持して搬送する基
板搬送装置において、基板が基板保持部材により基板収
納手段の基板収納部に収納されるときの基板の移動軌跡
との対応部位に設けられ、上記の基板における基板幅方
向の両端部の位置を検出する基板幅検出手段と、この基
板幅検出手段による検出結果と上記の基板収納部におけ
る基板幅方向の位置とに基づいて、基板の幅方向の両端
部が上記の基板収納部における基板幅方向側の部材と干
渉することなく基板収納部へ収納されるように、上記の
駆動手段を制御して基板保持手段における基板幅方向の
位置を補正させる制御手段とを備えていることを特徴と
している。

【０００８】

【作用】請求項１の構成によれば、基板が基板保持部材
により基板収納手段の基板収納部から取り出されると
き、基板における基板収納手段からの取り出し方向と直
交する幅方向の両端部の位置が基板幅検出手段により検
出され、基板がさらに基板供給方向に搬送されるとき、
基板における上記の基板幅方向と直交する長さ方向の両
端部の位置が基板長さ検出手段にて検出され、これら基
板幅検出手段と基板長さ検出手段との検出結果に基づい
て、基板の寸法が演算手段にて演算される。即ち、基板
を基板収納手段から取り出して所定の供給方向へ搬送す
る過程において、自動的に基板の寸法を測定することが
できるので、作業者が、基板保持部材の移動を停止さ
せ、この状態で基板の寸法を測定する必要がなくなる。
従って、作業者の負担が軽減され、また生産性を向上す
ることができる。

【０００９】請求項２の構成によれば、基板が基板保持
部材により基板収納手段の基板収納部に収納されると
き、基板における基板収納手段への収納方向と直交する
幅方向の両端部の位置が基板幅検出手段により検出され
る。制御手段は、この基板幅検出手段による検出結果と
上記の基板収納部における基板幅方向の位置とに基づい
て、基板の幅方向の両端部が上記の基板収納部における
基板幅方向側の部材と干渉することなく基板収納部へ収
納されるように、駆動手段を制御して基板保持手段にお
ける基板幅方向の位置を補正させる。従って、基板は、
基板収納手段の基板収納部における基板幅方向側の部材
と衝突して損傷するといった事態を生じることなく、適
切に上記の基板収納部へ収納することができる。これに
より、基板を使用しての製造工程を円滑に運営すること
ができ、生産性を向上することができる。

【００１０】

【実施例】本発明の一実施例を図１ないし図７に基づい
て以下に説明する。

【００１１】図２および図３に示すように、本実施例の
基板搬送装置３と共に使用される基板収納手段としての
カセット１は、枠材によって形成された直方体の箱状を
なし、平板状をなす平面基板２の収納および取出しを行
うために前面部が開放されている。カセット１の対向す
る両側壁部１ａ・１ａには、平面基板２の両側部を支持
するための多数の基板保持部１ｂ…が形成されている。
各基板保持部１ｂは、側壁部１ａの内面側から外面方向
へ水平に延びる凹部状をなし、各側壁部１ａにおいて上
下方向に多数個形成され、対向する側壁部１ａ・１ａで
の対応するもの同士が同一高さ位置に形成されている。
そして、上記の両側の基板保持部１ｂ・１ｂおよびこれ
ら基板保持部１ｂ・１ｂの間が各基板収納部１ｃとなっ
ている。尚、図２の（ｂ）において、Ｃ₁、Ｃ₂はそれ
ぞれ基板保持部１ｂにおける平面基板２と側壁部１ａと
のＹ・−Ｙ方向の間隙、Ｚ・−Ｚ方向の間隙を示し、Ｃ
₃は隣合う上下の平面基板２・２間の間隙を示してい
る。上記のカセット１に対し、平面基板２は、カセット
１の前面部での前後方向への水平移動、即ちＸ・−Ｘ方
向への移動により収納され、また取り出される。

【００１２】一方、基板搬送装置３は、図１に示すよう
に、基板搬送アーム６をＹ・−Ｙ方向へ移動させる駆動
手段としてのＹ方向アーム移動機構部４と、このＹ方向
アーム移動機構部４に支持され、水平面上において上記
のＹ・−Ｙ方向と直交する方向であるＸ・−Ｘ方向に基
板搬送アーム６を移動させる駆動手段としてのＸ方向ア
ーム移動機構部５と、このＸ方向アーム移動機構部５に
支持され、平面基板２を下面側から吸着して保持する基
板保持部材としての基板搬送アーム６と、上記のＹ方向
アーム移動機構部４、即ち基板搬送アーム６をＺ・−Ｚ
方向に上下移動させる図示しないＺ方向アーム移動機構
部とを備えている。上記の基板搬送アーム６のＺ方向の
厚さは、図２の（ｂ）に示した間隙Ｃ₃よりも薄く設定
されている。

【００１３】また、基板搬送装置３は、平面基板２のＹ
・−Ｙ方向の寸法、即ち短手方向の寸法を検出する基板
幅検出手段としての光学センサ７・８と、平面基板２の
Ｘ・−Ｘ方向の寸法、即ち長手方向の寸法を検出する基
板長さ検出手段としての光学センサ９・１０と、上記の
光学センサ７・８および光学センサ９・１０からの検出
信号に基づいて、平面基板２の寸法を演算する図５に示
す演算手段としてのデータ処理制御部１１と、Ｙ方向ア
ーム移動機構部４、Ｘ方向アーム移動機構部５およびＺ
方向アーム移動機構部の作動を制御する移動機構制御部
１２とを備えている。これらデータ処理制御部１１と移
動機構制御部１２とは制御手段を構成している。

【００１４】上記の光学センサ７・８の配設位置は、カ
セット１に収納される平面基板２のＹ・−Ｙ方向におけ
る端縁部の位置を検出し得るように、カセット１の開口
部におけるＹ・−Ｙ方向の両側部付近の一方側に光学セ
ンサ７が設けられ、他方側に光学センサ８が設けられた
ものとなっている。光学センサ７・８は、図４に示すよ
うに、レーザ平行光を投射する投光器７ａ・８ａと、こ
の投光器７ａ・８ａから投射されたレーザ平行光を受光
する受光器７ｂ・８ｂとからなる。上記の投光器７ａ・
８ａはカセット１の上端部付近に設けられ、受光器７ｂ
・８ｂは投光器７ａ・８ａの垂直下方の、カセット１に
おける下端部付近に設けられている。

【００１５】光学センサ９・１０の配置位置は、平面基
板２のＸ・−Ｘ方向における端縁部の位置を検出し得る
ように、Ｙ方向アーム移動機構部４によるＹ方向への平
面基板２の供給方向において、Ｘ・−Ｘ方向の一方側と
他方側となっている。この光学センサ９・１０の位置
は、平面基板２に対して所定の処理が行われる位置への
搬送途中の位置である。また、光学センサ９・１０は、
光学センサ７・８と同様、投光器７ａ・８ａに対応する
投光器９ａ・１０ａと、受光器７ｂ・８ｂに対応する受
光器９ｂ・１０ｂとからなる。

【００１６】データ処理制御部１１は、上記の光学セン
サ７・８からの出力に基づいて平面基板２のＹ・−Ｙ方
向の寸法を演算するとともに、光学センサ９・１０から
の出力に基づいて平面基板２のＸ・−Ｘ方向の寸法を演
算し、これによって得られた平面基板２の寸法を表示装
置１３等の手段に出力するようになっている。また、デ
ータ処理制御部１１は、上記のようにして得られた平面
基板２のＹ・−Ｙ方向の寸法と、予め検出しあるいは入
力されているカセット１の基板収納部１ｃにおけるＹ・
−Ｙ方向の位置とに基づいて、平面基板２の幅方向の両
端部がカセット１の側壁部１ａと干渉することなく平面
基板２を基板収納部１ｃへ収納するためのＹ方向アーム
移動機構部４の制御における補正データ、例えば平面基
板２のＹ・−Ｙ方向の中心と基板収納部１ｃの中心とを
一致させた状態で平面基板２をカセット１に収納するた
めのＹ方向アーム移動機構部４の制御における補正デー
タを移動機構制御部１２に出力するようになっている。

【００１７】ここで、データ処理制御部１１における平
面基板２の寸法測定原理を図４により説明する。投光器
７ａ・８ａから投射されるレーザ平行光のＹ・−Ｙ方向
の幅をそれぞれＬＷａ₁、ＬＷａ₂とし、今、平面基板
２が基板搬送アーム６によりカセット１から取り出さ
れ、図４に示すように、光学センサ７・８の光路を横切
ったとする。このときに投光器７ａ・８ａへ入射するレ
ーザ光の幅をそれぞれＬＷｂ₁、ＬＷｂ₂とし、両投光
器７ａ・８ａの中心間の距離をＤとすると、平面基板２
のＹ・−Ｙ方向の幅ＰＷは、ＰＷ＝｛Ｄ＋（ＬＷａ₁＋ＬＷａ₂）／２｝−（ＬＷｂ₁＋ＬＷｂ₂）となる。同様にして、Ｙ方向へ移動した平面基板２が光
学センサ９・１０の光路を横切ることにより、平面基板
２のＸ・−Ｘ方向の長さＰＬを検出することができる。

【００１８】移動機構制御部１２は、前述の動作に加
え、データ処理制御部１１から供給された上記の補正デ
ータに基づいて、基板搬送アーム６の位置が補正される
ようにＹ方向アーム移動機構部４を制御するようになっ
ている。

【００１９】上記の構成において、本基板搬送装置３の
動作を以下に説明する。基板搬送アーム６上に吸着され
て保持された平面基板２をカセット１に収納する場合、
Ｙ方向アーム移動機構部４の動作によって基板搬送アー
ム６、即ち平面基板２がカセット１との対向位置に配置
される。また、図７に示すように、所定の基板収納部１
ｃに対する基板搬送アーム６の高さ位置の調節は、図示
しないＺ方向アーム移動機構部によって行われる。

【００２０】次に、上記の状態からＸ方向アーム移動機
構部５の動作により、図６および図７に示すように、基
板搬送アーム６が−Ｘ方向へ移動する。このとき、平面
基板２の前部によって光学センサ７・８の光路が遮断さ
れると、前述のように、光学センサ７・８の出力に基づ
いてデータ処理制御部１１により平面基板２のＹ・−Ｙ
方向の寸法が演算され、データ処理制御部１１は、上記
のようにして得られた平面基板２のＹ・−Ｙ方向の寸法
と、予め検出しあるいは入力されているカセット１の基
板収納部１ｃにおけるＹ・−Ｙ方向の位置とに基づい
て、例えば平面基板２のＹ・−Ｙ方向の中心と基板収納
部１ｃの中心とを一致させた状態で平面基板２をカセッ
ト１に収納するための補正データを移動機構制御部１２
に出力する。移動機構制御部１２は、上記の補正データ
に基づいてＹ方向アーム移動機構部４を制御する。これ
により、平面基板２が、同図に示すように、カセット１
の側壁部１ａ等と衝突することなく、所定の基板収納部
１ｃに正確に収納される。その後、平面基板２に対する
吸着が解除され、基板搬送アーム６は、Ｘ方向アーム移
動機構部５の動作により、Ｘ方向へ退行する。

【００２１】また、カセット１に収納されている平面基
板２をカセット１から取り出して、所定の処理位置へ移
動させる場合、Ｘ方向アーム移動機構部５の動作により
基板搬送アーム６が−Ｘ方向へ移動してカセット１内に
おける所定の平面基板２の下に挿入され、基板搬送アー
ム６に平面基板２が吸着される。

【００２２】次に、Ｘ方向アーム移動機構部５の動作に
よりＸ方向へ基板搬送アーム６が移動し、平面基板２が
カセット１から取り出される。この位置へ平面基板２が
移動する過程において、平面基板２により光学センサ７
・８の光路が遮断され、これに基づいてデータ処理制御
部１１により平面基板２におけるＹ・−Ｙ方向の幅が演
算される。

【００２３】次に、上記の状態から、Ｙ方向アーム移動
機構部４の動作により基板搬送アーム６がＹ方向へ移動
し、平面基板２が次工程の位置へ移動する。この過程に
おいて、平面基板２によ光学センサ９・１０の光路が遮
断され、これに基づいてデータ処理制御部１１により平
面基板２におけるＸ・−Ｘ方向の長さが演算される。こ
れによって平面基板２の寸法が明らかとなり、その寸法
を示す出力信号がデータ処理制御部１１から出力され
る。

【００２４】

【発明の効果】請求項１の発明の基板搬送装置は、以上
のように、基板が基板保持部材により基板収納手段の基
板収納部から取り出されるときの基板の移動軌跡との対
応部位に設けられ、上記の基板における基板収納手段か
らの取り出し方向と直交する幅方向の両端部の位置を検
出する基板幅検出手段と、基板が基板保持部材により基
板供給方向に搬送されるときの基板の移動軌跡との対応
部位に設けられ、基板における上記の基板幅方向と直交
する長さ方向の両端部の位置を検出する基板長さ検出手
段と、上記の基板幅検出手段と基板長さ検出手段との検
出結果に基づいて、基板の寸法を演算する演算手段とを
備えている構成である。

【００２５】これにより、基板を基板収納手段から取り
出して所定の供給方向へ搬送する過程において、自動的
に基板の寸法を測定することができ、作業者が、基板保
持部材の移動を停止させ、この状態で基板の寸法を測定
する必要がなくなる。従って、作業者の負担が軽減さ
れ、かつ生産性を向上することができるという効果を奏
する。

【００２６】請求項２の発明の基板搬送装置は、以上の
ように、基板が基板保持部材により基板収納手段の基板
収納部に収納されるときの基板の移動軌跡との対応部位
に設けられ、上記の基板における基板収納手段への収納
方向と直交する幅方向の両端部の位置を検出する基板幅
検出手段と、この基板幅検出手段による検出結果と上記
の基板収納部における基板幅方向の位置とに基づいて、
基板の幅方向の両端部が基板収納手段の基板収納部にお
ける基板幅方向側の部材と干渉することなく基板収納部
へ収納されるように、上記の駆動手段を制御して基板保
持手段における基板幅方向の位置を補正させる制御手段
とを備えている構成である。

【００２７】これにより、基板は、基板収納手段の基板
収納部における基板幅方向側の部材と衝突して損傷する
といった事態を生じることなく、適切に上記の基板収納
部へ収納することができる。これにより、基板を使用し
ての製造工程を円滑に運営することができ、生産性を向
上することができるという効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示す基板搬送装置の概略の
平面図である。

【図２】上記の基板搬送装置と共に使用されるカセット
の正面図（ａ）と同図に示した基板保持部の拡大図
（ｂ）である。

【図３】上記のカセットの側面図である。

【図４】上記の基板搬送装置における平面基板寸法の検
出動作の説明図である。

【図５】上記の基板搬送装置における制御部を示すブロ
ック図である。

【図６】図１に示した基板搬送装置でのカセットに対す
る平面基板の収納動作および取り出し動作を示す平面図
である。

【図７】図１に示した基板搬送装置の側面図である。

【図８】従来の基板搬送装置と共に使用されるカセット
の要部の正面図である。

【符号の説明】

１カセット（基板収納手段）１ｃ基板収納部２平面基板３基板搬送装置４Ｙ方向アーム移動機構部（駆動手段）５Ｘ方向アーム移動機構部（駆動手段）６基板搬送アーム（基板保持部材）７光学センサ（基板幅検出手段）８光学センサ（基板幅検出手段）９光学センサ（基板長さ検出手段）１０光学センサ（基板長さ検出手段）１１データ処理制御部（演算手段、制御手段）１２移動機構制御部（制御手段）

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】基板収納部に基板が収納される基板収納手
段に対しての収納および取り出し方向と、これらの方向
とは別の基板供給方向とに、駆動手段にて駆動される基
板保持部材により基板を保持して搬送する基板搬送装置
において、基板が基板保持部材により基板収納手段の基板収納部か
ら取り出されるときの基板の移動軌跡との対応部位に設
けられ、上記の基板における基板収納手段からの取り出
し方向と直交する幅方向の両端部の位置を検出する基板
幅検出手段と、基板が基板保持部材により基板供給方向に搬送されると
きの基板の移動軌跡との対応部位に設けられ、基板にお
ける上記の基板幅方向と直交する長さ方向の両端部の位
置を検出する基板長さ検出手段と、上記の基板幅検出手段と基板長さ検出手段との検出結果
に基づいて、基板の寸法を演算する演算手段とを備えて
いることを特徴とする基板搬送装置。
【請求項２】基板収納部に基板が収納される基板収納手
段に対しての収納および取り出し方向と、この収納方向
と直交する基板幅方向とに、駆動手段にて駆動される基
板保持部材により基板を保持して搬送する基板搬送装置
において、基板が基板保持部材により基板収納手段の基板収納部に
収納されるときの基板の移動軌跡との対応部位に設けら
れ、上記の基板における基板幅方向の両端部の位置を検
出する基板幅検出手段と、この基板幅検出手段による検出結果と上記の基板収納部
における基板幅方向の位置とに基づいて、基板の幅方向
の両端部が上記の基板収納部における基板幅方向側の部
材と干渉することなく基板収納部へ収納されるように、
上記の駆動手段を制御して基板保持手段における基板幅
方向の位置を補正させる制御手段とを備えていることを
特徴とする基板搬送装置。