JPH06150427A - 光磁気記録の記録方式 - Google Patents
光磁気記録の記録方式Info
- Publication number
- JPH06150427A JPH06150427A JP30077992A JP30077992A JPH06150427A JP H06150427 A JPH06150427 A JP H06150427A JP 30077992 A JP30077992 A JP 30077992A JP 30077992 A JP30077992 A JP 30077992A JP H06150427 A JPH06150427 A JP H06150427A
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- Japan
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- recording
- test
- area
- track
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Abstract
(57)【要約】
【構成】記録を行う光磁気記録装置と記録を行う光磁気
ディスクとからなり、光磁気ディスク上にテスト記録領
域を有し、その領域に前回のテスト記録と重ならないよ
うに記録をするようにディスクの一定領域に前回の記録
領域を記憶するエリアをもっている。 【効果】記録／消去の繰返しにより記録媒体の記録感度
の変動がないので、使用環境条件にあった記録条件を正
確に検出でき、常に同じ形状の磁区を形成できる。
ディスクとからなり、光磁気ディスク上にテスト記録領
域を有し、その領域に前回のテスト記録と重ならないよ
うに記録をするようにディスクの一定領域に前回の記録
領域を記憶するエリアをもっている。 【効果】記録／消去の繰返しにより記録媒体の記録感度
の変動がないので、使用環境条件にあった記録条件を正
確に検出でき、常に同じ形状の磁区を形成できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はレーザ光及び外部印加磁
界を含む記録再生或いは消去を行う光磁気記録に係り、
特に、超高密度光磁気記録に好適な光磁気記録の記録方
式に関する。
界を含む記録再生或いは消去を行う光磁気記録に係り、
特に、超高密度光磁気記録に好適な光磁気記録の記録方
式に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年の高度情報化社会の進展に伴い、高
密度でしかも大容量のファイルメモリへのニーズが高ま
っている。これに応えるものとして光記録が注目されて
いる。そのなかで、書換え形の光磁気記録が最近製品化
された。そして、さらにその性能の向上を目指して多く
の研究機関で研究開発が進められている。その中心にあ
るのが記録密度のさらなる向上に関する研究である。高
密度記録を実現するための手法として、１）ディスクに
おいてトラックピッチを詰める、２）波長の短いレーザ
光を用いる、３）記録磁区を微小化するとともに磁区間
隔を詰める、４）マークエッジ記録方式を用いる、５）
ＭＣＡＶ方式を用いる、等を併用することが有効である
ことが知られている。しかし、これらの技術を実用化す
るのに環境温度変動により形成される記録磁区の形状、
特に、長さと幅が変化する場合があった。特に、マーク
エッジ記録を行う場合、著しく不利になっていた。これ
らの課題を検討した公知な例として、特開平3−22223号
公報が知られている。この公知例では、記録条件を補正
することにより形成される記録磁区の形状を制御する方
式が提案されていた。
密度でしかも大容量のファイルメモリへのニーズが高ま
っている。これに応えるものとして光記録が注目されて
いる。そのなかで、書換え形の光磁気記録が最近製品化
された。そして、さらにその性能の向上を目指して多く
の研究機関で研究開発が進められている。その中心にあ
るのが記録密度のさらなる向上に関する研究である。高
密度記録を実現するための手法として、１）ディスクに
おいてトラックピッチを詰める、２）波長の短いレーザ
光を用いる、３）記録磁区を微小化するとともに磁区間
隔を詰める、４）マークエッジ記録方式を用いる、５）
ＭＣＡＶ方式を用いる、等を併用することが有効である
ことが知られている。しかし、これらの技術を実用化す
るのに環境温度変動により形成される記録磁区の形状、
特に、長さと幅が変化する場合があった。特に、マーク
エッジ記録を行う場合、著しく不利になっていた。これ
らの課題を検討した公知な例として、特開平3−22223号
公報が知られている。この公知例では、記録条件を補正
することにより形成される記録磁区の形状を制御する方
式が提案されていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術では、外
部記録条件の変動に対して補正は可能であるが、テスト
領域で記録/消去の繰返しにより、記録膜の磁気特性が
変動する場合があった。その結果として、テスト記録に
よる記録や消去の条件の検出は正常に動作しても、テス
ト領域では記録／消去の繰返しによりディスクの記録感
度が変化しているために、データ記録領域と記録感度が
異なっているので、データ領域に形成される記録磁区の
形状が異なり、マークエッジ記録を行う場合にはエッジ
位置の正確な検出ができず高密度記録の大きな障害とな
っていた。
部記録条件の変動に対して補正は可能であるが、テスト
領域で記録/消去の繰返しにより、記録膜の磁気特性が
変動する場合があった。その結果として、テスト記録に
よる記録や消去の条件の検出は正常に動作しても、テス
ト領域では記録／消去の繰返しによりディスクの記録感
度が変化しているために、データ記録領域と記録感度が
異なっているので、データ領域に形成される記録磁区の
形状が異なり、マークエッジ記録を行う場合にはエッジ
位置の正確な検出ができず高密度記録の大きな障害とな
っていた。
【０００４】本発明の目的は、テスト領域への記録回数
が一つの場所に集中することなく、テスト領域全体を均
一に用いることにより、記録条件の変動を最小限に抑制
することにより、記録や消去条件の設定に対する信頼性
を増し、超高密度光磁気ディスクを提供することにあ
る。
が一つの場所に集中することなく、テスト領域全体を均
一に用いることにより、記録条件の変動を最小限に抑制
することにより、記録や消去条件の設定に対する信頼性
を増し、超高密度光磁気ディスクを提供することにあ
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明はテスト記録を行う領域への記録が１ヵ所の
限られた部分に集中することなく、均一に記録するよう
に制御すればよい。そこで、レーザ光と外部印加磁界を
含み、記録，再生、或いは消去を行う光磁気記録におい
て、ユーザデータを記録したり、或いは記録してあるデ
ータを消去を行うのに先立って、或いはディスク駆動装
置を動作させた時点で、或いはディスクを装置へ挿入し
た時点で、一定時間間隔か記録或いは消去動作の直前
に、ディスク上の決められた一定の領域に基準の条件を
中心に一定間隔でレーザパワーを増減させて一定のテス
トパターンを用いてテスト記録を行い、それを再生して
駆動装置のメモリ或いはディスクのある領域にあらかじ
め記録してある記録条件に関する情報と比較することに
よりディスクへ照射されるレーザパワーが常に実効的に
一定となるように制御する場合において、情報を記録或
いは消去を行うディスク上の決められた領域であるトラ
ックにおいて１周が複数の部分に分割されており、その
分割された領域の一部を用いてテスト記録を繰返し行う
のに、前回の記録領域とは異なる領域を用いてテスト記
録を行えばよい。また、情報を記録或いは消去を行うデ
ィスク上の決められた領域として１トラック全部を用い
る場合には、テスト記録を繰返し行うのに複数のトラッ
クを用いる場合には前回のテスト記録とは異なるトラッ
クを用いてテスト記録を行ってもよい。ところで、テス
ト記録を行い光磁気記録装置の使用環境に応じた記録条
件の検出を行い、それをフィードバックして記録或いは
消去のパワーもしくは記録時の記録パルスの幅を制御す
ることにより同一形状及びサイズの記録磁区を形成すれ
ばよい。また、テスト記録を行う領域の制御を行うの
に、前回にテスト記録を行ったトラック、或いは、１ト
ラック上の領域をディスク上に記憶させておくか、或い
は、テスト記録の動作時のレジスタのタイミングをずら
すなどすることにより同一のトラック、或いは、１トラ
ック上の同一領域でテスト記録を行わないように制御し
た。
に、本発明はテスト記録を行う領域への記録が１ヵ所の
限られた部分に集中することなく、均一に記録するよう
に制御すればよい。そこで、レーザ光と外部印加磁界を
含み、記録，再生、或いは消去を行う光磁気記録におい
て、ユーザデータを記録したり、或いは記録してあるデ
ータを消去を行うのに先立って、或いはディスク駆動装
置を動作させた時点で、或いはディスクを装置へ挿入し
た時点で、一定時間間隔か記録或いは消去動作の直前
に、ディスク上の決められた一定の領域に基準の条件を
中心に一定間隔でレーザパワーを増減させて一定のテス
トパターンを用いてテスト記録を行い、それを再生して
駆動装置のメモリ或いはディスクのある領域にあらかじ
め記録してある記録条件に関する情報と比較することに
よりディスクへ照射されるレーザパワーが常に実効的に
一定となるように制御する場合において、情報を記録或
いは消去を行うディスク上の決められた領域であるトラ
ックにおいて１周が複数の部分に分割されており、その
分割された領域の一部を用いてテスト記録を繰返し行う
のに、前回の記録領域とは異なる領域を用いてテスト記
録を行えばよい。また、情報を記録或いは消去を行うデ
ィスク上の決められた領域として１トラック全部を用い
る場合には、テスト記録を繰返し行うのに複数のトラッ
クを用いる場合には前回のテスト記録とは異なるトラッ
クを用いてテスト記録を行ってもよい。ところで、テス
ト記録を行い光磁気記録装置の使用環境に応じた記録条
件の検出を行い、それをフィードバックして記録或いは
消去のパワーもしくは記録時の記録パルスの幅を制御す
ることにより同一形状及びサイズの記録磁区を形成すれ
ばよい。また、テスト記録を行う領域の制御を行うの
に、前回にテスト記録を行ったトラック、或いは、１ト
ラック上の領域をディスク上に記憶させておくか、或い
は、テスト記録の動作時のレジスタのタイミングをずら
すなどすることにより同一のトラック、或いは、１トラ
ック上の同一領域でテスト記録を行わないように制御し
た。
【０００６】この他に、ボリューム情報などのディスク
へ記録する情報を管理するデータを格納する場合に、少
なくともレーザ光と外部印加磁界を用いて記録，再生、
或いは消去を行う光磁気記録において、データコントロ
ール情報を格納する領域において、格納するデータの記
録領域を情報を記録、或いは、消去を行うディスク上の
決められた領域であるトラックで１周が複数の部分に分
割されており、その分割された領域の一部を用いてテス
ト記録を繰返し行うのに、前回の記録とは異なる領域を
用いて制御データの記録を行ってもよい。この他、情報
を記録或いは消去を行うディスク上の決められた領域と
して１トラックを用いる場合は、テスト記録を繰返し行
うのに複数のトラックを用いる場合には前回のテスト記
録とは異なるトラックを用いて制御データの記録を行っ
てもよい。
へ記録する情報を管理するデータを格納する場合に、少
なくともレーザ光と外部印加磁界を用いて記録，再生、
或いは消去を行う光磁気記録において、データコントロ
ール情報を格納する領域において、格納するデータの記
録領域を情報を記録、或いは、消去を行うディスク上の
決められた領域であるトラックで１周が複数の部分に分
割されており、その分割された領域の一部を用いてテス
ト記録を繰返し行うのに、前回の記録とは異なる領域を
用いて制御データの記録を行ってもよい。この他、情報
を記録或いは消去を行うディスク上の決められた領域と
して１トラックを用いる場合は、テスト記録を繰返し行
うのに複数のトラックを用いる場合には前回のテスト記
録とは異なるトラックを用いて制御データの記録を行っ
てもよい。
【０００７】
【作用】ディスクへのテスト領域へ記録する場合に、１
トラックを用いて行う場合には１トラックを複数の領域
に分割されている場合には前回のテスト領域と異なる部
分へテスト記録を行い、複数のトラックを用いて行う場
合には前回のテストトラックと異なるトラックを用いて
行うことにより延べのテスト回数を増大させることがで
きる。その結果、安定にテストできる回数を増大させる
ことができる。
トラックを用いて行う場合には１トラックを複数の領域
に分割されている場合には前回のテスト領域と異なる部
分へテスト記録を行い、複数のトラックを用いて行う場
合には前回のテストトラックと異なるトラックを用いて
行うことにより延べのテスト回数を増大させることがで
きる。その結果、安定にテストできる回数を増大させる
ことができる。
【０００８】
【実施例】ＭＣＡＶ方式及びマークエッジ記録方式を併
用して用いた。ポリカーボネイト基板上に４層構造記録
媒体を形成したディスクを用いた。すなわち、基板上に
窒化シリコン膜(７５ｎｍ）を、次に、ＴｂＦｅＣｏＮ
ｂ光磁気記録膜（２５ｎｍ)を、そして、つづいて窒化
シリコン膜（２０ｎｍ）を作製し、最後に、ＡｌＴｉ膜
（５０ｎｍ）を順次スパッタ法により作製した。そし
て、記録媒体の表面を紫外線硬化型樹脂層を形成し、デ
ィスクとした。
用して用いた。ポリカーボネイト基板上に４層構造記録
媒体を形成したディスクを用いた。すなわち、基板上に
窒化シリコン膜(７５ｎｍ）を、次に、ＴｂＦｅＣｏＮ
ｂ光磁気記録膜（２５ｎｍ)を、そして、つづいて窒化
シリコン膜（２０ｎｍ）を作製し、最後に、ＡｌＴｉ膜
（５０ｎｍ）を順次スパッタ法により作製した。そし
て、記録媒体の表面を紫外線硬化型樹脂層を形成し、デ
ィスクとした。
【０００９】例えば、図１に示すディスクの最内周のト
ラックに、その下に示すパターンを用いてレーザパワー
を変化させて記録した。ここで、図の１はテストトラッ
ク、２はデータ記録部、３はゾーン切換部、４はセクタ
マークである。
ラックに、その下に示すパターンを用いてレーザパワー
を変化させて記録した。ここで、図の１はテストトラッ
ク、２はデータ記録部、３はゾーン切換部、４はセクタ
マークである。
【００１０】レーザパワーの設定は装置或いは一定のデ
ィスクの領域に記録されている記録条件に関する情報を
用いて、その標準値を中心に０.１ｍＷ 間隔でテスト記
録を行った。ディスクのトラック１周は１７のセクタに
分けてある。１セクタおきに記録を行いそれを再生し
た。再生出力の例を図２に示す。この図にあるように、
最長のパターンの信号振幅の中心と最短パターンの振幅
の中心との差を求め、それがゼロとなる記録条件をさが
した。これを最適の記録条件とした。
ィスクの領域に記録されている記録条件に関する情報を
用いて、その標準値を中心に０.１ｍＷ 間隔でテスト記
録を行った。ディスクのトラック１周は１７のセクタに
分けてある。１セクタおきに記録を行いそれを再生し
た。再生出力の例を図２に示す。この図にあるように、
最長のパターンの信号振幅の中心と最短パターンの振幅
の中心との差を求め、それがゼロとなる記録条件をさが
した。これを最適の記録条件とした。
【００１１】ここで、ゼロセクタをスタートに８セクタ
まで連続してテスト記録し、同じセクタでテスト記録を
行った場合と、ゼロセクタをスタートに１セクタおきに
テスト記録し、次回のテスト記録は先に用いなかったセ
クタに記録し、これを交互に繰返した場合とを比較し
た。１０7 回記録／消去後の再生信号出力を比較する
と、後者の手法では１０7 回記録／消去後の繰返し後で
もＣ／Ｎの変化は見られなかったのに対し、前者の手法
ではＣ／Ｎが１.５ｄＢ 増加した。これは、記録／消去
の繰返しにより記録膜の記録感度が上昇し、ディスクの
作製の初期より大きな記録磁区が形成されたためであ
る。
まで連続してテスト記録し、同じセクタでテスト記録を
行った場合と、ゼロセクタをスタートに１セクタおきに
テスト記録し、次回のテスト記録は先に用いなかったセ
クタに記録し、これを交互に繰返した場合とを比較し
た。１０7 回記録／消去後の再生信号出力を比較する
と、後者の手法では１０7 回記録／消去後の繰返し後で
もＣ／Ｎの変化は見られなかったのに対し、前者の手法
ではＣ／Ｎが１.５ｄＢ 増加した。これは、記録／消去
の繰返しにより記録膜の記録感度が上昇し、ディスクの
作製の初期より大きな記録磁区が形成されたためであ
る。
【００１２】この効果は、テスト領域としてトラック１
周毎に記録条件を変化させて記録を行う場合には、同一
の条件を同じトラックに記録しないように制御すればよ
い。ここで、記録／消去の繰返しにより記録−再生特性
が変化するのは、標準パワー以上のパワーでテスト記録
を行う場合があり、記録膜の温度が３００℃を超える場
合があるからである。
周毎に記録条件を変化させて記録を行う場合には、同一
の条件を同じトラックに記録しないように制御すればよ
い。ここで、記録／消去の繰返しにより記録−再生特性
が変化するのは、標準パワー以上のパワーでテスト記録
を行う場合があり、記録膜の温度が３００℃を超える場
合があるからである。
【００１３】次に、この２種類の手法により見出した条
件によりランダムパターンを記録し、それを再生したと
きのエッジシフトをタイムインターバルアナライザ(Ｔ
ＩＡ）により測定した。その時のエッジシフトは本発明
を用いた場合が、±１ｎｓ以下であったのに対し、１０
７ 回同一セクタにテスト記録した後のセクタを用いて
見出した条件で記録した時のエッジシフトは±７ｎｓと
著しく大きかった。
件によりランダムパターンを記録し、それを再生したと
きのエッジシフトをタイムインターバルアナライザ(Ｔ
ＩＡ）により測定した。その時のエッジシフトは本発明
を用いた場合が、±１ｎｓ以下であったのに対し、１０
７ 回同一セクタにテスト記録した後のセクタを用いて
見出した条件で記録した時のエッジシフトは±７ｎｓと
著しく大きかった。
【００１４】
【発明の効果】本発明によれば、テスト記録方式を用い
た高精度記録制御法において、記録／消去の繰返しによ
り記録媒体の記録感度の変動がないので、使用環境条件
にあった記録条件を正確に検出できるので、常に同じ形
状の磁区が形成できる。特に、マーク長記録を行う場合
には、エッジシフトを抑制するために行うテスト記録方
式における最適記録条件の検出の精度を大きく向上させ
ることができる。これにより、温度変動などの使用環境
条件の変動の影響を受けずに安定して微小磁区を形成で
きるので、超高密度記録を実現できる。
た高精度記録制御法において、記録／消去の繰返しによ
り記録媒体の記録感度の変動がないので、使用環境条件
にあった記録条件を正確に検出できるので、常に同じ形
状の磁区が形成できる。特に、マーク長記録を行う場合
には、エッジシフトを抑制するために行うテスト記録方
式における最適記録条件の検出の精度を大きく向上させ
ることができる。これにより、温度変動などの使用環境
条件の変動の影響を受けずに安定して微小磁区を形成で
きるので、超高密度記録を実現できる。
【図１】ディスクの模式図および記録パターンの一例を
示す説明図。
示す説明図。
【図２】テスト記録した情報の再生信号波形図および信
号振幅センターズレ量とレーザパワーの関係を示す図。
号振幅センターズレ量とレーザパワーの関係を示す図。
１…テストトラック、２…データ記録部、３…ゾーン切
換部、４…セクタマーク。
換部、４…セクタマーク。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 井手 浩 東京都国分寺市東恋ケ窪１丁目280番地 株式会社日立製作所中央研究所内 (72)発明者 戸田 剛 東京都国分寺市東恋ケ窪１丁目280番地 株式会社日立製作所中央研究所内 (72)発明者 前田 武志 東京都国分寺市東恋ケ窪１丁目280番地 株式会社日立製作所中央研究所内 (72)発明者 土永 浩之 東京都国分寺市東恋ケ窪１丁目280番地 株式会社日立製作所中央研究所内 (72)発明者 太田 憲雄 大阪府茨木市丑寅一丁目１番88号 日立マ クセル株式会社内
Claims (6)
- 【請求項１】レーザ光と外部印加磁界とを含み記録，再
生、或いは消去を行う光磁気記録において、ユーザデー
タを記録したり、或いは記録してあるデータの消去を行
うのに先立って、或いはディスク駆動装置を動作させた
時点で、或いはディスクを装置へ挿入した時点で、一定
時間間隔か記録或いは消去動作の直前に、前記ディスク
上の決められた一定の領域に基準の条件を中心に一定間
隔でレーザパワーを増減させて一定のテストパターンを
用いてテスト記録を行い、それを再生して駆動装置のメ
モリ或いは前記ディスクのある領域にあらかじめ記録し
てある記録条件に関する情報と比較することにより前記
ディスクへ照射される前記レーザパワーが常に実効的に
一定となるように制御する場合に、情報を記録或いは消
去を行う前記ディスク上の決められた領域であるトラッ
クで１周が複数の部分に分割されており、その分割され
た領域の一部を用いてテスト記録を繰返し行うのに、前
回の記録とは異なる領域を用いてテスト記録を行うこと
を特徴とする光磁気記録の記録方法。 - 【請求項２】レーザ光と外部印加磁界とを含み記録，再
生、或いは消去を行う光磁気記録において、ユーザデー
タを記録したり、或いは記録してあるデータを消去を行
うのに先立って、或いはディスク駆動装置を動作させた
時点で、或いはディスクを装置へ挿入した時点で、一定
時間間隔か記録或いは消去動作の直前に、前記ディスク
上の決められた一定の領域に基準の条件を中心に一定間
隔でレーザパワーを増減させて一定のテストパターンを
用いてテスト記録を行い、それを再生して駆動装置のメ
モリ或いは前記ディスクのある領域にあらかじめ記録し
てある記録条件に関する情報と比較することにより前記
ディスクで形成される記録磁区の形状及びサイズが常に
実効的に一定となるように制御する場合に、情報を記録
或いは消去を行う前記ディスク上の決められた領域とし
て１トラックを用いる場合は、テスト記録を繰返し行う
のに複数のトラックを用いる場合には前回のテスト記録
とは異なるトラックを用いてテスト記録を行うことを特
徴とする光磁気記録の記録方法。 - 【請求項３】請求項１または２において、前記光磁気記
録装置の使用環境に応じた記録条件の検出を行い、それ
をフィードバックして記録或いは消去のパワーもしくは
記録時の記録パルスの幅を制御することにより同一形状
及びサイズの記録磁区を形成した光磁気記録の記録方
法。 - 【請求項４】請求項１，２または３において、テスト記
録領域のコントロールを行う場合に、前回にテスト記録
を行ったトラック或いは１トラック上の領域をディスク
上に記憶させておくか或いはテスト記録の動作時のレジ
スタのタイミングをずらすなどにより同一のトラック或
いは１トラック上の同一領域でテスト記録を行わないよ
うに制御した光磁気記録の記録方法。 - 【請求項５】レーザ光と外部印加磁界とを含む記録，再
生、或いは消去を行う光磁気記録において、ディスクへ
記録するデータコントロール情報を格納する領域で、格
納するデータの記録領域を情報を記録或いは消去を行う
ディスク上の決められた領域であるトラックで１周が複
数の部分に分割されており、その分割された領域の一部
を用いてテスト記録を繰返し行うのに、前回の記録とは
異なる領域を用いて制御データの記録を行うことを特徴
とする光磁気記録の記録方法。 - 【請求項６】レーザ光と外部印加磁界とを含む記録，再
生、或いは消去を行う光磁気記録において、ディスクへ
記録するデータコントロール情報を格納する領域で、情
報を記録或いは消去を行うディスク上の決められた領域
として１トラックを用いる場合は、テスト記録を繰返し
行うのに複数のトラックを用いる場合には前回のテスト
記録とは異なるトラックを用いて制御データの記録を行
う光磁気記録の記録方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30077992A JPH06150427A (ja) | 1992-11-11 | 1992-11-11 | 光磁気記録の記録方式 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30077992A JPH06150427A (ja) | 1992-11-11 | 1992-11-11 | 光磁気記録の記録方式 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06150427A true JPH06150427A (ja) | 1994-05-31 |
Family
ID=17888997
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30077992A Withdrawn JPH06150427A (ja) | 1992-11-11 | 1992-11-11 | 光磁気記録の記録方式 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06150427A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100462215B1 (ko) * | 1997-07-26 | 2005-04-06 | 삼성전자주식회사 | 하드 디스크 드라이브 제조공정시 차후 불량분석 효율을높이기 위한 방법 |
-
1992
- 1992-11-11 JP JP30077992A patent/JPH06150427A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100462215B1 (ko) * | 1997-07-26 | 2005-04-06 | 삼성전자주식회사 | 하드 디스크 드라이브 제조공정시 차후 불량분석 효율을높이기 위한 방법 |
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