JPH06147358A - 可燃性、爆発性ガスの流量を制御する１軸制御式直列多連バ ルブ装置 - Google Patents
可燃性、爆発性ガスの流量を制御する１軸制御式直列多連バ ルブ装置Info
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- JPH06147358A JPH06147358A JP32087391A JP32087391A JPH06147358A JP H06147358 A JPH06147358 A JP H06147358A JP 32087391 A JP32087391 A JP 32087391A JP 32087391 A JP32087391 A JP 32087391A JP H06147358 A JPH06147358 A JP H06147358A
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】半導体工程に使用される可燃性、爆発性の危険
なガスの流量を安全に制御する１軸制御式直列多連バル
ブ装置を提供する。 【構成】Ａ軸バルブ本体１を、弁棒部体３の先端に装着
した制御弁部体４、バルブ螺子部５、螺子付きバルブカ
バー体５′、回動ギヤ６と回動チェン体７からなる伝達
機構部Ｃ、弁棒部体の上部に取付け自在にした回動ハン
ドル８及び弁座部１０を内蔵した弁箱体９で構成する。
パイプＤで連結されＡ軸バルブ本体と同時作動するＢ軸
バルブ副体２を、弁棒部体１４の先端に装着した制御弁
部体１５、バルブ螺子部１６、螺子付きバルブカバー体
１６、伝達機構部Ｃの回動ギヤ１７の上部に設けた摩擦
板１８とトルク調整機構部１９及び、弁座部２１を内蔵
した弁箱体２０で構成する。
なガスの流量を安全に制御する１軸制御式直列多連バル
ブ装置を提供する。 【構成】Ａ軸バルブ本体１を、弁棒部体３の先端に装着
した制御弁部体４、バルブ螺子部５、螺子付きバルブカ
バー体５′、回動ギヤ６と回動チェン体７からなる伝達
機構部Ｃ、弁棒部体の上部に取付け自在にした回動ハン
ドル８及び弁座部１０を内蔵した弁箱体９で構成する。
パイプＤで連結されＡ軸バルブ本体と同時作動するＢ軸
バルブ副体２を、弁棒部体１４の先端に装着した制御弁
部体１５、バルブ螺子部１６、螺子付きバルブカバー体
１６、伝達機構部Ｃの回動ギヤ１７の上部に設けた摩擦
板１８とトルク調整機構部１９及び、弁座部２１を内蔵
した弁箱体２０で構成する。
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、可燃性、爆発性ガスの
流量を制御する１軸制御式直列多連バルブ装置に関す
る。詳しくは、Ａ軸バルブに取付けたハンドルを制御す
ることにより同時にＢ軸バルブもＡ軸バルブ同様の動作
をする結果バルブの散付きや吸収する特徴を有した多連
弁座式の安全バルブである。
流量を制御する１軸制御式直列多連バルブ装置に関す
る。詳しくは、Ａ軸バルブに取付けたハンドルを制御す
ることにより同時にＢ軸バルブもＡ軸バルブ同様の動作
をする結果バルブの散付きや吸収する特徴を有した多連
弁座式の安全バルブである。
【０００２】
【従来の技術】従来、可燃性、爆発性のガスを扱う制御
バルブは、安全面において法律できびしく規制されてい
る。その関係上、配管に取付ける制御バルブの安全を規
するために直列的に１軸式制御バルブを多設の制御シス
テムが大勢を示めているのが実情である。前記システム
において、制御する際、まづ第１バルブを閉めてつぎの
第２、第３とバルブを締めるとどうしても時間差とか熟
練差があり、残留ガスが生じる原因となつて安全性につ
いては必らずしもバルブ締めがパーフェクトとは言えな
い。業界では危険ガス流体に関し、一層な安全確保手段
のものが無く、久しく要望され今日に至つていた。
バルブは、安全面において法律できびしく規制されてい
る。その関係上、配管に取付ける制御バルブの安全を規
するために直列的に１軸式制御バルブを多設の制御シス
テムが大勢を示めているのが実情である。前記システム
において、制御する際、まづ第１バルブを閉めてつぎの
第２、第３とバルブを締めるとどうしても時間差とか熟
練差があり、残留ガスが生じる原因となつて安全性につ
いては必らずしもバルブ締めがパーフェクトとは言えな
い。業界では危険ガス流体に関し、一層な安全確保手段
のものが無く、久しく要望され今日に至つていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記技術において解決
する問題点は、第１は、従来の可燃性、爆発性ガス配管
の制御バルブに関するシステムにおいては、ガス漏れに
よつて爆発とか、人体に危険を及ぼすような危惧を持つ
た手段である。第２は、制御操作の不完全によつて、ど
うしても脈流ガスが残存する。第３は、ハンドバルブの
ばらつきや吸収がわるい。第４には制御バルブを直列的
に単体バルブを多設して制御する関係上、その制御が統
一でないので神経を使い作業能率に欠ける。前記したよ
うに安全性、操作性、作業性、量産性に欠ける問題点が
数おゝくあり、新規技術の開発が望まれていた。
する問題点は、第１は、従来の可燃性、爆発性ガス配管
の制御バルブに関するシステムにおいては、ガス漏れに
よつて爆発とか、人体に危険を及ぼすような危惧を持つ
た手段である。第２は、制御操作の不完全によつて、ど
うしても脈流ガスが残存する。第３は、ハンドバルブの
ばらつきや吸収がわるい。第４には制御バルブを直列的
に単体バルブを多設して制御する関係上、その制御が統
一でないので神経を使い作業能率に欠ける。前記したよ
うに安全性、操作性、作業性、量産性に欠ける問題点が
数おゝくあり、新規技術の開発が望まれていた。
【０００４】
【課題を解決するための手段】第一の発明の可燃性、爆
発性ガスの流量を制御する１軸制御式直列多連バルブ装
置は、第１図、第２図に示すものである。前記配管の気
体、流体を開閉制御するＡ軸パルブ本体（７）は弁棒部
体の先端に制脚弁部体とその上部に上下回動させるバル
ブ螺子部と螺子付きバルブカバ−を弁箱体に係着せしめ
該弁棒部体に設けた伝達機構部（Ｃ）（該伝達機構部は
回動、ギヤ、回動チェンのものとプーリー、タイミング
ベルトである。）手段は回転比（サイズ比）を有した回
動ギヤと張架する回動チェン体を設けかつ、弁棒部体の
上部に回動ハンドルを設け前記制御弁部体を内蔵させる
弁箱体に弁座部を内設し該体の両側に連結口と連結内ナ
ットでパイプが連結され外ナツトで配管を連結構成され
たＡ軸バルブ本体（１）である。該本体と同時作動する
Ｂ軸バルブ副体（２）の弁棒部体の先端に制御弁部体と
上下に回動させるバルブ螺子部に螺子付きバルブカバー
体を弁箱体に係着せしめ該弁棒部体に設けた伝達機構部
（Ｃ）（該伝達機構部は回動ギヤ、回動チェンとプーリ
ー、タイミングベルトである。）手段は回転比（サイズ
比）を有した回動ギヤとＡ軸バルブ本体（１）よりの回
動チェン体（７）を張架させてかつ、弁棒部体の上部に
回動ギヤを設け該ギヤに摩擦板とトルク調整機構部を具
備させ前記制御弁部体を内蔵させる弁箱体に弁座部を内
設し該体の両側に連結口と連結内ナツトでパイプが連結
され外ナツト配管が連結する構成をもつて前記Ａ軸バル
ブ本体（１）のハンドル（８）で流量を制御（開閉）す
ることにより同時にＢ軸バルブ副体（２）もＡ軸バルブ
本体同様の動作する１軸制御式直列多連バルブの構成手
段である。第二の発明は第一の発明の可燃性、爆発性の
ガスの流量を制御する１軸制御式直列多連バルブ装置の
伝達機構部（Ｃ）におけるＡ軸バルブ本体（１）とＢ軸
バルブ副体（２）についてギヤ比は、第１図、第２図に
示すようにＡ軸は１とし、Ｂ軸は１．５以上とした割合
比率の伝達機構部（Ｃ）の構成手段である。第三の発明
は第一の発明の可燃性、爆発性のガスの流量を制御する
１軸制御式直列多連バルブ装置の伝達機構部（Ｃ）にお
ける、Ａ軸バルブ本体（１）のプーリー（６）の比を１
とし、バルブ副体（２）のプーリー（１７）の比を１．
５以上とし、且つ両体のプーリー（６）に張架させるタ
イミングベルト（７）にした伝達機構部（Ｃ）の構成手
段である。第四の発明は第一の発明の可燃性、爆発性の
ガスの流量を制御する１軸制御式直列多連バルブ装置に
おいて、Ａ軸バルブ本体（１）とＢ軸バルブ副体（２）
の全部に安全カバー（２５）を具備した構成手段であ
る。
発性ガスの流量を制御する１軸制御式直列多連バルブ装
置は、第１図、第２図に示すものである。前記配管の気
体、流体を開閉制御するＡ軸パルブ本体（７）は弁棒部
体の先端に制脚弁部体とその上部に上下回動させるバル
ブ螺子部と螺子付きバルブカバ−を弁箱体に係着せしめ
該弁棒部体に設けた伝達機構部（Ｃ）（該伝達機構部は
回動、ギヤ、回動チェンのものとプーリー、タイミング
ベルトである。）手段は回転比（サイズ比）を有した回
動ギヤと張架する回動チェン体を設けかつ、弁棒部体の
上部に回動ハンドルを設け前記制御弁部体を内蔵させる
弁箱体に弁座部を内設し該体の両側に連結口と連結内ナ
ットでパイプが連結され外ナツトで配管を連結構成され
たＡ軸バルブ本体（１）である。該本体と同時作動する
Ｂ軸バルブ副体（２）の弁棒部体の先端に制御弁部体と
上下に回動させるバルブ螺子部に螺子付きバルブカバー
体を弁箱体に係着せしめ該弁棒部体に設けた伝達機構部
（Ｃ）（該伝達機構部は回動ギヤ、回動チェンとプーリ
ー、タイミングベルトである。）手段は回転比（サイズ
比）を有した回動ギヤとＡ軸バルブ本体（１）よりの回
動チェン体（７）を張架させてかつ、弁棒部体の上部に
回動ギヤを設け該ギヤに摩擦板とトルク調整機構部を具
備させ前記制御弁部体を内蔵させる弁箱体に弁座部を内
設し該体の両側に連結口と連結内ナツトでパイプが連結
され外ナツト配管が連結する構成をもつて前記Ａ軸バル
ブ本体（１）のハンドル（８）で流量を制御（開閉）す
ることにより同時にＢ軸バルブ副体（２）もＡ軸バルブ
本体同様の動作する１軸制御式直列多連バルブの構成手
段である。第二の発明は第一の発明の可燃性、爆発性の
ガスの流量を制御する１軸制御式直列多連バルブ装置の
伝達機構部（Ｃ）におけるＡ軸バルブ本体（１）とＢ軸
バルブ副体（２）についてギヤ比は、第１図、第２図に
示すようにＡ軸は１とし、Ｂ軸は１．５以上とした割合
比率の伝達機構部（Ｃ）の構成手段である。第三の発明
は第一の発明の可燃性、爆発性のガスの流量を制御する
１軸制御式直列多連バルブ装置の伝達機構部（Ｃ）にお
ける、Ａ軸バルブ本体（１）のプーリー（６）の比を１
とし、バルブ副体（２）のプーリー（１７）の比を１．
５以上とし、且つ両体のプーリー（６）に張架させるタ
イミングベルト（７）にした伝達機構部（Ｃ）の構成手
段である。第四の発明は第一の発明の可燃性、爆発性の
ガスの流量を制御する１軸制御式直列多連バルブ装置に
おいて、Ａ軸バルブ本体（１）とＢ軸バルブ副体（２）
の全部に安全カバー（２５）を具備した構成手段であ
る。
【０００５】〔作 用〕上記構成によれば、可燃性、爆
発性ガスの気体、流体はＡ軸バルブ本体（１）と連結の
Ｂ軸バルブ副体（２）の配管（Ｅ）より連結口（１
１）、（２２）を通り弁箱体（９）、（２０）に入り弁
座部（１０）、（２１）の流量を制御する制御弁部体
（４）、（１５）と伝達機構部（Ｃ）とトルク調整機構
（１９）を両軸体に設けＡ軸バルブ本体（１）に回動ハ
ンドル（８）を具備せしめた構成のＡ軸バルブ本体
（１）とＢ軸バルブ副体（２）である。前記両構成をも
つてＡ軸バルブ本体（１）のハンドル（８）で流量を制
御（開閉）することにより同時にＢ軸バルブ副体（２）
もＡ軸と同様の動作する多連弁座式のバルブである。
発性ガスの気体、流体はＡ軸バルブ本体（１）と連結の
Ｂ軸バルブ副体（２）の配管（Ｅ）より連結口（１
１）、（２２）を通り弁箱体（９）、（２０）に入り弁
座部（１０）、（２１）の流量を制御する制御弁部体
（４）、（１５）と伝達機構部（Ｃ）とトルク調整機構
（１９）を両軸体に設けＡ軸バルブ本体（１）に回動ハ
ンドル（８）を具備せしめた構成のＡ軸バルブ本体
（１）とＢ軸バルブ副体（２）である。前記両構成をも
つてＡ軸バルブ本体（１）のハンドル（８）で流量を制
御（開閉）することにより同時にＢ軸バルブ副体（２）
もＡ軸と同様の動作する多連弁座式のバルブである。
【０００６】〔実施例〕以下、第１図、第２図に例示す
るところに従つて本発明の一実施例について説明する。
第１図は本発明の実施態様の斜視図である。第２図は本
発明の安全カバー付きの実施態様の斜視図である。本発
明は、可燃性、爆発性ガスの流量を制御することを目的
とした１軸制御式直列多連バルブ装置に関するものであ
る。本発明の請求項１、２、３、４を第１図、第２図に
従い詳細に説明する。本発明は、半導体製造工程に使用
される可燃性、爆発性の危険なガスの流量を安全に制御
することを目的とした１軸制御式直列多連バルブ装置に
関するものである。本発明の請求項１、２、３、を第１
図、第２図に従い詳細に説明する。まづ請求項１、２、
３に対応する構成を以下、第１図で説明する。Ａ軸バル
ブ本体（１）は弁棒部体（３）の先端に制御弁部体
（４）とその上部に上下回動させるバルブ螺子部（５）
と螺子付きバルブカバー体（５）を弁箱体に係着せしめ
（前記バルブ機構部分は公知の止め弁である）該弁棒部
体に設けた伝達機構部（Ｃ）（該機構部は回動ギヤ、回
動チェンのものとプーリー、タイミングベルトであ
る。）手段の回転比（サイズ比）を有した回動ギヤ
（６）に張架する回動チェン体を設けかつ、弁棒部体の
上部に取付け自在にした回動ハンドル（８）を設け前記
制御弁部体（４）を内蔵させる弁箱体（９）に弁座部
（１０）を内設し該体の両側に連結口（１１）を設け連
結内ナツト（１２）でパイプ（Ｄ）が連結され外ナツト
（１３）で配管（Ｅ）を連結構成されたＡ軸バルブ本体
と連結して同時作動するＢ軸バルブ副体（２）の弁棒部
体（１４）の先端に制御弁部体（１５）と上下に回動さ
せるバルブ螺子部（１６）に螺子付きバルブカバー体
（１６）を弁箱体に係着せしめ該弁棒部体に設けた伝達
機構部（Ｃ）（該伝達機構部は回動ギヤ、回動チエンの
ものとプーリー、タイミングベルトである。）手段の回
転比（サイズ比）を有した回動ギヤ（１７）とＡ軸バル
ブ本体よりの回動チエン体（７）を張架させてかつ、弁
棒部体の上部に回動ギヤを設け該ギヤに摩擦板（１８）
とトルク調整機構部（１９）を具備させ前記制御弁部体
（１５）を内蔵させる弁箱体（２０）に弁座部（２１）
を内設し（前記バルブ機構部分は公知の止め弁である）
該体の両側に連結口（２２）を設け連結内ナツト（２
３）でパイプ（Ｄ）が連結され外ナツト（２４）で配管
（Ｅ）が連結される構成である。前記構成されたＡ軸バ
ルブ本体（１）のハンドル（８）で流量を制御（開閉）
することにより同時にＢ軸バルブ副体（２）もＡ軸バル
ブ本体同様の動作をすることを特徴とした可燃性、爆発
性ガスの流量を制御する１軸制御式直列多連バルブ装置
に関する構成手段である。つぎに本発明の請求項２につ
いては前記構成のＡ軸バルブ本体（１）の第１図に示す
伝達機構部（Ｃ）に設けた回動ギヤのギヤ比を１とし、
バルブ副体（２）の伝達機構部（Ｃ）に設けた回動ギヤ
のギヤ比を１．５以上にした構成である。本実施例にお
いて最適なギヤ比としてはＡ軸バルブ本体に具備の伝達
機構部（Ｃ）のギヤ比を１とし、Ｂ軸バルブ副体のギヤ
比を２の比率にした。この構成によりＡ軸及びＢ軸の
１．５倍以上の回転を有し、トルクリミツター等によつ
て、弁座の閉鎖力を同一にすることができる。本発明の
請求項３については前記構成の第１図に示す伝達機構部
（Ｃ）におけるＡ軸バルブ本体（１）のプーリー（６）
（該プーリーは図示せず）のサイズ比を１とし、バルブ
副体（２）のプーリー（１７）（該プーリーは図示せ
ず）比を１．５以上とし、且つ両体のプーリー（６）、
（１７）に張架させるタイミングベルト（７）（該タイ
ミングベルトは図示せず〕でもつて構成のものである。
本タイミングベルト方式にしても前記同様にＡ軸及びＢ
軸の１．５倍以上の回転を有し、トルクリミツター等に
よつて弁座の閉鎖力を同一にすることができる。本発明
の請求項４については前記構成の第１図、第２図に図示
する取付け自在にしたハンドル付きのＡ軸バルブ本体
（１）とＢ軸バルブ副体（２）の両軸体上に覆設する安
全カバー（２５）に弁棒体（３）を装入する差し込み穴
部（２７）を設け該穴部より弁棒体を通設して上でハン
ドル（８）を取付けし前記安全カバー（２５）の下部に
形成のフック部（２８）と固定板（２６）でもつて掛合
させて構成されるものである。本発明は上記したように
半導体製造工程に使用され危険な可燃性、爆発性のガス
流量制御を完壁に行なわれる構成としたものである。本
発明の第１の特徴は２つの違うＡ軸バルブ本体（１）と
Ｂ軸バルブ副体（２）の軸に具備せしめた違うストロー
クを持つ伝達機構部（Ｃ）は、Ａ軸とＢ軸の回転比（ギ
ヤ比、プーリー比）によりハンドバルブ（Ａ軸バルブ、
Ｂ軸バルブ）の開閉を１つのハンドル（８）で行なう直
列で多連の構造バルブである。本発明の第２の特徴は、
上記した構成手段により、配管（Ｅ）よりの流量は弁座
バルブ（４）、（１５）、（１０）、（２１）機構と伝
達機構部とトルク調整機構部を両軸体に具備せしめたＡ
軸バルブ本体のハンドル（８）を制御すると同時にＢ軸
バルブ副体もＡ軸同様の動作をする本発明の多連弁座式
のバルブである。そして、Ａ軸及Ｂ軸の１．５倍以上の
回転比を有しかつ、トルク調整機構部（Ｃ）によつて前
記弁座の閉鎖力を同一にしたバルブである。本発明の第
３の特徴は、ハンドバルブは流体の種類に依り複数の直
列化することができる。
るところに従つて本発明の一実施例について説明する。
第１図は本発明の実施態様の斜視図である。第２図は本
発明の安全カバー付きの実施態様の斜視図である。本発
明は、可燃性、爆発性ガスの流量を制御することを目的
とした１軸制御式直列多連バルブ装置に関するものであ
る。本発明の請求項１、２、３、４を第１図、第２図に
従い詳細に説明する。本発明は、半導体製造工程に使用
される可燃性、爆発性の危険なガスの流量を安全に制御
することを目的とした１軸制御式直列多連バルブ装置に
関するものである。本発明の請求項１、２、３、を第１
図、第２図に従い詳細に説明する。まづ請求項１、２、
３に対応する構成を以下、第１図で説明する。Ａ軸バル
ブ本体（１）は弁棒部体（３）の先端に制御弁部体
（４）とその上部に上下回動させるバルブ螺子部（５）
と螺子付きバルブカバー体（５）を弁箱体に係着せしめ
（前記バルブ機構部分は公知の止め弁である）該弁棒部
体に設けた伝達機構部（Ｃ）（該機構部は回動ギヤ、回
動チェンのものとプーリー、タイミングベルトであ
る。）手段の回転比（サイズ比）を有した回動ギヤ
（６）に張架する回動チェン体を設けかつ、弁棒部体の
上部に取付け自在にした回動ハンドル（８）を設け前記
制御弁部体（４）を内蔵させる弁箱体（９）に弁座部
（１０）を内設し該体の両側に連結口（１１）を設け連
結内ナツト（１２）でパイプ（Ｄ）が連結され外ナツト
（１３）で配管（Ｅ）を連結構成されたＡ軸バルブ本体
と連結して同時作動するＢ軸バルブ副体（２）の弁棒部
体（１４）の先端に制御弁部体（１５）と上下に回動さ
せるバルブ螺子部（１６）に螺子付きバルブカバー体
（１６）を弁箱体に係着せしめ該弁棒部体に設けた伝達
機構部（Ｃ）（該伝達機構部は回動ギヤ、回動チエンの
ものとプーリー、タイミングベルトである。）手段の回
転比（サイズ比）を有した回動ギヤ（１７）とＡ軸バル
ブ本体よりの回動チエン体（７）を張架させてかつ、弁
棒部体の上部に回動ギヤを設け該ギヤに摩擦板（１８）
とトルク調整機構部（１９）を具備させ前記制御弁部体
（１５）を内蔵させる弁箱体（２０）に弁座部（２１）
を内設し（前記バルブ機構部分は公知の止め弁である）
該体の両側に連結口（２２）を設け連結内ナツト（２
３）でパイプ（Ｄ）が連結され外ナツト（２４）で配管
（Ｅ）が連結される構成である。前記構成されたＡ軸バ
ルブ本体（１）のハンドル（８）で流量を制御（開閉）
することにより同時にＢ軸バルブ副体（２）もＡ軸バル
ブ本体同様の動作をすることを特徴とした可燃性、爆発
性ガスの流量を制御する１軸制御式直列多連バルブ装置
に関する構成手段である。つぎに本発明の請求項２につ
いては前記構成のＡ軸バルブ本体（１）の第１図に示す
伝達機構部（Ｃ）に設けた回動ギヤのギヤ比を１とし、
バルブ副体（２）の伝達機構部（Ｃ）に設けた回動ギヤ
のギヤ比を１．５以上にした構成である。本実施例にお
いて最適なギヤ比としてはＡ軸バルブ本体に具備の伝達
機構部（Ｃ）のギヤ比を１とし、Ｂ軸バルブ副体のギヤ
比を２の比率にした。この構成によりＡ軸及びＢ軸の
１．５倍以上の回転を有し、トルクリミツター等によつ
て、弁座の閉鎖力を同一にすることができる。本発明の
請求項３については前記構成の第１図に示す伝達機構部
（Ｃ）におけるＡ軸バルブ本体（１）のプーリー（６）
（該プーリーは図示せず）のサイズ比を１とし、バルブ
副体（２）のプーリー（１７）（該プーリーは図示せ
ず）比を１．５以上とし、且つ両体のプーリー（６）、
（１７）に張架させるタイミングベルト（７）（該タイ
ミングベルトは図示せず〕でもつて構成のものである。
本タイミングベルト方式にしても前記同様にＡ軸及びＢ
軸の１．５倍以上の回転を有し、トルクリミツター等に
よつて弁座の閉鎖力を同一にすることができる。本発明
の請求項４については前記構成の第１図、第２図に図示
する取付け自在にしたハンドル付きのＡ軸バルブ本体
（１）とＢ軸バルブ副体（２）の両軸体上に覆設する安
全カバー（２５）に弁棒体（３）を装入する差し込み穴
部（２７）を設け該穴部より弁棒体を通設して上でハン
ドル（８）を取付けし前記安全カバー（２５）の下部に
形成のフック部（２８）と固定板（２６）でもつて掛合
させて構成されるものである。本発明は上記したように
半導体製造工程に使用され危険な可燃性、爆発性のガス
流量制御を完壁に行なわれる構成としたものである。本
発明の第１の特徴は２つの違うＡ軸バルブ本体（１）と
Ｂ軸バルブ副体（２）の軸に具備せしめた違うストロー
クを持つ伝達機構部（Ｃ）は、Ａ軸とＢ軸の回転比（ギ
ヤ比、プーリー比）によりハンドバルブ（Ａ軸バルブ、
Ｂ軸バルブ）の開閉を１つのハンドル（８）で行なう直
列で多連の構造バルブである。本発明の第２の特徴は、
上記した構成手段により、配管（Ｅ）よりの流量は弁座
バルブ（４）、（１５）、（１０）、（２１）機構と伝
達機構部とトルク調整機構部を両軸体に具備せしめたＡ
軸バルブ本体のハンドル（８）を制御すると同時にＢ軸
バルブ副体もＡ軸同様の動作をする本発明の多連弁座式
のバルブである。そして、Ａ軸及Ｂ軸の１．５倍以上の
回転比を有しかつ、トルク調整機構部（Ｃ）によつて前
記弁座の閉鎖力を同一にしたバルブである。本発明の第
３の特徴は、ハンドバルブは流体の種類に依り複数の直
列化することができる。
【０００７】〔発明の効果〕以上述べたように本発明は
半導体工程に使用される可燃性、爆発性の危険なガスの
流量を完全に制御することができるシステムである。本
発明の利点とするところは次の通りである。Ａ軸のハン
ドルを制御することにより同時にＢ軸もＡ軸同様の動作
する１軸制御式直列多連弁座式のバルブである。上記の
手段によれば、従来のように制御バルブを直列に多数設
置してそのバルブ閉を個別で行なわれていたために脈流
ガスが残存していたので危険であつた。本発明のように
１つのハンドルで２軸が同時に開閉（制御）できる構成
手段によれば、脈流ガスの残存はしない。ハンドルバル
ブそのもののバラツキや吸収をする。又、安全性、作業
性、量産性は一層容易になり幾多の効果を有するもので
ある。
半導体工程に使用される可燃性、爆発性の危険なガスの
流量を完全に制御することができるシステムである。本
発明の利点とするところは次の通りである。Ａ軸のハン
ドルを制御することにより同時にＢ軸もＡ軸同様の動作
する１軸制御式直列多連弁座式のバルブである。上記の
手段によれば、従来のように制御バルブを直列に多数設
置してそのバルブ閉を個別で行なわれていたために脈流
ガスが残存していたので危険であつた。本発明のように
１つのハンドルで２軸が同時に開閉（制御）できる構成
手段によれば、脈流ガスの残存はしない。ハンドルバル
ブそのもののバラツキや吸収をする。又、安全性、作業
性、量産性は一層容易になり幾多の効果を有するもので
ある。
【図 １】第１図は本発明の実施態様の斜視図である。
【図 ２】第２図は本発明の実施態様の安全カバー付き
の斜視図である。
の斜視図である。
【符号の説明】１ Ａ軸バルブ本体２ Ｂ軸バルブ副体 ３ 弁棒部体 ４ 制御弁部体 ５ バルブ螺子部 ５′螺子付きバルブカバー体 ６ 回動ギヤ ７ 回動チェン体 ８ 回動ハ
ンドル ９ 弁箱体 １０ 弁座部 １１ 連結口 １２ 連結内ナツト １３ 外ナツト １４ 弁棒
体 １５ 制御弁部体 １６ 螺子部 １６′螺子
付きバルブカバ体 １７ 回動ギヤ １８ 摩擦板 １９ トル
ク調整機構部 ２０ 弁箱体 ２１ 弁座部 ２２ 連結
口 ２３ 内ナツト ２４ 外ナツト ２５ 安全
カバー ２６ 固定板 ２７ 差し込み穴部 ２８ フツ
ク部Ｃ 伝達機構部 Ｄ パイプ Ｅ 配 管
ンドル ９ 弁箱体 １０ 弁座部 １１ 連結口 １２ 連結内ナツト １３ 外ナツト １４ 弁棒
体 １５ 制御弁部体 １６ 螺子部 １６′螺子
付きバルブカバ体 １７ 回動ギヤ １８ 摩擦板 １９ トル
ク調整機構部 ２０ 弁箱体 ２１ 弁座部 ２２ 連結
口 ２３ 内ナツト ２４ 外ナツト ２５ 安全
カバー ２６ 固定板 ２７ 差し込み穴部 ２８ フツ
ク部Ｃ 伝達機構部 Ｄ パイプ Ｅ 配 管
【手続補正書】
【提出日】平成５年９月２８日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】追加
【補正内容】
【発明の名称】 可燃性、爆発性ガスの流量を制御す
る１軸制御式直列多連バルブ装置
る１軸制御式直列多連バルブ装置
Claims (4)
- 【請求項１】可燃性、爆発性ガスの流量を制御する１軸
式制御バルプ装置において、前記Ａ軸バルブ本体（１）
は弁棒部体（３）の先端に制御弁部体（４）とその上部
に上下回動させるバルブ螺子部（５）と螺子付きバルブ
カバー体蓋（５）を弁箱体に係着せしめ該弁棒部体に設
けた伝達機構部（Ｃ）（該伝達機構部は回動ギヤ、回動
チェンのものとプーリー、タイミングベルトである。）
手段は回転比（サイズ比）を有した回動ギヤ（６）と張
架する回動チェン体（７）を設けかつ、弁棒部体の上部
に回動ハンドル（８）を設け前記制御弁部体（４）を内
蔵させる弁箱体（９）に弁座部（１０）を内設し該体の
両側に連結口（１１）を設け連結内ナツト（１２）でパ
イプ（Ｄ）が連結され外ナツト（１３）で配管（Ｅ）を
連結構成されたＡ軸バルブ本体と同時作動するＢ軸バル
ブ副体（２）の弁棒部体（１４）の先端に制御弁部体
（１５）と上下に回動させるバルブ螺子部（１６）に螺
子付きバルブカバー体（１６）′を弁箱に係着せしめ該
弁棒部体に設けた伝達機構部（Ｃ）（該伝達機構部は回
動ギヤ、回動チェンのものとプーリー、タイミングベル
トである。）手段は回動比（サイズ比）を有した回動ギ
ヤ（１７）とＡ軸バルブ本体よりの回動チェン体（７）
を張架させてかつ、弁棒部体の上部に回動ギヤを設け該
ギヤに摩擦板（１８）とトルク調整機構部（１９）を具
備させ前記制御弁部体（１５）を内蔵させる弁箱体（２
０）に弁座部（２１）を内設し該体の両側に連結口（２
２）を設け連結内ナツト（２３）でパイプ（Ｄ）が連結
され外ナット（２４）で配管（Ｅ）が連結する構成であ
る。前記Ａ軸バルブ本体（１）のハンドル（８）で流量
を制御（開閉）することにより同時にＢ軸バルブ副体
（２）もＡ軸バルブ本体同様の動作することを特徴とし
た可燃性、爆発性ガスの流量を制御する１軸制御式直列
多連バルブ装置。 - 〔請求項２〕請求項１の伝達機構部（Ｃ）におけるＡ軸
バルブ本体（１）ギヤ比を１とし、バルブ副体（２）の
ギヤ比を１．５以上にしたことを特徴とする請求項１の
可燃性、爆発性ガスの流量を制御する１軸制御式直列多
連バルブ装置。 - 〔請求項３〕請求項１の伝達機構部（Ｃ）におけるＡ軸
バルブ本体（１）のプーリー（６）のサイズ比を１と
し、バルブ副体（２）のプーリー（１７）の比を１．５
以上とし、且つ両体のプーリー（６）に張架させるタイ
ミングベルト（７）にしたことを特徹とする請求項１の
可燃性、爆発性ガスの流量を制御する１軸制御式直列多
連バルブ装置。 - 〔請求項４〕請求項１のＡ軸バルブ本体（１）とＢ軸バ
ルブ副体（２）の全部に安全カバー（２５）を設けたこ
とを特徴とする請求項１の可燃性、爆発性ガスの流量を
制御する１軸制御式直列多連バルブ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32087391A JPH06147358A (ja) | 1991-09-30 | 1991-09-30 | 可燃性、爆発性ガスの流量を制御する１軸制御式直列多連バ ルブ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32087391A JPH06147358A (ja) | 1991-09-30 | 1991-09-30 | 可燃性、爆発性ガスの流量を制御する１軸制御式直列多連バ ルブ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06147358A true JPH06147358A (ja) | 1994-05-27 |
Family
ID=18126218
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32087391A Pending JPH06147358A (ja) | 1991-09-30 | 1991-09-30 | 可燃性、爆発性ガスの流量を制御する１軸制御式直列多連バ ルブ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06147358A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111841126A (zh) * | 2020-08-27 | 2020-10-30 | 许建波 | 一种具有防护结构二次供水处理装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5663361A (en) * | 1979-10-19 | 1981-05-29 | Airco Inc | Anesthesia machine with rate limit controlling system |
| JPS5725579A (en) * | 1980-07-23 | 1982-02-10 | Osaka Gas Co Ltd | Remote control system of emergency closing valve |
-
1991
- 1991-09-30 JP JP32087391A patent/JPH06147358A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5663361A (en) * | 1979-10-19 | 1981-05-29 | Airco Inc | Anesthesia machine with rate limit controlling system |
| JPS5725579A (en) * | 1980-07-23 | 1982-02-10 | Osaka Gas Co Ltd | Remote control system of emergency closing valve |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111841126A (zh) * | 2020-08-27 | 2020-10-30 | 许建波 | 一种具有防护结构二次供水处理装置 |
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