JPH0614411A - 磁気浮上スライダ - Google Patents
磁気浮上スライダInfo
- Publication number
- JPH0614411A JPH0614411A JP16713992A JP16713992A JPH0614411A JP H0614411 A JPH0614411 A JP H0614411A JP 16713992 A JP16713992 A JP 16713992A JP 16713992 A JP16713992 A JP 16713992A JP H0614411 A JPH0614411 A JP H0614411A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sensors
- mover
- sensor
- levitation
- target
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Control Of Vehicles With Linear Motors And Vehicles That Are Magnetically Levitated (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 この発明は可動子の進行方向位置を検出する
ための専用のセンサを設けることなく、浮上センサ出力
に基づいて、可動子の進行方向位置を検出できるような
磁気浮上スライダを提供することを主要な特徴とする。 【構成】 固定子２に配置されたセンサ１ｅと１ｆは可
動子３の前部センサターゲット４を検出し、センサ１ａ
と１ｂは後部センサターゲット５を検出する。センサ１
ｅと１ｆの出力の和および１ａと１ｂの出力和を選択
し、可動子３の浮上方向の変位を検出する。これらのセ
ンサ出力に応じて、コンパレータ回路１９は可動子３が
浮上したときに各センサヘッド面の半分以上にセンサタ
ーゲットがかかったときのレベルである基準電圧と比較
し、可動子の進行方向位置に応じた検出信号を出力す
る。
ための専用のセンサを設けることなく、浮上センサ出力
に基づいて、可動子の進行方向位置を検出できるような
磁気浮上スライダを提供することを主要な特徴とする。 【構成】 固定子２に配置されたセンサ１ｅと１ｆは可
動子３の前部センサターゲット４を検出し、センサ１ａ
と１ｂは後部センサターゲット５を検出する。センサ１
ｅと１ｆの出力の和および１ａと１ｂの出力和を選択
し、可動子３の浮上方向の変位を検出する。これらのセ
ンサ出力に応じて、コンパレータ回路１９は可動子３が
浮上したときに各センサヘッド面の半分以上にセンサタ
ーゲットがかかったときのレベルである基準電圧と比較
し、可動子の進行方向位置に応じた検出信号を出力す
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は磁気浮上スライダに関
し、特に、固定子レール側に可動子の変位を検出するセ
ンサヘッドと浮上制御用電磁石を複数並べて配置したよ
うな磁気浮上スライダに関する。
し、特に、固定子レール側に可動子の変位を検出するセ
ンサヘッドと浮上制御用電磁石を複数並べて配置したよ
うな磁気浮上スライダに関する。
【０００２】
【従来の技術】本願発明者は可動子に外乱が与えられる
のを抑制できるようにした磁気浮上スライダを特願平３
−１５８６８３において提案した。この提案された磁気
浮上スライダは、変位検出量センサヘッドの切換前と切
換後における変位検出量センサヘッドからの信号の差を
検出し、その出力信号をローパスフィルタに通し、ロー
パスフィルタの出力信号を目標値入力に加算し、変位検
出センサの切換動作を行なうようにしたものである。
のを抑制できるようにした磁気浮上スライダを特願平３
−１５８６８３において提案した。この提案された磁気
浮上スライダは、変位検出量センサヘッドの切換前と切
換後における変位検出量センサヘッドからの信号の差を
検出し、その出力信号をローパスフィルタに通し、ロー
パスフィルタの出力信号を目標値入力に加算し、変位検
出センサの切換動作を行なうようにしたものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
提案された磁気浮上スライダは、可動子の進行方向位置
を検出するために、専用のセンサを設ける必要があり、
固定子内の限られたスペースでのセンサヘッドの配置お
よび配線が面倒であるという欠点がある。しかも、固定
子とコントローラ間のケーブルの数が多くなり、多数の
検出用電子回路が必要になるなどの不都合な点があっ
た。
提案された磁気浮上スライダは、可動子の進行方向位置
を検出するために、専用のセンサを設ける必要があり、
固定子内の限られたスペースでのセンサヘッドの配置お
よび配線が面倒であるという欠点がある。しかも、固定
子とコントローラ間のケーブルの数が多くなり、多数の
検出用電子回路が必要になるなどの不都合な点があっ
た。
【０００４】それゆえに、この発明の主たる目的は、可
動子の進行方向位置検出用のセンサを設けることなく、
磁気浮上用センサの検出信号を処理し、可動子進行方向
位置情報を得ることのできるような磁気浮上スライダを
提供することである。
動子の進行方向位置検出用のセンサを設けることなく、
磁気浮上用センサの検出信号を処理し、可動子進行方向
位置情報を得ることのできるような磁気浮上スライダを
提供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この発明は固定子側に浮
上方向変位検出用センサヘッドと、複数の制御用電磁石
とを並べて配置し、可動子の進行方向位置に応じて、複
数の浮上方向変位検出用センサヘッドのいずれかを選択
的に切換えて浮上制御を行なう磁気浮上スライダであっ
て、可動子には進行方向の位置を検出するためのターゲ
ットが設けられ、可動子の進行に応じて、浮上方向変位
検出用センサヘッドの出力レベルの変化に応じて、可動
子の位置を検出するように構成したものである。
上方向変位検出用センサヘッドと、複数の制御用電磁石
とを並べて配置し、可動子の進行方向位置に応じて、複
数の浮上方向変位検出用センサヘッドのいずれかを選択
的に切換えて浮上制御を行なう磁気浮上スライダであっ
て、可動子には進行方向の位置を検出するためのターゲ
ットが設けられ、可動子の進行に応じて、浮上方向変位
検出用センサヘッドの出力レベルの変化に応じて、可動
子の位置を検出するように構成したものである。
【０００６】
【作用】この発明に係る磁気浮上スライダは、浮上方向
変位検出用センサヘッドの出力レベルの変化に応じて可
動子の位置を検出することにより、可動子の進行方向位
置検出用の専用のセンサを設ける必要がない。
変位検出用センサヘッドの出力レベルの変化に応じて可
動子の位置を検出することにより、可動子の進行方向位
置検出用の専用のセンサを設ける必要がない。
【０００７】
【実施例】図１はこの発明の一実施例の概略ブロック図
である。図１において、浮上センサ１０は通常渦電流式
センサまたはリラクタンス式センサが用いられる。これ
らはセンサターゲットの変位によって変化する検出コイ
ル１１のインダクタンスの変化を電圧信号に変換して検
出を行なう。すなわち、交流電源１２から、たとえば２
０ｋＨｚの交流信号が交流カップリッグコンデンサ１３
を介して検出コイル１１に供給される。検出コイル１１
は並列接続されているコンデンサ１４と共振し、浮上セ
ンサ１０とセンサターゲット（図示せず）との間のギャ
ップが変わると、磁路抵抗が変化するので、インダクタ
ンスが変化し、出力の振幅が変化する。浮上センサ１０
の出力は整流回路１５で整流され、さらに平滑化回路１
６で平滑され、電位，中点調整回路１７から浮上方向変
位信号が出力される。
である。図１において、浮上センサ１０は通常渦電流式
センサまたはリラクタンス式センサが用いられる。これ
らはセンサターゲットの変位によって変化する検出コイ
ル１１のインダクタンスの変化を電圧信号に変換して検
出を行なう。すなわち、交流電源１２から、たとえば２
０ｋＨｚの交流信号が交流カップリッグコンデンサ１３
を介して検出コイル１１に供給される。検出コイル１１
は並列接続されているコンデンサ１４と共振し、浮上セ
ンサ１０とセンサターゲット（図示せず）との間のギャ
ップが変わると、磁路抵抗が変化するので、インダクタ
ンスが変化し、出力の振幅が変化する。浮上センサ１０
の出力は整流回路１５で整流され、さらに平滑化回路１
６で平滑され、電位，中点調整回路１７から浮上方向変
位信号が出力される。
【０００８】一方、平滑化回路１６の出力は電位調整回
路１８に与えられてゲインが調整され、コンパレータ回
路１によって予め定める基準電位と比較され、可動子進
行方向位置検出信号が出力される。
路１８に与えられてゲインが調整され、コンパレータ回
路１によって予め定める基準電位と比較され、可動子進
行方向位置検出信号が出力される。
【０００９】図２は浮上センサ出力に基づく浮上方向変
位出力信号成分と可動子進行方向位置検出信号成分を示
す図である。図２において、浮上センサ１０の出力に
は、センサターゲットとの間のギャップに応じた浮上方
向変位信号ａと可動子進行方向の位置に応じた検出信号
ｂとが含まれている。
位出力信号成分と可動子進行方向位置検出信号成分を示
す図である。図２において、浮上センサ１０の出力に
は、センサターゲットとの間のギャップに応じた浮上方
向変位信号ａと可動子進行方向の位置に応じた検出信号
ｂとが含まれている。
【００１０】図３はこの発明の一実施例における可動子
進行方向位置を検出する動作を説明するための図であ
る。図３において、可動子３の前部には前部センサター
ゲット４が設けられ、後部には後部センサターゲット５
が設けられ、前部センサターゲット４と後部センサター
ゲット５との間にはタイミングセンサターゲット６，７
が設けられている。固定子レール２には、一定の間隔で
浮上用兼可動子位置検出用センサ１ａ〜１ｈが配列され
いてる。可動子３の進行方向位置に応じて、浮上用兼可
動子位置検出用センサ１ａ〜１ｈの出力信号を順次切換
えて、可動子３の浮上方向の変位が検出される。図１に
示したコンパレータ回路１９においては、コンパレータ
回路１９の出力がオン状態になるための基準電圧とし
て、可動子３が浮上したときに各センサヘッド面の半分
以上にセンサターゲットがかかったときのレベルに決定
されている。
進行方向位置を検出する動作を説明するための図であ
る。図３において、可動子３の前部には前部センサター
ゲット４が設けられ、後部には後部センサターゲット５
が設けられ、前部センサターゲット４と後部センサター
ゲット５との間にはタイミングセンサターゲット６，７
が設けられている。固定子レール２には、一定の間隔で
浮上用兼可動子位置検出用センサ１ａ〜１ｈが配列され
いてる。可動子３の進行方向位置に応じて、浮上用兼可
動子位置検出用センサ１ａ〜１ｈの出力信号を順次切換
えて、可動子３の浮上方向の変位が検出される。図１に
示したコンパレータ回路１９においては、コンパレータ
回路１９の出力がオン状態になるための基準電圧とし
て、可動子３が浮上したときに各センサヘッド面の半分
以上にセンサターゲットがかかったときのレベルに決定
されている。
【００１１】可動子３が図３（ａ）〜（ｉ）に順次移動
するときのセンサ切換を表１に示す。
するときのセンサ切換を表１に示す。
【００１２】
【表１】
【００１３】上述の表１において、可動子３が図３
（ａ）に示す位置では、前部センサターゲット４を検出
するためにセンサ１ｅと１ｆの出力の和信号が用いら
れ、後部センサターゲット５を検出するためにセンサ１
ａと１ｂの出力の和信号が用いられる。この状態は、可
動子３が図３（ｂ），（ｃ）に移動するまで保たれる。
そして、可動子３が図３（ｄ）〜（ｆ）に示す位置に移
動するに従って、前部センサターゲット４を検出するた
めにセンサ１ｅと１ｆの出力の和からセンサ１ｆと１ｇ
の出力の和にランプ状に切換えられ、後部センサターゲ
ット５を検出するために、センサ１ａと１ｂの出力の和
からセンサ１ｂと１ｃの出力の和にランプ状に切換えら
れる。そして、可動子３が図３（ｇ）〜（ｉ）に示す位
置まで移動すると、センサの切換が終了し、前部センサ
ターゲット４を検出するためにセンサ１ｆと１ｇの出力
の和が用いられ、後部センサターゲット５を検出するた
めにセンサ１ｂと１ｃの出力の和が用いられる。
（ａ）に示す位置では、前部センサターゲット４を検出
するためにセンサ１ｅと１ｆの出力の和信号が用いら
れ、後部センサターゲット５を検出するためにセンサ１
ａと１ｂの出力の和信号が用いられる。この状態は、可
動子３が図３（ｂ），（ｃ）に移動するまで保たれる。
そして、可動子３が図３（ｄ）〜（ｆ）に示す位置に移
動するに従って、前部センサターゲット４を検出するた
めにセンサ１ｅと１ｆの出力の和からセンサ１ｆと１ｇ
の出力の和にランプ状に切換えられ、後部センサターゲ
ット５を検出するために、センサ１ａと１ｂの出力の和
からセンサ１ｂと１ｃの出力の和にランプ状に切換えら
れる。そして、可動子３が図３（ｇ）〜（ｉ）に示す位
置まで移動すると、センサの切換が終了し、前部センサ
ターゲット４を検出するためにセンサ１ｆと１ｇの出力
の和が用いられ、後部センサターゲット５を検出するた
めにセンサ１ｂと１ｃの出力の和が用いられる。
【００１４】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば、可動
子に進行方向の位置を検出するためのセンサターゲット
を設け、可動子の進行に応じて浮上方向変位検出用セン
サヘッドの出力レベルの変化に応じて可動子の位置を検
出するようにしたので、可動子の進行方向位置を検出す
るための専用のセンサを設ける必要がなくなる。
子に進行方向の位置を検出するためのセンサターゲット
を設け、可動子の進行に応じて浮上方向変位検出用セン
サヘッドの出力レベルの変化に応じて可動子の位置を検
出するようにしたので、可動子の進行方向位置を検出す
るための専用のセンサを設ける必要がなくなる。
【図１】この発明の一実施例の概略ブロック図である。
【図２】浮上センサ出力に基づく浮上方向変位信号成分
と可動子の進行方向位置検出信号成分を示す図である。
と可動子の進行方向位置検出信号成分を示す図である。
【図３】この発明の一実施例における可動子の進行方向
位置を検出する動作を説明するための図である。
位置を検出する動作を説明するための図である。
１ａ〜１ｃ センサ ２ 固定子 ３ 可動子 ４ 前部センサターゲット ５ 後部センサターゲット ６，７タイミングセンサターゲット １２ 電源 １１ 検出用コイル １５ 整流回路 １６ 平滑化回路 １７ ゲイン，中点調整回路 １８ ゲイン調整回路 １９ コンパレータ回路
Claims (1)
- 【請求項１】 固定子側の浮上方向変位検出用センサヘ
ッドと、複数の制御用電磁石とを並べて配置し、可動子
の進行方向位置に応じて、前記複数の浮上方向変位検出
用センサヘッドのいずれかを選択的に切換えて浮上制御
を行なう磁気浮上スライダにおいて、 前記可動子には、進行方向の位置を検出するためのター
ゲットが設けられ、 前記可動子の進行に応じて、前記浮上方向変位検出用セ
ンサヘッドの出力のレベルの変化に応じて、該可動子の
位置を検出するようにしたことを特徴とする、磁気浮上
スライダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16713992A JPH0614411A (ja) | 1992-06-25 | 1992-06-25 | 磁気浮上スライダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16713992A JPH0614411A (ja) | 1992-06-25 | 1992-06-25 | 磁気浮上スライダ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0614411A true JPH0614411A (ja) | 1994-01-21 |
Family
ID=15844154
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16713992A Withdrawn JPH0614411A (ja) | 1992-06-25 | 1992-06-25 | 磁気浮上スライダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0614411A (ja) |
-
1992
- 1992-06-25 JP JP16713992A patent/JPH0614411A/ja not_active Withdrawn
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US8294391B2 (en) | Moving body system and method of determining initial position of moving body | |
| US7202615B2 (en) | Tubular linear synchronous motor control for elevator doors | |
| JPH1151693A (ja) | リニアエンコーダ装置 | |
| US20200200570A1 (en) | Curvilinear Encoder System for Position Determination | |
| JPH03105209A (ja) | ゼロ追求型位置センサ | |
| JP2006254581A (ja) | 引戸の開閉駆動方法、および同開閉装置 | |
| JPH0614411A (ja) | 磁気浮上スライダ | |
| JP4154804B2 (ja) | 鋼板の制振装置 | |
| JPH05199616A (ja) | 搬送装置の制御装置 | |
| JP2622775B2 (ja) | ブラシレス直流リニアモータにおける信号検出方法 | |
| JP7394924B1 (ja) | マルチセンサー位置計測システム | |
| JPH0471359A (ja) | 可動磁石型直流ブラシレスリニアモータ | |
| JPH0623197Y2 (ja) | 定速度可動コイル型リニヤモ−タ | |
| WO2016111266A1 (ja) | 位置検出装置 | |
| JP4622134B2 (ja) | 鋼板の振動抑制装置 | |
| JPH0530784A (ja) | 垂直式リニアモータのドライバ制御装置 | |
| JP2759293B2 (ja) | 磁気浮上装置の変位検出器 | |
| JP2897300B2 (ja) | 磁気検知器 | |
| JP2000003218A (ja) | Ａｇｖの位置検出方式 | |
| JPS5892818A (ja) | 移動体情報検出方式 | |
| JPS6247732A (ja) | 座標入力装置 | |
| JPS59116815A (ja) | 無人誘導車用誘導線の検出器 | |
| JP2534062Y2 (ja) | ブラシレス直流リニアモータ | |
| KR20190136453A (ko) | 임베디드 보드를 이용한 리니어 모터 드라이버 | |
| JP3145381B2 (ja) | 磁気浮上装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990831 |