JPH06136506A - 金属帯材のプラズマ重合処理方法及び装置 - Google Patents
金属帯材のプラズマ重合処理方法及び装置Info
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- JPH06136506A JPH06136506A JP30777992A JP30777992A JPH06136506A JP H06136506 A JPH06136506 A JP H06136506A JP 30777992 A JP30777992 A JP 30777992A JP 30777992 A JP30777992 A JP 30777992A JP H06136506 A JPH06136506 A JP H06136506A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 異常放電，不安定な放電等を抑制しながら、
非接地電位に維持した金属帯材を連続的にプラズマ重合
処理し、良質の被覆層を形成する。 【構成】 搬送チャンバー１０から放電チャンバー２０
に送り込まれた金属帯材Ｓに、ロール状電極２１と対向
電圧２２との間に印加した電圧で発生したプラズマを照
射し、次いで金属帯材Ｓを搬送チャンバー１０に送り返
す。搬送チャンバー１０と放電チャンバー２０とをシー
ルド板３０で仕切り、放電チャンバー２０の雰囲気圧Ｐ
2 をグロー放電域に維持し、搬送チャンバー１０の雰囲
気圧Ｐ1 を雰囲気圧Ｐ2 より低い非グロー放電域に維持
する。 【効果】 グロー放電が放電チャンバー２０内に限られ
るため、搬送チャンバー１０側に異常放電，汚染等が生
じることなく、長期間にわたって安定した条件下でプラ
ズマ重合処理することができる。
非接地電位に維持した金属帯材を連続的にプラズマ重合
処理し、良質の被覆層を形成する。 【構成】 搬送チャンバー１０から放電チャンバー２０
に送り込まれた金属帯材Ｓに、ロール状電極２１と対向
電圧２２との間に印加した電圧で発生したプラズマを照
射し、次いで金属帯材Ｓを搬送チャンバー１０に送り返
す。搬送チャンバー１０と放電チャンバー２０とをシー
ルド板３０で仕切り、放電チャンバー２０の雰囲気圧Ｐ
2 をグロー放電域に維持し、搬送チャンバー１０の雰囲
気圧Ｐ1 を雰囲気圧Ｐ2 より低い非グロー放電域に維持
する。 【効果】 グロー放電が放電チャンバー２０内に限られ
るため、搬送チャンバー１０側に異常放電，汚染等が生
じることなく、長期間にわたって安定した条件下でプラ
ズマ重合処理することができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、鋼帯等の金属帯材の表
面でプラズマ重合を行わせコーティング層を形成するプ
ラズマ重合処理方法及び装置に関する。
面でプラズマ重合を行わせコーティング層を形成するプ
ラズマ重合処理方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】非接地電位に維持された基材に高周波放
電によるプラズマを利用してコーティングを施すとき、
硬度，耐摩耗性等に優れた被覆層が形成される。コーテ
ィングされた製品は、磁気ディスク，光ディスク，超硬
工具等として使用されている。また、鋼帯表面に設けた
塗膜をプラズマ照射すると硬質化し、耐久性，耐食性に
優れた塗装鋼板が得られる。
電によるプラズマを利用してコーティングを施すとき、
硬度，耐摩耗性等に優れた被覆層が形成される。コーテ
ィングされた製品は、磁気ディスク，光ディスク，超硬
工具等として使用されている。また、鋼帯表面に設けた
塗膜をプラズマ照射すると硬質化し、耐久性，耐食性に
優れた塗装鋼板が得られる。
【０００３】プラズマ重合処理の連続化が可能になる
と、生産性が向上する。帯状基材に対するプラズマ重合
処理の連続化は、樹脂フィルム，織布，不織布等の絶縁
材料に対しては比較的容易であり、特開昭５８−１２０
８５９号公報，特開昭６１−２１１０５号公報，特開平
２−１０３２０６号公報等で種々の装置が提案されてい
る。
と、生産性が向上する。帯状基材に対するプラズマ重合
処理の連続化は、樹脂フィルム，織布，不織布等の絶縁
材料に対しては比較的容易であり、特開昭５８−１２０
８５９号公報，特開昭６１−２１１０５号公報，特開平
２−１０３２０６号公報等で種々の装置が提案されてい
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】基体としての金属帯材
を非接地電位に維持し高周波放電によるプラズマ重合を
行うとき、従来から提案されている連続プラズマ重合処
理装置を採用することができない。すなわち、金属帯材
が導電性を呈することから、放電電力は、電極部分に留
まらず、金属帯材全体及び金属帯材に接触する金属製部
品にも印加される。その結果、これらの部分で異常放電
が発生し、装置内の汚染や不安定な放電の原因となる。
また、金属帯材の表面に形成された被覆層も、粉化，剥
離等の欠陥が生じ易く、膜質が劣化する。
を非接地電位に維持し高周波放電によるプラズマ重合を
行うとき、従来から提案されている連続プラズマ重合処
理装置を採用することができない。すなわち、金属帯材
が導電性を呈することから、放電電力は、電極部分に留
まらず、金属帯材全体及び金属帯材に接触する金属製部
品にも印加される。その結果、これらの部分で異常放電
が発生し、装置内の汚染や不安定な放電の原因となる。
また、金属帯材の表面に形成された被覆層も、粉化，剥
離等の欠陥が生じ易く、膜質が劣化する。
【０００５】接地電位に維持した金属帯材を基体とする
とき、プラズマコーティングを行うことは可能である。
たとえば、特開昭６３−７８７２号公報では、プラズマ
照射される金属帯材を接地電位に維持し、この金属帯材
を連続的に送給しながらプラズマ重合処理する装置が紹
介されている。しかし、この場合、非接地電位に維持し
た基材に対するプラズマ重合処理の長所である硬度，耐
摩耗性等に優れた膜質が得られない。
とき、プラズマコーティングを行うことは可能である。
たとえば、特開昭６３−７８７２号公報では、プラズマ
照射される金属帯材を接地電位に維持し、この金属帯材
を連続的に送給しながらプラズマ重合処理する装置が紹
介されている。しかし、この場合、非接地電位に維持し
た基材に対するプラズマ重合処理の長所である硬度，耐
摩耗性等に優れた膜質が得られない。
【０００６】本発明は、このような問題を解消すべく案
出されたものであり、特定の圧力雰囲気の下でプラズマ
放電が生じることを利用することにより、電極部のみに
放電電圧が印加されることを可能にし、プラズマ重合処
理で良質の被覆層を形成することを目的とする。
出されたものであり、特定の圧力雰囲気の下でプラズマ
放電が生じることを利用することにより、電極部のみに
放電電圧が印加されることを可能にし、プラズマ重合処
理で良質の被覆層を形成することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明のプラズマ重合処
理方法は、その目的を達成するため、搬送チャンバーか
ら放電チャンバーに送り込まれた金属帯材に高周波放電
によるプラズマ重合処理を施し、次いで前記金属帯材を
前記搬送チャンバーに送り返す際、前記放電チャンバー
の雰囲気圧をグロー放電域に維持し、前記搬送チャンバ
ーの雰囲気圧を前記放電チャンバーの雰囲気圧より低い
非グロー放電域に維持することを特徴とする。
理方法は、その目的を達成するため、搬送チャンバーか
ら放電チャンバーに送り込まれた金属帯材に高周波放電
によるプラズマ重合処理を施し、次いで前記金属帯材を
前記搬送チャンバーに送り返す際、前記放電チャンバー
の雰囲気圧をグロー放電域に維持し、前記搬送チャンバ
ーの雰囲気圧を前記放電チャンバーの雰囲気圧より低い
非グロー放電域に維持することを特徴とする。
【０００８】また、プラズマ重合処理装置は、一対の巻
出し・巻取りリールが配置された搬送チャンバーと、ロ
ール状電極及び対向電極が配置された放電チャンバー
と、前記搬送チャンバーと前記放電チャンバーとの間に
設けられたシールド板と、該シールド板に設けられた一
対の差圧シールド部とを備えている。処理される金属帯
材は、一方の巻出し・巻取りリールから送り出され、一
方の差圧シールド部を経て前記放電チャンバーに導入さ
れ、前記ロール状電極で案内されて前記対向電極の近傍
を通過した後、他方の差圧シールド部を経て前記搬送チ
ャンバーに送り返される。
出し・巻取りリールが配置された搬送チャンバーと、ロ
ール状電極及び対向電極が配置された放電チャンバー
と、前記搬送チャンバーと前記放電チャンバーとの間に
設けられたシールド板と、該シールド板に設けられた一
対の差圧シールド部とを備えている。処理される金属帯
材は、一方の巻出し・巻取りリールから送り出され、一
方の差圧シールド部を経て前記放電チャンバーに導入さ
れ、前記ロール状電極で案内されて前記対向電極の近傍
を通過した後、他方の差圧シールド部を経て前記搬送チ
ャンバーに送り返される。
【０００９】
【作 用】プラズマ放電は、その放電の種類に応じて特
定された雰囲気圧の下で生じる傾向をもっている。たと
えば、プラズマ重合反応は、一般的に１０-3〜１０トー
ルの雰囲気圧のときに生じ易く、この雰囲気圧を外れる
ときグロー放電が発生しにくくなる。そこで、導電性の
金属帯材にコーティングする場合にあっても、金属帯材
の搬送領域とグロー放電領域とに区分し、それぞれの領
域を異なった雰囲気圧に維持するとき、電極部ではグロ
ー放電が発生するが、搬送領域における異常放電を抑制
することができる。その結果、非接地電位に維持した金
属帯材に対しても、電極部以外の金属帯材や内部の金属
製部品に対する不測のコーティングが防止され、良好な
膜質の被覆層が形成される。
定された雰囲気圧の下で生じる傾向をもっている。たと
えば、プラズマ重合反応は、一般的に１０-3〜１０トー
ルの雰囲気圧のときに生じ易く、この雰囲気圧を外れる
ときグロー放電が発生しにくくなる。そこで、導電性の
金属帯材にコーティングする場合にあっても、金属帯材
の搬送領域とグロー放電領域とに区分し、それぞれの領
域を異なった雰囲気圧に維持するとき、電極部ではグロ
ー放電が発生するが、搬送領域における異常放電を抑制
することができる。その結果、非接地電位に維持した金
属帯材に対しても、電極部以外の金属帯材や内部の金属
製部品に対する不測のコーティングが防止され、良好な
膜質の被覆層が形成される。
【００１０】以下、図面を参照しながら、本発明を具体
的に説明する。プラズマ重合処理装置は、図１に示すよ
うに搬送チャンバー１０及び放電チャンバー２０に絶縁
性のシールド板３０で区分されている。
的に説明する。プラズマ重合処理装置は、図１に示すよ
うに搬送チャンバー１０及び放電チャンバー２０に絶縁
性のシールド板３０で区分されている。
【００１１】搬送チャンバー１０には、コーティングさ
れる金属帯材Ｓが巻き出され或いは巻き取られる一対の
巻出し・巻取りリール１１，１２が設けられている。ま
た、走行中に金属帯材Ｓに一対のテンションロール１
３，１４が接触し、所定の張力が付与される。テンショ
ンロール１３，１４は、搬送チャンバー１０の槽壁を貫
通する二股状の支持具１５で軸支されている。搬送チャ
ンバー１０の槽壁に対して支持具１５を抜き差しするこ
とによって、金属帯材Ｓに付与される張力が調整され
る。搬送チャンバー１０の内部は、真空ポンプ（図示せ
ず）に接続された排気管１６を介した真空吸引によって
所定雰囲気圧Ｐ1 に維持される。
れる金属帯材Ｓが巻き出され或いは巻き取られる一対の
巻出し・巻取りリール１１，１２が設けられている。ま
た、走行中に金属帯材Ｓに一対のテンションロール１
３，１４が接触し、所定の張力が付与される。テンショ
ンロール１３，１４は、搬送チャンバー１０の槽壁を貫
通する二股状の支持具１５で軸支されている。搬送チャ
ンバー１０の槽壁に対して支持具１５を抜き差しするこ
とによって、金属帯材Ｓに付与される張力が調整され
る。搬送チャンバー１０の内部は、真空ポンプ（図示せ
ず）に接続された排気管１６を介した真空吸引によって
所定雰囲気圧Ｐ1 に維持される。
【００１２】放電チャンバー２０には、ロール状電極２
１が回転自在に設けられている。ロール状電極２１の周
面とほぼ同心円状の凹曲面をもった対向電極２２が、ロ
ール状電極２２に対向配置される。放電チャンバー２０
には、給気管２３から原料ガスが導入される。また、放
電チャンバー２０の雰囲気圧Ｐ2 は、真空ポンプ（図示
せず）に接続された排気管２４を介した真空吸引によっ
て調整される。
１が回転自在に設けられている。ロール状電極２１の周
面とほぼ同心円状の凹曲面をもった対向電極２２が、ロ
ール状電極２２に対向配置される。放電チャンバー２０
には、給気管２３から原料ガスが導入される。また、放
電チャンバー２０の雰囲気圧Ｐ2 は、真空ポンプ（図示
せず）に接続された排気管２４を介した真空吸引によっ
て調整される。
【００１３】搬送チャンバー１０と放電チャンバー２０
とを仕切るシールド板３０は、圧力差ΔＰ (Ｐ1 −Ｐ2)
に耐える強度をもったフッ素樹脂等の絶縁性材料で作ら
れている。シールド板３０には、搬送チャンバー１０と
放電チャンバー２０との間で金属帯材Ｓを通過させる差
圧シール３１，３２が設けられている。差圧シール３
１，３２は、金属板Ｓが通過するとき圧力差ΔＰを維持
する差圧シールド部として働く。
とを仕切るシールド板３０は、圧力差ΔＰ (Ｐ1 −Ｐ2)
に耐える強度をもったフッ素樹脂等の絶縁性材料で作ら
れている。シールド板３０には、搬送チャンバー１０と
放電チャンバー２０との間で金属帯材Ｓを通過させる差
圧シール３１，３２が設けられている。差圧シール３
１，３２は、金属板Ｓが通過するとき圧力差ΔＰを維持
する差圧シールド部として働く。
【００１４】差圧シールド部としては、差圧シール３
１，３２を使用する。たとえば、Ｓｉゴム等の弾性体の
板にスリットを設け、その弾性力で弾性体が金属帯材Ｓ
の表面に押し付けられることにより圧力差を維持する方
法等の種々の形式を使用することができる。
１，３２を使用する。たとえば、Ｓｉゴム等の弾性体の
板にスリットを設け、その弾性力で弾性体が金属帯材Ｓ
の表面に押し付けられることにより圧力差を維持する方
法等の種々の形式を使用することができる。
【００１５】シールド板３０で搬送チャンバー１０と放
電チャンバー２０とを仕切ることにより、搬送チャンバ
ー１０の雰囲気圧Ｐ1 と放電チャンバー２０の雰囲気圧
Ｐ2との間に所定の圧力差ΔＰ (Ｐ1 −Ｐ2)が維持され
る。たとえば、フッ素樹脂を使用したシールド板３０に
差圧シール３１，３２を組み込んだ場合、放電チャンバ
ー２０の雰囲気圧Ｐ2 を１０-3〜１０トールに維持した
とき、搬送チャンバー１０の雰囲気圧Ｐ1 は二桁ほど低
い値に保たれる。その結果、搬送チャンバー１０でのグ
ロー放電が抑制され、放電チャンバー２０がグロー放電
に適した雰囲気圧に維持される。
電チャンバー２０とを仕切ることにより、搬送チャンバ
ー１０の雰囲気圧Ｐ1 と放電チャンバー２０の雰囲気圧
Ｐ2との間に所定の圧力差ΔＰ (Ｐ1 −Ｐ2)が維持され
る。たとえば、フッ素樹脂を使用したシールド板３０に
差圧シール３１，３２を組み込んだ場合、放電チャンバ
ー２０の雰囲気圧Ｐ2 を１０-3〜１０トールに維持した
とき、搬送チャンバー１０の雰囲気圧Ｐ1 は二桁ほど低
い値に保たれる。その結果、搬送チャンバー１０でのグ
ロー放電が抑制され、放電チャンバー２０がグロー放電
に適した雰囲気圧に維持される。
【００１６】放電チャンバー２０の雰囲気圧Ｐ2 は、プ
ラズマ重合処理の条件に応じて定められる。たとえば、
メタンをプラズマ重合してアモルファスカーボンをコー
ティングする場合には、雰囲気圧Ｐ2 を１０-3〜１トー
ルに維持する。何れの場合も、搬送チャンバー１０は、
グロー放電が起こらない雰囲気圧Ｐ1 に保たれる。
ラズマ重合処理の条件に応じて定められる。たとえば、
メタンをプラズマ重合してアモルファスカーボンをコー
ティングする場合には、雰囲気圧Ｐ2 を１０-3〜１トー
ルに維持する。何れの場合も、搬送チャンバー１０は、
グロー放電が起こらない雰囲気圧Ｐ1 に保たれる。
【００１７】処理される金属帯材Ｓは、一方の巻出し・
巻取りリール１１から送り出され、搬送チャンバー１０
から差圧シール３１を経て放電チャンバー２０に送り込
まれる。対向電極２２との間で発生するグロー放電に照
射された後、差圧シール３２を経て搬送チャンバー１０
に返送され、他方の巻出し・巻取りリール１２に巻き取
られる。金属帯材Ｓの走行方向は、これに拘束されるも
のではなく、巻出し・巻取りリール１２から巻出し・巻
取りリール１１に向けて走行させても良い。更には、巻
出し・巻取りリール１１と１２との間で金属帯材Ｓをリ
バーシブル走行させることにより、プラズマ重合処理を
繰返し行うこともできる。
巻取りリール１１から送り出され、搬送チャンバー１０
から差圧シール３１を経て放電チャンバー２０に送り込
まれる。対向電極２２との間で発生するグロー放電に照
射された後、差圧シール３２を経て搬送チャンバー１０
に返送され、他方の巻出し・巻取りリール１２に巻き取
られる。金属帯材Ｓの走行方向は、これに拘束されるも
のではなく、巻出し・巻取りリール１２から巻出し・巻
取りリール１１に向けて走行させても良い。更には、巻
出し・巻取りリール１１と１２との間で金属帯材Ｓをリ
バーシブル走行させることにより、プラズマ重合処理を
繰返し行うこともできる。
【００１８】圧力差ΔＰを付けることにより、グロー放
電が放電チャンバー２０内に限られる。装置内の汚染，
異常放電，不安定な放電等が抑制され、膜質の劣化等の
問題が発生しない。また、放電する部分の面積が小さく
なることから、放電の電力密度が高く、良好なプラズマ
重合処理が行われる。
電が放電チャンバー２０内に限られる。装置内の汚染，
異常放電，不安定な放電等が抑制され、膜質の劣化等の
問題が発生しない。また、放電する部分の面積が小さく
なることから、放電の電力密度が高く、良好なプラズマ
重合処理が行われる。
【００１９】ロール状電極２１にシールド板３０を可能
な限り近づけて設置することにより、放電面積を減少さ
せることができる。放電面積の減少に伴って、対向電極
２２と金属帯材Ｓとの間に発生するグロー放電の電力密
度が高くなり、プラズマ重合処理が効率よく行われる。
な限り近づけて設置することにより、放電面積を減少さ
せることができる。放電面積の減少に伴って、対向電極
２２と金属帯材Ｓとの間に発生するグロー放電の電力密
度が高くなり、プラズマ重合処理が効率よく行われる。
【００２０】
実施例１：メタンのプラズマ重合 板厚１００μｍのステンレス鋼箔ＳＵＳ４３０を金属帯
材Ｓとして巻出し・巻取りリール１１に巻き付け、搬送
チャンバー１０内にセットした。金属帯材Ｓの先端を、
テンションロール１３，差圧シール３１，ロール状電極
２１，差圧シール３２及びテンションロール１４を経て
他方の巻出し・巻取りリール１２に固定した。また、ロ
ール状電極２１と対向電極２２との間の間隙を、５０ｍ
ｍに設定した。
材Ｓとして巻出し・巻取りリール１１に巻き付け、搬送
チャンバー１０内にセットした。金属帯材Ｓの先端を、
テンションロール１３，差圧シール３１，ロール状電極
２１，差圧シール３２及びテンションロール１４を経て
他方の巻出し・巻取りリール１２に固定した。また、ロ
ール状電極２１と対向電極２２との間の間隙を、５０ｍ
ｍに設定した。
【００２１】シールド板３０には、厚さ２０ｍｍのフッ
素樹脂の板を使用した。シールド板３０で搬送チャンバ
ー１０と放電チャンバー２０とを仕切ることにより、放
電チャンバー２０の雰囲気圧Ｐ2 を１×１０-1トールに
維持したとき、搬送チャンバー１０の雰囲気圧Ｐ1 が
２．３×１０-4トールに保たれた。
素樹脂の板を使用した。シールド板３０で搬送チャンバ
ー１０と放電チャンバー２０とを仕切ることにより、放
電チャンバー２０の雰囲気圧Ｐ2 を１×１０-1トールに
維持したとき、搬送チャンバー１０の雰囲気圧Ｐ1 が
２．３×１０-4トールに保たれた。
【００２２】給気管２３から放電チャンバー２０に原料
ガスとしてメタンガスを流量１０ｃｍ3 ／分で送り込み
ながら、ロール状電極２１に出力１００Ｗの高周波電力
を印加し、発生したプラズマ中でを金属帯材Ｓの搬送を
開始した。このとき、対向電極２２は、接地電位に維持
した。グロー放電は、放電チャンバー２０内のロール状
電極２１及び対向電極２２の近傍に限られ、搬送チャン
バー１０側で異常放電の発生がみられなかった。
ガスとしてメタンガスを流量１０ｃｍ3 ／分で送り込み
ながら、ロール状電極２１に出力１００Ｗの高周波電力
を印加し、発生したプラズマ中でを金属帯材Ｓの搬送を
開始した。このとき、対向電極２２は、接地電位に維持
した。グロー放電は、放電チャンバー２０内のロール状
電極２１及び対向電極２２の近傍に限られ、搬送チャン
バー１０側で異常放電の発生がみられなかった。
【００２３】プラズマ重合処理を４時間継続しても、放
電チャンバー２０内のグロー放電は、安定して継続され
た。また、搬送チャンバー１０内部にある各種機器等に
汚染や異常放電が発生しなかった。プラズマ重合処理さ
れた金属帯材Ｓのプラズマ重合膜は、非常に緻密な表面
層をもち、耐食性，耐久性等に優れたものであった。
電チャンバー２０内のグロー放電は、安定して継続され
た。また、搬送チャンバー１０内部にある各種機器等に
汚染や異常放電が発生しなかった。プラズマ重合処理さ
れた金属帯材Ｓのプラズマ重合膜は、非常に緻密な表面
層をもち、耐食性，耐久性等に優れたものであった。
【００２４】実施例２：テトラメチルシランのプラズマ
重合 板厚１００μｍのステンレス鋼箔ＳＵＳ３０４を金属帯
材Ｓとして巻出し・巻取りリール１１に巻き付け、搬送
チャンバー１０内にセットした。金属帯材Ｓの先端を、
テンションロール１３，差圧シール３１，ロール状電極
２１，差圧シール３２及びテンションロール１４を経て
他方の巻出し・巻取りリール１２に固定した。また、ロ
ール状電極２１と対向電極２２との間の間隙を、５０ｍ
ｍに設定した。
重合 板厚１００μｍのステンレス鋼箔ＳＵＳ３０４を金属帯
材Ｓとして巻出し・巻取りリール１１に巻き付け、搬送
チャンバー１０内にセットした。金属帯材Ｓの先端を、
テンションロール１３，差圧シール３１，ロール状電極
２１，差圧シール３２及びテンションロール１４を経て
他方の巻出し・巻取りリール１２に固定した。また、ロ
ール状電極２１と対向電極２２との間の間隙を、５０ｍ
ｍに設定した。
【００２５】シールド板３０には、厚さ２０ｍｍのフッ
素樹脂の板を使用した。シールド板３０で搬送チャンバ
ー１０と放電チャンバー２０とを仕切ることにより、放
電チャンバー２０の雰囲気圧Ｐ2 を１×１０-1トールに
維持したとき、搬送チャンバー１０の雰囲気圧Ｐ1 が
２．３×１０-4トールに保たれた。
素樹脂の板を使用した。シールド板３０で搬送チャンバ
ー１０と放電チャンバー２０とを仕切ることにより、放
電チャンバー２０の雰囲気圧Ｐ2 を１×１０-1トールに
維持したとき、搬送チャンバー１０の雰囲気圧Ｐ1 が
２．３×１０-4トールに保たれた。
【００２６】給気管２３から放電チャンバー２０に原料
ガスとしてテトラメチルシランを流量５ｃｍ3 ／分で送
り込みながら、ロール状電極２１に出力１００Ｗの高周
波電力を印加し、発生したプラズマ中でを金属帯材Ｓの
搬送を開始した。このとき、対向電極２２は、接地電位
に維持した。グロー放電は、放電チャンバー２０内のロ
ール状電極２１及び対向電極２２の近傍に限られ、搬送
チャンバー１０側で異常放電の発生がみられなかった。
ガスとしてテトラメチルシランを流量５ｃｍ3 ／分で送
り込みながら、ロール状電極２１に出力１００Ｗの高周
波電力を印加し、発生したプラズマ中でを金属帯材Ｓの
搬送を開始した。このとき、対向電極２２は、接地電位
に維持した。グロー放電は、放電チャンバー２０内のロ
ール状電極２１及び対向電極２２の近傍に限られ、搬送
チャンバー１０側で異常放電の発生がみられなかった。
【００２７】プラズマ重合処理を２時間継続しても、放
電チャンバー２０内のグロー放電は、安定して継続され
た。また、搬送チャンバー１０内部にある各種機器等に
汚染や異常放電が発生しなかった。プラズマ重合処理さ
れた金属帯材Ｓのプラズマ重合膜は、非常に緻密な表面
層をもち、耐食性，耐久性，硬度等に優れたものであっ
た。
電チャンバー２０内のグロー放電は、安定して継続され
た。また、搬送チャンバー１０内部にある各種機器等に
汚染や異常放電が発生しなかった。プラズマ重合処理さ
れた金属帯材Ｓのプラズマ重合膜は、非常に緻密な表面
層をもち、耐食性，耐久性，硬度等に優れたものであっ
た。
【００２８】
【発明の効果】以上に説明したように、本発明において
は、絶縁性のシールド板で搬送チャンバーと放電チャン
バーとを仕切ることにより、放電チャンバーをグロー放
電に適した雰囲気圧に維持し、搬送チャンバーをグロー
放電が生じない比較的低い雰囲気圧としている。そのた
め、プラズマ重合反応を行わせるグロー放電の発生領域
が放電チャンバーに限られ、異常放電やグロー放電の不
安定化等を招くことなく、金属帯材のプラズマ重合処理
が可能となる。また、グロー放電の電力密度が高くなる
ので、プラズマ重合処理の効果が効率よく発現する。
は、絶縁性のシールド板で搬送チャンバーと放電チャン
バーとを仕切ることにより、放電チャンバーをグロー放
電に適した雰囲気圧に維持し、搬送チャンバーをグロー
放電が生じない比較的低い雰囲気圧としている。そのた
め、プラズマ重合反応を行わせるグロー放電の発生領域
が放電チャンバーに限られ、異常放電やグロー放電の不
安定化等を招くことなく、金属帯材のプラズマ重合処理
が可能となる。また、グロー放電の電力密度が高くなる
ので、プラズマ重合処理の効果が効率よく発現する。
【図１】 本発明に従ったプラズマ重合処理装置の一例
１０ 搬送チャンバー １１，１２ 巻出し・巻取り
リール ２０ 放電チャンバー ２１ ロール状電極 ２２ 対向電極 ３０ シールド板 ３１，３２ 差圧シール
リール ２０ 放電チャンバー ２１ ロール状電極 ２２ 対向電極 ３０ シールド板 ３１，３２ 差圧シール
フロントページの続き (72)発明者 上川 英泰 千葉県市川市高谷新町７番地の１ 日新製 鋼株式会社新材料研究所内 (72)発明者 稲葉 哲二 京都市右京区梅津高畝町47番地 日新電機 株式会社内 (72)発明者 大橋 茂治 京都市右京区梅津高畝町47番地 日新電機 株式会社内 (72)発明者 砂田 英範 京都市右京区梅津高畝町47番地 日新電機 株式会社内
Claims (2)
- 【請求項１】 搬送チャンバーから放電チャンバーに送
り込まれた金属帯材に高周波放電によるプラズマ重合処
理を施し、次いで前記金属帯材を前記搬送チャンバーに
送り返す際、前記放電チャンバーの雰囲気圧をグロー放
電域に維持し、前記搬送チャンバーの雰囲気圧を前記放
電チャンバーの雰囲気圧より低い非グロー放電域に維持
することを特徴とする金属帯材のプラズマ重合処理方
法。 - 【請求項２】 一対の巻出し・巻取りリールが配置され
た搬送チャンバーと、ロール状電極及び対向電極が配置
された放電チャンバーと、前記搬送チャンバーと前記放
電チャンバーとの間に設けられたシールド板と、該シー
ルド板に設けられた一対の差圧シールド部とを備え、プ
ラズマ重合処理される金属帯材は、一方の巻出し・巻取
りリールから送り出され、一方の差圧シールド部を経て
前記放電チャンバーに導入され、前記ロール状電極で案
内されて前記対向電極の近傍を通過した後、他方の差圧
シールド部を経て前記搬送チャンバーに送り返されるこ
とを特徴とする金属帯材用プラズマ重合処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30777992A JPH06136506A (ja) | 1992-10-21 | 1992-10-21 | 金属帯材のプラズマ重合処理方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30777992A JPH06136506A (ja) | 1992-10-21 | 1992-10-21 | 金属帯材のプラズマ重合処理方法及び装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06136506A true JPH06136506A (ja) | 1994-05-17 |
Family
ID=17973167
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30777992A Withdrawn JPH06136506A (ja) | 1992-10-21 | 1992-10-21 | 金属帯材のプラズマ重合処理方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06136506A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002096956A1 (en) * | 2001-05-30 | 2002-12-05 | Lg Electronics Inc. | Continuous processing apparatus by plasma polymerization with vertical chamber |
-
1992
- 1992-10-21 JP JP30777992A patent/JPH06136506A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002096956A1 (en) * | 2001-05-30 | 2002-12-05 | Lg Electronics Inc. | Continuous processing apparatus by plasma polymerization with vertical chamber |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20000104 |