JPH0613444Y2 - 密封容器の真空度検査装置 - Google Patents
密封容器の真空度検査装置Info
- Publication number
- JPH0613444Y2 JPH0613444Y2 JP1987044292U JP4429287U JPH0613444Y2 JP H0613444 Y2 JPH0613444 Y2 JP H0613444Y2 JP 1987044292 U JP1987044292 U JP 1987044292U JP 4429287 U JP4429287 U JP 4429287U JP H0613444 Y2 JPH0613444 Y2 JP H0613444Y2
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- JP
- Japan
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- inspection
- sealed container
- container
- screen
- image
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
本考案は、内容物を真空状態にして封入した密封容器の
真空度を検査する真空度検査装置に関する。
真空度を検査する真空度検査装置に関する。
内容物が温かい状態でキャップを閉じたいわゆるホット
パック容器は、内容物が冷却するに従って容器内部が負
圧になり、気密状態が保持されていればキャップの天面
が凹面状に窪み、気密状態が損なわれると窪まないで原
形の凸面または平面をそのまま維持する。 従来、キャップの天面が凹面であるか凸面または平面で
あるかを光学的に検知することによって容器内部の真空
度を検査する装置として、特公昭５１−７０６３号公報
に所載のものが公知である。 この装置は、光源からの平行光線をハーフミラーを介し
て密封容器の蓋面に真上から垂直に照射し、その反射光
線を同ハーフミラーで直角に反射させ、この直角反射光
線を、入光光線（光源からの平行光線）と交差する平面
状に配列された多数の光電素子で受光する。そして、こ
の光電素子からの出力を判別装置で判別し、その出力が
光電素子の数にして設定した個数以上あるとき、真空度
不良の信号を出力する。
パック容器は、内容物が冷却するに従って容器内部が負
圧になり、気密状態が保持されていればキャップの天面
が凹面状に窪み、気密状態が損なわれると窪まないで原
形の凸面または平面をそのまま維持する。 従来、キャップの天面が凹面であるか凸面または平面で
あるかを光学的に検知することによって容器内部の真空
度を検査する装置として、特公昭５１−７０６３号公報
に所載のものが公知である。 この装置は、光源からの平行光線をハーフミラーを介し
て密封容器の蓋面に真上から垂直に照射し、その反射光
線を同ハーフミラーで直角に反射させ、この直角反射光
線を、入光光線（光源からの平行光線）と交差する平面
状に配列された多数の光電素子で受光する。そして、こ
の光電素子からの出力を判別装置で判別し、その出力が
光電素子の数にして設定した個数以上あるとき、真空度
不良の信号を出力する。
この従来の装置では、蓋面からの反射光線をハーフミラ
ーで直角に反射させた後、結像することなく光電素子に
そのまま入光するため、容器の検査位置のズレは光電素
子の出力個数に大きく影響し、容器の検査位置を正確に
決めないと、蓋面の凹凸を判別できない。また、光源と
光電素子群との位置関係が特定（互いに直角）されるた
め、これらを現場に応じた適宜な場所に設置できない。
さらに、光電素子の出力個数を１回しか判定しないた
め、制度の高い検知ができない。 本考案の目的は、容器の検査位置のズレを吸収するよう
な真空度検査ができるとともに、光源とセンサとを現場
に応じた適宜の位置に設置でき、しかも容器を次から次
と連続的に流してもＳ／Ｎ比の良い精度の高い真空度検
査を行えるようにすることにある。
ーで直角に反射させた後、結像することなく光電素子に
そのまま入光するため、容器の検査位置のズレは光電素
子の出力個数に大きく影響し、容器の検査位置を正確に
決めないと、蓋面の凹凸を判別できない。また、光源と
光電素子群との位置関係が特定（互いに直角）されるた
め、これらを現場に応じた適宜な場所に設置できない。
さらに、光電素子の出力個数を１回しか判定しないた
め、制度の高い検知ができない。 本考案の目的は、容器の検査位置のズレを吸収するよう
な真空度検査ができるとともに、光源とセンサとを現場
に応じた適宜の位置に設置でき、しかも容器を次から次
と連続的に流してもＳ／Ｎ比の良い精度の高い真空度検
査を行えるようにすることにある。
この目的を達成するため、本考案の真空度検査装置は次
のような手段を備えたものである。 密封容器を、検査位置を通過するように搬送する搬送
手段。 この検査位置へ密封容器が搬送されたことを検知する
容器検知手段。 この容器検知手段による検知後、所定時間だけ検査時
間設定信号を出力する回路。 上記検査位置の密封容器の蓋面にほぼ平行光線を斜め
に照射する光源。 密封容器の蓋面からの反射光線を投影されるスクリー
ン。 このスクリーン上の像を検知するイメージセンサ。 該イメージセンサの出力を上記検査時間設定信号によ
る所定時間中繰り返し走査する走査回路。 その走査出力を基準値と比較し、走査出力が基準値を
越えたか否かで良否判定をする比較回路。
のような手段を備えたものである。 密封容器を、検査位置を通過するように搬送する搬送
手段。 この検査位置へ密封容器が搬送されたことを検知する
容器検知手段。 この容器検知手段による検知後、所定時間だけ検査時
間設定信号を出力する回路。 上記検査位置の密封容器の蓋面にほぼ平行光線を斜め
に照射する光源。 密封容器の蓋面からの反射光線を投影されるスクリー
ン。 このスクリーン上の像を検知するイメージセンサ。 該イメージセンサの出力を上記検査時間設定信号によ
る所定時間中繰り返し走査する走査回路。 その走査出力を基準値と比較し、走査出力が基準値を
越えたか否かで良否判定をする比較回路。
このような真空度検査装置によると、密封容器が搬送手
段により搬送されて検査位置を通過するとき、この密封
容器の蓋面にほぼ平行光線が斜めに照射され、その反射
光がスクリーンに投影されて結像するとともに、密封容
器が検査位置に来たことが容器検知手段により検知され
る。スクリーン上の像はイメージセンサにより検知さ
れ、このイメージセンサの出力が、容器検知手段による
検知後、所定時間中、つまり密封容器が検査位置を通過
する間、繰り返し走査される。そして、その走査出力は
比較回路によって基準値と比較され、基準値を越えたと
きは例えば良品、越えないときは不良品と判定される。 検査位置を通過する密封容器の蓋面に、光源からの光を
斜めに照射し、その反射光をスクリーンに結像させ、こ
の像をイメージセンサで検知すれば、光源とイメージセ
ンサの位置関係が限定されるようなことはなく、その位
置関係を任意に選ぶことができる。
段により搬送されて検査位置を通過するとき、この密封
容器の蓋面にほぼ平行光線が斜めに照射され、その反射
光がスクリーンに投影されて結像するとともに、密封容
器が検査位置に来たことが容器検知手段により検知され
る。スクリーン上の像はイメージセンサにより検知さ
れ、このイメージセンサの出力が、容器検知手段による
検知後、所定時間中、つまり密封容器が検査位置を通過
する間、繰り返し走査される。そして、その走査出力は
比較回路によって基準値と比較され、基準値を越えたと
きは例えば良品、越えないときは不良品と判定される。 検査位置を通過する密封容器の蓋面に、光源からの光を
斜めに照射し、その反射光をスクリーンに結像させ、こ
の像をイメージセンサで検知すれば、光源とイメージセ
ンサの位置関係が限定されるようなことはなく、その位
置関係を任意に選ぶことができる。
以下、本考案の実施例を図面に基づき詳細に説明する。 第１図に本考案に係る真空度検査装置の使用例を示す。
この装置は、光源１とスクリーン２と、このスクリーン
２の位置を調整する位置調整手段３と、イメージセンサ
（本例では、ラインセンサ）４を内蔵したカメラ５と、
容器が検査位置に来たを検知する容器検知手段である検
査タイミング用光電スイッチ６と、排除タイミング用光
電スイッチ７と不良品排除部材８と、この不良品排除部
材８を作動させるための排除用電磁弁９と、第５図に示
す回路とからなる。 検査対象のホットパック容器（以下、単に容器と記す）
10はコンベヤ11によって順次搬送されて検査位置を通過
する。光源１は、その検査位置に位置決めされた容器10
のキャップ12の天面（蓋面）13に斜め上方より平行光線
14を照射する。検査タイミング用光電スイッチ６は、検
査位置に位置決めされた容器10を検知して第６図（ａ）
に示すような信号を出力し、その出力時より後述するよ
うな検査が開始される。 スクリーン２は光拡散板または曇りガラス等で構成さ
れ、キャップ12の天面13から反射してくる反射光線15を
投影される。このスクリーン２の位置（あるいはさらに
角度）は、位置調整手段３によって前後または上下ある
いは左右に調整できるようになっている。カメラ５はス
クリーン２上の結像を検知するようにこれに対向されて
いる。スクリーン２の大きさ及びカメラ５の視野は容器
10の位置ズレ等を考慮して設定される。 容器10が、所定の真空度を維持している良品の場合に
は、第２図に示すようにキャップ12の天面13が凹面にな
っているため、光源１からの平行光線14は天面13が凹面
鏡の作用をし、その反射光線15はスクリーン２に向かっ
て収斂し、このスクリーン２上に第４図（Ａ）に示すよ
うに収斂光（スポット）として結像する。スクリーン２
の位置は位置調整手段３で調整し、容器10が良品でその
キャップ12の天面13が規定の凹面鏡を呈している場合
に、その焦点に合うような位置に設定しておくことが好
ましい。 一方、真空が損なわれた不良品の場合には、第３図に示
すようにキャップ12の天面13が平面または凸面になって
いるため、それを反射した反射光線15は平行光線または
拡散光線となってスクリーン２上に第４図（Ｂ）に示す
ように拡散光として結像する。 従って、カメラ５のイメージセンサ４の出力電圧は良品
の場合には高く、不良品の場合には低くなる。 第５図において、上記検査タイミング用光電スイッチ６
の第６図（ａ）の信号は、遅延回路16によって同図
（ｂ）のように遅延されてフリップフロップ17に入力さ
れる。一方、イメージセンサ４からの同図（ｃ）に示す
走査タイミングパルスはカウンタ回路18によって計数さ
れ、その計数値が設定数になるとこのカウンタ回路18か
ら同図（ｄ）に示す検査終了信号が出力され、フリップ
フロップ17に入力される。フリップフロップ17は、
（ｅ）に示すように遅延回路16の（ｂ）の信号の立ち上
がり時からカウンタ回路18の（ｃ）に示す信号の立ち上
がり時までＨＩＧＨになる検査時間設定信号を出力し、
比較回路19に入力する。 比較回路19は、（ｅ）の検査時間設定信号がＨＩＧＨに
なっているＴ時間中、（この時間Ｔは、容器10の天面13
が検査位置を通過するに要する時間に合わせて設定す
る）、イメージセンサ４からのビデオ信号（ｆ）を基準
電圧（判定レベル）Ｖ0と比較する。 従って、イメージセンサ４の出力はＴ時間中繰り返し走
査される。そして、比較回路19は、Ｔ時間中にビデオ信
号（ｆ）が第６図（ｆ1）に示すように基準電圧Ｖ0を越
えないときは、容器10は不良品として（ｇ）に示す排除
信号を出力し、ドライブ回路20に入力する。このように
ドライブ回路20に排除信号（ｇ）が入力されると、この
ドライブ回路20は、上記排除タイミング用光電スイッチ
７から（ｈ）に示す排除タイミング信号を入力されたと
き、（ｉ）に示すようなドライブ信号を出力し、上記排
除用電磁弁９を作動させる。電磁弁９が作動すると、不
良品排除部材８によって容器10がコンベヤ11上より排除
される。 一方、比較回路19は、Ｔ時間中にビデオ信号（ｆ）が第
６図（ｆ2）に示すように基準電圧Ｖ0を越えるときは、
容器10は良品として（ｊ）に示すように排除信号は出力
せず、従ってドライブ回路20は排除タイミング用光電ス
イッチ７から（ｈ）に示す排除タイミング信号を入力さ
れても排除用電磁弁９を作動せず、容器10はコンベヤ11
によって他所へ搬送される。 以上、本考案の一実施例について説明したが、本考案は
これに限定されるものではなく、その基本的技術思想を
逸脱しない範囲で種々の変形は可能である。 第７図は光源の変形例を示し、ハロゲン電球または白熱
電球21からの拡散光線を凸レンズ22で収斂して擬似点光
源23を形成した後、大口径の凸レンズ24によって均一な
平行光線とし、容器10のキャップ12の天面13よりも広い
領域を照射する。このようにすると、容器10の検査位置
における芯出し精度がある程度ラフでも、所期の検査が
可能となる。つまり、容器10の横ズレや傾き等に対する
検査精度が向上する。その結果、高速検査する場合にも
特別の位置決め機構が不要となり、各種の容器に対応で
きるようになる。 また、光源１とスクリーン２との間にハーフミラーを配
置しても良い。
この装置は、光源１とスクリーン２と、このスクリーン
２の位置を調整する位置調整手段３と、イメージセンサ
（本例では、ラインセンサ）４を内蔵したカメラ５と、
容器が検査位置に来たを検知する容器検知手段である検
査タイミング用光電スイッチ６と、排除タイミング用光
電スイッチ７と不良品排除部材８と、この不良品排除部
材８を作動させるための排除用電磁弁９と、第５図に示
す回路とからなる。 検査対象のホットパック容器（以下、単に容器と記す）
10はコンベヤ11によって順次搬送されて検査位置を通過
する。光源１は、その検査位置に位置決めされた容器10
のキャップ12の天面（蓋面）13に斜め上方より平行光線
14を照射する。検査タイミング用光電スイッチ６は、検
査位置に位置決めされた容器10を検知して第６図（ａ）
に示すような信号を出力し、その出力時より後述するよ
うな検査が開始される。 スクリーン２は光拡散板または曇りガラス等で構成さ
れ、キャップ12の天面13から反射してくる反射光線15を
投影される。このスクリーン２の位置（あるいはさらに
角度）は、位置調整手段３によって前後または上下ある
いは左右に調整できるようになっている。カメラ５はス
クリーン２上の結像を検知するようにこれに対向されて
いる。スクリーン２の大きさ及びカメラ５の視野は容器
10の位置ズレ等を考慮して設定される。 容器10が、所定の真空度を維持している良品の場合に
は、第２図に示すようにキャップ12の天面13が凹面にな
っているため、光源１からの平行光線14は天面13が凹面
鏡の作用をし、その反射光線15はスクリーン２に向かっ
て収斂し、このスクリーン２上に第４図（Ａ）に示すよ
うに収斂光（スポット）として結像する。スクリーン２
の位置は位置調整手段３で調整し、容器10が良品でその
キャップ12の天面13が規定の凹面鏡を呈している場合
に、その焦点に合うような位置に設定しておくことが好
ましい。 一方、真空が損なわれた不良品の場合には、第３図に示
すようにキャップ12の天面13が平面または凸面になって
いるため、それを反射した反射光線15は平行光線または
拡散光線となってスクリーン２上に第４図（Ｂ）に示す
ように拡散光として結像する。 従って、カメラ５のイメージセンサ４の出力電圧は良品
の場合には高く、不良品の場合には低くなる。 第５図において、上記検査タイミング用光電スイッチ６
の第６図（ａ）の信号は、遅延回路16によって同図
（ｂ）のように遅延されてフリップフロップ17に入力さ
れる。一方、イメージセンサ４からの同図（ｃ）に示す
走査タイミングパルスはカウンタ回路18によって計数さ
れ、その計数値が設定数になるとこのカウンタ回路18か
ら同図（ｄ）に示す検査終了信号が出力され、フリップ
フロップ17に入力される。フリップフロップ17は、
（ｅ）に示すように遅延回路16の（ｂ）の信号の立ち上
がり時からカウンタ回路18の（ｃ）に示す信号の立ち上
がり時までＨＩＧＨになる検査時間設定信号を出力し、
比較回路19に入力する。 比較回路19は、（ｅ）の検査時間設定信号がＨＩＧＨに
なっているＴ時間中、（この時間Ｔは、容器10の天面13
が検査位置を通過するに要する時間に合わせて設定す
る）、イメージセンサ４からのビデオ信号（ｆ）を基準
電圧（判定レベル）Ｖ0と比較する。 従って、イメージセンサ４の出力はＴ時間中繰り返し走
査される。そして、比較回路19は、Ｔ時間中にビデオ信
号（ｆ）が第６図（ｆ1）に示すように基準電圧Ｖ0を越
えないときは、容器10は不良品として（ｇ）に示す排除
信号を出力し、ドライブ回路20に入力する。このように
ドライブ回路20に排除信号（ｇ）が入力されると、この
ドライブ回路20は、上記排除タイミング用光電スイッチ
７から（ｈ）に示す排除タイミング信号を入力されたと
き、（ｉ）に示すようなドライブ信号を出力し、上記排
除用電磁弁９を作動させる。電磁弁９が作動すると、不
良品排除部材８によって容器10がコンベヤ11上より排除
される。 一方、比較回路19は、Ｔ時間中にビデオ信号（ｆ）が第
６図（ｆ2）に示すように基準電圧Ｖ0を越えるときは、
容器10は良品として（ｊ）に示すように排除信号は出力
せず、従ってドライブ回路20は排除タイミング用光電ス
イッチ７から（ｈ）に示す排除タイミング信号を入力さ
れても排除用電磁弁９を作動せず、容器10はコンベヤ11
によって他所へ搬送される。 以上、本考案の一実施例について説明したが、本考案は
これに限定されるものではなく、その基本的技術思想を
逸脱しない範囲で種々の変形は可能である。 第７図は光源の変形例を示し、ハロゲン電球または白熱
電球21からの拡散光線を凸レンズ22で収斂して擬似点光
源23を形成した後、大口径の凸レンズ24によって均一な
平行光線とし、容器10のキャップ12の天面13よりも広い
領域を照射する。このようにすると、容器10の検査位置
における芯出し精度がある程度ラフでも、所期の検査が
可能となる。つまり、容器10の横ズレや傾き等に対する
検査精度が向上する。その結果、高速検査する場合にも
特別の位置決め機構が不要となり、各種の容器に対応で
きるようになる。 また、光源１とスクリーン２との間にハーフミラーを配
置しても良い。
以上述べた通り本考案によれば次のような効果がある。 容器の蓋面を反射した反射光線をスクリーン上に結像
し、その結像をイメージセンサで検知するため、このイ
メージセンサの視野に余裕をもたせておけば、容器の検
査位置がズレてスクリーン上の結像位置がズレても、そ
の検知が可能である。従って、容器の検査位置に従来ほ
どの正確さを要求されないため、その位置決めが容易に
なる。 検査位置を通過する密封容器の蓋面に、光源からの光
を斜めに照射し、その反射光をスクリーンに結像させて
容器の天面の凹凸状態をイメージセンサで間接的に検知
するため、光源及びイメージセンサの位置を現場に応じ
た適宜な場所に任意に設定できる。 イメージセンサの出力を、容器検知手段による検知
後、所定時間中、つまり密封容器が検査位置を通過する
間、繰り返し走査し、その走査出力を比較回路によって
基準値と比較して良否判定するため、Ｓ／Ｎ比の良い高
精度の検知が行える。 スクリーンの位置を調整できるようにした場合には、
イメージセンサが検知するのに最適な結像状態に調整で
きるとともに、検査する容器またはキャップの種類、大
きさ、形状、色などが変わったときにも、また検査位置
がズレても、それに簡単に対応できる。 大口径レンズを使用して密封容器の蓋面を含む領域を
平行光線によって照射すれば、密封容器の横ズレや傾き
等に対する検査精度が向上し、その結果、高速検査する
場合にも特別の位置決め機構が不要となり、各種の容器
に対応できるようになる。
し、その結像をイメージセンサで検知するため、このイ
メージセンサの視野に余裕をもたせておけば、容器の検
査位置がズレてスクリーン上の結像位置がズレても、そ
の検知が可能である。従って、容器の検査位置に従来ほ
どの正確さを要求されないため、その位置決めが容易に
なる。 検査位置を通過する密封容器の蓋面に、光源からの光
を斜めに照射し、その反射光をスクリーンに結像させて
容器の天面の凹凸状態をイメージセンサで間接的に検知
するため、光源及びイメージセンサの位置を現場に応じ
た適宜な場所に任意に設定できる。 イメージセンサの出力を、容器検知手段による検知
後、所定時間中、つまり密封容器が検査位置を通過する
間、繰り返し走査し、その走査出力を比較回路によって
基準値と比較して良否判定するため、Ｓ／Ｎ比の良い高
精度の検知が行える。 スクリーンの位置を調整できるようにした場合には、
イメージセンサが検知するのに最適な結像状態に調整で
きるとともに、検査する容器またはキャップの種類、大
きさ、形状、色などが変わったときにも、また検査位置
がズレても、それに簡単に対応できる。 大口径レンズを使用して密封容器の蓋面を含む領域を
平行光線によって照射すれば、密封容器の横ズレや傾き
等に対する検査精度が向上し、その結果、高速検査する
場合にも特別の位置決め機構が不要となり、各種の容器
に対応できるようになる。
第１図は本考案の一実施例の簡略構成図、第２図は容器
が良品の場合の反射態様図、第３図は不良品の場合の反
射態様図、第４図はスクリーン上の結像状態を示し、
（Ａ）は良品の場合、（Ｂ）は不良品の場合である。第
５図は電気的構成のブロック図、第６図はそのタイミン
グチャート、第７図は光源の変形例の簡略構成図であ
る。 １……光源、２……スクリーン、３……位置調整手段、
４……イメージセンサ、６……検査タイミング用光電ス
イッチ、10……容器、16……遅延回路、17……フリップ
フロップ、19……比較回路、18……カウンタ回路、21…
…白熱電球、24……凸レンズ。
が良品の場合の反射態様図、第３図は不良品の場合の反
射態様図、第４図はスクリーン上の結像状態を示し、
（Ａ）は良品の場合、（Ｂ）は不良品の場合である。第
５図は電気的構成のブロック図、第６図はそのタイミン
グチャート、第７図は光源の変形例の簡略構成図であ
る。 １……光源、２……スクリーン、３……位置調整手段、
４……イメージセンサ、６……検査タイミング用光電ス
イッチ、10……容器、16……遅延回路、17……フリップ
フロップ、19……比較回路、18……カウンタ回路、21…
…白熱電球、24……凸レンズ。
Claims (3)
- 【請求項１】密封容器を、検査位置を通過するように搬
送する搬送手段と、この検査位置へ密封容器が搬送され
たことを検知する容器検知手段と、この容器検知手段に
よる検知後、所定時間だけ検査時間設定信号を出力する
回路と、上記検査位置の密封容器の蓋面にほぼ平行光線
を斜めに照射する光源と、その蓋面からの反射光線を投
影されるスクリーンと、このスクリーン上の像を検知す
るイメージセンサと、該イメージセンサの出力を上記検
査時間設定信号による所定時間中繰り返し走査する走査
回路と、その走査出力を基準値と比較し、走査出力が基
準値を越えたか否かで良否判定をする比較回路とを備え
たことを特徴とする密封容器の真空度検査装置。 - 【請求項２】前記スクリーンの位置を位置調整手段によ
って調整可能にしたことを特徴とする実用新案登録請求
の範囲第１項に記載の密封容器の真空度検査装置。 - 【請求項３】前記光源が大口径レンズを含み、前記密封
容器の蓋面を含む領域を、ほぼ平行光線によって照射す
ることを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項に記
載の密封容器の真空度検査装置。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987044292U JPH0613444Y2 (ja) | 1987-03-27 | 1987-03-27 | 密封容器の真空度検査装置 |
| US07/171,083 US4850696A (en) | 1987-03-27 | 1988-03-21 | Vacuum degree inspecting device for sealed up vessel |
| DE8888302503T DE3872906T2 (de) | 1987-03-27 | 1988-03-22 | Einrichtung zum ueberpruefen der groesse des vakuums in einem geschlossenen behaelter. |
| EP88302503A EP0284347B1 (en) | 1987-03-27 | 1988-03-22 | A device for inspecting the degree of vacuum in a sealed vessel |
| AU13782/88A AU606927B2 (en) | 1987-03-27 | 1988-03-28 | Vacuum degree inspecting device for sealed up vessel |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987044292U JPH0613444Y2 (ja) | 1987-03-27 | 1987-03-27 | 密封容器の真空度検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63153109U JPS63153109U (ja) | 1988-10-07 |
| JPH0613444Y2 true JPH0613444Y2 (ja) | 1994-04-06 |
Family
ID=30861963
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987044292U Expired - Lifetime JPH0613444Y2 (ja) | 1987-03-27 | 1987-03-27 | 密封容器の真空度検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0613444Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006017711A (ja) * | 2004-06-29 | 2006-01-19 | Alcon Inc | 非侵襲光学圧力センサ |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS517063A (en) * | 1974-07-09 | 1976-01-21 | Japan Steel Works Ltd | Purasuchitsukudaino hennikujidoshuseisochi |
| JPS5862506A (ja) * | 1981-10-12 | 1983-04-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 表面微小検査装置 |
-
1987
- 1987-03-27 JP JP1987044292U patent/JPH0613444Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006017711A (ja) * | 2004-06-29 | 2006-01-19 | Alcon Inc | 非侵襲光学圧力センサ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63153109U (ja) | 1988-10-07 |
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