JPH06132167A - Manufacture of solid electrolytic capacitor - Google Patents

Manufacture of solid electrolytic capacitor

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JPH06132167A
JPH06132167A JP4278920A JP27892092A JPH06132167A JP H06132167 A JPH06132167 A JP H06132167A JP 4278920 A JP4278920 A JP 4278920A JP 27892092 A JP27892092 A JP 27892092A JP H06132167 A JPH06132167 A JP H06132167A
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aqueous solution
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manganese nitrate
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守 山上
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Abstract

PURPOSE:To provide a method of manufacturing a solid electrolytic capacitor which can simplify the process of forming a manganese dioxide layer, and can form it equally, and reduce a leak current. CONSTITUTION:An anode element is made by molding metallic powder and sintering it, and an oxide film is made around the metallic powder and the anode element, and then the anode element 1 is dipped in manganese nitrate aqueous solution of low concentration, and then it is dried at high temperature, and next, it is dipped in manganese nitrate aqueous solution (liquid temperature is 80-130 deg.C) 7 of high concentration, and then it is dried at high temperature so as to thermally decompose it, thus a manganese dioxide layer 5 is formed. Furthermore, a graphite layer and a silver layer are made around it.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は固体電解コンデンサの製
法に関する。さらに詳しくは、二酸化マンガン層の形成
工程を簡単にするとともに漏れ電流を低減することがで
きる固体電解コンデンサの製法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a solid electrolytic capacitor. More specifically, the present invention relates to a method for manufacturing a solid electrolytic capacitor that can simplify the process of forming a manganese dioxide layer and reduce the leakage current.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来より知られている固体電解コンデン
サは、つぎのように製造される。
2. Description of the Related Art A conventionally known solid electrolytic capacitor is manufactured as follows.

【0003】まず、タンタル、アルミニウム、ニオブな
どの金属粉末を成形し焼結して陽極素子を形成する。つ
いで、陽極酸化などにより、前記金属粉末の周囲に酸化
皮膜を形成する。ついで、硝酸マンガン水溶液に前記酸
化皮膜の形成された陽極素子を浸漬させ、引き出して20
0 〜400 ℃で熱分解する。これを多数回繰り返し、陽極
素子内部の金属粉末周囲の前記酸化皮膜上に二酸化マン
ガン層を形成する。そののち、陽極素子の周囲に電極の
ためのグラファイト層および銀層などからなる金属層を
形成し、固体電解コンデンサが製造される。
First, a metal powder of tantalum, aluminum, niobium or the like is molded and sintered to form an anode element. Then, an oxide film is formed around the metal powder by anodic oxidation or the like. Then, the anode element on which the oxide film is formed is immersed in an aqueous solution of manganese nitrate and pulled out to
Pyrolyzes at 0 to 400 ℃. This is repeated many times to form a manganese dioxide layer on the oxide film around the metal powder inside the anode element. After that, a metal layer composed of a graphite layer for electrodes and a silver layer is formed around the anode element to manufacture a solid electrolytic capacitor.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかし、前記二酸化マ
ンガン層形成工程では、焼結された金属粉末の周囲に均
一かつ一定厚さの二酸化マンガン層を形成するために、
硝酸マンガン水溶液への浸漬、引き上げ後の熱分解を多
数回繰り返さなければならない。そのため、陽極酸化膜
が熱劣化を起こし、漏れ電流が増大する。また、前記熱
分解の工数が増大するため、コストアップになるという
問題もある。
However, in the manganese dioxide layer forming step, in order to form a manganese dioxide layer having a uniform and constant thickness around the sintered metal powder,
Immersion in a manganese nitrate aqueous solution and thermal decomposition after pulling must be repeated many times. Therefore, the anodic oxide film is thermally deteriorated and the leakage current increases. Further, there is a problem in that the cost is increased because the man-hour of the thermal decomposition increases.

【0005】また、初めから高濃度の硝酸マンガン溶液
を用いると、二酸化マンガン層が陽極素子の外部表面を
覆ってしまい多数回繰り返しても陽極素子内部へのしみ
込みが阻止されてしまう。このため、酸化膜の表面に形
成される二酸化マンガン層は酸化膜を完全に覆うことが
できなくなり、コンデンサ形成後の静電容量の減少また
は誘電正接損失の増大などの問題が生じ、歩留まりまた
は品質の低下をもたらす。
Further, when a high-concentration manganese nitrate solution is used from the beginning, the manganese dioxide layer covers the outer surface of the anode element and prevents penetration into the anode element even if it is repeated many times. For this reason, the manganese dioxide layer formed on the surface of the oxide film cannot completely cover the oxide film, which causes problems such as a decrease in capacitance after capacitor formation or an increase in loss tangent loss. Bring about a decline.

【0006】本発明は、かかる問題を解消し、陽極素子
内部への均一かつ一定厚さの二酸化マンガン層形成に必
要な熱分解工程の回数を少なくすることができ、漏れ電
流を低減することができる固体電解コンデンサの製法を
提供することを目的とする。
The present invention solves such a problem, can reduce the number of thermal decomposition steps required for forming a uniform and constant-thickness manganese dioxide layer inside the anode element, and can reduce leakage current. An object of the present invention is to provide a method for producing a solid electrolytic capacitor that can be manufactured.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明の固体電解コンデ
ンサの製法は、(a)金属粉末を成形して焼結すること
により、陽極素子を形成する工程、(b)前記金属粉末
および陽極素子の周囲に酸化皮膜を形成する工程、
(c)前記酸化皮膜上に二酸化マンガン層を形成する工
程、および(d)前記陽極素子の周囲に金属層を形成す
る工程からなる固体電解コンデンサの製法であって、前
記二酸化マンガン層の形成工程を、(e)水または低濃
度の硝酸マンガン水溶液に前記陽極素子を浸漬したのち
環境温度(たとえば0〜60℃)から昇温して表面を乾燥
させ、(f)そののち、高濃度の硝酸マンガン水溶液に
前記陽極素子を浸漬したのち環境温度(たとえば0〜60
℃)から昇温して前記高濃度の硝酸マンガン水溶液を前
記陽極素子内に浸透させ、(g)さらに昇温して熱分解
することにより前記陽極素子内に二酸化マンガン層を形
成することを特徴としている。
The method for producing a solid electrolytic capacitor according to the present invention comprises: (a) a step of forming an anode element by molding and sintering a metal powder; (b) the metal powder and the anode element. Forming an oxide film around the
A method for producing a solid electrolytic capacitor, comprising the steps of (c) forming a manganese dioxide layer on the oxide film, and (d) forming a metal layer around the anode element, wherein the manganese dioxide layer is formed. (E) After immersing the anode element in water or a low-concentration aqueous solution of manganese nitrate, the temperature is raised from ambient temperature (for example, 0 to 60 ° C.) to dry the surface, and (f) after that, high-concentration nitric acid is added. After immersing the anode element in a manganese aqueous solution, the ambient temperature (for example, 0-60
(G) to cause the high-concentration manganese nitrate aqueous solution to permeate into the anode element, and (g) further raise the temperature to pyrolyze to form a manganese dioxide layer in the anode element. I am trying.

【0008】また、前記(e)工程において前記陽極素
子の表面に付着させた水または低濃度の硝酸マンガン水
溶液の温度が80〜130 ℃になるように昇温し、前記の
(f)工程において前記陽極素子の表面に付着させた高
濃度の硝酸マンガン水溶液の温度が100 〜130 ℃になる
ように昇温することが好ましい。
Further, in the step (e), the temperature of the water or the low-concentration manganese nitrate aqueous solution adhered to the surface of the anode element is raised to 80 to 130 ° C., and in the step (f), It is preferable to raise the temperature of the high-concentration aqueous solution of manganese nitrate attached to the surface of the anode element to 100 to 130 ° C.

【0009】さらに、前記陽極素子の表面に熱風を吹き
付けるか、または前記陽極素子の表面を高温熱源に短時
間さらして昇温することが好ましい。
Further, it is preferable that the surface of the anode element is blown with hot air or the surface of the anode element is exposed to a high temperature heat source for a short time to raise the temperature.

【0010】[0010]

【作用】本発明の二酸化マンガン形成工程の方法によれ
ば、陽極素子を、まず水または低濃度の硝酸マンガン水
溶液に浸漬させ、昇温して乾燥させているため、水また
は低濃度の水溶液は内部に浸透し、陽極素子の表面のみ
が乾燥する。ついで、陽極素子を高濃度の硝酸マンガン
水溶液に浸漬し、再度昇温させているため、陽極素子内
部の水または低濃度の水溶液の水蒸気が蒸発して陽極素
子内部が外壁より低圧となる疑似的な真空状態になり、
表面に付着している硝酸マンガン水溶液が内部に吸い込
まれる。すなわち、水または低濃度の水溶液の方が高濃
度の水溶液より沸点が低く、周囲に付着した高濃度水溶
液より早く蒸発し、高濃度の硝酸マンガン水溶液が付着
していない上面などから蒸発し、陽極素子内部の粉末間
に空隙が生じ、周囲に付着された高濃度の硝酸マンガン
水溶液が吸い込まれる。そののち、熱分解することによ
り、均一かつ一定厚さの二酸化マンガン層を形成でき
る。
According to the method of the manganese dioxide forming step of the present invention, the anode element is first immersed in water or a low-concentration manganese nitrate aqueous solution, and then heated to dryness. It penetrates inside and only the surface of the anode element dries. Then, since the anode element is immersed in a high-concentration manganese nitrate aqueous solution and heated again, the water inside the anode element or the water vapor of the low-concentration aqueous solution evaporates and the inside of the anode element becomes a pressure lower than the outer wall. To a simple vacuum,
The manganese nitrate aqueous solution adhering to the surface is sucked inside. That is, water or a low-concentration aqueous solution has a lower boiling point than a high-concentration aqueous solution, evaporates earlier than the high-concentration aqueous solution adhering to the surroundings, and a high-concentration manganese nitrate aqueous solution evaporates from the upper surface etc. Voids are generated between the powders inside the element, and the high-concentration manganese nitrate aqueous solution attached to the periphery is sucked. After that, the manganese dioxide layer having a uniform and constant thickness can be formed by thermal decomposition.

【0011】[0011]

【実施例】つぎに図面を参照しながら、本発明の固体電
解コンデンサの製法について説明する。
The method for producing the solid electrolytic capacitor of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0012】図1は、本発明の一実施例であるタンタル
電解コンデンサの製造工程を示す説明図、図2は図1の
製造工程における二酸化マンガン層形成工程を示す説明
図である。
FIG. 1 is an explanatory view showing a manufacturing process of a tantalum electrolytic capacitor which is one embodiment of the present invention, and FIG. 2 is an explanatory view showing a manganese dioxide layer forming process in the manufacturing process of FIG.

【0013】まず、金属粉末を成形して焼結することに
より、陽極素子1を形成する(図1(a)参照)。具体
例としては、タンタル粉末を一辺1mm程度の直方体状
に成形し、その上面から内部にワイヤ2を埋め込んだの
ち、焼結することにより陽極素子1を形成する。
First, the anode element 1 is formed by molding and sintering metal powder (see FIG. 1A). As a specific example, the anode element 1 is formed by molding tantalum powder into a rectangular parallelepiped shape having a side length of about 1 mm, embedding the wire 2 from the upper surface thereof, and then sintering the wire 2.

【0014】つぎに、前記金属粉末および陽極素子1の
周囲に酸化皮膜3を形成する(図1(b)参照)。具体
例としては、陽極素子1を0.1 重量%(以下、単に%と
表示する)リン酸水溶液4に浸漬し、20〜100 Vで、2
〜3時間の陽極酸化を行うことにより、陽極素子の表面
およびその内部の金属粉末の表面、ならびにワイヤ2の
一部表面に酸化皮膜3、すなわち五酸化タンタル(Ta
2 5 )膜を形成する。
Next, an oxide film 3 is formed around the metal powder and the anode element 1 (see FIG. 1 (b)). As a specific example, the anode element 1 is dipped in a 0.1 wt% (hereinafter, simply referred to as%) phosphoric acid aqueous solution 4 and the voltage is set to 20 to 100 V for 2 seconds.
By performing anodic oxidation for about 3 hours, the oxide film 3, that is, tantalum pentoxide (Ta) is formed on the surface of the anode element, the surface of the metal powder inside the anode element, and a part of the surface of the wire 2.
2 O 5 ) film is formed.

【0015】つぎに、前記酸化皮膜3上に二酸化マンガ
ン層5を形成する(図1(c)、(d)参照)。この二
酸化マンガン層5の形成法は、環境温度(たとえば0〜
60℃)で水または低濃度の硝酸マンガン水溶液6に前記
陽極素子1を浸漬したのち昇温させて表面を乾燥し(図
2(a)、(b)参照)、ついで環境温度(たとえば0
〜60℃)で高濃度の硝酸マンガン水溶液7に前記陽極素
子1を浸漬したのち昇温し、前記高濃度の硝酸マンガン
水溶液を前記陽極素子内に浸透させる(図2(c)、
(d)参照)。さらに昇温して熱分解することにより二
酸化マンガン層5を形成する(図2(e)参照)。ここ
で低濃度の硝酸マンガン水溶液とは、濃度が30%程度以
下が好ましく、高濃度の硝酸マンガン水溶液とは、55〜
78%程度であることが好ましい。
Next, a manganese dioxide layer 5 is formed on the oxide film 3 (see FIGS. 1 (c) and 1 (d)). This manganese dioxide layer 5 is formed at an ambient temperature (for example, 0 to
The anode element 1 is immersed in water or a low-concentration manganese nitrate aqueous solution 6 at 60 ° C.) and then heated to dry the surface (see FIGS. 2 (a) and 2 (b)), and then at ambient temperature (for example, 0 ° C.).
The anode element 1 is immersed in a high-concentration manganese nitrate aqueous solution 7 at -60 ° C.) and then heated to permeate the high-concentration manganese nitrate aqueous solution into the anode element (FIG. 2C).
(See (d)). The manganese dioxide layer 5 is formed by further raising the temperature and thermally decomposing (see FIG. 2E). Here, the low-concentration manganese nitrate aqueous solution preferably has a concentration of about 30% or less, and the high-concentration manganese nitrate aqueous solution is 55-
It is preferably about 78%.

【0016】また、陽極素子を昇温させる手段として
は、たとえば100 〜195 ℃程度の熱風を吹きつけて熱変
換をよくし、短時間で昇温させたり、近赤外線ランプ、
遠赤外線ヒータ、レーザなどの高温熱照射源に短時間さ
らして昇温させる手段をあげることができる。このよう
な熱風下または高温雰囲気下におくことにより、陽極素
子の表面に付着した水または水溶液の温度を80〜130 ℃
程度に短時間で昇温でき、水または低濃度の硝酸マンガ
ン水溶液を付着したのちの昇温では水または低濃度の硝
酸マンガン水溶液が陽極素子1内部の粉末間の間隙に浸
透すると共に、陽極素子1の表面は乾燥する。また、高
濃度の硝酸マンガン水溶液を陽極素子1の側壁周囲に付
着したのちの昇温では、陽極素子1内部に浸透した水ま
たは低濃度の硝酸マンガン水溶液の方が、陽極素子1の
側壁周囲に付着した高濃度の硝酸マンガン水溶液より沸
点が低く蒸発し易いため、先に蒸発し、陽極素子1の上
面の高濃度硝酸マンガン水溶液が付着していない部分な
どから蒸気が抜けて陽極素子1の内部が擬似真空状態に
なり、側壁周囲に付着した高濃度の硝酸マンガン水溶液
が陽極素子1の内部に吸い込まれる。この際、硝酸マン
ガン水溶液が135 ℃以上に昇温されると、陽極素子1の
表面に固化物が付着して、そののちの硝酸マンガン水溶
液が陽極素子1の内部に浸透するのを阻止するため、と
くに高温雰囲気下にさらすばあいは時間制御を充分に行
って温度が上り過ぎないようにする必要がある。
As a means for raising the temperature of the anode element, for example, a hot air of about 100 to 195 ° C. is blown to improve the heat conversion to raise the temperature in a short time, or a near infrared lamp,
Means for raising the temperature by exposing it to a high-temperature heat irradiation source such as a far-infrared heater or a laser for a short time can be used. By placing in such hot air or high temperature atmosphere, the temperature of water or aqueous solution adhering to the surface of the anode element is 80 to 130 ° C.
The temperature can be raised in a short time, and after the water or the low-concentration manganese nitrate aqueous solution is deposited, the water or the low-concentration manganese nitrate aqueous solution permeates into the gaps between the powders inside the anode element 1 and the anode element The surface of 1 is dried. Further, when the high-concentration manganese nitrate aqueous solution is attached to the periphery of the side wall of the anode element 1, the water permeated into the inside of the anode element 1 or the low-concentration manganese nitrate aqueous solution is deposited around the side wall of the anode element 1. Since the boiling point is lower than that of the adhered high-concentration manganese nitrate aqueous solution and it is likely to evaporate, the vapor evaporates first, and the vapor escapes from a portion of the upper surface of the anode element 1 to which the high-concentration manganese nitrate aqueous solution is not adhered, so Becomes a pseudo-vacuum state, and the high-concentration manganese nitrate aqueous solution adhering to the periphery of the side wall is sucked into the anode element 1. At this time, when the manganese nitrate aqueous solution is heated to 135 ° C. or higher, the solidified substance adheres to the surface of the anode element 1 to prevent the subsequent manganese nitrate aqueous solution from penetrating into the anode element 1. Especially, when exposed to a high temperature atmosphere, it is necessary to sufficiently control the time so that the temperature does not rise excessively.

【0017】前述の熱風を吹きつけて昇温するばあいは
風速が大きい程短時間で昇温させることができ、1mm程
度のスリット幅から熱風を吹き出させることにより、比
較的小さい圧縮力で大きい風速をうることができる。風
速と空気温度と陽極素子表面の付着物の温度上昇時間と
のあいだには相互関係が存在する。たとえば、100 ℃の
空気を30m/秒の風速で吹きつけることにより、たとえ
ば25℃の雰囲気下で陽極素子表面の付着物の温度を100
〜130 ℃に上昇させるのに約5秒間要し、195℃の空気
を10m/秒の風速で吹きつけても同様に約5秒程度で10
0 〜130 ℃に昇温させられる。
When the above-mentioned hot air is blown to raise the temperature, the higher the wind speed is, the shorter the temperature can be raised, and by blowing out the hot air from the slit width of about 1 mm, a relatively small compression force is applied. You can get the wind speed. There is a mutual relationship between the wind speed, the air temperature, and the temperature rise time of the deposit on the surface of the anode element. For example, by blowing air at 100 ° C at a wind speed of 30 m / sec, the temperature of the deposits on the surface of the anode element becomes 100 at 100 ° C in an atmosphere of 25 ° C.
It takes about 5 seconds to raise the temperature to ~ 130 ℃, and even if you blow air at 195 ℃ at a wind speed of 10 m / s, it will take about 10 seconds in about 5 seconds.
The temperature can be raised to 0 to 130 ° C.

【0018】また、高温熱照射源によりたとえば25℃か
ら昇温させるばあいには、300 〜900 ℃の雰囲気下に0.
5(900 ℃のばあい)〜5(300 ℃のばあい)秒程度さら
すことにより、陽極素子1の外周壁に付着した水溶液の
温度が100 〜130 ℃になる。なお、600 〜800 ℃で1〜
2秒間さらすのがとくに好ましい。できるだけ短時間で
100 ℃近辺に昇温させることが、陽極素子内部に水溶液
を浸透させるのに効果があり、また逆に温度を上げ過ぎ
ると硝酸マンガンが熱分解して生成物が素子表面に付着
し、水溶液の浸透を阻止するからである。
When the temperature is raised from, for example, 25 ° C. by a high-temperature heat irradiation source, the temperature is reduced to 0.
The temperature of the aqueous solution adhering to the outer peripheral wall of the anode element 1 becomes 100 to 130 ° C. by exposing it for 5 (900 ° C.) to 5 (300 ° C.) seconds. In addition, 1 to 600-800 ℃
Exposure for 2 seconds is particularly preferred. In the shortest possible time
Increasing the temperature to around 100 ° C is effective in permeating the aqueous solution into the anode element. Conversely, if the temperature is too high, manganese nitrate is thermally decomposed and the product adheres to the element surface, This is because it blocks penetration.

【0019】具体例としては、25℃の雰囲気下で酸化皮
膜3を有する陽極素子1を約1秒間水に浸漬し、これを
近赤外線ランプで照射して約800 ℃の雰囲気下で約1秒
間乾燥したのち、濃度75%の硝酸マンガン水溶液に約1
秒間浸漬させ、引き上げたのち、再び約800 ℃雰囲気下
で約1秒間加熱した。さらに、230 ℃の分解炉内で5分
間分解させた。この工程を3回繰り返したのち、電解二
酸化マンガンの微細粒子(平均0.2 μm)を濃度64%の
硝酸マンガン水溶液に混合してなる分散液中に陽極素子
1を浸漬し、230 ℃にて分解させ、陽極素子の外周壁に
二酸化マンガン層5を形成する。前記条件は分解工程を
3回繰り返すばあいの条件であり、繰り返す回数が異な
れば、条件も変る。
As a specific example, the anode element 1 having the oxide film 3 is immersed in water for about 1 second under an atmosphere of 25 ° C., and this is irradiated with a near infrared ray lamp for about 1 second under an atmosphere of about 800 ° C. After drying, it is about 1 in a 75% strength manganese nitrate aqueous solution.
After being soaked for 2 seconds, pulled up, and again heated in an atmosphere of about 800 ° C. for about 1 second. Further, it was decomposed in a decomposition furnace at 230 ° C. for 5 minutes. After repeating this process three times, the anode element 1 is immersed in a dispersion liquid prepared by mixing fine particles of electrolytic manganese dioxide (average 0.2 μm) with a 64% concentration aqueous solution of manganese nitrate, and decomposed at 230 ° C. A manganese dioxide layer 5 is formed on the outer peripheral wall of the anode element. The above conditions are conditions when the decomposition step is repeated three times, and the conditions also change when the number of repetitions is different.

【0020】ついで、前記陽極素子1の周囲に金属層を
形成する(図1(e)参照)。
Next, a metal layer is formed around the anode element 1 (see FIG. 1 (e)).

【0021】具体例としては、グラファイト分散液また
はそのペースト内に陽極素子1を上面が漬からない程度
の深さで浸漬し、焼成してグラファイト層9を電極下地
層として形成した。さらに、えられた陽極素子1を銀含
有液またはそのペースト内に上面が漬からない程度の深
さで浸漬したのち、乾燥して銀層10を電極外層として形
成した。前記電極下地層となるグラファイト層9および
電極外層となる銀層10は、コンデンサの一方の電極とな
る部分である。このばあい、銀層10に代えてNiメッキ
層を電極外層に採用することもできる。なお、他方の電
極はワイヤ2である。ついで、陽極、陰極双方の外部リ
ード端子を接続し、エポキシ樹脂を用いて外装を行った
(図示せず)。
As a specific example, the anode element 1 was immersed in a graphite dispersion liquid or a paste thereof at a depth such that the upper surface was not soaked, and fired to form a graphite layer 9 as an electrode underlayer. Further, the obtained anode element 1 was immersed in a silver-containing liquid or its paste to a depth such that the upper surface was not soaked, and then dried to form a silver layer 10 as an electrode outer layer. The graphite layer 9 serving as the electrode underlayer and the silver layer 10 serving as the electrode outer layer are portions that serve as one electrode of the capacitor. In this case, instead of the silver layer 10, a Ni plating layer can be used as the electrode outer layer. The other electrode is the wire 2. Next, external lead terminals of both the anode and the cathode were connected, and an epoxy resin was used for exterior packaging (not shown).

【0022】以上説明した実施例においてはタンタル粉
末からなる固体電解コンデンサを説明したが、タンタル
以外の、たとえばアルミニウムまたはニオブで固体電解
コンデンサを製造したばあいでも同様の効果がえられ
る。
Although the solid electrolytic capacitor made of tantalum powder has been described in the above-described embodiments, the same effect can be obtained when the solid electrolytic capacitor is made of a material other than tantalum, for example, aluminum or niobium.

【0023】つぎに、以下に示す前記実施例の製法によ
って製造された2種類の固体電解コンデンサ(No.1およ
びNo.2)および従来の固体電解コンデンサ(No.3)の特
性を比較検討する。
Next, characteristics of two types of solid electrolytic capacitors (No. 1 and No. 2) manufactured by the manufacturing method of the above-mentioned embodiment and a conventional solid electrolytic capacitor (No. 3) will be compared and examined. .

【0024】No.1:前記実施例の製法によって製造され
たタンタル電解コンデンサ、No.2:前記実施例の製法の
うち水の代わりに濃度20%の硝酸マンガン水溶液を用い
て製造されたタンタル電解コンデンサ、およびNo.3:従
来の製法によって製造されたタンタル電解コンデンサの
特性を比較する。結果は表1の通りである。なお、コン
デンサの仕様は4V、4.7 μFである。
No. 1: Tantalum electrolytic capacitor manufactured by the manufacturing method of the above embodiment, No. 2: Tantalum electrolysis manufactured by using a manganese nitrate aqueous solution having a concentration of 20% instead of water in the manufacturing method of the above embodiment. Capacitor, and No. 3: Compare the characteristics of tantalum electrolytic capacitors manufactured by the conventional manufacturing method. The results are shown in Table 1. The specifications of the capacitor are 4V and 4.7 μF.

【0025】[0025]

【表1】 [Table 1]

【0026】表1からわかるように、本発明の製法によ
って製造された実施例No.1および実施例No.2のコンデン
サは熱分解の回数が、従来の製法によって製造されたN
o.3のコンデンサよりも少なくて済むとともに、漏れ電
流も大幅に低減されていることがわかる。また、誘電正
接(損失係数)tanδも同様に低減している。一方、
耐電圧は従来例に比べて向上しているのがわかる。
As can be seen from Table 1, the capacitors of Example No. 1 and Example No. 2 produced by the production method of the present invention have the number of thermal decompositions of N produced by the conventional production method.
It can be seen that the number of capacitors is less than that of the o.3 capacitor and the leakage current is also greatly reduced. Similarly, the dielectric loss tangent (loss coefficient) tan δ is also reduced. on the other hand,
It can be seen that the withstand voltage is improved as compared with the conventional example.

【0027】[0027]

【発明の効果】本発明によれば、硝酸マンガン水溶液へ
の浸漬と熱分解の回数を少なくすることができるため、
工数が低減し、コストダウンを達成できると共に、充分
に硝酸マンガン水溶液を内部にしみ込ませることができ
る。さらに、これにともない、酸化皮膜の熱劣化を防ぐ
ことができ、漏れ電流を大幅に低減することができると
共に、内部まで充分に二酸化マンガン層が形成されてい
るため、高性能の固体電解コンデンサをうることができ
る。
According to the present invention, since the number of times of immersion in an aqueous solution of manganese nitrate and thermal decomposition can be reduced,
The man-hours can be reduced, the cost can be reduced, and the manganese nitrate aqueous solution can be sufficiently impregnated inside. Furthermore, along with this, the thermal deterioration of the oxide film can be prevented, the leakage current can be greatly reduced, and a manganese dioxide layer is sufficiently formed inside, so that a high-performance solid electrolytic capacitor can be obtained. You can get it.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施例であるタンタル電解コンデン
サの製造工程を示す説明図である。
FIG. 1 is an explanatory view showing a manufacturing process of a tantalum electrolytic capacitor which is an embodiment of the present invention.

【図2】図1の製造工程における二酸化マンガン層形成
工程を示す説明図である。
FIG. 2 is an explanatory view showing a manganese dioxide layer forming step in the manufacturing step of FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 陽極素子 3 酸化皮膜 5 二酸化マンガン層 6 低濃度の硝酸マンガン水溶液 7 高濃度の硝酸マンガン水溶液 9 グラファイト層 10 銀層 1 Anode element 3 Oxide film 5 Manganese dioxide layer 6 Low concentration manganese nitrate aqueous solution 7 High concentration manganese nitrate aqueous solution 9 Graphite layer 10 Silver layer

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 (a)金属粉末を成形して焼結すること
により、陽極素子を形成する工程、 (b)前記金属粉末および陽極素子の周囲に酸化皮膜を
形成する工程、 (c)前記酸化皮膜上に二酸化マンガン層を形成する工
程、および (d)前記陽極素子の周囲に金属層を形成する工程 からなる固体電解コンデンサの製法であって、 前記二酸化マンガン層の形成工程を、 (e)水または低濃度の硝酸マンガン水溶液に前記陽極
素子を浸漬したのち昇温して表面を乾燥させ、 (f)そののち、高濃度の硝酸マンガン水溶液に前記陽
極素子を浸漬したのち昇温して前記高濃度の硝酸マンガ
ン水溶液を前記陽極素子内に浸透させ、 (g)さらに昇温して熱分解することにより前記陽極素
子内に二酸化マンガン層を形成することを特徴とする固
体電解コンデンサの製法。
1. A step of forming an anode element by molding and sintering metal powder, and a step of forming an oxide film around the metal powder and the anode element. A method for manufacturing a solid electrolytic capacitor, comprising: a step of forming a manganese dioxide layer on an oxide film; and (d) a step of forming a metal layer around the anode element. ) Immersing the anode element in water or a low-concentration manganese nitrate aqueous solution and then raising the temperature to dry the surface. (F) After that, immersing the positive electrode element in a high-concentration manganese nitrate aqueous solution and then raising the temperature. Solid electrolyte, wherein a manganese dioxide layer is formed in the anode element by infiltrating the anode element with the high-concentration aqueous solution of manganese nitrate, and (g) further heating to thermally decompose the anode element. Preparation of the capacitor.
【請求項2】 請求項1記載の(e)工程において前記
陽極素子の表面に付着させた水または低濃度の硝酸マン
ガン水溶液の温度が80〜130 ℃になるように昇温し、請
求項1記載の(f)工程において前記陽極素子の表面に
付着させた高濃度の硝酸マンガン水溶液の温度が100 〜
130 ℃になるように昇温することを特徴とする請求項1
記載の固体電解コンデンサの製法。
2. The step (e) according to claim 1, wherein the temperature of the water or the low concentration manganese nitrate aqueous solution adhered to the surface of the anode element is raised to 80 to 130 ° C., In step (f), the temperature of the high-concentration manganese nitrate aqueous solution attached to the surface of the anode element is 100 to
The temperature is raised to 130 ° C. 3.
A method for producing the solid electrolytic capacitor described.
【請求項3】 前記前記陽極素子の表面に熱風を吹き付
けて昇温することを特徴とする請求項1または2記載の
固体電解コンデンサの製法。
3. The method for producing a solid electrolytic capacitor according to claim 1, wherein hot air is blown onto the surface of the anode element to raise the temperature.
【請求項4】 前記陽極素子の表面を高温熱源に短時間
さらして昇温することを特徴とする請求項1または2記
載の固体電解コンデンサの製法。
4. The method for producing a solid electrolytic capacitor according to claim 1, wherein the surface of the anode element is exposed to a high temperature heat source for a short time to raise the temperature.
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