JPH0613133U - 組立式保温筒 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【構成】円盤状のシリカガラス板体の下側にリング状の
糸底及び上側にウエ−ハ支持ボ−トを載置するシリカガ
ラス円筒体が一体に形成された部材、該円筒体の内側に
挿入し得る円柱状シリカガラス発泡体及び該円筒体の外
側に嵌着される円筒状シリカガラス発泡体を組み合わせ
て成る組立式保温筒。 【効果】本考案の三部構成の組立式保温筒は、個々の部
材の製造が容易で組立操作性にも優れ、しかも断熱保温
性及びボ−ト支持強度が優れているので大量の大形ウエ
−ハを熱処理することができ、その寿命も長く工業的価
値は極めて高い。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、シリコンウエ−ハを炉芯管内で熱処理するための縦型熱処理装置に おけるウエ−ハ支持ボ−トを載置する保温筒に関し、特に、熱処理領域の保温断 熱性と装置シ−リング部に対する遮熱性に優れ、且つ高温においてもウエ−ハ載 置ボ−トを支持する充分な強度を有する保温筒に関する。

【０００２】

【従来の技術】

保温筒は、縦型熱処理装置において、炉芯管内の上部熱処理領域の保温断熱性 と装置シ−リング部に対する遮熱性が要求されると共に、ウエ−ハ載置ボ−トを 支持し得る強度が要求される。かかる要求性能に沿って、従来、保温筒の内部に 長繊維状の石英ガラスウ−ルを充填したものが使用された。しかし、このような 保温筒は、ガス処理時に保温筒内部が爆発しないように石英ガラスウ−ルを充填 した後、保温筒内部が真空引きされる。

【０００３】 このような構造の保温筒は、上記のように、爆発防止のための真空引きをしな がら溶接封止加工が行われる。しかし、この溶接作業がなかなか厄介で、熟練を 要するだけでなく、真空引きをしてもなお爆発の危険は解消されず、また保温筒 内が真空にされているため高温時の強度は低いという実際上の問題があり、製作 及び操作の点で工業的に著しく不利である。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

従って、本考案の課題は、そのような真空引きをする必要がなく、製造及び組 立操作性の優れた保温筒を提供することにある。また他の課題は、断熱保温性及 びボ−ト支持強度の優れた実用的に望ましい保温筒を提供することにある。 本考案者は、上記課題に関して試作研究を重ね、上記課題を効果的に克服した 優れた実用性を有する保温筒を開発した。

【０００５】

【課題を解決するための手段】

すなわち、本考案は、円盤状のシリカガラス板体の上側にウエ−ハ支持ボ−ト を載置するシリカガラス円筒体が一体に形成された部材、該円筒体の内径とほぼ 同じ外径を有し円筒体の長さの約１／２〜３／４、好ましくは約５／８程度の長 さを有する該円筒体の内側に挿入し得る円柱状シリカガラス多孔質体及びその円 筒体の外径とほぼ同じ内径を有し内側の円柱状シリカガラス多孔質体と同じ長さ を有する該円筒体の外側に嵌着される円筒状シリカガラス多孔質体を組み合わせ て成る組立式保温筒を要旨とするものである。

【０００６】 本考案の保温筒は、上記のようにシリカガラスの円盤状基板と円筒体との組合 せに成る板体部材と円柱状シリカガラス多孔質体と円筒状シリカガラス多孔質体 との組合せに成るものである。しかして、その円盤状シリカガラス円筒体は、例 えば、直径が150〜300mm程度，厚さが５〜15mm程度の透明な板材で、その上面に 同様の厚さのシリカガラスの円筒体が一体に取り付けられ、該円盤状基板の下面 には、通常、好ましくは支持脚としての糸底が一体に形成される。

【０００７】 しかし、その円筒体の上方部分は、かなりの高温に曝されるので、その円筒体 部分を耐熱温度の優れた炭化けい素製のパイプで構成させることが好ましく、そ の場合、例えば、炭化けい素パイプの下端縁は内側を切り欠き、シリカ円筒体の 上端縁は外側を切り欠いて相欠き状に嵌合一体化して一本のパイプとすることが できる。シリカガラス円筒体をかかる組合せ構成としたものは実用上特に望まし く、本考案はかかる組立式保温筒を包含する。

【０００８】 このようなシリカガラス板状部材は、実質的に透明なシリカガラスで構成させ ることがよく、特に、糸底とボ−ト支持用円筒体は、ウエ−ハボ−トを安定に支 持し得る充分な強度に形成させることが重要であって、リング状の糸底は保温筒 の安定性を高めるために、通常、上側の円筒体の径より充分大きくすることが望 ましい。

【０００９】 また、本考案の保温筒に用いられる円柱状シリカガラス多孔質体と円筒状シリ カガラス多孔質体は、その断熱保温性と高温における機械的強度を考慮すれば、 いずれも主として独立気泡から成るものがよく、見掛け密度は0.1〜１ｇ／cm³程 度のものが好ましい。多孔質体の密度が小さすぎると脆く崩れ易いのでダストの 原因となり、また大きすぎると重くて取扱性が低下するばかりでなく断熱保温性 も低下するので好ましくない。

【００１０】 上記円筒体の内側に挿入される円柱状シリカガラス多孔質体は、該円筒体内へ の挿入，引出しが可能で、該円筒体の内径に近いほぼ同じ外径に形成されるが、 その挿入，引出しを容易にするために、上面に操作用部材を取付けることができ る。また、その円柱状多孔質体は、その上面がボ−トに支持されたウエ−ハを加 熱する高温領域から若干下側に位置させることが好ましく通常、円筒体の高さの １／２〜３／４程度、特に約５／８程度にすることが実用的である。

【００１１】 更に、該円筒体の外側に適用される円筒状シリカガラス多孔質体は、その内径 が円筒体に着脱自在に嵌着し得るような円筒体の外径に可及的に近い内径に形成 されることがよく、また、その長さは、好ましくは内側の円柱状シリカガラス多 孔質体の高さと同じ程度に形成される。また、その厚さは、炉芯管の径と円筒体 の径の差及び見掛け比重と関連するが、操作に支障がない限り厚くすることが実 用的である。

【００１２】

【作用】

本考案の三部材で構成される組立式保温筒は、所定の状態に嵌着して組み立て るだけでよいから操作が極めて容易であり、しかもウエ−ハ加熱処理領域の保温 断熱性と装置シ−リング部に対する遮熱性及び強度に優れるので、極めて実用的 である。更に、これらの多孔質体は、同種の連続するウエ−ハの熱処理において 、その処理バッチごとに取り着けたり取り外したりすることなく、組立部材とし てそのまま使用することができるという利点を有する。

【００１３】

【実施例】

次に、添付図面により、本考案の組立式保温筒を更に具体例に説明する。 図１は、本考案の好ましい組立式保温筒の一例の縦断面図である。

【００１４】 図において、円盤状のシリカガラス板体１の下側にリング状の糸底２及び上側 にウエ−ハ支持ボ−トを載置するシリカガラス円筒体３が一体に取り付けられ、 その円筒体の上方部分は同一形状の炭化けい素円筒体４で形成され、相互に相欠 き状に嵌合一体化されている。かかるシリカガラス系板状体部材に、その円筒体 の高さの約５／８の高さを有する円柱状シリカ多孔質体５と円筒状シリカ多孔質 体６が円筒体３の内側及び外側にそれぞれ嵌着され組み立てられ、炭化けい素円 筒体４の上側にウエ−ハ載置ボ−ト（不図示）が保持される。

【００１５】

【考案の効果】

本考案の三部構成の組立式保温筒は、個々の部材の製造が容易で組立操作性に も優れ、しかも断熱保温性及びボ−ト支持強度が優れているので大量の大形ウエ −ハを熱処理することができるだけでなく、その寿命も長いので工業的価値は極 めて高い。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の組立式保温筒の一例の組立状態を示す
縦断面図である。

【図号の説明】

１ 円盤状シリカガラス板体 ２ リング状の糸底 ３ シリカガラス円筒体 ４ 炭化けい素円筒体 ５ 円柱状シリカ発泡体 ６ 円筒状シリカ発泡体

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】円盤状のシリカガラス板体の上側にウエ−
   ハ支持ボ−トを載置するシリカガラス円筒体が一体に形
   成された部材、該円筒体の内径とほぼ同じ外径を有し円
   筒体の長さの約１／２〜３／４の長さを有する該円筒体
   の内側に挿入し得る円柱状シリカガラス多孔質体及びそ
   の円筒体の外径とほぼ同じ内径を有し内側の円柱状シリ
   カガラス多孔質体と同じ長さを有する該円筒体の外側に
   嵌着される円筒状シリカガラス多孔質体を組み合わせて
   成る組立式保温筒。
2. 【請求項２】上記シリカガラス円筒体が、その一部分を
   炭化けい素パイプで形成した複合円筒体で構成された請
   求項１に記載の保温筒。