JPH06129884A - フルイディック流量計 - Google Patents
フルイディック流量計Info
- Publication number
- JPH06129884A JPH06129884A JP27685392A JP27685392A JPH06129884A JP H06129884 A JPH06129884 A JP H06129884A JP 27685392 A JP27685392 A JP 27685392A JP 27685392 A JP27685392 A JP 27685392A JP H06129884 A JPH06129884 A JP H06129884A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flow
- fluidic
- fluid
- sensor
- microflow sensor
- Prior art date
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- Pending
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- Measuring Volume Flow (AREA)
- Details Of Flowmeters (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 フルイディック流量計のスリット部に設置し
たマイクロフローセンサによる流れの乱れを整流し、フ
ルイディック振動に対する悪影響を防止する。 【構成】 フルイディック振動計の誘振子２がフルイデ
ィック振動を起こさない低流量の流体の流れを測定する
マイクロフローセンサをフルイディック振動計のスリッ
ト部４内に設けると共にこのスリット部４を通過する流
体の流れ方向にそって開口した複数個の開口スリットを
有する乱流抑制装置８をスリット部４内に設けた。
たマイクロフローセンサによる流れの乱れを整流し、フ
ルイディック振動に対する悪影響を防止する。 【構成】 フルイディック振動計の誘振子２がフルイデ
ィック振動を起こさない低流量の流体の流れを測定する
マイクロフローセンサをフルイディック振動計のスリッ
ト部４内に設けると共にこのスリット部４を通過する流
体の流れ方向にそって開口した複数個の開口スリットを
有する乱流抑制装置８をスリット部４内に設けた。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、気体や液体等の流体の
流量測定に用いられるフルイディック流量計に関する。
流量測定に用いられるフルイディック流量計に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、ガス等の流体の流量を測定する流
量計としては、流体振動（フルイディック振動）を計測
することにより流体の流量を測定するフルイディック流
量計が開発されている。なお、このようなフルイディッ
ク流量計は、流入した流体の流れを２次元的な流れに整
流するセットリングスペース、誘振子が設置されたフル
イディック振動室、セットリングスペースとフルイディ
ック振動室とを連通すると共にセットリングスペース内
から誘振子へ向けて流体を吹き出させるスリット部等に
よって形成されている。
量計としては、流体振動（フルイディック振動）を計測
することにより流体の流量を測定するフルイディック流
量計が開発されている。なお、このようなフルイディッ
ク流量計は、流入した流体の流れを２次元的な流れに整
流するセットリングスペース、誘振子が設置されたフル
イディック振動室、セットリングスペースとフルイディ
ック振動室とを連通すると共にセットリングスペース内
から誘振子へ向けて流体を吹き出させるスリット部等に
よって形成されている。
【０００３】しかし、このフルイディック流量計におい
ては、気体の流量が一定量以下となる低流量領域ではフ
ルイディック振動が発生せず、流量測定を行なうことが
できない。そこで、フルイディック流量計を用いて広範
囲（低流量領域から高流量領域）にわたる流量測定を行
なう場合には、低流量領域の流体の流れを測定するマイ
クロフローセンサをフルイディック流量計に組合わせて
いる。
ては、気体の流量が一定量以下となる低流量領域ではフ
ルイディック振動が発生せず、流量測定を行なうことが
できない。そこで、フルイディック流量計を用いて広範
囲（低流量領域から高流量領域）にわたる流量測定を行
なう場合には、低流量領域の流体の流れを測定するマイ
クロフローセンサをフルイディック流量計に組合わせて
いる。
【０００４】ここで、フルイディック流量計とマイクロ
フローセンサとの組合わせは、一般に、フルイディック
流量計におけるフルイディック振動室の前方にマイクロ
フローセンサを設置すること、即ち、測定する流体をフ
ルイディック振動室へ向けて吹き出させるスリット部内
にマイクロフローセンサを設置することが性能上有利で
ある。
フローセンサとの組合わせは、一般に、フルイディック
流量計におけるフルイディック振動室の前方にマイクロ
フローセンサを設置すること、即ち、測定する流体をフ
ルイディック振動室へ向けて吹き出させるスリット部内
にマイクロフローセンサを設置することが性能上有利で
ある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、スリット部
内にマイクロフローセンサを設置した場合には、このマ
イクロフローセンサの影響によって流体の流れが乱さ
れ、フルイディック振動に対して悪影響を及ぼす。具体
的には、マイクロフローセンサの設置前においてはフル
イディック振動が生ずる最低流量が６０〜１００リット
ル／時間であったのに対し、マイクロフローセンサの設
置後には１５０〜２１０リットル／時間となった。更
に、フルイディック流量計の特徴である流量に比例した
振動数出力が、高流量になるに従って比例関係における
直線性が悪くなった。
内にマイクロフローセンサを設置した場合には、このマ
イクロフローセンサの影響によって流体の流れが乱さ
れ、フルイディック振動に対して悪影響を及ぼす。具体
的には、マイクロフローセンサの設置前においてはフル
イディック振動が生ずる最低流量が６０〜１００リット
ル／時間であったのに対し、マイクロフローセンサの設
置後には１５０〜２１０リットル／時間となった。更
に、フルイディック流量計の特徴である流量に比例した
振動数出力が、高流量になるに従って比例関係における
直線性が悪くなった。
【０００６】また、マイクロフローセンサを測定個所
（流路内や管内等）へ設置するに当たり、マイクロフロ
ーセンサは高感度であるために設置した位置精度のバラ
ツキによって個々のマイクロフローセンサの感度がバラ
つくという問題がある。例えば、文献(IEEE TRANSACTIO
N ON ELECTRON DEVICES, VOL. ED-33, NO.10, OCTOBER
内の A Monolithic Gas FLOW Sensor with Polyimide a
s Thermal Insulator)に示された設置方式では、バラツ
キが発生するほかに量産性が劣り、また、管壁に穴をあ
けることで更に流体の流れを乱し、特に、フルイディッ
ク流量計に見られるようにマイクロフローセンサを設置
するスリット部が空間的制限を有する場合にはそれらの
問題がより大きくなる。さらに、マイクロフローセンサ
の発熱体に流体から持ち込まれるダストが付着すること
によりマイクロフローセンサの感度が非線形的に変化す
ることや、大流量時においてマイクロフローセンサが破
壊される危険性等の問題がある。
（流路内や管内等）へ設置するに当たり、マイクロフロ
ーセンサは高感度であるために設置した位置精度のバラ
ツキによって個々のマイクロフローセンサの感度がバラ
つくという問題がある。例えば、文献(IEEE TRANSACTIO
N ON ELECTRON DEVICES, VOL. ED-33, NO.10, OCTOBER
内の A Monolithic Gas FLOW Sensor with Polyimide a
s Thermal Insulator)に示された設置方式では、バラツ
キが発生するほかに量産性が劣り、また、管壁に穴をあ
けることで更に流体の流れを乱し、特に、フルイディッ
ク流量計に見られるようにマイクロフローセンサを設置
するスリット部が空間的制限を有する場合にはそれらの
問題がより大きくなる。さらに、マイクロフローセンサ
の発熱体に流体から持ち込まれるダストが付着すること
によりマイクロフローセンサの感度が非線形的に変化す
ることや、大流量時においてマイクロフローセンサが破
壊される危険性等の問題がある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
流入した流体の流れを２次元的な流れに整流するセット
リングスペースと、誘振子が設置されたフルイディック
振動室と、前記セットリングスペースと前記フルイディ
ック振動室とを連通すると共に前記セットリングスペー
ス内から前記誘振子へ向けて流体を吹き出させるスリッ
ト部とを有するフルイディック流量計において、前記誘
振子がフルイディック振動を起こさない低流量の流体の
流れを測定するマイクロフローセンサを前記スリット部
内に設けると共に前記スリット部を通過する流体の流れ
方向にそって開口した複数個の開口スリットを有する乱
流抑制装置を前記スリット部内に設けた。
流入した流体の流れを２次元的な流れに整流するセット
リングスペースと、誘振子が設置されたフルイディック
振動室と、前記セットリングスペースと前記フルイディ
ック振動室とを連通すると共に前記セットリングスペー
ス内から前記誘振子へ向けて流体を吹き出させるスリッ
ト部とを有するフルイディック流量計において、前記誘
振子がフルイディック振動を起こさない低流量の流体の
流れを測定するマイクロフローセンサを前記スリット部
内に設けると共に前記スリット部を通過する流体の流れ
方向にそって開口した複数個の開口スリットを有する乱
流抑制装置を前記スリット部内に設けた。
【０００８】請求項２記載の発明は、請求項１記載の発
明において、マイクロフローセンサを乱流抑制装置の開
口スリット内に設けた。
明において、マイクロフローセンサを乱流抑制装置の開
口スリット内に設けた。
【０００９】
【作用】請求項１記載の発明では、マイクロフローセン
サの周囲を通過することにより乱された流体の流れが、
乱流抑制装置の開口スリット内を通過することにより整
流される。
サの周囲を通過することにより乱された流体の流れが、
乱流抑制装置の開口スリット内を通過することにより整
流される。
【００１０】請求項２記載の発明では、マイクロフロー
センサの周囲を通過することにより乱された流体の流れ
が、乱流抑制装置の開口スリット内を通過することによ
り整流される。また、乱流抑制装置の開口スリット内に
マイクロフローセンサを設け、この乱流抑制装置をスリ
ット部に設けることにより、各フルイディック流量計に
おけるマイクロフローセンサの設置が容易になると共に
各フルイディック流量計におけるマイクロフローセンサ
の感度のバラツキが低減される。
センサの周囲を通過することにより乱された流体の流れ
が、乱流抑制装置の開口スリット内を通過することによ
り整流される。また、乱流抑制装置の開口スリット内に
マイクロフローセンサを設け、この乱流抑制装置をスリ
ット部に設けることにより、各フルイディック流量計に
おけるマイクロフローセンサの設置が容易になると共に
各フルイディック流量計におけるマイクロフローセンサ
の感度のバラツキが低減される。
【００１１】
【実施例】本発明の一実施例を図面に基づいて説明す
る。まず、図１はガスメータ等に使用されるガスの流量
を測定するフルイディック流量計を示した分解斜視図で
あり、流入したガス流を２次元的な流れに整流するセッ
トリングスペース１と、誘振子２が設置されたフルイデ
ィック振動室３と、これらのセットリングスペース１と
フルイディック振動室３とを連通すると共にセットリン
グスペース１から誘振子２へ向けてガス流を吹き出させ
るスリット部４とが形成されている。なお、前記セット
リングスペース１にはガス流入孔５を介してガス管（図
示せず）が接続され、前記フルイディック振動室３には
ガス流出孔６を介してガス管（図示せず）が接続されて
いる。
る。まず、図１はガスメータ等に使用されるガスの流量
を測定するフルイディック流量計を示した分解斜視図で
あり、流入したガス流を２次元的な流れに整流するセッ
トリングスペース１と、誘振子２が設置されたフルイデ
ィック振動室３と、これらのセットリングスペース１と
フルイディック振動室３とを連通すると共にセットリン
グスペース１から誘振子２へ向けてガス流を吹き出させ
るスリット部４とが形成されている。なお、前記セット
リングスペース１にはガス流入孔５を介してガス管（図
示せず）が接続され、前記フルイディック振動室３には
ガス流出孔６を介してガス管（図示せず）が接続されて
いる。
【００１２】つぎに、前記スリット部４内には、このス
リット部４を通過するガス流の流れ方向にそって開口し
た複数個の開口スリット７が形成された乱流抑制装置８
が装着され、一つの開口スリット７の内部にマイクロフ
ローセンサ９が設置されている。なお、前記開口スリッ
ト７の断面形状は、一般にハニカム構造として知られて
いる６回回転対称軸を有する形状に形成されている。ま
た、前記マイクロフローセンサ９は、流れるガスの流量
が一定量以下であるためにフルイディック振動が発生し
ない領域におけるガスの流量を測定するためのものであ
る。
リット部４を通過するガス流の流れ方向にそって開口し
た複数個の開口スリット７が形成された乱流抑制装置８
が装着され、一つの開口スリット７の内部にマイクロフ
ローセンサ９が設置されている。なお、前記開口スリッ
ト７の断面形状は、一般にハニカム構造として知られて
いる６回回転対称軸を有する形状に形成されている。ま
た、前記マイクロフローセンサ９は、流れるガスの流量
が一定量以下であるためにフルイディック振動が発生し
ない領域におけるガスの流量を測定するためのものであ
る。
【００１３】このような構成において、ガスの流量が一
定量以上である場合には、スリット部４を通過してフル
イディック振動室３内に吹き出したガスが誘振子２に当
たることによってこの誘振子２がガス流と直交する方向
へ振動するフルイディック振動が発生し、この振動数を
検出することによってガスの流量を測定することができ
る。一方、ガスの流量が一定量以下であるためにフルイ
ディック振動が発生しない場合には、マイクロフローセ
ンサ９からの検出結果によってガスの流量を測定するこ
とができる。
定量以上である場合には、スリット部４を通過してフル
イディック振動室３内に吹き出したガスが誘振子２に当
たることによってこの誘振子２がガス流と直交する方向
へ振動するフルイディック振動が発生し、この振動数を
検出することによってガスの流量を測定することができ
る。一方、ガスの流量が一定量以下であるためにフルイ
ディック振動が発生しない場合には、マイクロフローセ
ンサ９からの検出結果によってガスの流量を測定するこ
とができる。
【００１４】ここで、ガスがマイクロフローセンサ９の
周囲を通過することによってその流れが乱されるが、こ
の乱された流れが開口スリット７内を通過する過程で整
流される。従って、ガスの流れがマイクロフローセンサ
９により乱されてフルイディック振動に対して悪影響を
与えるということが防止される。具体的には、乱流抑制
装置８を設置した場合には、ガスの流量が６０〜８０リ
ットル／時間の低流量の領域においてフルイディック振
動の発生が確認された。さらに、ガスの流量とフルイデ
ィック振動数との比例関係の直線性が向上し、精度の高
い流量測定を行なえる。
周囲を通過することによってその流れが乱されるが、こ
の乱された流れが開口スリット７内を通過する過程で整
流される。従って、ガスの流れがマイクロフローセンサ
９により乱されてフルイディック振動に対して悪影響を
与えるということが防止される。具体的には、乱流抑制
装置８を設置した場合には、ガスの流量が６０〜８０リ
ットル／時間の低流量の領域においてフルイディック振
動の発生が確認された。さらに、ガスの流量とフルイデ
ィック振動数との比例関係の直線性が向上し、精度の高
い流量測定を行なえる。
【００１５】つぎに、マイクロフローセンサ９の取付け
に関しては、マイクロフローセンサ９を乱流抑制装置８
の開口スリット７内に取付け、この乱流抑制装置８をス
リット部４に取付けているため、マイクロフローセンサ
９をスリット部４に直接取付ける場合に比べて取付けを
容易に行なえ、しかも、取付精度が向上する。
に関しては、マイクロフローセンサ９を乱流抑制装置８
の開口スリット７内に取付け、この乱流抑制装置８をス
リット部４に取付けているため、マイクロフローセンサ
９をスリット部４に直接取付ける場合に比べて取付けを
容易に行なえ、しかも、取付精度が向上する。
【００１６】ここで、同一のマイクロフローセンサ９を
スリット部４に繰り返し直接取付けると共にそれらの出
力を測定して出力のバラツキを検出したところ、標準偏
差を平均値で割った値は８〜１０％の範囲となった。こ
れは、マイクロフローセンサ９が小型であること、更
に、フルイディック流量計の構造上空間的余裕が非常に
少ないことに起因し、通常の実装技術においては限界値
に相当していた。これに対し、本実施例のようにマイク
ロフローセンサ９を乱流抑制装置８の開口スリット７内
に予め取付け、この乱流抑制装置８をスリット部４に取
付けた場合には、マイクロフローセンサ９の取付けのバ
ラツキを無くすことができ、先に示した分布の評価“σ
／ｘ”（σ＝標準偏差，ｘ＝出力平均値）を、０．５〜
０．９％に抑えることができ、更に、マイクロフローセ
ンサ９をスリット部４に直接取付けた従来例に比べて取
付けが容易になると共に生産性も向上した。
スリット部４に繰り返し直接取付けると共にそれらの出
力を測定して出力のバラツキを検出したところ、標準偏
差を平均値で割った値は８〜１０％の範囲となった。こ
れは、マイクロフローセンサ９が小型であること、更
に、フルイディック流量計の構造上空間的余裕が非常に
少ないことに起因し、通常の実装技術においては限界値
に相当していた。これに対し、本実施例のようにマイク
ロフローセンサ９を乱流抑制装置８の開口スリット７内
に予め取付け、この乱流抑制装置８をスリット部４に取
付けた場合には、マイクロフローセンサ９の取付けのバ
ラツキを無くすことができ、先に示した分布の評価“σ
／ｘ”（σ＝標準偏差，ｘ＝出力平均値）を、０．５〜
０．９％に抑えることができ、更に、マイクロフローセ
ンサ９をスリット部４に直接取付けた従来例に比べて取
付けが容易になると共に生産性も向上した。
【００１７】また、この開口スリット７内にマイクロフ
ローセンサ９を取付けた結果、以下の特性も向上した。
第一に、フルイディック流量計を一般的なガスメータと
して使用する場合、０〜３０００リットル／時間の範囲
に渡って流量計測をしなければならず、最大流量におけ
るスリット部４でのガス流の流速は１４〜１６ｍ／ｓの
値をとる。この時、マイクロフローセンサ９を直接スリ
ット部４に取付けていた場合にはマイクロフローセンサ
９が機械的衝撃により破壊される危険性があるが、本実
施例のようにマイクロフローセンサ９を開口スリット７
内に取付けておくことによりこの機械的強度が向上し、
破壊という不良の発生がなくなった。第二に、開口スリ
ット７のハニカム構造の径を、スリット部４の間隔に対
し圧力損失が許される範囲内で最小に設計することによ
り、ガスから持ち込まれるダストが激減され、信頼性の
高いマイクロフローセンサ９が得られた。
ローセンサ９を取付けた結果、以下の特性も向上した。
第一に、フルイディック流量計を一般的なガスメータと
して使用する場合、０〜３０００リットル／時間の範囲
に渡って流量計測をしなければならず、最大流量におけ
るスリット部４でのガス流の流速は１４〜１６ｍ／ｓの
値をとる。この時、マイクロフローセンサ９を直接スリ
ット部４に取付けていた場合にはマイクロフローセンサ
９が機械的衝撃により破壊される危険性があるが、本実
施例のようにマイクロフローセンサ９を開口スリット７
内に取付けておくことによりこの機械的強度が向上し、
破壊という不良の発生がなくなった。第二に、開口スリ
ット７のハニカム構造の径を、スリット部４の間隔に対
し圧力損失が許される範囲内で最小に設計することによ
り、ガスから持ち込まれるダストが激減され、信頼性の
高いマイクロフローセンサ９が得られた。
【００１８】なお、本実施例においては、ハニカム構造
の開口スリット７を有する乱流抑制装置８を例に挙げて
説明したが、ガスの流れ方向にそって多数の開口を有す
る多孔性板構造の乱流抑制装置を用いてもよく、その開
口の断面形状は３回回転対称軸や４回回転対称軸や５回
回転対称軸等の多数回回転対称軸を有する形状であれば
よい。
の開口スリット７を有する乱流抑制装置８を例に挙げて
説明したが、ガスの流れ方向にそって多数の開口を有す
る多孔性板構造の乱流抑制装置を用いてもよく、その開
口の断面形状は３回回転対称軸や４回回転対称軸や５回
回転対称軸等の多数回回転対称軸を有する形状であれば
よい。
【００１９】
【発明の効果】請求項１記載の発明は上述のように、流
入した流体の流れを２次元的な流れに整流するセットリ
ングスペースと、誘振子が設置されたフルイディック振
動室と、前記セットリングスペースと前記フルイディッ
ク振動室とを連通すると共に前記セットリングスペース
内から前記誘振子へ向けて流体を吹き出させるスリット
部とを有するフルイディック流量計において、前記誘振
子がフルイディック振動を起こさない低流量の流体の流
れを測定するマイクロフローセンサを前記スリット部内
に設けると共に前記スリット部を通過する流体の流れ方
向にそって開口した複数個の開口スリットを有する乱流
抑制装置を前記スリット部内に設けたので、マイクロフ
ローセンサの周囲を通過することにより乱された流体の
流れを乱流抑制装置の開口スリット内を通過させること
により整流することができ、従って、フルイディック振
動に悪影響を与えることなくマイクロフローセンサの取
付けを行なうことができる等の効果を有する。
入した流体の流れを２次元的な流れに整流するセットリ
ングスペースと、誘振子が設置されたフルイディック振
動室と、前記セットリングスペースと前記フルイディッ
ク振動室とを連通すると共に前記セットリングスペース
内から前記誘振子へ向けて流体を吹き出させるスリット
部とを有するフルイディック流量計において、前記誘振
子がフルイディック振動を起こさない低流量の流体の流
れを測定するマイクロフローセンサを前記スリット部内
に設けると共に前記スリット部を通過する流体の流れ方
向にそって開口した複数個の開口スリットを有する乱流
抑制装置を前記スリット部内に設けたので、マイクロフ
ローセンサの周囲を通過することにより乱された流体の
流れを乱流抑制装置の開口スリット内を通過させること
により整流することができ、従って、フルイディック振
動に悪影響を与えることなくマイクロフローセンサの取
付けを行なうことができる等の効果を有する。
【００２０】請求項２記載の発明は上述のように、請求
項１記載の発明においてマイクロフローセンサを乱流抑
制装置の開口スリット内に設けたので、開口スリット内
にマイクロフローセンサを取付けた乱流抑制装置をスリ
ット部に取付けるため、スリット部内へのマイクロフロ
ーセンサの取付けを容易にすることができると共にスリ
ット部へのマイクロフローセンサの取付精度のバラツキ
を抑えてマイクロフローセンサの測定精度を向上させる
ことができ、さらに、マイクロフローセンサを開口スリ
ット内に取付けることによってマイクロフローセンサの
取付けの機械的強度を向上させることができると共にマ
イクロフローセンサのダスト対策を図ることができ、マ
イクロフローセンサによる測定精度をより一層向上させ
ることができる等の効果を有する。
項１記載の発明においてマイクロフローセンサを乱流抑
制装置の開口スリット内に設けたので、開口スリット内
にマイクロフローセンサを取付けた乱流抑制装置をスリ
ット部に取付けるため、スリット部内へのマイクロフロ
ーセンサの取付けを容易にすることができると共にスリ
ット部へのマイクロフローセンサの取付精度のバラツキ
を抑えてマイクロフローセンサの測定精度を向上させる
ことができ、さらに、マイクロフローセンサを開口スリ
ット内に取付けることによってマイクロフローセンサの
取付けの機械的強度を向上させることができると共にマ
イクロフローセンサのダスト対策を図ることができ、マ
イクロフローセンサによる測定精度をより一層向上させ
ることができる等の効果を有する。
【図１】本発明の一実施例を示した分解斜視図である。
【図２】平面図である。
【図３】乱流抑制装置を拡大して示した斜視図である。
１ セットリングスペース ２ 誘振子 ３ フルイディック振動室 ４ スリット部 ７ 開口スリット ８ 乱流抑制装置 ９ マイクロフローセンサ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 堀口 浩幸 東京都大田区中馬込１丁目３番６号 株式 会社リコー内 (72)発明者 田辺 誠 東京都大田区中馬込１丁目３番６号 株式 会社リコー内 (72)発明者 宮地 達生 東京都大田区中馬込１丁目３番６号 株式 会社リコー内 (72)発明者 大島 裕子 東京都大田区中馬込１丁目３番６号 株式 会社リコー内 (72)発明者 石井 良夫 東京都大田区中馬込１丁目３番６号 株式 会社リコー内 (72)発明者 恩田 浩 愛知県名古屋市東区泉二丁目28番24号 リ コーエレメックス株式会社内 (72)発明者 伊藤 茂行 愛知県名古屋市東区泉二丁目28番24号 リ コーエレメックス株式会社内 (72)発明者 高宮 敏行 東京都品川区南大井６−16−10 リコー精 器株式会社内
Claims (2)
- 【請求項１】 流入した流体の流れを２次元的な流れに
整流するセットリングスペースと、誘振子が設置された
フルイディック振動室と、前記セットリングスペースと
前記フルイディック振動室とを連通すると共に前記セッ
トリングスペース内から前記誘振子へ向けて流体を吹き
出させるスリット部とを有するフルイディック流量計に
おいて、前記誘振子がフルイディック振動を起こさない
低流量の流体の流れを測定するマイクロフローセンサを
前記スリット部内に設けると共に前記スリット部を通過
する流体の流れ方向にそって開口した複数個の開口スリ
ットを有する乱流抑制装置を前記スリット部内に設けた
ことを特徴とするフルイディック流量計。 - 【請求項２】 マイクロフローセンサを乱流抑制装置の
開口スリット内に設けたことを特徴とする請求項１記載
のフルイディック流量計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27685392A JPH06129884A (ja) | 1992-10-15 | 1992-10-15 | フルイディック流量計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27685392A JPH06129884A (ja) | 1992-10-15 | 1992-10-15 | フルイディック流量計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06129884A true JPH06129884A (ja) | 1994-05-13 |
Family
ID=17575325
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27685392A Pending JPH06129884A (ja) | 1992-10-15 | 1992-10-15 | フルイディック流量計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06129884A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999031467A1 (fr) * | 1997-12-15 | 1999-06-24 | Tokyo Gas Co., Ltd. | Debitmetre |
| JP2002310743A (ja) * | 2001-04-06 | 2002-10-23 | Ricoh Elemex Corp | 単箱式接線流羽根車式水道メータ |
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1992
- 1992-10-15 JP JP27685392A patent/JPH06129884A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999031467A1 (fr) * | 1997-12-15 | 1999-06-24 | Tokyo Gas Co., Ltd. | Debitmetre |
| US6446503B1 (en) | 1997-12-15 | 2002-09-10 | Tokyo Gas Co., Ltd. | Flow velocity measuring apparatus and methods using sensors for measuring larger and smaller flow quantities |
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