JPH061290U - Substrate transport container - Google Patents

Substrate transport container

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JPH061290U
JPH061290U JP4160492U JP4160492U JPH061290U JP H061290 U JPH061290 U JP H061290U JP 4160492 U JP4160492 U JP 4160492U JP 4160492 U JP4160492 U JP 4160492U JP H061290 U JPH061290 U JP H061290U
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Abstract

(57)【要約】 【構成】 合成樹脂により一体成形された中空本体の底
面に、テ−パの抜き勾配を水平状態にするための脚部を
一体成形している。 【効果】 本体底面に脚部を一体に形成することによ
り、最も平行度を必要とする基板係止部を設計変更せず
とも、基板を水平に載置することができる。したがっ
て、自動挿入を行なう時にもチッピングの発生あるいは
割れ等の発生を可及的に防止できる。しかも、その構造
も簡単である。
(57) [Summary] [Structure] On the bottom surface of the hollow main body integrally formed of synthetic resin, legs for making the draft of the taper horizontal are integrally formed. [Effects] By integrally forming the legs on the bottom surface of the main body, the substrate can be placed horizontally without changing the design of the substrate locking portion that requires the most parallelism. Therefore, even when automatic insertion is performed, chipping or cracking can be prevented as much as possible. Moreover, its structure is simple.

Description

【考案の詳細な説明】[Detailed description of the device]

【0001】[0001]

【考案の技術分野】[Technical Field of Device]

本考案はガラス基板あるいはウエハ等を数十枚程収容して運搬するための基板 用運搬容器に関するものである。 The present invention relates to a substrate transport container for storing and transporting several tens of glass substrates or wafers.

【0002】[0002]

【考案の技術的背景】[Technical background of the device]

一般に、液晶用ガラス基板などを製造工程等の都合で他の場所に移す場合には 、基板同士を互いに接触させないように、また、汚染を防止し安全に運搬できる ように、収容した状態で蓋が密に被冠される基板用運搬容器が使用される。 Generally, when moving glass substrates for liquid crystal etc. to another place due to the manufacturing process, etc., the lid should be in the state where it is housed so that the substrates do not come into contact with each other and contamination is prevented and they can be transported safely. A substrate carrier is used that is densely capped.

【0003】 このような基板用運搬容器は、通常、軽量で型成形が容易な合成樹脂により形 成され、基板は水平方向あるいは垂直方向に並べて収容される。 図11はこのように水平方向に開口が向く横置きタイプの従来の基板用運搬容 器10を示したものである。このような、基板を水平方向に配置する横置きタイ プの運搬容器を成形する場合には、中空本体1の開口部2が水平方向に形成され 、この開口部2から棚状に水平に形成された基板係止部3に一枚づつ基板が挿入 され、その後、蓋5が嵌合される。Such a substrate transport container is usually formed of a synthetic resin that is lightweight and easy to mold, and the substrates are housed side by side in the horizontal or vertical direction. FIG. 11 shows a conventional horizontal type transporting container 10 for a substrate whose opening is oriented in the horizontal direction. When molding such a horizontal-type transport container in which substrates are arranged horizontally, the opening 2 of the hollow body 1 is formed horizontally, and the opening 2 is formed horizontally in the shape of a shelf. The boards are inserted one by one into the board locking portions 3 thus formed, and then the lid 5 is fitted.

【0004】 このようにして運搬容器内に収められた多数の基板は、製造工程等のために汚 染環境から保護されて運搬され、水平状態で保管される。 また、基板を運搬容器10から取り出す場合には、真空吸着治具などで吸いつ けて自動あるいは手動で取り出される。A large number of substrates stored in the transport container in this manner are transported while being protected from the pollution environment for the manufacturing process and the like, and stored in a horizontal state. Further, when the substrate is taken out from the transport container 10, it is sucked by a vacuum suction jig or the like and taken out automatically or manually.

【0005】 ところで、このような運搬容器10では、基板を出し入れする際に、基板を水 平状態で操作しないと、基板の端面が基板係止部3に接触してしまい、基板係止 部3を削ってしまう虞がある。特に、ガラス基板等を出し入れする場合には、若 干の平行度がずれても、その端面により容易にチッピングが発生し、削り粉によ り基板表面が汚染される問題がある。このような不具合を考慮して、基板用運搬 容器10では基板係止部3が可及的に水平に形成されていることが好ましい。By the way, in such a transport container 10, when the board is taken in and out, if the board is not operated in a horizontal state, the end surface of the board will come into contact with the board locking portion 3 and the board locking portion 3 There is a risk of scraping. In particular, when a glass substrate or the like is put in or taken out, even if the parallelism of the young is deviated, there is a problem that chipping easily occurs due to the end face and the substrate surface is contaminated by shavings. In consideration of such a problem, it is preferable that the substrate locking portion 3 of the substrate transport container 10 is formed as horizontally as possible.

【0006】 しかしその一方で、このような運搬容器10の中空本体1を型で成形する場合 には、成型上の都合から、開口部2から壁部4に近づく程、幅寸法を小さくし、 ここに抜き勾配Pを設ける必要がある。しかしながら、このように抜き勾配Pを 底面に設けると、基板係止部3の水平度に若干の誤差が生じていまう。すると、 、基板の出し入れの際にチッピングを発生したり、基板の端面に割れ欠けが発生 し易く、品質に重大な影響を及ぼすことになる。この傾向は特に自動で出し入れ する場合に著しい。On the other hand, however, when molding the hollow main body 1 of such a carrying container 10 with a mold, the width dimension is reduced from the opening 2 to the wall 4 for convenience of molding, It is necessary to provide a draft P here. However, if the draft P is provided on the bottom surface in this way, a slight error will occur in the levelness of the board engaging portion 3. Then, chipping may occur when the substrate is taken in and out, and cracks may easily occur on the end face of the substrate, which seriously affects the quality. This tendency is particularly remarkable when automatically taking in and out.

【0007】 こうした、型成型時の抜き勾配Pを考慮して基板係止部3の平行度を確保する には、基板係止部3を予め若干ずらして作成することも考えられるが、このよう にすると、さらに高度な加工精度が求められ、達成が困難である。In order to secure the parallelism of the substrate engaging portion 3 in consideration of the draft P at the time of molding, it is conceivable that the substrate engaging portion 3 is slightly deviated in advance. If it is set to a higher level, higher processing accuracy is required and it is difficult to achieve this.

【0008】[0008]

【考案の目的】[The purpose of the device]

本考案は、このような実情に鑑みてなされたもので、開口が横を向いた中空容 器内に基板を自動で出し入れする際のチッピング、あるいは基板端面の割れ等の 発生を容易な構造で確実に防止することのできる基板運搬容器を提供することを 目的としている。 The present invention has been made in view of such a situation, and has a structure that easily causes chipping when a substrate is automatically put in and taken out from a hollow container with an opening facing sideways or cracks on the end face of the substrate. It is an object of the present invention to provide a substrate transport container that can be reliably prevented.

【0009】[0009]

【考案の概要】[Outline of the device]

以上の目的を達成するための本考案は、 中空本体は合成樹脂により一体成形され、載置状態でその一側部に水平方向に 開口する開口部を有すると共に、底側部に型抜きのための抜き勾配を有し、更に 当該中空本体内の対向する両側壁部に基板を係止するための複数の基板係止部を 棚状に有し、基板を前記開口部から略水平にして本体内の前記基板係止部に掛け 渡して前記中空本体内に収容するようにした基板用運搬容器において、 前記中空本体底面に形成された抜き勾配を水平状態にするための脚部を前記中 空本体の底面に一体成形したことを特徴としている。 According to the present invention for achieving the above object, a hollow body is integrally molded of synthetic resin, has an opening portion that opens horizontally in one side portion in a mounted state, and has a bottom side portion for die cutting. And a plurality of substrate locking portions for locking the substrates on opposite side wall portions inside the hollow body in a shelf shape, and the substrate is substantially horizontal from the opening portion. In the substrate transporting container, which is hung on the substrate locking portion inside and accommodated in the hollow body, a leg portion for making a draft formed on the bottom surface of the hollow body horizontal is provided in the hollow body. It is characterized by being integrally molded on the bottom surface of the main body.

【0010】 このような本考案による基板運搬容器によれば、中空本体の最も平行度を必要 とする基板係止部を設計変更せずとも、基板を水平に載置することができる。し たがって、自動挿入を行なう時にもチッピングの発生あるいは割れ等の発生を可 及的に防止でき、その構造も容易である。According to the substrate transport container according to the present invention, the substrate can be placed horizontally without changing the design of the substrate locking portion of the hollow body which requires the most parallelism. Therefore, chipping or cracking can be prevented as much as possible even during automatic insertion, and the structure is simple.

【0011】[0011]

【考案の具体的説明】[Specific explanation of the device]

以下、本考案を図面を参照しながら説明する。 図1は本考案の一実施例による基板用運搬容器20を示すものである。基板用 運搬容器20は中空本体40とこれに嵌合される蓋体30とからなり、断面略矩 形状に形成され、中空本体40及び蓋体30は、各々合成樹脂により一体成型さ れる。図2に示したように、中空本体40における一方の端部には開口21が形 成され、この端部には蓋体30を弾性的に係合するための爪22が形成されてい る。また、中空本体40内には、図示しない基板を係止するための複数の基板係 止部23が両側部に棚状に形成されている。これら基板係止部23は両側部にわ たり連続的に形成されていてもよく、両側に部分的に形成されていてもよい。ま た、これら各基板係止部23の開口21に臨む部位は面取りが形成され、これに より基板を挿入しやすくなっている。更に、中空本体40の外側面には補強用の リブ26が複数箇所に形成されている。 Hereinafter, the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 illustrates a substrate transporting container 20 according to an embodiment of the present invention. The substrate transport container 20 includes a hollow main body 40 and a lid 30 fitted to the hollow main body 40, and has a substantially rectangular cross section. The hollow main body 40 and the lid 30 are integrally molded of synthetic resin. As shown in FIG. 2, an opening 21 is formed at one end of the hollow body 40, and a pawl 22 for elastically engaging the lid 30 is formed at this end. Further, in the hollow body 40, a plurality of substrate locking portions 23 for locking a substrate (not shown) are formed on both sides in a shelf shape. These board engaging portions 23 may be formed continuously on both sides, or may be partially formed on both sides. In addition, a chamfer is formed at a portion of each of the board engaging portions 23 that faces the opening 21, which facilitates insertion of the board. Further, reinforcing ribs 26 are formed at a plurality of locations on the outer surface of the hollow body 40.

【0012】 運搬容器20は図1のように横置き状態で水平面に載置されるが、その底側部 24には、型抜きのための抜き勾配Pが形成されている。また、この底側部24 には、図2に明示したように、階段状に肉が厚く形成されている。As shown in FIG. 1, the transport container 20 is placed horizontally on a horizontal surface, and a bottom side portion 24 thereof has a draft P for die cutting. Further, as shown in FIG. 2, the bottom side portion 24 has a stepwise thick wall.

【0013】 更に、中空本体40の底側部24には、基板係止部23と平行な基準面Aを水 平面に載置できるように、断面三角形状の脚部27が両端部に各々1個づつ形成 されている。このような脚部27を型成形する場合にはスライドコアが用いられ 、このコアを抜く場合には、上型と下型の分割面に対し、垂直方向に型抜きを行 えば良い。Further, on the bottom side portion 24 of the hollow body 40, leg portions 27 having a triangular cross section are provided at both ends so that a reference plane A parallel to the substrate locking portion 23 can be placed on a horizontal plane. It is formed individually. A slide core is used to mold such a leg portion 27, and when this core is to be removed, die cutting may be performed in a direction perpendicular to the dividing surface of the upper die and the lower die.

【0014】 このようにして形成された中空本体40は、図示しない載置台に、爪22の部 分を外した状態でセットされる。したがって、脚部27を備えた基板係止部23 は、水平面と平行な基準面Aに対し平行に配置することができる。The hollow body 40 formed in this way is set on a mounting table (not shown) with the claws 22 removed. Therefore, the board locking portion 23 having the leg portion 27 can be arranged in parallel to the reference plane A parallel to the horizontal plane.

【0015】 このようにして水平に配置された中空本体40内に基板を収納する際には、開 口21にテーパ状の面取りが形成されているので、基板との接触を小とし、出し 入れ時のチッピング及び割れ欠けの発生を防止できる。When accommodating the substrate in the hollow main body 40 arranged horizontally in this manner, the opening 21 is formed with a tapered chamfer, so that the contact with the substrate is made small and the substrate is taken in and out. It is possible to prevent chipping and breakage at the time.

【0016】 こうして基板を収納した中空本体40には、図1に示したように蓋体30が嵌 合され、これにより、基板は汚染環境から保護され運搬される。あるいはその後 に、所定場所に保管される。これにより、基板の汚染が防止される。As shown in FIG. 1, the lid body 30 is fitted into the hollow main body 40 accommodating the substrate in this way, whereby the substrate is transported while being protected from the contaminated environment. Or after that, it is stored in a predetermined place. This prevents contamination of the substrate.

【0017】 以上、本考案の一実施例を説明したが、本考案は上記実施例に限定されず、種 々の変形が可能である。 例えば、以上の実施例では、脚部27を2つ基板の挿入方向と平行に設けたが 、これに代え、図3のA、Bに示したように、基板挿入方向と平行に3本の直線 状の脚部27を設けてもよい。Although one embodiment of the present invention has been described above, the present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications can be made. For example, in the above embodiment, the two leg portions 27 are provided in parallel with the board insertion direction, but instead of this, as shown in FIGS. 3A and 3B, three legs 27 are provided in parallel with the board insertion direction. You may provide the linear leg part 27.

【0018】 また、図4のA,Bに示したように、底側部24に基板挿入方向と直交する方 向に、2つの脚部28、28を設けてもよい。この場合、中空本体40の開口2 1側に形成される脚部28は、他方の脚部28に対し高さを小とし、これにより 、基準面Aが構成される。Further, as shown in FIGS. 4A and 4B, two leg portions 28, 28 may be provided on the bottom side portion 24 in a direction orthogonal to the board insertion direction. In this case, the leg portion 28 formed on the side of the opening 21 of the hollow body 40 has a smaller height than the other leg portion 28, whereby the reference plane A is formed.

【0019】 また、図5のA、Bに示したように、底側部24に基板挿入方向と直行する方 向に、3つの脚部28を設けてもよい。 また、図6のA、Bに示したように、底側部24の四隅に2本一組の脚部29 を設けてもよい。Further, as shown in FIGS. 5A and 5B, three leg portions 28 may be provided on the bottom side portion 24 in a direction orthogonal to the board insertion direction. Further, as shown in FIGS. 6A and 6B, a set of two leg portions 29 may be provided at the four corners of the bottom side portion 24.

【0020】 また、図7のA、Bに示したように、2本一組の脚部29の中央部に基板挿入 方向と平行に直線状の脚部28を更に設けてもよい。 また、図8のA、Bに示したように、図7に示した直線状の脚部28を基板挿 入方向と直行する方向に設けてもよい。Further, as shown in FIGS. 7A and 7B, a linear leg portion 28 may be further provided in the center of the pair of leg portions 29 in parallel with the board insertion direction. Further, as shown in FIGS. 8A and 8B, the linear leg portion 28 shown in FIG. 7 may be provided in a direction orthogonal to the board insertion direction.

【0021】 また、図9に示したように、底側部24に矩形状の脚部31を設けてもよい。 この場合にも、開口21に近い程、脚部の高さを小とし、これにより、基準面A が構成される。Further, as shown in FIG. 9, a rectangular leg portion 31 may be provided on the bottom side portion 24. Also in this case, the height of the leg is made smaller as it is closer to the opening 21, and thus the reference plane A 1 is formed.

【0022】 また、図10に示したように、図9に示した矩形状の脚部31内に基板挿入方 向と直行方向にリブ32を差し渡した形状としてもよい。 以上のような、各形状の脚部であっても図1に示した脚部27と同様の作用効 果を奏することができる。すなわち、抜き勾配Pが形成された中空本体40を水 平状態にして載置することができる。したがって、自動で基板を出し入れしても チッピング、あるいは割れ欠け等が発生することはない。Further, as shown in FIG. 10, ribs 32 may be inserted in the rectangular leg portion 31 shown in FIG. 9 in the board insertion direction and the orthogonal direction. Even with the leg portions having the above-described shapes, the same action and effect as the leg portion 27 shown in FIG. 1 can be obtained. That is, the hollow body 40 having the draft P can be placed in a horizontal state. Therefore, even if the substrate is automatically taken in and out, no chipping or cracking will occur.

【0023】[0023]

【考案の効果】[Effect of device]

以上、説明したように、本考案に係る基板用運搬用器によれば、本体底面に脚 部を一体に形成することにより、最も平行度を必要とする基板係止部を設計変更 せずとも、基板を水平に載置することができる。したがって、自動挿入を行なう 時にもチッピングの発生あるいは割れ等の発生を可及的に防止できる。しかも、 その構造も簡単である。 As described above, according to the board carrier of the present invention, the legs are integrally formed on the bottom surface of the main body, so that the board locking portion that requires the most parallelism can be designed. The substrate can be placed horizontally. Therefore, chipping or cracking can be prevented as much as possible even during automatic insertion. Moreover, its structure is simple.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】図1は本考案の一実施例に係る基板運搬容器の
底面図である。
FIG. 1 is a bottom view of a substrate transporting container according to an embodiment of the present invention.

【図2】図2は一実施例に係る基板運搬容器の中空容器
の半断面図である。
FIG. 2 is a half sectional view of a hollow container of a substrate transport container according to an embodiment.

【図3】図3のA、Bは一実施例の第1の変形例を示す
側面図、及び底面図である。
3A and 3B are a side view and a bottom view showing a first modified example of the embodiment.

【図4】図4のA、Bは一実施例の第2の変形例を示す
側面図、及び底面図である。
4A and 4B are a side view and a bottom view showing a second modification of the embodiment.

【図5】図5のA、Bは一実施例の第3の変形例を示す
側面図、及び底面図である。
5A and 5B are a side view and a bottom view showing a third modified example of the embodiment.

【図6】図6のA、Bは一実施例の第4の変形例を示す
側面図、及び底面図である。
6A and 6B are a side view and a bottom view showing a fourth modified example of the embodiment.

【図7】図7のA、Bは一実施例の第5の変形例を示す
側面図、及び底面図である。
7A and 7B are a side view and a bottom view showing a fifth modified example of the embodiment.

【図8】図8のA、Bは一実施例の第6の変形例を示す
側面図、及び底面図である。
8A and 8B are a side view and a bottom view showing a sixth modified example of the embodiment.

【図9】図9のA、Bは一実施例の第7の変形例を示す
側面図、及び底面図である。
9A and 9B are a side view and a bottom view showing a seventh modified example of the embodiment.

【図10】図10のA、Bは一実施例の第8の変形例を
示す側面図、及び底面図である。
10A and 10B are a side view and a bottom view showing an eighth modified example of the embodiment.

【図11】図11は従来の基板運搬容器の半断面図であ
る。
FIG. 11 is a half sectional view of a conventional substrate transport container.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

20…基板運搬容器 24…底側部 27、28、29、31…脚部 40…中空本体 20 ... Substrate transport container 24 ... Bottom side part 27, 28, 29, 31 ... Leg part 40 ... Hollow body

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】[Scope of utility model registration request] 【請求項1】 中空本体は合成樹脂により一体成形さ
れ、載置状態でその一側部に水平方向に開口する開口部
を有すると共に、底側部に型抜きのための抜き勾配を有
し、更に当該中空本体内の対向する両側壁部に基板を係
止するための複数の基板係止部を棚状に有し、基板を前
記開口部から略水平にして本体内の前記基板係止部に掛
け渡して前記中空本体内に収容するようにした基板用運
搬容器において、 前記中空本体底面に形成された抜き勾配を水平状態にす
るための脚部を前記中空本体の底面に一体成形したこと
を特徴とする基板用運搬容器。
1. The hollow main body is integrally molded of synthetic resin, has an opening that opens horizontally in one side when placed, and has a draft angle for die cutting on the bottom side, Further, a plurality of board locking portions for locking the boards are provided in a shelf shape on opposite side wall portions inside the hollow main body, and the boards are substantially horizontal from the opening, and the board locking portions in the main body are provided. In a substrate transport container which is hung over and accommodated in the hollow body, a leg portion for making a draft formed on the bottom surface of the hollow body horizontal is integrally formed on the bottom surface of the hollow body. A substrate transport container characterized by:
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPH0958770A (en) * 1995-08-29 1997-03-04 Daihachi Kasei:Kk Transportation container for glass panel

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