JPH06118256A - 石英系光導波路部品およびその製造方法 - Google Patents
石英系光導波路部品およびその製造方法Info
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- JPH06118256A JPH06118256A JP27151492A JP27151492A JPH06118256A JP H06118256 A JPH06118256 A JP H06118256A JP 27151492 A JP27151492 A JP 27151492A JP 27151492 A JP27151492 A JP 27151492A JP H06118256 A JPH06118256 A JP H06118256A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 目視観察しながら容易に光ファイバと軸調心
することができる石英系光導波路部品とその製造方法を
提供する。 【構成】 コアチャネル９ａと前記コアチャネル９ａの
形成位置を基準にした位置に前記コアチャネル９ａの形
成と同時に形成された目視可能なマーカ部１１とが、ク
ラッド８の中に埋設されている石英系光導波路部品。こ
の部品は、コアスラブをエッチングしてコアチャネルの
形成するときに、マーカ部の個所ではマスク材を残し、
そのままクラッドに埋込んで製造される。
することができる石英系光導波路部品とその製造方法を
提供する。 【構成】 コアチャネル９ａと前記コアチャネル９ａの
形成位置を基準にした位置に前記コアチャネル９ａの形
成と同時に形成された目視可能なマーカ部１１とが、ク
ラッド８の中に埋設されている石英系光導波路部品。こ
の部品は、コアスラブをエッチングしてコアチャネルの
形成するときに、マーカ部の個所ではマスク材を残し、
そのままクラッドに埋込んで製造される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は石英系光導波路部品とそ
の製造方法に関し、更に詳しくは、光ファイバと接続す
るときの軸調心作業が容易である石英系光導波路部品と
それを製造する方法に関する。
の製造方法に関し、更に詳しくは、光ファイバと接続す
るときの軸調心作業が容易である石英系光導波路部品と
それを製造する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、石英系光導波路部品と光ファイバ
の接続は、概ね、次のようにして行なわれている。その
方法を図７に則して説明する。まず、図示しない微調台
の上に、所定パターンのコアチャネルが形成されている
石英系光導波路部品１と、その両端に例えば２本の入力
側光ファイバ２ａ，２ｂを保持する光ファイバ配列具４
ａと例えば２本の出力側光ファイバ３ａ，３ｂを保持す
る光ファイバ配列具４ｂとを突き合わせた状態でセット
する。ついで、光源５ａ，５ｂから光をそれぞれ入力側
光ファイバ２ａ，２ｂに入力し、出力側光ファイバ３
ａ，３ｂからの光パワーをそれぞれ光パワーメータ６
ａ，６ｂで測定する。
の接続は、概ね、次のようにして行なわれている。その
方法を図７に則して説明する。まず、図示しない微調台
の上に、所定パターンのコアチャネルが形成されている
石英系光導波路部品１と、その両端に例えば２本の入力
側光ファイバ２ａ，２ｂを保持する光ファイバ配列具４
ａと例えば２本の出力側光ファイバ３ａ，３ｂを保持す
る光ファイバ配列具４ｂとを突き合わせた状態でセット
する。ついで、光源５ａ，５ｂから光をそれぞれ入力側
光ファイバ２ａ，２ｂに入力し、出力側光ファイバ３
ａ，３ｂからの光パワーをそれぞれ光パワーメータ６
ａ，６ｂで測定する。
【０００３】この状態で、光ファイバ配列具４ａ，石英
系光導波路部品１，光ファイバ配列具４ｂを相互に微動
させ、光パワーメータ６ａ，６ｂで測定される出力パワ
ーが最大値を示したときに互いの軸調心が成されたもの
として石英系光導波路部品と光ファイバ配列具４ａ，４
ｂを接着剤を用いて互いに接着固定する。
系光導波路部品１，光ファイバ配列具４ｂを相互に微動
させ、光パワーメータ６ａ，６ｂで測定される出力パワ
ーが最大値を示したときに互いの軸調心が成されたもの
として石英系光導波路部品と光ファイバ配列具４ａ，４
ｂを接着剤を用いて互いに接着固定する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記した従
来の軸調心作業には多大の時間を要している。その理由
は、一旦、光パワーの測定を開始したのちの軸調心は数
分程度と短時間であるが、しかし、その前段で行なう光
源や光パワーメータと光ファイバとの接続、または接続
のための光ファイバの端末処理に数１０分というオーダ
ーの時間を要するからである。
来の軸調心作業には多大の時間を要している。その理由
は、一旦、光パワーの測定を開始したのちの軸調心は数
分程度と短時間であるが、しかし、その前段で行なう光
源や光パワーメータと光ファイバとの接続、または接続
のための光ファイバの端末処理に数１０分というオーダ
ーの時間を要するからである。
【０００５】本発明は光ファイバとの軸調心における上
記した問題を解決し、コアチャネルの位置を目視観察で
判定することができるので、従来のような光源と入力側
光ファイバとの接続作業や出力側光ファイバと光パワー
メータとの接続作業を行なうことなく軸調心作業を進め
ることができる石英系光導波路部品とその製造方法の提
供を目的とする。
記した問題を解決し、コアチャネルの位置を目視観察で
判定することができるので、従来のような光源と入力側
光ファイバとの接続作業や出力側光ファイバと光パワー
メータとの接続作業を行なうことなく軸調心作業を進め
ることができる石英系光導波路部品とその製造方法の提
供を目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記した目的を達成する
ために、本発明においては、コアチャネルと前記コアチ
ャネルの形成位置を基準にした位置に前記コアチャネル
の形成と同時に形成された目視可能なマーカ部とが、ク
ラッドの中に埋設されていることを特徴とする石英系光
導波路部品が提供され、また、基板の上に、石英系下部
クラッド層，石英系コアスラブを順次形成したのち前記
石英系コアスラブの全面をマスク材層で被覆し、ついで
前記石英系コアスラブをエッチングして所定パターンの
コアチャネルとマーカ部を形成したのち前記コアチャネ
ル表面のマスク材層のみを除去し、前記コアチャネルと
前記マーカ部を埋設して上部クラッド層を形成すること
を特徴とする石英系光導波路部品の製造方法が提供され
る。
ために、本発明においては、コアチャネルと前記コアチ
ャネルの形成位置を基準にした位置に前記コアチャネル
の形成と同時に形成された目視可能なマーカ部とが、ク
ラッドの中に埋設されていることを特徴とする石英系光
導波路部品が提供され、また、基板の上に、石英系下部
クラッド層，石英系コアスラブを順次形成したのち前記
石英系コアスラブの全面をマスク材層で被覆し、ついで
前記石英系コアスラブをエッチングして所定パターンの
コアチャネルとマーカ部を形成したのち前記コアチャネ
ル表面のマスク材層のみを除去し、前記コアチャネルと
前記マーカ部を埋設して上部クラッド層を形成すること
を特徴とする石英系光導波路部品の製造方法が提供され
る。
【０００７】
【作用】本発明の石英系光導波路部品では、コアチャネ
ル、それを埋設するクラッドはいずれも透明な石英で構
成されているので、コアチャネルの位置を外部から視認
することは非常に困難である。しかし、マーカ部は後述
するように、上記コアチャネルの形成時にそのコアチャ
ネルを位置基準にして同時に形成され、かつ表面が不透
明な材料で構成されているので外部からの視認は容易で
ある。
ル、それを埋設するクラッドはいずれも透明な石英で構
成されているので、コアチャネルの位置を外部から視認
することは非常に困難である。しかし、マーカ部は後述
するように、上記コアチャネルの形成時にそのコアチャ
ネルを位置基準にして同時に形成され、かつ表面が不透
明な材料で構成されているので外部からの視認は容易で
ある。
【０００８】したがって、このマーカ部の位置を判定す
ることによりコアチャネルの位置を判定することがで
き、そのため、外部から目視観察しながら石英系光導波
路部品のコアチャネルと光ファイバとの軸調心を行なう
ことができる。
ることによりコアチャネルの位置を判定することがで
き、そのため、外部から目視観察しながら石英系光導波
路部品のコアチャネルと光ファイバとの軸調心を行なう
ことができる。
【０００９】
【実施例】以下に本発明の石英系光導波路部の１例とそ
の製造方法を添付した図面に基づいて詳細に説明する。
図１に示したように、まず、例えばＳｉ単結晶から成る
基板７の上に、火炎堆積法により、例えばＳｉＯ2 から
成り厚みが２０μｍの石英系下部クラッド層８ａ、例え
ばＴｉドープのＳｉＯ2 から成り厚みが８μｍの石英系
のコアスラブ９を順次形成し、更にこのコアスラブ９の
全面に、スパッタ法で、例えばａ−Ｓｉから成り厚み１
μｍのマスク材層１０を形成する。
の製造方法を添付した図面に基づいて詳細に説明する。
図１に示したように、まず、例えばＳｉ単結晶から成る
基板７の上に、火炎堆積法により、例えばＳｉＯ2 から
成り厚みが２０μｍの石英系下部クラッド層８ａ、例え
ばＴｉドープのＳｉＯ2 から成り厚みが８μｍの石英系
のコアスラブ９を順次形成し、更にこのコアスラブ９の
全面に、スパッタ法で、例えばａ−Ｓｉから成り厚み１
μｍのマスク材層１０を形成する。
【００１０】ついで、図２で示したように、コアチャネ
ルとマーカ部にすべき個所が残置するようにホトリソグ
ラフィーを行なったのち、例えばフッ素系ガスを用いた
反応性イオンエッチング法によりコアスラブ層９をエッ
チングし、表面にマスク材層１０が残置しているコアチ
ャネル９ａと、同じく表面にマスク材層１０が残置して
いるコア部から成るマーク部１１とを同時に形成する。
ルとマーカ部にすべき個所が残置するようにホトリソグ
ラフィーを行なったのち、例えばフッ素系ガスを用いた
反応性イオンエッチング法によりコアスラブ層９をエッ
チングし、表面にマスク材層１０が残置しているコアチ
ャネル９ａと、同じく表面にマスク材層１０が残置して
いるコア部から成るマーク部１１とを同時に形成する。
【００１１】その後、図３で示したように、コアチャネ
ル９ａ表面のマスク材層１０に対してのみ再びホトリソ
グラフィーと反応性イオンエッチング法を適用して、こ
のマスク材層を除去してコアチャネル９ａを露出させ
る。最後に、図４で示したように、再び火炎堆積法によ
り、石英系の下部クラッド８ａと同一材料から成り、厚
みが例えば２０μｍの石英系の上部クラッド層８ｂを形
成して、上記したコアチャネル９ａ，マーカ部１１をこ
の上部クラッド層８ｂ内に埋設する。
ル９ａ表面のマスク材層１０に対してのみ再びホトリソ
グラフィーと反応性イオンエッチング法を適用して、こ
のマスク材層を除去してコアチャネル９ａを露出させ
る。最後に、図４で示したように、再び火炎堆積法によ
り、石英系の下部クラッド８ａと同一材料から成り、厚
みが例えば２０μｍの石英系の上部クラッド層８ｂを形
成して、上記したコアチャネル９ａ，マーカ部１１をこ
の上部クラッド層８ｂ内に埋設する。
【００１２】このようにして製造された石英系光導波路
部品では、クラッド層８ａ，８ｂに埋設されているマー
カ部１１の表面に位置するマスク材層１０は不透明材料
であるため、クラッドの上部から容易に視認することが
できる。すなわち、マーカ部１１の位置は容易に視認で
きる。そして、このマーカ部１１の位置は、コアチャネ
ル９ａを形成するときのホトリソグラフィー時に同一の
ホトマスクで決められ、その精度は0.１μｍ程度が可能
であるため、このマーカ部１１の位置判定からただちに
コアチャネル９ａの位置を判定することができる。
部品では、クラッド層８ａ，８ｂに埋設されているマー
カ部１１の表面に位置するマスク材層１０は不透明材料
であるため、クラッドの上部から容易に視認することが
できる。すなわち、マーカ部１１の位置は容易に視認で
きる。そして、このマーカ部１１の位置は、コアチャネ
ル９ａを形成するときのホトリソグラフィー時に同一の
ホトマスクで決められ、その精度は0.１μｍ程度が可能
であるため、このマーカ部１１の位置判定からただちに
コアチャネル９ａの位置を判定することができる。
【００１３】したがって、透明な光ファイバ配列具内に
保持されている光ファイバと接続する際には、その光フ
ァイバのコア位置を目視で識別する方法と組合せたり、
または光ファイバ配列具の表面に刻設されている配列光
ファイバのコア位置を示す目印を確かめることにより、
この石英系光導波路部品のコアチャネルと光ファイバの
接続を全て目視観察によって行なうことができる。
保持されている光ファイバと接続する際には、その光フ
ァイバのコア位置を目視で識別する方法と組合せたり、
または光ファイバ配列具の表面に刻設されている配列光
ファイバのコア位置を示す目印を確かめることにより、
この石英系光導波路部品のコアチャネルと光ファイバの
接続を全て目視観察によって行なうことができる。
【００１４】なお、上記実施例では、コアスラブのエッ
チング時にマスク材層の一部を残置する方法を示した
が、本発明ではこの方法に限定されることなく、例え
ば、一旦、マスク材層を全てエッチング除去してコアス
ラブにコアチャネルを形成し、その後、コアチャネル以
外の所定の位置にマーカとなるべき材料の目印を形成
し、最後にこれら全体を上部クラッド層で埋設する方法
であってもよい。
チング時にマスク材層の一部を残置する方法を示した
が、本発明ではこの方法に限定されることなく、例え
ば、一旦、マスク材層を全てエッチング除去してコアス
ラブにコアチャネルを形成し、その後、コアチャネル以
外の所定の位置にマーカとなるべき材料の目印を形成
し、最後にこれら全体を上部クラッド層で埋設する方法
であってもよい。
【００１５】図５は別の実施例部品を示す断面図で、こ
の部品は、図４で示した石英系光導波路部品に、マーカ
部１１の表面のマスク材層１０を基準にして断面Ｖ字型
のガイド溝１２，１２を刻設したものである。この部品
の場合は、例えばＭＴコネクタフェルールのようなピン
嵌合タイプの光ファイバコネクタフェルールと組合せ、
このガイド溝１２，１２に嵌合ピンを挿入することによ
り、無調心で両者を接続することができる。
の部品は、図４で示した石英系光導波路部品に、マーカ
部１１の表面のマスク材層１０を基準にして断面Ｖ字型
のガイド溝１２，１２を刻設したものである。この部品
の場合は、例えばＭＴコネクタフェルールのようなピン
嵌合タイプの光ファイバコネクタフェルールと組合せ、
このガイド溝１２，１２に嵌合ピンを挿入することによ
り、無調心で両者を接続することができる。
【００１６】図６は、基板ウェハー１３の上に一括して
複数個（図では１６個）の石英系光導波路部品１４を形
成し、基板ウェハー１３の両脇にマーカ部１１，１１を
形成した状態例を示す。この場合には、マーカ部１１，
１１を基準にして、各石英系光導波路部品１４に、例え
ば図５で示したようなガイド溝を刻設し、その後、基板
ウェハー１３を切断することにより、目的とする石英系
光導波路部品を効率的に製造することができる。
複数個（図では１６個）の石英系光導波路部品１４を形
成し、基板ウェハー１３の両脇にマーカ部１１，１１を
形成した状態例を示す。この場合には、マーカ部１１，
１１を基準にして、各石英系光導波路部品１４に、例え
ば図５で示したようなガイド溝を刻設し、その後、基板
ウェハー１３を切断することにより、目的とする石英系
光導波路部品を効率的に製造することができる。
【００１７】
【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明の
石英系光導波路部品はクラッド内にマーカ部が一体に埋
設されているので、光ファイバとの接続時には、このマ
ーカ部を目視観察しながら軸調心作業を進めることがで
きるので、その作業は容易であり、また従来に比べて要
する時間は短時間となる。
石英系光導波路部品はクラッド内にマーカ部が一体に埋
設されているので、光ファイバとの接続時には、このマ
ーカ部を目視観察しながら軸調心作業を進めることがで
きるので、その作業は容易であり、また従来に比べて要
する時間は短時間となる。
【００１８】また、このマーカ部を基準にしてピン嵌合
用のガイド溝を刻設することにより、無調心で光ファイ
バと接続できる石英系光導波路部品にすることができ
る。
用のガイド溝を刻設することにより、無調心で光ファイ
バと接続できる石英系光導波路部品にすることができ
る。
【図１】本発明方法において、コアスラブにマスク材層
を形成した状態を示す概略断面図である。
を形成した状態を示す概略断面図である。
【図２】コアスラブをエッチングした状態を示す概略断
面図である。
面図である。
【図３】コアチャネルとマーカ部を形成した状態を示す
概略断面図である。
概略断面図である。
【図４】本発明の石英系光導波路部品の１例を示す断面
図である。
図である。
【図５】本発明部品の他の例を示す断面図である。
【図６】本発明方法の他の例を示す概略平面図である。
【図７】石英系光導波路部品と光ファイバの接続方法に
おける従来例を示す概略平面図である。
おける従来例を示す概略平面図である。
１ 石英系光導波路部品 ２ａ，２ｂ 入力側光ファイバ ３ａ，３ｂ 出力側光ファイバ ４ａ，４ｂ 光ファイバ配列具 ５ａ，５ｂ 光源 ６ａ，６ｂ 光パワーメータ ７ 基板 ８ クラッド ８ａ 下部クラッド層 ８ｂ 上部クラッド層 ９ コアスラブ ９ａ コアチャネル ９ｂ コア部 １０ マスク材層 １１ マーカ部 １２ ガイド溝 １３ 基板ウェハー １４ 石英系光導波路部品
Claims (4)
- 【請求項１】 コアチャネルと前記コアチャネルの形成
位置を基準にした位置に前記コアチャネルの形成と同時
に形成された目視可能なマーカ部とが、クラッドの中に
埋設されていることを特徴とする石英系光導波路部品。 - 【請求項２】 前記マーカ部が、エッチング時のマスク
材である請求項１の石英系光導波路部品。 - 【請求項３】 前記マーカ部を基準にして光ファイバ接
続用のガイド溝が形成されている請求項１の光導波路部
品。 - 【請求項４】 基板の上に、石英系下部クラッド層，石
英系コアスラブを順次形成したのち前記石英系コアスラ
ブの全面をマスク材層で被覆し、ついで前記石英系コア
スラブをエッチングして所定パターンのコアチャネルと
マーカ部を形成したのち前記コアチャネル表面のマスク
材層のみを除去し、前記コアチャネルと前記マーカ部を
埋設して上部クラッド層を形成することを特徴とする石
英系光導波路部品の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27151492A JPH06118256A (ja) | 1992-10-09 | 1992-10-09 | 石英系光導波路部品およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27151492A JPH06118256A (ja) | 1992-10-09 | 1992-10-09 | 石英系光導波路部品およびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06118256A true JPH06118256A (ja) | 1994-04-28 |
Family
ID=17501133
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27151492A Pending JPH06118256A (ja) | 1992-10-09 | 1992-10-09 | 石英系光導波路部品およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06118256A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001029601A1 (en) * | 1999-10-21 | 2001-04-26 | Nhk Spring Co., Ltd. | Optical component having positioning markers and method for making the same |
| EP1122561A1 (en) * | 2000-02-03 | 2001-08-08 | Corning Incorporated | High precision alignment of optical devices over a high thickness transparent layer |
| EP1291692A1 (en) * | 2001-09-07 | 2003-03-12 | Agilent Technologies Inc | Planar optical waveguide apparatus |
| WO2007010184A1 (en) * | 2005-07-15 | 2007-01-25 | Xyratex Technology Limited | Optical printed circuit board and manufacturing method |
| WO2008078680A1 (ja) * | 2006-12-26 | 2008-07-03 | Mitsui Chemicals, Inc. | 光電気混載基板およびその製造方法 |
-
1992
- 1992-10-09 JP JP27151492A patent/JPH06118256A/ja active Pending
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001029601A1 (en) * | 1999-10-21 | 2001-04-26 | Nhk Spring Co., Ltd. | Optical component having positioning markers and method for making the same |
| US6553171B1 (en) | 1999-10-21 | 2003-04-22 | Nhk Spring Co., Ltd. | Optical component having positioning markers and method for making the same |
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| US6547976B2 (en) | 2000-02-03 | 2003-04-15 | Corning Incorporated | High precision alignment of optical waveguide features |
| EP1291692A1 (en) * | 2001-09-07 | 2003-03-12 | Agilent Technologies Inc | Planar optical waveguide apparatus |
| US6744953B2 (en) | 2001-09-07 | 2004-06-01 | Agilent Technologies, Inc. | Planar optical waveguide with alignment structure |
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| US8175424B2 (en) | 2006-12-26 | 2012-05-08 | Mitsui Chemicals, Inc. | Electrical and optical hybrid board and manufacturing method of the same |
| JP5512131B2 (ja) * | 2006-12-26 | 2014-06-04 | 三井化学株式会社 | 光電気混載基板およびその製造方法 |
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