JPH06116731A - 表面被覆切削工具 - Google Patents
表面被覆切削工具Info
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- JPH06116731A JPH06116731A JP28692092A JP28692092A JPH06116731A JP H06116731 A JPH06116731 A JP H06116731A JP 28692092 A JP28692092 A JP 28692092A JP 28692092 A JP28692092 A JP 28692092A JP H06116731 A JPH06116731 A JP H06116731A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 苛酷な条件の切削に使用しても長時間の工具
寿命を確保できる表面被覆切削工具を提供する。 【構成】 Ｔｉの炭化物層、Ｔｉの窒化物層およびＴｉ
の炭窒化物層を２層以上被覆してなる表面被覆切削工具
において、上記被覆層のＸ線回折最高ピーク面（配向
面）が一致していることを特徴とする。
寿命を確保できる表面被覆切削工具を提供する。 【構成】 Ｔｉの炭化物層、Ｔｉの窒化物層およびＴｉ
の炭窒化物層を２層以上被覆してなる表面被覆切削工具
において、上記被覆層のＸ線回折最高ピーク面（配向
面）が一致していることを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、例えばフライス切削
などの過酷な条件の切削に用いても長時間の工具寿命を
確保できる表面被覆切削工具に関するものである。
などの過酷な条件の切削に用いても長時間の工具寿命を
確保できる表面被覆切削工具に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に、ＷＣ基超硬合金基体やＴｉＣＮ
基サーメット基体の表面に、化学蒸着法を用いて、Ｔｉ
の炭化物、窒化物、炭窒化物のうちの２種以上の複合硬
質層を被覆してなる表面被覆切削工具は各種鋼材などの
連続切削や断続切削に用いられることは広く知られてい
る。
基サーメット基体の表面に、化学蒸着法を用いて、Ｔｉ
の炭化物、窒化物、炭窒化物のうちの２種以上の複合硬
質層を被覆してなる表面被覆切削工具は各種鋼材などの
連続切削や断続切削に用いられることは広く知られてい
る。
【０００３】上記複合硬質層、例えばＴｉＣＮ層および
ＴｉＮ層からなる複合硬質層を形成するには、反応炉内
を所定の条件に保持してＴｉＣＮ層を形成したのち、反
応ガスを止め、Ｈ2 ガスのみを流しながら炉内温度をＴ
ｉＣＮ層形成温度からＴｉＮ層形成温度に変更し、炉内
温度がＴｉＮ層形成温度になった時点でガス流をＨ2ガ
スからＴｉＮ層形成ガスに切り換えることにより行なわ
れる。
ＴｉＮ層からなる複合硬質層を形成するには、反応炉内
を所定の条件に保持してＴｉＣＮ層を形成したのち、反
応ガスを止め、Ｈ2 ガスのみを流しながら炉内温度をＴ
ｉＣＮ層形成温度からＴｉＮ層形成温度に変更し、炉内
温度がＴｉＮ層形成温度になった時点でガス流をＨ2ガ
スからＴｉＮ層形成ガスに切り換えることにより行なわ
れる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】一方、近年、切削加工
の高速化および省力化に対する要求は厳しく、これに伴
ない高速切削や、高切り込みおよび高送りなどの重切削
が強いられる傾向にあるが、上記従来の表面被覆切削工
具の場合、このような苛酷な条件下での切削には十分に
対応することができず、特にフライス切削などの重切削
に用いた場合に、複合硬質層の上硬質層に入ったクラッ
クは層間歪を解放して急激にクラックが下硬質層まで進
展し、工具欠損をもたらし、特に複合硬質層の層間歪が
大きい場合には、かかる傾向は顕著に現われていた。
の高速化および省力化に対する要求は厳しく、これに伴
ない高速切削や、高切り込みおよび高送りなどの重切削
が強いられる傾向にあるが、上記従来の表面被覆切削工
具の場合、このような苛酷な条件下での切削には十分に
対応することができず、特にフライス切削などの重切削
に用いた場合に、複合硬質層の上硬質層に入ったクラッ
クは層間歪を解放して急激にクラックが下硬質層まで進
展し、工具欠損をもたらし、特に複合硬質層の層間歪が
大きい場合には、かかる傾向は顕著に現われていた。
【０００５】
【課題を解決するための手段】そこで、本発明者等は、
上記苛酷な条件の切削に用いても工具寿命の一層長い表
面被覆切削工具を開発すべく研究を行った結果、（ａ）
基体表面に形成された上硬質層および下硬質層からな
る複合硬質層をＸ線回折して得られた最高ピーク面（以
下、Ｘ線回折最高ピーク面という）が上硬質層と下硬質
層で一致していると、上硬質層と下硬質層の層間付着強
度が向上し、かつ上硬質層と下硬質層との層間歪が極め
て少ないために上硬質層に発生したクラックが下硬質層
に進展し難しくなり、工具欠損は減少し、工具寿命の短
命化が避けられる、（ｂ） このことは、３層以上の複
合硬質層についても同じ傾向を示す、などの知見を得た
のである。
上記苛酷な条件の切削に用いても工具寿命の一層長い表
面被覆切削工具を開発すべく研究を行った結果、（ａ）
基体表面に形成された上硬質層および下硬質層からな
る複合硬質層をＸ線回折して得られた最高ピーク面（以
下、Ｘ線回折最高ピーク面という）が上硬質層と下硬質
層で一致していると、上硬質層と下硬質層の層間付着強
度が向上し、かつ上硬質層と下硬質層との層間歪が極め
て少ないために上硬質層に発生したクラックが下硬質層
に進展し難しくなり、工具欠損は減少し、工具寿命の短
命化が避けられる、（ｂ） このことは、３層以上の複
合硬質層についても同じ傾向を示す、などの知見を得た
のである。
【０００６】この発明は、かかる知見にもとづいてなさ
れたものであって、基体表面に２層以上の硬質層からな
る複合硬質層を被覆してなる表面被覆切削工具におい
て、上記複合硬質層の下硬質層のＸ線回折最高ピーク面
と上硬質層のＸ線回折最高ピーク面が一致している表面
被覆切削工具に特徴を有するものである。
れたものであって、基体表面に２層以上の硬質層からな
る複合硬質層を被覆してなる表面被覆切削工具におい
て、上記複合硬質層の下硬質層のＸ線回折最高ピーク面
と上硬質層のＸ線回折最高ピーク面が一致している表面
被覆切削工具に特徴を有するものである。
【０００７】上記下硬質層のＸ線回折最高ピーク面と上
硬質層のＸ線回折最高ピーク面が一致することは、下硬
質層と上硬質層の結晶配向性が揃っていることであり、
基体表面に形成される２層以上の硬質層からなる複合硬
質層の最上硬質層から最下硬質層まで各層のＸ線回折最
高ピーク面が全て一致しているのが好ましいが、複合硬
質層を構成する接触した上硬質層と下硬質層のＸ線回折
最高ピーク面が少なくとも一組一致しているものであっ
てもよい。
硬質層のＸ線回折最高ピーク面が一致することは、下硬
質層と上硬質層の結晶配向性が揃っていることであり、
基体表面に形成される２層以上の硬質層からなる複合硬
質層の最上硬質層から最下硬質層まで各層のＸ線回折最
高ピーク面が全て一致しているのが好ましいが、複合硬
質層を構成する接触した上硬質層と下硬質層のＸ線回折
最高ピーク面が少なくとも一組一致しているものであっ
てもよい。
【０００８】上記複合硬質層の下硬質層のＸ線回折最高
ピーク面と下硬質層に接する上硬質層のＸ線回折最高ピ
ーク面を一致させるには、まず、下硬質層膜形成条件で
Ｘ線回折最高ピーク面を有する下硬質層を形成したの
ち、下硬質層膜形成条件の反応ガス雰囲気をそのままに
して温度および圧力のみを変化させて上硬質層膜形成条
件の温度および圧力に一致させ、続いて上硬質層膜形成
条件の反応ガス雰囲気に切り換えて上硬質層膜を形成す
る。かかる方法により複合硬質層を形成すると、下硬質
層膜の配向性が上硬質層膜の配向性に転写され、Ｘ線回
折最高ピーク面を一致させることができる。さらにこの
発明は上記Ｘ線回折最高ピーク面の一致した複合硬質層
の上に、さらに任意の硬質層を被覆した表面被覆切削工
具も含まれる。
ピーク面と下硬質層に接する上硬質層のＸ線回折最高ピ
ーク面を一致させるには、まず、下硬質層膜形成条件で
Ｘ線回折最高ピーク面を有する下硬質層を形成したの
ち、下硬質層膜形成条件の反応ガス雰囲気をそのままに
して温度および圧力のみを変化させて上硬質層膜形成条
件の温度および圧力に一致させ、続いて上硬質層膜形成
条件の反応ガス雰囲気に切り換えて上硬質層膜を形成す
る。かかる方法により複合硬質層を形成すると、下硬質
層膜の配向性が上硬質層膜の配向性に転写され、Ｘ線回
折最高ピーク面を一致させることができる。さらにこの
発明は上記Ｘ線回折最高ピーク面の一致した複合硬質層
の上に、さらに任意の硬質層を被覆した表面被覆切削工
具も含まれる。
【０００９】
実施例１ ＷＣ−９％Ｃｏ−３％ＴａＣ（但し、％は重量％）から
なる組成およびＪＩＳ・ＳＥＥＮ４２ＡＦＴＮ１の形状
を有する超硬合金製切削工具を用意し、この超硬合金製
切削工具を通常の熱ＣＶＤ炉に装填し、炉内温度：８７
０℃、炉内圧力：１００Torr、反応ガス組成：容量％で
９５．６％Ｈ2 −３．７％ＴｉＣｌ4 −０．７％ＣＨ3
ＣＮ、反応時間：４時間１３分、の第１処理条件でＴｉ
ＣＮ層を形成した。
なる組成およびＪＩＳ・ＳＥＥＮ４２ＡＦＴＮ１の形状
を有する超硬合金製切削工具を用意し、この超硬合金製
切削工具を通常の熱ＣＶＤ炉に装填し、炉内温度：８７
０℃、炉内圧力：１００Torr、反応ガス組成：容量％で
９５．６％Ｈ2 −３．７％ＴｉＣｌ4 −０．７％ＣＨ3
ＣＮ、反応時間：４時間１３分、の第１処理条件でＴｉ
ＣＮ層を形成した。
【００１０】引き続いて、反応ガス組成を変えることな
く炉内温度を８７０℃から９２５℃まで昇温速度：３．
２℃／min.で昇温し、同時に炉内圧力を１００Torrから
２００Torrまで昇圧速度：６Torr／min.で昇圧する転写
処理を１７分間施し、第１処理と転写処理によって合計
膜厚：５μｍのＴｉＣＮ層を形成した。ついで、炉内温
度：９２５℃、炉内圧力：２００Torr、に保持したま
ま、反応ガス組成を容量％で、４９．０％Ｈ2 −２．０
％ＴｉＣｌ4 −４９．０％Ｎ2となるように急速に切換
え、保持時間：２時間３０分、かけて第２処理を施し、
層厚：２．５μｍのＴｉＮ層を形成し、複合硬質層が基
体表面に被覆された本発明表面被覆切削工具（以下、本
発明被覆工具という）１を作製した。
く炉内温度を８７０℃から９２５℃まで昇温速度：３．
２℃／min.で昇温し、同時に炉内圧力を１００Torrから
２００Torrまで昇圧速度：６Torr／min.で昇圧する転写
処理を１７分間施し、第１処理と転写処理によって合計
膜厚：５μｍのＴｉＣＮ層を形成した。ついで、炉内温
度：９２５℃、炉内圧力：２００Torr、に保持したま
ま、反応ガス組成を容量％で、４９．０％Ｈ2 −２．０
％ＴｉＣｌ4 −４９．０％Ｎ2となるように急速に切換
え、保持時間：２時間３０分、かけて第２処理を施し、
層厚：２．５μｍのＴｉＮ層を形成し、複合硬質層が基
体表面に被覆された本発明表面被覆切削工具（以下、本
発明被覆工具という）１を作製した。
【００１１】得られた本発明被覆工具１の複合硬質層を
Ｘ線回折測定したところ、図１に示されるＸ線回折パタ
ーンが得られた。
Ｘ線回折測定したところ、図１に示されるＸ線回折パタ
ーンが得られた。
【００１２】図１のＸ線回折パターを解析すると、第１
硬質層のＴｉＣＮ層のＸ線回折最高ピーク面は（２２
０）面であり、第２硬質層のＴｉＮ層のＸ線回折最高ピ
ーク面も（２２０）面であるところから、第１硬質層の
ＴｉＣＮ層の配向性が第２硬質層のＴｉＮ層の配向性に
転写されていることがわかる。
硬質層のＴｉＣＮ層のＸ線回折最高ピーク面は（２２
０）面であり、第２硬質層のＴｉＮ層のＸ線回折最高ピ
ーク面も（２２０）面であるところから、第１硬質層の
ＴｉＣＮ層の配向性が第２硬質層のＴｉＮ層の配向性に
転写されていることがわかる。
【００１３】従来例１ 実施例１で用意したＷＣ−９％Ｃｏ−３％ＴａＣ（但
し、％は重量％）からなる組成およびＪＩＳ・ＳＥＥＮ
４２ＡＦＴＮ１の形状を有する超硬合金製切削工具を通
常の熱ＣＶＤ炉に装填し、炉内温度：８７０℃、炉内圧
力：１００Torr、反応ガス組成：容量％で９５．６％Ｈ
2 −３．７％ＴｉＣｌ4 −０．７％ＣＨ3 ＣＮ、反応時
間：４時間３０分、の条件で層厚：５．０μｍのＴｉＣ
Ｎ層を形成した。
し、％は重量％）からなる組成およびＪＩＳ・ＳＥＥＮ
４２ＡＦＴＮ１の形状を有する超硬合金製切削工具を通
常の熱ＣＶＤ炉に装填し、炉内温度：８７０℃、炉内圧
力：１００Torr、反応ガス組成：容量％で９５．６％Ｈ
2 −３．７％ＴｉＣｌ4 −０．７％ＣＨ3 ＣＮ、反応時
間：４時間３０分、の条件で層厚：５．０μｍのＴｉＣ
Ｎ層を形成した。
【００１４】続いて、反応ガスを止め上記熱ＣＶＤ炉に
Ｈ2 のみを流量：５ｌ／min.で流しながら温度を８７０
℃から９２５℃に昇温速度：３．２℃／min.で昇温した
のち、炉内圧力および反応ガス組成を、炉内圧力：２０
０Torr、反応ガス組成：容量％で４９．０％Ｈ2 −２．
０％ＴｉＣｌ4 −４９．０％Ｎ2 、となるように急速に
切り換え、２時間３０分かけて厚さ：２．５μｍのＴｉ
Ｎ層を形成し、複合硬質層が基体表面に被覆された従来
表面被覆切削工具（以下、従来被覆工具という）１を作
製した。
Ｈ2 のみを流量：５ｌ／min.で流しながら温度を８７０
℃から９２５℃に昇温速度：３．２℃／min.で昇温した
のち、炉内圧力および反応ガス組成を、炉内圧力：２０
０Torr、反応ガス組成：容量％で４９．０％Ｈ2 −２．
０％ＴｉＣｌ4 −４９．０％Ｎ2 、となるように急速に
切り換え、２時間３０分かけて厚さ：２．５μｍのＴｉ
Ｎ層を形成し、複合硬質層が基体表面に被覆された従来
表面被覆切削工具（以下、従来被覆工具という）１を作
製した。
【００１５】得られた従来被覆工具１の複合硬質層をＸ
線回折測定したところ、図２に示されるＸ線回折パター
ンが得られた。
線回折測定したところ、図２に示されるＸ線回折パター
ンが得られた。
【００１６】図２のＸ線回折パターンを解析すると、第
１硬質層のＴｉＣＮ層のＸ線回折最高ピーク面は（２２
０）面であるに対し、第２硬質層のＴｉＮ層のＸ線回折
最高ピーク面は（２００）面であり、第１硬質層のＸ線
回折最高ピーク面と第２硬質層のＸ線回折最高ピーク面
とは相違し、配向性は転写されていないことがわかる。
１硬質層のＴｉＣＮ層のＸ線回折最高ピーク面は（２２
０）面であるに対し、第２硬質層のＴｉＮ層のＸ線回折
最高ピーク面は（２００）面であり、第１硬質層のＸ線
回折最高ピーク面と第２硬質層のＸ線回折最高ピーク面
とは相違し、配向性は転写されていないことがわかる。
【００１７】実施例２ 実施例１で用意した超硬合金製切削工具を通常の熱ＣＶ
Ｄ炉に装填し、炉内温度：８４０℃、炉内圧力：５０To
rr、反応ガス組成：容量％で９４．８％Ｈ2 −４．７％
ＴｉＣｌ4 −０．５％ＣＨ3 ＣＮ、反応時間：７時間３
５分、の第１処理条件でＴｉＣＮ層を形成した。
Ｄ炉に装填し、炉内温度：８４０℃、炉内圧力：５０To
rr、反応ガス組成：容量％で９４．８％Ｈ2 −４．７％
ＴｉＣｌ4 −０．５％ＣＨ3 ＣＮ、反応時間：７時間３
５分、の第１処理条件でＴｉＣＮ層を形成した。
【００１８】引き続いて、反応ガス組成を変えることな
く炉内温度を８４０℃から９２５℃まで昇温速度：３℃
／min.で昇温し、同時に炉内圧力を５０Torrから２００
Torrまで昇圧速度：５．３Torr／min.で昇圧する転写処
理を２８分間施し、第１処理と転写処理によって合計膜
厚が８．０μｍのＴｉＣＮ層を形成した。ついで、炉内
温度：９２５℃、炉内圧力：２００Torr、に保持したま
ま、反応ガス組成を容量％で、４９．０％Ｈ2 −２．０
％ＴｉＣｌ4 −４９．０％Ｎ2 となるように急速に切換
え、保持時間：２時間、かけて第２処理条件を施し、厚
さ：２．０μｍのＴｉＮ層を形成し、複合硬質層が基体
表面に形成された本発明被覆工具２を作製した。
く炉内温度を８４０℃から９２５℃まで昇温速度：３℃
／min.で昇温し、同時に炉内圧力を５０Torrから２００
Torrまで昇圧速度：５．３Torr／min.で昇圧する転写処
理を２８分間施し、第１処理と転写処理によって合計膜
厚が８．０μｍのＴｉＣＮ層を形成した。ついで、炉内
温度：９２５℃、炉内圧力：２００Torr、に保持したま
ま、反応ガス組成を容量％で、４９．０％Ｈ2 −２．０
％ＴｉＣｌ4 −４９．０％Ｎ2 となるように急速に切換
え、保持時間：２時間、かけて第２処理条件を施し、厚
さ：２．０μｍのＴｉＮ層を形成し、複合硬質層が基体
表面に形成された本発明被覆工具２を作製した。
【００１９】得られた本発明被覆工具２の複合硬質層を
Ｘ線回折測定したところ、図３に示されるＸ線回折パタ
ーンが得られた。
Ｘ線回折測定したところ、図３に示されるＸ線回折パタ
ーンが得られた。
【００２０】図３のＸ線回折パターンを解析すると、第
１硬質層のＴｉＣＮ層のＸ線回折最高ピーク面は（４２
２）面であり、第２硬質層のＴｉＮ層のＸ線回折最高ピ
ーク面も（４２２）面であるところから、第１硬質層の
ＴｉＣＮ層の配向性が第２硬質層のＴｉＮ層の配向性に
転写されていることがわかる。
１硬質層のＴｉＣＮ層のＸ線回折最高ピーク面は（４２
２）面であり、第２硬質層のＴｉＮ層のＸ線回折最高ピ
ーク面も（４２２）面であるところから、第１硬質層の
ＴｉＣＮ層の配向性が第２硬質層のＴｉＮ層の配向性に
転写されていることがわかる。
【００２１】従来例２ 実施例１で用意した超硬合金製切削工具を通常の熱ＣＶ
Ｄ炉に装填し、炉内温度：８４０℃、炉内圧力：５０To
rr、反応ガス組成：容量％で９４．８％Ｈ2 −４．７％
ＴｉＣｌ4 −０．５％ＣＨ3 ＣＮ、反応時間：８時間、
の第１処理条件で厚さ：８μｍのＴｉＣＮ層を形成し
た。
Ｄ炉に装填し、炉内温度：８４０℃、炉内圧力：５０To
rr、反応ガス組成：容量％で９４．８％Ｈ2 −４．７％
ＴｉＣｌ4 −０．５％ＣＨ3 ＣＮ、反応時間：８時間、
の第１処理条件で厚さ：８μｍのＴｉＣＮ層を形成し
た。
【００２２】続いて、反応ガスを止め上記熱ＣＶＤ炉に
Ｈ2 のみを流量：５ｌ／ min流しながら温度を８４０℃
から９２５℃に昇温速度：３．０℃／min.で昇温したの
ち、炉内圧力および反応ガス組成を、炉内圧力：２００
Torr、反応ガス組成：容量％で４９．０％Ｈ2 −２．０
％ＴｉＣｌ4 −４９．０％Ｎ2 、となるように急速に切
換え、２時間かけて厚さ：２．０μｍのＴｉＮ層を形成
し、複合硬質層が基体表面に被覆された従来被覆工具２
を作製した。
Ｈ2 のみを流量：５ｌ／ min流しながら温度を８４０℃
から９２５℃に昇温速度：３．０℃／min.で昇温したの
ち、炉内圧力および反応ガス組成を、炉内圧力：２００
Torr、反応ガス組成：容量％で４９．０％Ｈ2 −２．０
％ＴｉＣｌ4 −４９．０％Ｎ2 、となるように急速に切
換え、２時間かけて厚さ：２．０μｍのＴｉＮ層を形成
し、複合硬質層が基体表面に被覆された従来被覆工具２
を作製した。
【００２３】得られた従来被覆工具２の複合硬質層をＸ
線回折測定したところ、図４に示されるＸ線回折パター
ンが得られた。
線回折測定したところ、図４に示されるＸ線回折パター
ンが得られた。
【００２４】図４のＸ線回折パターンを解析すると、第
１硬質層のＴｉＣＮ層のＸ線回折最高ピーク面は（４２
２）面であるに対し、第２硬質層のＴｉＮ層のＸ線回折
最高ピーク面は（２００）面であり、第１硬質層のＸ線
回折最高ピーク面と第２硬質層のＸ線回折最高ピーク面
とは相違し、配向性は転写されていないことがわかる。
１硬質層のＴｉＣＮ層のＸ線回折最高ピーク面は（４２
２）面であるに対し、第２硬質層のＴｉＮ層のＸ線回折
最高ピーク面は（２００）面であり、第１硬質層のＸ線
回折最高ピーク面と第２硬質層のＸ線回折最高ピーク面
とは相違し、配向性は転写されていないことがわかる。
【００２５】実施例３ 実施例１で用意した超硬合金製切削工具を通常の熱ＣＶ
Ｄ炉に装填し、炉内温度：８８０℃、炉内圧力：５０To
rr、反応ガス組成：容量％で、８８．８％Ｈ2 −３．５
％ＴｉＣｌ4 −７．０％ＣＨ4 −０．７％ＣＨ3 ＣＮ、
反応時間：４時間３０分、の第１処理条件でＴｉＣＮ層
を形成し、引き続いて反応ガス組成を変えることなく炉
内温度を８８０℃から９２５℃まで昇温速度：１．５℃
／min.で昇温し、同時に炉内圧力を５０Torrから２００
Torrに昇圧速度：５Torr／min.で昇圧する転写処理を３
０分間施し、第１処理と転写処理によって合計膜厚：
５．０μｍのＴｉＣＮ層を形成した。ついで、炉内温
度：９２５℃、炉内圧力：２００Torr、に保持したま
ま、反応ガス組成を容量％で、４８．５％Ｈ2 −３．０
％ＴｉＣｌ4 −４８．５％Ｎ2 となるように急速に切換
え、保持時間：１時間３０分、かけて第２処理条件を施
し、厚さ：１．５μｍのＴｉＮ層を形成し、基体表面に
複合硬質層を形成してなる本発明被覆工具３を作製し
た。
Ｄ炉に装填し、炉内温度：８８０℃、炉内圧力：５０To
rr、反応ガス組成：容量％で、８８．８％Ｈ2 −３．５
％ＴｉＣｌ4 −７．０％ＣＨ4 −０．７％ＣＨ3 ＣＮ、
反応時間：４時間３０分、の第１処理条件でＴｉＣＮ層
を形成し、引き続いて反応ガス組成を変えることなく炉
内温度を８８０℃から９２５℃まで昇温速度：１．５℃
／min.で昇温し、同時に炉内圧力を５０Torrから２００
Torrに昇圧速度：５Torr／min.で昇圧する転写処理を３
０分間施し、第１処理と転写処理によって合計膜厚：
５．０μｍのＴｉＣＮ層を形成した。ついで、炉内温
度：９２５℃、炉内圧力：２００Torr、に保持したま
ま、反応ガス組成を容量％で、４８．５％Ｈ2 −３．０
％ＴｉＣｌ4 −４８．５％Ｎ2 となるように急速に切換
え、保持時間：１時間３０分、かけて第２処理条件を施
し、厚さ：１．５μｍのＴｉＮ層を形成し、基体表面に
複合硬質層を形成してなる本発明被覆工具３を作製し
た。
【００２６】得られた本発明被覆工具３の複合硬質層を
Ｘ線回折測定したところ、第１硬質層のＴｉＣＮ層のＸ
線回折最高ピーク面は（３１１）面であり、第２硬質層
のＴｉＮ層のＸ線回折最高ピーク面も（３１１）面であ
った。
Ｘ線回折測定したところ、第１硬質層のＴｉＣＮ層のＸ
線回折最高ピーク面は（３１１）面であり、第２硬質層
のＴｉＮ層のＸ線回折最高ピーク面も（３１１）面であ
った。
【００２７】従来例３ 実施例３と同様にして第１処理条件のみで厚さ：５．０
μｍのＴｉＣＮ層を形成したのち反応ガスを止め、熱Ｃ
ＶＤ炉にＨ2 （流量：５ｌ／min.）を流しながら、炉内
温度を９００℃から９２５℃まで昇温速度：１．５℃／
min.で昇温し、ついで、炉内圧力：２００Torr、反応ガ
ス組成：容量％で４８．５％Ｈ2 −３．０％ＴｉＣｌ4
−４８．５％Ｎ2 、となるように急速に切換え、１時間
かけて厚さ：１．５μｍのＴｉＮ層を形成し、複合硬質
層が基体表面に被覆された従来被覆工具３を作製した。
μｍのＴｉＣＮ層を形成したのち反応ガスを止め、熱Ｃ
ＶＤ炉にＨ2 （流量：５ｌ／min.）を流しながら、炉内
温度を９００℃から９２５℃まで昇温速度：１．５℃／
min.で昇温し、ついで、炉内圧力：２００Torr、反応ガ
ス組成：容量％で４８．５％Ｈ2 −３．０％ＴｉＣｌ4
−４８．５％Ｎ2 、となるように急速に切換え、１時間
かけて厚さ：１．５μｍのＴｉＮ層を形成し、複合硬質
層が基体表面に被覆された従来被覆工具３を作製した。
【００２８】得られた従来被覆工具３の複合硬質層をｘ
線回折したところ、第１硬質層のＴｉＣＮ層のＸ線回折
最高ピーク面は（３１１）面であり、第２硬質層のＴｉ
Ｎ層のＸ線回折最高ピーク面は（２００）面であり、Ｘ
線回折最高ピーク面は一致していなかった。
線回折したところ、第１硬質層のＴｉＣＮ層のＸ線回折
最高ピーク面は（３１１）面であり、第２硬質層のＴｉ
Ｎ層のＸ線回折最高ピーク面は（２００）面であり、Ｘ
線回折最高ピーク面は一致していなかった。
【００２９】実施例４ 実施例１と同一条件でＴｉＣＮ層を形成したのち、反応
ガスを変えることなく炉内温度を８７０℃から１０２０
℃まで昇温速度：３．８℃／min.で昇温し、同時に炉内
圧力を１００Torrから５０Torrまで降圧速度：１．２５
Torr／min.で降圧する転写処理を４０分間施し、合計膜
厚：６μｍのＴｉＣＮ層を形成した。ついで、炉内温
度：１０２０℃、炉内圧力：５０Torr、に保持したま
ま、反応ガス組成を容量％で、８６．２％Ｈ2 −３．５
％ＴｉＣｌ4 −１０．３％ＣＨ4 となるように急速に切
換え、保持時間：３時間、かけて第２処理を施すことに
より厚さ：３．０μｍのＴｉＣ層を形成し、本発明被覆
工具４を作製した。
ガスを変えることなく炉内温度を８７０℃から１０２０
℃まで昇温速度：３．８℃／min.で昇温し、同時に炉内
圧力を１００Torrから５０Torrまで降圧速度：１．２５
Torr／min.で降圧する転写処理を４０分間施し、合計膜
厚：６μｍのＴｉＣＮ層を形成した。ついで、炉内温
度：１０２０℃、炉内圧力：５０Torr、に保持したま
ま、反応ガス組成を容量％で、８６．２％Ｈ2 −３．５
％ＴｉＣｌ4 −１０．３％ＣＨ4 となるように急速に切
換え、保持時間：３時間、かけて第２処理を施すことに
より厚さ：３．０μｍのＴｉＣ層を形成し、本発明被覆
工具４を作製した。
【００３０】この本発明被覆工具４の第２硬質層のＸ線
回折最高ピーク面は第１硬質層と同じ（２２０）面であ
った。
回折最高ピーク面は第１硬質層と同じ（２２０）面であ
った。
【００３１】従来例４ 実施例４と同様にして第１処理条件のみで厚さ：６．０
μｍのＴｉＣＮ層を形成したのち、熱ＣＶＤ炉にＨ
2 （流量：５ｌ／min.）を流しながら、炉内温度を８７
０℃から１０２０℃まで昇温速度：３．８℃／min.で昇
温し、ついで、炉内圧力：５０Torr、反応ガス組成：容
量％で８６．２％Ｈ2 −３．５％ＴｉＣｌ4 −１０．３
％ＣＨ4 、となるように急速に切換え、３時間かけて厚
さ：３．０μｍのＴｉＣ層を形成し、複合硬質層が基体
表面に被覆された従来被覆工具４を作製した。
μｍのＴｉＣＮ層を形成したのち、熱ＣＶＤ炉にＨ
2 （流量：５ｌ／min.）を流しながら、炉内温度を８７
０℃から１０２０℃まで昇温速度：３．８℃／min.で昇
温し、ついで、炉内圧力：５０Torr、反応ガス組成：容
量％で８６．２％Ｈ2 −３．５％ＴｉＣｌ4 −１０．３
％ＣＨ4 、となるように急速に切換え、３時間かけて厚
さ：３．０μｍのＴｉＣ層を形成し、複合硬質層が基体
表面に被覆された従来被覆工具４を作製した。
【００３２】得られた従来被覆工具４の複合硬質層をＸ
線回折したところ、第１硬質層のＴｉＣＮ層のＸ線回折
最高ピーク面は（２２０）面であり、第２硬質層のＴｉ
Ｃ層のＸ線回折最高ピーク面は（２００）面であり、Ｘ
線回折最高ピーク面は一致していなかった。
線回折したところ、第１硬質層のＴｉＣＮ層のＸ線回折
最高ピーク面は（２２０）面であり、第２硬質層のＴｉ
Ｃ層のＸ線回折最高ピーク面は（２００）面であり、Ｘ
線回折最高ピーク面は一致していなかった。
【００３３】実施例５ 実施例１で用意した超硬合金製切削工具を通常の熱ＣＶ
Ｄ炉に装填し、炉内温度：９２０℃、炉内圧力：１００
Torr、反応ガス組成：容量％で９５．４％Ｈ2 −３．８
％ＴｉＣｌ4 −０．８％ＣＨ3 ＣＮ、反応時間：３時間
２０分、の第１処理条件でＴｉＣＮ層を形成し、引き続
いて反応ガス組成を変えることなく炉内温度を９２０℃
から１０２０℃まで昇温速度：２．５℃／min.で昇温
し、同時に炉内圧力を１００Torrから５０Torrに降圧速
度：１．３Torr／min.で降圧する転写処理を４０分間施
し、合計膜厚：４．０μｍのＴｉＣＮ層を形成した。つ
いで、炉内温度：１０２０℃、炉内圧力：５０Torr、に
保持したまま、反応ガス組成を容量％で、８６％Ｈ2 −
４％ＴｉＣｌ4 −１０％ＣＨ4 となるように急速に切換
え、保持時間：３時間かけて第２処理を施すことにより
厚さ：３．０μｍのＴｉＣ層を形成し、基体表面に複合
硬質層を形成してなる本発明被覆工具５を作製した。
Ｄ炉に装填し、炉内温度：９２０℃、炉内圧力：１００
Torr、反応ガス組成：容量％で９５．４％Ｈ2 −３．８
％ＴｉＣｌ4 −０．８％ＣＨ3 ＣＮ、反応時間：３時間
２０分、の第１処理条件でＴｉＣＮ層を形成し、引き続
いて反応ガス組成を変えることなく炉内温度を９２０℃
から１０２０℃まで昇温速度：２．５℃／min.で昇温
し、同時に炉内圧力を１００Torrから５０Torrに降圧速
度：１．３Torr／min.で降圧する転写処理を４０分間施
し、合計膜厚：４．０μｍのＴｉＣＮ層を形成した。つ
いで、炉内温度：１０２０℃、炉内圧力：５０Torr、に
保持したまま、反応ガス組成を容量％で、８６％Ｈ2 −
４％ＴｉＣｌ4 −１０％ＣＨ4 となるように急速に切換
え、保持時間：３時間かけて第２処理を施すことにより
厚さ：３．０μｍのＴｉＣ層を形成し、基体表面に複合
硬質層を形成してなる本発明被覆工具５を作製した。
【００３４】得られた本発明被覆工具５の複合硬質層を
Ｘ線回折測定したところ、第１硬質層のＴｉＣＮ層のＸ
線回折最高ピーク面は（１１１）面であり、第２硬質層
のＴｉＣ層のＸ線回折最高ピーク面も（１１１）面であ
った。
Ｘ線回折測定したところ、第１硬質層のＴｉＣＮ層のＸ
線回折最高ピーク面は（１１１）面であり、第２硬質層
のＴｉＣ層のＸ線回折最高ピーク面も（１１１）面であ
った。
【００３５】従来例５ 実施例５と同様にして第１処理条件のみで厚さ：４０μ
ｍのＴｉＣＮ層を形成したのち、熱ＣＶＤ炉にＨ2 ガス
を流量：５ｌ／min.で流しながら、炉内温度を９２０℃
から１０２０℃まで昇温速度：２．５℃／min.で昇温
し、ついで、炉内圧力：５０Torr、反応ガス組成：容量
％で、８６％Ｈ2 −４％ＴｉＣｌ4 −１０％ＣＨ4 、と
なるように急速に切換え、３時間かけて厚さ：３．０μ
ｍのＴｉＣ層を形成し、複合硬質層を基体表面に被覆し
た従来被覆工具５を作製した。
ｍのＴｉＣＮ層を形成したのち、熱ＣＶＤ炉にＨ2 ガス
を流量：５ｌ／min.で流しながら、炉内温度を９２０℃
から１０２０℃まで昇温速度：２．５℃／min.で昇温
し、ついで、炉内圧力：５０Torr、反応ガス組成：容量
％で、８６％Ｈ2 −４％ＴｉＣｌ4 −１０％ＣＨ4 、と
なるように急速に切換え、３時間かけて厚さ：３．０μ
ｍのＴｉＣ層を形成し、複合硬質層を基体表面に被覆し
た従来被覆工具５を作製した。
【００３６】得られた従来被覆工具５の複合硬質層をＸ
線回折したところ、第１硬質層のＴｉＣＮ層のＸ線回折
最高ピーク面は（１１１）面であり、第２硬質層のＴｉ
Ｃ層のＸ線回折最高ピーク面は（２００）面であり、Ｘ
線回折最高ピーク面は一致していなかった。
線回折したところ、第１硬質層のＴｉＣＮ層のＸ線回折
最高ピーク面は（１１１）面であり、第２硬質層のＴｉ
Ｃ層のＸ線回折最高ピーク面は（２００）面であり、Ｘ
線回折最高ピーク面は一致していなかった。
【００３７】実施例６ 実施例１で用意した超硬合金製切削工具を通常の熱ＣＶ
Ｄ炉に装填し、炉内温度：１０８０℃、炉内圧力：５０
Torr、反応ガス組成：容量％で、８７．３％Ｈ2 −３．
６％ＴｉＣｌ4 −９．１％ＣＨ4 、反応時間：２時間３
０分、の第１処理条件でＴｉＣ層を形成し、引き続いて
反応ガス組成を変えることなく炉内温度を１０８０℃か
ら９２５℃まで降温速度：５．１℃／min.で降温し、炉
内圧力を５０Torrから２００Torrに昇圧速度：５．０To
rr／min.で昇圧する転写処理を３０分間施し、合計膜
厚：３．０μｍのＴｉＣ層を形成した。ついで、炉内温
度：９２５℃、炉内圧力：２００Torr、に保持したま
ま、反応ガス組成を容量％で、４８．５％Ｈ2 −３．０
％ＴｉＣｌ4 −４８．５％Ｎ2 となるように急速に切換
え、保持時間：４時間、かけて第２処理を施すことによ
り厚さ：４．０μｍのＴｉＮ層を形成し、基体表面に複
合硬質層を形成してなる本発明被覆工具６を作製した。
Ｄ炉に装填し、炉内温度：１０８０℃、炉内圧力：５０
Torr、反応ガス組成：容量％で、８７．３％Ｈ2 −３．
６％ＴｉＣｌ4 −９．１％ＣＨ4 、反応時間：２時間３
０分、の第１処理条件でＴｉＣ層を形成し、引き続いて
反応ガス組成を変えることなく炉内温度を１０８０℃か
ら９２５℃まで降温速度：５．１℃／min.で降温し、炉
内圧力を５０Torrから２００Torrに昇圧速度：５．０To
rr／min.で昇圧する転写処理を３０分間施し、合計膜
厚：３．０μｍのＴｉＣ層を形成した。ついで、炉内温
度：９２５℃、炉内圧力：２００Torr、に保持したま
ま、反応ガス組成を容量％で、４８．５％Ｈ2 −３．０
％ＴｉＣｌ4 −４８．５％Ｎ2 となるように急速に切換
え、保持時間：４時間、かけて第２処理を施すことによ
り厚さ：４．０μｍのＴｉＮ層を形成し、基体表面に複
合硬質層を形成してなる本発明被覆工具６を作製した。
【００３８】得られた本発明被覆工具６の複合硬質層を
Ｘ線回折測定したところ、第１硬質層のＴｉＣ層のＸ線
回折最高ピーク面は（１１１）面であり、第２硬質層の
ＴｉＮ層のＸ線回折最高ピーク面も（１１１）面であっ
た。
Ｘ線回折測定したところ、第１硬質層のＴｉＣ層のＸ線
回折最高ピーク面は（１１１）面であり、第２硬質層の
ＴｉＮ層のＸ線回折最高ピーク面も（１１１）面であっ
た。
【００３９】従来例６ 実施例６と同様にして第１処理条件のみで厚さ：３．０
μｍのＴｉＣ層を形成し、ついでＨ2 ガスを流量：５ｌ
／min.で流しながら、炉内温度を１０８０℃から９２５
℃まで降温速度：２．６℃／min.で降温し、反応ガス組
成を容量％で、、４８．５％Ｈ2 −３．０％ＴｉＣｌ4
−４８．５％ＣＨ4 となるように急速に切換え、４時間
かけて厚さ：４．０μｍのＴｉＮ層を形成し、基体表面
に複合硬質層を被覆した従来被覆工具６を作製した。
μｍのＴｉＣ層を形成し、ついでＨ2 ガスを流量：５ｌ
／min.で流しながら、炉内温度を１０８０℃から９２５
℃まで降温速度：２．６℃／min.で降温し、反応ガス組
成を容量％で、、４８．５％Ｈ2 −３．０％ＴｉＣｌ4
−４８．５％ＣＨ4 となるように急速に切換え、４時間
かけて厚さ：４．０μｍのＴｉＮ層を形成し、基体表面
に複合硬質層を被覆した従来被覆工具６を作製した。
【００４０】得られた従来被覆工具６の複合硬質層をＸ
線回折したところ、第１硬質層のＴｉＣ層のＸ線回折最
高ピーク面は（１１１）面であり、第２硬質層のＴｉＮ
層のＸ線回折最高ピーク面は（２００）面であり、Ｘ線
回折最高ピーク面は一致していなかった。
線回折したところ、第１硬質層のＴｉＣ層のＸ線回折最
高ピーク面は（１１１）面であり、第２硬質層のＴｉＮ
層のＸ線回折最高ピーク面は（２００）面であり、Ｘ線
回折最高ピーク面は一致していなかった。
【００４１】実施例７ 実施例１で用意した超硬合金製切削工具を通常の熱ＣＶ
Ｄ炉に装填し、炉内温度：１０４０℃、炉内圧力：５０
Torr、反応ガス組成：容量％で、４８．５％Ｈ2 −３．
０％ＴｉＣｌ4 −４８．５％Ｎ2 、反応時間：１時間４
０分、の第１処理条件でＴｉＮ層を形成し、引き続いて
反応ガス組成を変えることなく炉内温度を１０４０℃か
ら８４０℃まで降温速度：５℃／min.で降温し、炉内圧
力を変化させることなく一定に保持して転写処理を２０
分間施し、合計膜厚：２．０μｍのＴｉＮ層を形成し
た。ついで、炉内温度：８４０℃、炉内圧力：５０Tor
r、に保持したまま、反応ガス組成を容量％で、９４．
８％Ｈ2 −４．７％ＴｉＣｌ4 −０．５％ＣＨ3 ＣＮと
なるように急速に切換え、保持時間：５時間、かけて第
２処理を施すことにより厚さ：５．０μｍのＴｉＣＮ層
を形成し、基体表面に複合硬質層を形成してなる本発明
被覆工具７を作製した。
Ｄ炉に装填し、炉内温度：１０４０℃、炉内圧力：５０
Torr、反応ガス組成：容量％で、４８．５％Ｈ2 −３．
０％ＴｉＣｌ4 −４８．５％Ｎ2 、反応時間：１時間４
０分、の第１処理条件でＴｉＮ層を形成し、引き続いて
反応ガス組成を変えることなく炉内温度を１０４０℃か
ら８４０℃まで降温速度：５℃／min.で降温し、炉内圧
力を変化させることなく一定に保持して転写処理を２０
分間施し、合計膜厚：２．０μｍのＴｉＮ層を形成し
た。ついで、炉内温度：８４０℃、炉内圧力：５０Tor
r、に保持したまま、反応ガス組成を容量％で、９４．
８％Ｈ2 −４．７％ＴｉＣｌ4 −０．５％ＣＨ3 ＣＮと
なるように急速に切換え、保持時間：５時間、かけて第
２処理を施すことにより厚さ：５．０μｍのＴｉＣＮ層
を形成し、基体表面に複合硬質層を形成してなる本発明
被覆工具７を作製した。
【００４２】得られた本発明被覆工具７の複合硬質層を
Ｘ線回折測定したところ、第１硬質層のＴｉＮ層のＸ線
回折最高ピーク面は（１１１）面であり、第２硬質層の
ＴｉＣＮ層のＸ線回折最高ピーク面も（１１１）面であ
った。
Ｘ線回折測定したところ、第１硬質層のＴｉＮ層のＸ線
回折最高ピーク面は（１１１）面であり、第２硬質層の
ＴｉＣＮ層のＸ線回折最高ピーク面も（１１１）面であ
った。
【００４３】従来例７ 実施例７と同様にして第１処理条件のみで厚さ：２．０
μｍのＴｉＮ層を形成し、ついでＨ2 ガスを流量：５ｌ
／min.で流しながら、炉内温度を１０４０℃から８４０
℃まで降温速度：５℃／min.で降温し、反応ガス組成を
容量％で、９５．４％Ｈ2 −３．８％ＴｉＣｌ4 −０．
８％ＣＨ3 ＣＮとなるように急速に切換え、５時間かけ
て厚さ：５．０μｍのＴｉＣＮ層を形成し、基体表面に
複合硬質層を被覆した従来被覆工具７を作製した。
μｍのＴｉＮ層を形成し、ついでＨ2 ガスを流量：５ｌ
／min.で流しながら、炉内温度を１０４０℃から８４０
℃まで降温速度：５℃／min.で降温し、反応ガス組成を
容量％で、９５．４％Ｈ2 −３．８％ＴｉＣｌ4 −０．
８％ＣＨ3 ＣＮとなるように急速に切換え、５時間かけ
て厚さ：５．０μｍのＴｉＣＮ層を形成し、基体表面に
複合硬質層を被覆した従来被覆工具７を作製した。
【００４４】得られた従来被覆工具７の複合硬質層をＸ
線回折したところ、第１硬質層のＴｉＮ層のＸ線回折最
高ピーク面は（１１１）面であり、第２硬質層のＴｉＣ
Ｎ層のＸ線回折最高ピーク面は（４２２）面であり、Ｘ
線回折最高ピーク面は一致していなかった。
線回折したところ、第１硬質層のＴｉＮ層のＸ線回折最
高ピーク面は（１１１）面であり、第２硬質層のＴｉＣ
Ｎ層のＸ線回折最高ピーク面は（４２２）面であり、Ｘ
線回折最高ピーク面は一致していなかった。
【００４５】実施例８ 実施例１で用意した超硬合金製切削工具を通常の熱ＣＶ
Ｄ炉に装填し、炉内温度：１０９０℃、炉内圧力：５０
Torr、反応ガス組成：容量％で、４９．０％Ｈ2 −２．
０％ＴｉＣｌ4 −４９．０％Ｎ2 、反応時間：２時間、
の第１処理条件でＴｉＮ層を形成し、引き続いて反応ガ
ス組成を変えることなく炉内温度を１０９０℃から９０
０℃まで降温速度：６．３℃／min.で降温し、炉内圧力
を変化させることなく一定に保持して転写処理を施し、
合計膜厚：２．５μｍのＴｉＮ層を得た。ついで、炉内
温度：９００℃、炉内圧力：５０Torr、に保持したま
ま、反応ガス組成を容量％で、９５．０％Ｈ2 −４．０
％ＴｉＣｌ4 −１．０％ＣＨ3 ＣＮとなるように急速に
切換え、保持時間：２時間３０分、かけて第２処理を施
すことにより厚さ：２．５μｍのＴｉＣＮ層を形成し、
基体表面に複合硬質層を形成してなる本発明被覆工具８
を作製した。
Ｄ炉に装填し、炉内温度：１０９０℃、炉内圧力：５０
Torr、反応ガス組成：容量％で、４９．０％Ｈ2 −２．
０％ＴｉＣｌ4 −４９．０％Ｎ2 、反応時間：２時間、
の第１処理条件でＴｉＮ層を形成し、引き続いて反応ガ
ス組成を変えることなく炉内温度を１０９０℃から９０
０℃まで降温速度：６．３℃／min.で降温し、炉内圧力
を変化させることなく一定に保持して転写処理を施し、
合計膜厚：２．５μｍのＴｉＮ層を得た。ついで、炉内
温度：９００℃、炉内圧力：５０Torr、に保持したま
ま、反応ガス組成を容量％で、９５．０％Ｈ2 −４．０
％ＴｉＣｌ4 −１．０％ＣＨ3 ＣＮとなるように急速に
切換え、保持時間：２時間３０分、かけて第２処理を施
すことにより厚さ：２．５μｍのＴｉＣＮ層を形成し、
基体表面に複合硬質層を形成してなる本発明被覆工具８
を作製した。
【００４６】得られた本発明被覆工具８の複合硬質層を
Ｘ線回折測定したところ、第１硬質層のＴｉＮ層のＸ線
回折最高ピーク面は（２２０）面であり、第２硬質層の
ＴｉＣＮ層のＸ線回折最高ピーク面も（２２０）面であ
った。
Ｘ線回折測定したところ、第１硬質層のＴｉＮ層のＸ線
回折最高ピーク面は（２２０）面であり、第２硬質層の
ＴｉＣＮ層のＸ線回折最高ピーク面も（２２０）面であ
った。
【００４７】従来例８ 実施例８と同様にして第１処理条件のみで厚さ：２．５
μｍのＴｉＮ層を形成し、ついでＨ2 ガスを流量：５ｌ
／min.で流しながら、炉内温度を１０９０℃から９００
℃まで降温速度：６．３℃／min.で降温し、反応ガス組
成を容量％で、９５．０％Ｈ2 −４．０％ＴｉＣｌ4 −
１．０％ＣＨ3 ＣＮとなるように急速に切換え、２時間
３０分かけて厚さ：２．５μｍのＴｉＣＮ層を形成し、
基体表面に複合硬質層を被覆した従来被覆工具８を作製
した。
μｍのＴｉＮ層を形成し、ついでＨ2 ガスを流量：５ｌ
／min.で流しながら、炉内温度を１０９０℃から９００
℃まで降温速度：６．３℃／min.で降温し、反応ガス組
成を容量％で、９５．０％Ｈ2 −４．０％ＴｉＣｌ4 −
１．０％ＣＨ3 ＣＮとなるように急速に切換え、２時間
３０分かけて厚さ：２．５μｍのＴｉＣＮ層を形成し、
基体表面に複合硬質層を被覆した従来被覆工具８を作製
した。
【００４８】得られた従来被覆工具８の複合硬質層をＸ
線回折したところ、第１硬質層のＴｉＮ層のＸ線回折最
高ピーク面は（２２０）面であり、第２硬質層のＴｉＣ
Ｎ層のＸ線回折最高ピーク面は（１１１）面であり、Ｘ
線回折最高ピーク面は一致していなかった。
線回折したところ、第１硬質層のＴｉＮ層のＸ線回折最
高ピーク面は（２２０）面であり、第２硬質層のＴｉＣ
Ｎ層のＸ線回折最高ピーク面は（１１１）面であり、Ｘ
線回折最高ピーク面は一致していなかった。
【００４９】実施例９ 反応時間以外は実施例２の第１処理条件と全く同一条件
で基体表面にＴｉＣＮ層を形成し、続いて反応ガス組成
を変えることなく炉内温度を８４０℃から１０２０℃ま
で昇温速度：１．５℃／min.で昇温し、炉内圧力を５０
Torrに保持して合計膜厚：３．５μｍのＴｉＣＮ層を形
成した。続いて反応ガス組成を容量％で、８７．３％Ｈ
2 −３．６％ＴｉＣｌ4 −９．１％ＣＨ4 となるように
急速に切換え、保持時間：２時間、かけて第２処理を施
すことにより厚さ：２．０μｍのＴｉＣ層を形成し、本
発明被覆工具９を作製した。この本発明被覆工具９の第
１硬質層のＴｉＣＮ層および第２硬質層のＴｉＣ層のＸ
線回折最高ピーク面は共に（４２２）面であった。
で基体表面にＴｉＣＮ層を形成し、続いて反応ガス組成
を変えることなく炉内温度を８４０℃から１０２０℃ま
で昇温速度：１．５℃／min.で昇温し、炉内圧力を５０
Torrに保持して合計膜厚：３．５μｍのＴｉＣＮ層を形
成した。続いて反応ガス組成を容量％で、８７．３％Ｈ
2 −３．６％ＴｉＣｌ4 −９．１％ＣＨ4 となるように
急速に切換え、保持時間：２時間、かけて第２処理を施
すことにより厚さ：２．０μｍのＴｉＣ層を形成し、本
発明被覆工具９を作製した。この本発明被覆工具９の第
１硬質層のＴｉＣＮ層および第２硬質層のＴｉＣ層のＸ
線回折最高ピーク面は共に（４２２）面であった。
【００５０】従来例９ 実施例９の第１処理条件で厚さ：３．５μｍのＴｉＣＮ
層を形成したのち、Ｈ2 ガスを流しながら炉内温度を８
４０℃から１０２０℃まで昇温速度：１．５℃／min.で
昇温し、次いで反応ガス組成を上記Ｈ2 ガスから８７．
３％Ｈ2 −３．６％ＴｉＣｌ4 −９．１％ＣＨ4 の組成
を有する反応ガスに切換え、２時間保持して厚さ：２．
０μｍのＴｉＣ層を形成し、従来被覆工具９を作製し
た。
層を形成したのち、Ｈ2 ガスを流しながら炉内温度を８
４０℃から１０２０℃まで昇温速度：１．５℃／min.で
昇温し、次いで反応ガス組成を上記Ｈ2 ガスから８７．
３％Ｈ2 −３．６％ＴｉＣｌ4 −９．１％ＣＨ4 の組成
を有する反応ガスに切換え、２時間保持して厚さ：２．
０μｍのＴｉＣ層を形成し、従来被覆工具９を作製し
た。
【００５１】上記従来被覆工具９の第１硬質層であるＴ
ｉＣＮ層のＸ線回折最高ピーク面は（４２２）面であっ
たが、、第２硬質層のＴｉＣ層のＸ線回折最高ピーク面
は（２００）面であった。
ｉＣＮ層のＸ線回折最高ピーク面は（４２２）面であっ
たが、、第２硬質層のＴｉＣ層のＸ線回折最高ピーク面
は（２００）面であった。
【００５２】実施例１０ 実施例１で用意した超硬合金製切削工具を通常の熱ＣＶ
Ｄ炉に装填し、炉内温度：１１２０℃、炉内圧力：３０
Torr、反応ガス組成：容量％で、８６．０％Ｈ2 −４．
０％ＴｉＣｌ4 −１０．０％ＣＨ4 、反応時間：４時
間、の第１処理条件でＴｉＣ層を形成し、引き続いて反
応ガス組成を変えることなく炉内温度を１１２０℃から
９２５℃まで降温速度：５．０℃／min.で降温し、炉内
圧力を３０Torrから２００Torrに昇圧速度：４．４Torr
／min.で昇圧する転写処理を施し、第１処理と転写処理
の合計で厚さ：４．５μｍのＴｉＣ層を形成した。つい
で、炉内温度：９２５℃、炉内圧力：２００Torr、に保
持したまま、反応ガス組成を容量％で、４８．０％Ｈ2
−４．０％ＴｉＣｌ4 −４８．０％Ｎ2 となるように急
速に切換え、保持時間：３時間かけて第２処理を施すこ
とによりＴｉＮ層を形成し、さらに、反応ガス組成を、
４８．０％Ｈ2 −４．０％ＴｉＣｌ4 −４８．０％Ｎ2
のまま保持し、炉内温度を９２５℃から９００℃降温す
ると同時に炉内圧力を２００Torrから５０Torrに降圧す
る転写処理を施し、第２処理と転写処理の合計で厚さ：
３．５μｍのＴｉＮ層を形成した。ついで、炉内温度：
９００℃、炉内圧力：５０Torr、に保持したまま、反応
ガス組成を容量％で、９５．０％Ｈ2 −４．３％ＴｉＣ
ｌ4 −０．７％ＣＨ3 ＣＮとなるように急速に切換え、
２時間３０分保持することにより厚さ：２．５μｍのＴ
ｉＣＮ層を形成し、本発明被覆工具１０を作製した。
Ｄ炉に装填し、炉内温度：１１２０℃、炉内圧力：３０
Torr、反応ガス組成：容量％で、８６．０％Ｈ2 −４．
０％ＴｉＣｌ4 −１０．０％ＣＨ4 、反応時間：４時
間、の第１処理条件でＴｉＣ層を形成し、引き続いて反
応ガス組成を変えることなく炉内温度を１１２０℃から
９２５℃まで降温速度：５．０℃／min.で降温し、炉内
圧力を３０Torrから２００Torrに昇圧速度：４．４Torr
／min.で昇圧する転写処理を施し、第１処理と転写処理
の合計で厚さ：４．５μｍのＴｉＣ層を形成した。つい
で、炉内温度：９２５℃、炉内圧力：２００Torr、に保
持したまま、反応ガス組成を容量％で、４８．０％Ｈ2
−４．０％ＴｉＣｌ4 −４８．０％Ｎ2 となるように急
速に切換え、保持時間：３時間かけて第２処理を施すこ
とによりＴｉＮ層を形成し、さらに、反応ガス組成を、
４８．０％Ｈ2 −４．０％ＴｉＣｌ4 −４８．０％Ｎ2
のまま保持し、炉内温度を９２５℃から９００℃降温す
ると同時に炉内圧力を２００Torrから５０Torrに降圧す
る転写処理を施し、第２処理と転写処理の合計で厚さ：
３．５μｍのＴｉＮ層を形成した。ついで、炉内温度：
９００℃、炉内圧力：５０Torr、に保持したまま、反応
ガス組成を容量％で、９５．０％Ｈ2 −４．３％ＴｉＣ
ｌ4 −０．７％ＣＨ3 ＣＮとなるように急速に切換え、
２時間３０分保持することにより厚さ：２．５μｍのＴ
ｉＣＮ層を形成し、本発明被覆工具１０を作製した。
【００５３】得られた本発明被覆工具１０のＴｉＣ層、
ＴｉＮ層およびＴｉＣＮ層のＸ線回折最高ピーク面を測
定したところ、いずれの硬質層のＸ線回折最高ピーク面
も（２２０）面であることがわかった。
ＴｉＮ層およびＴｉＣＮ層のＸ線回折最高ピーク面を測
定したところ、いずれの硬質層のＸ線回折最高ピーク面
も（２２０）面であることがわかった。
【００５４】従来例１０ 実施例１０の第１処理条件のみによって形成された厚
さ：４．５μｍのＴｉＣ層の上に、炉内温度：９２５
℃、炉内圧力：２００Torr、反応ガス組成：容量％で４
８．０％Ｈ2 −４．０％ＴｉＣｌ4 −４８．０％Ｎ2 、
保持時間：３．５時間、の条件で第２硬質層のＴｉＮ層
を形成し、さらに、炉内温度：９００℃、炉内圧力：５
０Torr、反応ガス組成：容量％で、９５．０％Ｈ2 −
４．３％ＴｉＣｌ4 −０．７％ＣＨ3 ＣＮ、保持時間：
２時間３０分、の条件で第３硬質層のＴｉＣＮ層を形成
し、従来被覆工具１０を作製した。
さ：４．５μｍのＴｉＣ層の上に、炉内温度：９２５
℃、炉内圧力：２００Torr、反応ガス組成：容量％で４
８．０％Ｈ2 −４．０％ＴｉＣｌ4 −４８．０％Ｎ2 、
保持時間：３．５時間、の条件で第２硬質層のＴｉＮ層
を形成し、さらに、炉内温度：９００℃、炉内圧力：５
０Torr、反応ガス組成：容量％で、９５．０％Ｈ2 −
４．３％ＴｉＣｌ4 −０．７％ＣＨ3 ＣＮ、保持時間：
２時間３０分、の条件で第３硬質層のＴｉＣＮ層を形成
し、従来被覆工具１０を作製した。
【００５５】得られた従来被覆工具１０の硬質層のＸ線
回折最高ピーク面を測定したところ、第１硬質層のＴｉ
Ｃ層のＸ線回折最高ピーク面は（２２０）面であり、第
２硬質層のＴｉＮ層のＸ線回折最高ピーク面は（２０
０）面であり、第３硬質層のＴｉＣＮ層のＸ線回折最高
ピーク面は（１１１）面であり、各層のＸ線回折最高ピ
ーク面は異なっていた。
回折最高ピーク面を測定したところ、第１硬質層のＴｉ
Ｃ層のＸ線回折最高ピーク面は（２２０）面であり、第
２硬質層のＴｉＮ層のＸ線回折最高ピーク面は（２０
０）面であり、第３硬質層のＴｉＣＮ層のＸ線回折最高
ピーク面は（１１１）面であり、各層のＸ線回折最高ピ
ーク面は異なっていた。
【００５６】実施例１１ 実施例７と全く同様にして第１硬質層のＴｉＮ層、第２
硬質層のＴｉＣＮ層を形成したのち、炉内温度を８４０
℃から９２５℃に昇温すると同時に炉内圧力を５０Torr
から２００Torrに昇圧し、反応ガス組成を４９．０％Ｈ
2 −２．０％ＴｉＣｌ4 −４９．０％Ｎ2 に急速に切り
換え、炉内温度：９２５℃、炉内圧力：２００Torr、保
持時間：１時間、の条件で第３硬質層のＴｉＮ層を形成
し、本発明被覆工具１１を作製した。
硬質層のＴｉＣＮ層を形成したのち、炉内温度を８４０
℃から９２５℃に昇温すると同時に炉内圧力を５０Torr
から２００Torrに昇圧し、反応ガス組成を４９．０％Ｈ
2 −２．０％ＴｉＣｌ4 −４９．０％Ｎ2 に急速に切り
換え、炉内温度：９２５℃、炉内圧力：２００Torr、保
持時間：１時間、の条件で第３硬質層のＴｉＮ層を形成
し、本発明被覆工具１１を作製した。
【００５７】得られた本発明被覆工具の第１硬質層のＴ
ｉＮ層、第２硬質層のＴｉＣＮ層および第３硬質層のＴ
ｉＮ層のそれぞれのＸ線回折最高ピーク面を測定したと
ころ、いずれの硬質層のＸ線回折最高ピーク面も（１１
１）面であった。
ｉＮ層、第２硬質層のＴｉＣＮ層および第３硬質層のＴ
ｉＮ層のそれぞれのＸ線回折最高ピーク面を測定したと
ころ、いずれの硬質層のＸ線回折最高ピーク面も（１１
１）面であった。
【００５８】従来例１１ 従来例７と同様にして第１硬質層のＴｉＮ層、第２硬質
層のＴｉＣＮ層を形成したのち、さらに、炉内温度：９
２５℃、炉内圧力：２００Torr、反応ガス組成：容量％
で４９．０％Ｈ2 −２．０％ＴｉＣｌ4 −４９．０％Ｎ
2 、保持時間：１時間、の条件で第３硬質層のＴｉＮ層
を形成し、従来被覆工具１１を作製した。
層のＴｉＣＮ層を形成したのち、さらに、炉内温度：９
２５℃、炉内圧力：２００Torr、反応ガス組成：容量％
で４９．０％Ｈ2 −２．０％ＴｉＣｌ4 −４９．０％Ｎ
2 、保持時間：１時間、の条件で第３硬質層のＴｉＮ層
を形成し、従来被覆工具１１を作製した。
【００５９】得られた従来被覆工具の第１硬質層のＴｉ
Ｎ層のＸ線回折最高ピーク面は（１１１）面であり、第
２硬質層のＴｉＣＮ層のＸ線回折最高ピーク面は（４２
２）面であり、さらに第３硬質層のＴｉＮ層のＸ線回折
最高ピーク面は（２００）面であり、複合硬質層を構成
する各層のＸ線回折最高ピーク面が異なっていた。
Ｎ層のＸ線回折最高ピーク面は（１１１）面であり、第
２硬質層のＴｉＣＮ層のＸ線回折最高ピーク面は（４２
２）面であり、さらに第３硬質層のＴｉＮ層のＸ線回折
最高ピーク面は（２００）面であり、複合硬質層を構成
する各層のＸ線回折最高ピーク面が異なっていた。
【００６０】実施例１２ 実施例１０と同じ条件で厚さ：３．５μｍを有しＸ線回
折最高ピーク面が（２２０）面を有する第１硬質層のＴ
ｉＣ層および厚さ：２．５μｍを有しＸ線回折最高ピー
ク面が（２２０）面を有する第２硬質層のＴｉＮ層を形
成し、さらに第３硬質層として通常のＣＶＤ条件で厚
さ：１．５μｍのＡｌ2 Ｏ3 層を形成し、本発明被覆工
具１２を作製した。
折最高ピーク面が（２２０）面を有する第１硬質層のＴ
ｉＣ層および厚さ：２．５μｍを有しＸ線回折最高ピー
ク面が（２２０）面を有する第２硬質層のＴｉＮ層を形
成し、さらに第３硬質層として通常のＣＶＤ条件で厚
さ：１．５μｍのＡｌ2 Ｏ3 層を形成し、本発明被覆工
具１２を作製した。
【００６１】従来例１２ 従来例１０と同じ条件で厚さ：３．５μｍを有しＸ線回
折最高ピーク面が（２２０）面を有する第１硬質層のＴ
ｉＣ層および厚さ：２．５μｍを有しＸ線回折最高ピー
ク面が（２００）面を有する第２硬質層のＴｉＮ層を形
成し、さらに第３硬質層として通常のＣＶＤ条件で厚
さ：１．５μｍのＡｌ2 Ｏ3 層を形成し、従来被覆工具
１２を作製した。
折最高ピーク面が（２２０）面を有する第１硬質層のＴ
ｉＣ層および厚さ：２．５μｍを有しＸ線回折最高ピー
ク面が（２００）面を有する第２硬質層のＴｉＮ層を形
成し、さらに第３硬質層として通常のＣＶＤ条件で厚
さ：１．５μｍのＡｌ2 Ｏ3 層を形成し、従来被覆工具
１２を作製した。
【００６２】実施例１３ 実施例７と同じ条件で厚さ：１．０μｍを有しＸ線回折
最高ピーク面が（１１１）面を有する第１硬質層のＴｉ
Ｎ層および厚さ：７．５μｍを有しＸ線回折最高ピーク
面が（１１１）面を有する第２硬質層のＴｉＣＮ層を形
成し、さらに第３硬質層として通常のＣＶＤ条件により
厚さ：１．５μｍのＡｌ2 Ｏ3 層を形成し、本発明被覆
工具１３を作製した。
最高ピーク面が（１１１）面を有する第１硬質層のＴｉ
Ｎ層および厚さ：７．５μｍを有しＸ線回折最高ピーク
面が（１１１）面を有する第２硬質層のＴｉＣＮ層を形
成し、さらに第３硬質層として通常のＣＶＤ条件により
厚さ：１．５μｍのＡｌ2 Ｏ3 層を形成し、本発明被覆
工具１３を作製した。
【００６３】従来例１３ 従来例７と同じ条件で厚さ：１．０μｍを有しＸ線回折
最高ピーク面が（１１１）面を有する第１硬質層のＴｉ
Ｎ層および厚さ：７．５μｍを有しＸ線回折最高ピーク
面が（４２２）面を有する第２硬質層のＴｉＣＮ層を形
成し、さらに第３硬質層として通常のＣＶＤ条件により
厚さ：１．５μｍのＡｌ2 Ｏ3 層を形成し、従来被覆工
具１３を作製した。
最高ピーク面が（１１１）面を有する第１硬質層のＴｉ
Ｎ層および厚さ：７．５μｍを有しＸ線回折最高ピーク
面が（４２２）面を有する第２硬質層のＴｉＣＮ層を形
成し、さらに第３硬質層として通常のＣＶＤ条件により
厚さ：１．５μｍのＡｌ2 Ｏ3 層を形成し、従来被覆工
具１３を作製した。
【００６４】上記実施例１〜１３および従来例１〜１３
で作製した本発明被覆工具１〜１３および従来被覆工具
１〜１３の複合硬質層をまとめて表１〜表４に示すと共
に、さらに本発明被覆工具１〜１３および従来被覆工具
１〜１３を用い、被削材：ＳＮＣＭ４３９（硬さＨB ：
２８０）、切削速度：２００ｍ／min.、切込み：２．５
mm、送り：０．３mm／刃（単刃切削）、切削時間：６０
分、の条件で乾式フライス切削試験を行ない、切刃の逃
げ面摩耗幅およびすくい面摩耗幅を測定し、それらの結
果を表１〜表４に示した。
で作製した本発明被覆工具１〜１３および従来被覆工具
１〜１３の複合硬質層をまとめて表１〜表４に示すと共
に、さらに本発明被覆工具１〜１３および従来被覆工具
１〜１３を用い、被削材：ＳＮＣＭ４３９（硬さＨB ：
２８０）、切削速度：２００ｍ／min.、切込み：２．５
mm、送り：０．３mm／刃（単刃切削）、切削時間：６０
分、の条件で乾式フライス切削試験を行ない、切刃の逃
げ面摩耗幅およびすくい面摩耗幅を測定し、それらの結
果を表１〜表４に示した。
【００６５】
【表１】
【００６６】
【表２】
【００６７】
【表３】
【００６８】
【表４】
【００６９】表１〜表４に示される結果から、少なくと
も第１硬質層と第２硬質層のＸ線回折最高ピーク面が一
致している（すなわち、配向面が一致している）本発明
被覆工具１〜１３は、第１硬質層と第２硬質層のＸ線回
折最高ピーク面が一致していない（すなわち、配向面が
一致していない）従来被覆工具１〜１３に比べて耐欠損
性に優れ、６０分の苛酷な切削を行なっても欠損のため
に中止することがなく、工具寿命が長いことがわかる。
も第１硬質層と第２硬質層のＸ線回折最高ピーク面が一
致している（すなわち、配向面が一致している）本発明
被覆工具１〜１３は、第１硬質層と第２硬質層のＸ線回
折最高ピーク面が一致していない（すなわち、配向面が
一致していない）従来被覆工具１〜１３に比べて耐欠損
性に優れ、６０分の苛酷な切削を行なっても欠損のため
に中止することがなく、工具寿命が長いことがわかる。
【００７０】実施例１４〜２６および従来例１４〜２
６、 ＴｉＣＮ−２５％ＷＣ−１５％ＴａＣ−１３％Ｃｏ−５
％ＮｂＣ−４％Ｎｉ（但し、％は重量％）からなる組成
およびＪＩＳ・ＳＥＥＮ４２ＡＦＴＮ１の形状を有する
サーメット製切削工具を用いる以外は実施例１〜１３と
全く同じ条件で本発明被覆工具１４〜２６を作製し、さ
らに従来例１〜１３と全く同じ条件で従来被覆工具１４
〜２６を作製し、これら本発明被覆工具１４〜２６およ
び従来被覆工具１４〜２６を用い、被削材：ＳＮＣＭ４
４０（硬さＨB ：２５０）、切削速度：２５０ｍ／mi
n.、切込み：２．５mm、送り：０．２mm／刃（単刃切
削）、切削時間：６０分、の条件で乾式フライス切削試
験を行ない、切刃の逃げ面摩耗幅およびすくい面摩耗深
さを測定し、それらの結果を表５〜表８に示した。
６、 ＴｉＣＮ−２５％ＷＣ−１５％ＴａＣ−１３％Ｃｏ−５
％ＮｂＣ−４％Ｎｉ（但し、％は重量％）からなる組成
およびＪＩＳ・ＳＥＥＮ４２ＡＦＴＮ１の形状を有する
サーメット製切削工具を用いる以外は実施例１〜１３と
全く同じ条件で本発明被覆工具１４〜２６を作製し、さ
らに従来例１〜１３と全く同じ条件で従来被覆工具１４
〜２６を作製し、これら本発明被覆工具１４〜２６およ
び従来被覆工具１４〜２６を用い、被削材：ＳＮＣＭ４
４０（硬さＨB ：２５０）、切削速度：２５０ｍ／mi
n.、切込み：２．５mm、送り：０．２mm／刃（単刃切
削）、切削時間：６０分、の条件で乾式フライス切削試
験を行ない、切刃の逃げ面摩耗幅およびすくい面摩耗深
さを測定し、それらの結果を表５〜表８に示した。
【００７１】
【表５】
【００７２】
【表６】
【００７３】
【表７】
【００７４】
【表８】
【００７５】表５〜表８に示される結果から、サーメッ
トを基体としても、超硬合金を基体とした場合とほぼ同
じ効果を奏することがわかる。
トを基体としても、超硬合金を基体とした場合とほぼ同
じ効果を奏することがわかる。
【００７６】
【発明の効果】上述のように、この発明のＸ線回折最高
ピーク面（配向面）が一致している複合硬質層表面被覆
切削工具は、従来のＸ線回折最高ピーク面（配向面）が
一致していない複合硬質層表面被覆切削工具に比べて、
苛酷な条件のフライス切削に対して使用寿命が長く、し
たがって工具交換などの回数を減らして切削コストを低
減することができ、産業上すぐれた効果を奏するもので
ある。
ピーク面（配向面）が一致している複合硬質層表面被覆
切削工具は、従来のＸ線回折最高ピーク面（配向面）が
一致していない複合硬質層表面被覆切削工具に比べて、
苛酷な条件のフライス切削に対して使用寿命が長く、し
たがって工具交換などの回数を減らして切削コストを低
減することができ、産業上すぐれた効果を奏するもので
ある。
【図１】本発明被覆工具１に形成された複合硬質層のＸ
線回折パターン。
線回折パターン。
【図２】従来被覆工具１に形成された複合硬質層のＸ線
回折パターン。
回折パターン。
【図３】本発明被覆工具２に形成された複合硬質層のＸ
線回折パターン。
線回折パターン。
【図４】従来被覆工具２に形成された複合硬質層のＸ線
回折パターン。
回折パターン。
Claims (5)
- 【請求項１】 基体表面に２層以上の硬質層からなる複
合硬質層を被覆してなる表面被覆切削工具において、 上記複合硬質層の下硬質層のＸ線回折最高ピーク面と、
上記下硬質層に接している上硬質層のＸ線回折最高ピー
ク面が一致していることを特徴とする表面被覆切削工
具。 - 【請求項２】 上記下硬質層が基体表面に接している最
下硬質層であることを特徴とする請求項１記載の表面被
覆切削工具。 - 【請求項３】 基体表面に２層以上の硬質層からなる複
合硬質層を被覆してなる表面被覆切削工具において、 上記複合硬質層の最下硬質層から最表面硬質層まで全て
の硬質層のＸ線回折最高ピーク面が一致していることを
特徴とする表面被覆切削工具。 - 【請求項４】 上記複合硬質層は、Ｔｉの炭化物層、Ｔ
ｉの窒化物層およびＴｉの炭化物層のうちの２種以上か
らなることを特徴とする請求項１，２または３記載の表
面被覆切削工具。 - 【請求項５】 基体表面に２層以上の硬質層からなる複
合硬質層を被覆してなる表面被覆切削工具において、 上記複合硬質層は、Ｘ線回折最高ピーク面が一致するＴ
ｉの炭化物層、Ｔｉの窒化物層およびＴｉの炭窒化物層
のうちの２種以上と最表面硬質層の酸化アルミニウム層
からなることを特徴とする表面被覆切削工具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28692092A JPH06116731A (ja) | 1992-10-01 | 1992-10-01 | 表面被覆切削工具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28692092A JPH06116731A (ja) | 1992-10-01 | 1992-10-01 | 表面被覆切削工具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06116731A true JPH06116731A (ja) | 1994-04-26 |
Family
ID=17710680
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28692092A Pending JPH06116731A (ja) | 1992-10-01 | 1992-10-01 | 表面被覆切削工具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06116731A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1015710A (ja) * | 1996-07-05 | 1998-01-20 | Hitachi Tool Eng Ltd | 表面被覆超硬製切削工具 |
| WO2003037554A1 (fr) * | 2001-10-30 | 2003-05-08 | Mitsubishi Materials Kobe Tools Corporation | Outil de coupe au carbure cemente revetu, comprenant une couche de revetement dure presentant d'excellentes proprietes de resistance a l'usure dans l'usinage a grande vitesse |
| US7597970B2 (en) | 2005-03-22 | 2009-10-06 | Kyocera Corporation | Surface coated member and cutting tool |
| JP2017530019A (ja) * | 2014-09-26 | 2017-10-12 | ヴァルター アーゲー | ＴｉＡｌ（Ｃ，Ｎ）上のＭＴ−ＣＶＤ ＴｉＣＮによるコーティング切削工具インサート |
-
1992
- 1992-10-01 JP JP28692092A patent/JPH06116731A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1015710A (ja) * | 1996-07-05 | 1998-01-20 | Hitachi Tool Eng Ltd | 表面被覆超硬製切削工具 |
| WO2003037554A1 (fr) * | 2001-10-30 | 2003-05-08 | Mitsubishi Materials Kobe Tools Corporation | Outil de coupe au carbure cemente revetu, comprenant une couche de revetement dure presentant d'excellentes proprietes de resistance a l'usure dans l'usinage a grande vitesse |
| EP1440754A1 (en) * | 2001-10-30 | 2004-07-28 | MMC Kobelco Tool Co., Ltd. | Surface coated cemented carbide cutting tool having hard coating layer exhibiting excellent wear resistance in high speed machining |
| US7150925B2 (en) | 2001-10-30 | 2006-12-19 | Mitsubishi Materials Kobe Tools Corporation | Surface coated cemented carbide cutting tool having hard coating layer exhibiting excellent wear resistance in high speed machining |
| EP1440754A4 (en) * | 2001-10-30 | 2008-05-07 | Mitsubishi Materials Corp | COATED CEMENTITIOUS CARBIDE CUTTING TOOL COMPRISING A HARD COATING LAYER HAVING EXCELLENT WEAR RESISTANCE PROPERTIES IN HIGH SPEED MACHINING |
| US7597970B2 (en) | 2005-03-22 | 2009-10-06 | Kyocera Corporation | Surface coated member and cutting tool |
| JP2017530019A (ja) * | 2014-09-26 | 2017-10-12 | ヴァルター アーゲー | ＴｉＡｌ（Ｃ，Ｎ）上のＭＴ−ＣＶＤ ＴｉＣＮによるコーティング切削工具インサート |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20001114 |