JPH06114715A - 研磨装置 - Google Patents
研磨装置Info
- Publication number
- JPH06114715A JPH06114715A JP26393392A JP26393392A JPH06114715A JP H06114715 A JPH06114715 A JP H06114715A JP 26393392 A JP26393392 A JP 26393392A JP 26393392 A JP26393392 A JP 26393392A JP H06114715 A JPH06114715 A JP H06114715A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polishing
- flexible wire
- spherical shaft
- shaft
- cylindrical body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】研磨時において、研磨工具に固着された研磨砥
石を常に研磨面に対して水平に当接させる。 【構成】モータ2にて回転されるフレキシブルワイヤ1
3には、球状軸15が連結されている。球状軸15は軸
受16に軸支されるとともに、研磨工具17が固着され
ている。モータ2とフレキシブルワイヤ13との間に
は、フリージョイント5が設けられ、球状軸15の傾動
にともなって、軸線方向に変位するフレキシブルワイヤ
13の変位を吸収するようになっている。
石を常に研磨面に対して水平に当接させる。 【構成】モータ2にて回転されるフレキシブルワイヤ1
3には、球状軸15が連結されている。球状軸15は軸
受16に軸支されるとともに、研磨工具17が固着され
ている。モータ2とフレキシブルワイヤ13との間に
は、フリージョイント5が設けられ、球状軸15の傾動
にともなって、軸線方向に変位するフレキシブルワイヤ
13の変位を吸収するようになっている。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、研磨工具を傾動させる
ことによって、研磨面に対して研磨工具を常に水平に当
接させる研磨装置に関するものである。
ことによって、研磨面に対して研磨工具を常に水平に当
接させる研磨装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、この種の技術として、図7に示す
研磨装置31が提案されている。この研磨装置31の先
端部には駆動軸32が設けられており、該研磨装置31
内に内蔵された図示しないモータによって回転されるよ
うになっている。この駆動軸32には研磨工具33が取
着されており、その裏面に研磨砥石34が固着されてい
る。このとき、研磨工具33が前記駆動軸32とともに
回転することによって、研磨砥石34は例えば床面等を
研磨するようになっている。
研磨装置31が提案されている。この研磨装置31の先
端部には駆動軸32が設けられており、該研磨装置31
内に内蔵された図示しないモータによって回転されるよ
うになっている。この駆動軸32には研磨工具33が取
着されており、その裏面に研磨砥石34が固着されてい
る。このとき、研磨工具33が前記駆動軸32とともに
回転することによって、研磨砥石34は例えば床面等を
研磨するようになっている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、研磨工
具33は研磨砥石34の砥石面34aが駆動軸32に対
して、常に直角になるよう該駆動軸32に取着されてい
る。従って、図8(a)に示すように、例えば作業者が
誤って床面等の研磨面Mに対して研磨装置31を傾ける
と、研磨工具33は研磨面Mに対して傾いた状態とな
る。そして、研磨砥石34はその傾むいた状態で研磨面
Mに当接し研磨作業を行う。すると、図8(b)に示す
ように、研磨砥石34が研磨面Mに当接した部分だけが
研磨されるため研磨面Mが三日月状に研磨される。この
ため、研磨面Mには該研磨砥石34によって研磨されな
い研磨残しができ,研磨ムラができるという問題があ
る。
具33は研磨砥石34の砥石面34aが駆動軸32に対
して、常に直角になるよう該駆動軸32に取着されてい
る。従って、図8(a)に示すように、例えば作業者が
誤って床面等の研磨面Mに対して研磨装置31を傾ける
と、研磨工具33は研磨面Mに対して傾いた状態とな
る。そして、研磨砥石34はその傾むいた状態で研磨面
Mに当接し研磨作業を行う。すると、図8(b)に示す
ように、研磨砥石34が研磨面Mに当接した部分だけが
研磨されるため研磨面Mが三日月状に研磨される。この
ため、研磨面Mには該研磨砥石34によって研磨されな
い研磨残しができ,研磨ムラができるという問題があ
る。
【0004】また、前述のように、研磨砥石34が床面
等に傾いて当接した状態においては、その研磨砥石34
の回転力によって、作業者の意図する方向とは違う方向
に研磨砥石34が導かれることによって、作業者が前記
研磨装置31をコントロールできなくなるという問題が
ある。
等に傾いて当接した状態においては、その研磨砥石34
の回転力によって、作業者の意図する方向とは違う方向
に研磨砥石34が導かれることによって、作業者が前記
研磨装置31をコントロールできなくなるという問題が
ある。
【0005】本発明は上記問題点を解決するためになさ
れたものであって、その目的は、研磨時において、研磨
砥石を常に研磨面に対して水平に当接させる研磨装置を
提供することにある。
れたものであって、その目的は、研磨時において、研磨
砥石を常に研磨面に対して水平に当接させる研磨装置を
提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明は上記問題点を解
決するため、駆動源にて回転されるフレキシブルワイヤ
と、フレキシブルワイヤに連結された球状軸と、その球
状軸を軸支する軸受と、前記球状軸に固着された研磨工
具と、駆動源とフレキシブルワイヤとの間に設けられ、
球状軸の傾動にともなってフレキシブルワイヤの軸線方
向の変位を吸収する変位量吸収部材とを備えたことをそ
の要旨とする。
決するため、駆動源にて回転されるフレキシブルワイヤ
と、フレキシブルワイヤに連結された球状軸と、その球
状軸を軸支する軸受と、前記球状軸に固着された研磨工
具と、駆動源とフレキシブルワイヤとの間に設けられ、
球状軸の傾動にともなってフレキシブルワイヤの軸線方
向の変位を吸収する変位量吸収部材とを備えたことをそ
の要旨とする。
【0007】
【作用】従って、本発明によれば、研磨作業時におい
て、例えば研磨工具を研磨面に対して傾けて当接して
も、球状軸が軸受内で回動することによって研磨工具が
傾動して研磨面に対して水平に当接される。このとき、
フレキシブルワイヤは球状軸が軸受内で回動することに
より、その軸線方向に変位する。そして、フレキシブル
ワイヤのその変位量は変位量吸収手段により吸収され
る。
て、例えば研磨工具を研磨面に対して傾けて当接して
も、球状軸が軸受内で回動することによって研磨工具が
傾動して研磨面に対して水平に当接される。このとき、
フレキシブルワイヤは球状軸が軸受内で回動することに
より、その軸線方向に変位する。そして、フレキシブル
ワイヤのその変位量は変位量吸収手段により吸収され
る。
【0008】
【実施例】以下、本発明を研磨装置に具体化した一実施
例を図1〜図6に従って説明する。尚、図1〜図4にお
いては、図面左方向を前方、右方向を後方として説明す
るものとする。
例を図1〜図6に従って説明する。尚、図1〜図4にお
いては、図面左方向を前方、右方向を後方として説明す
るものとする。
【0009】図1に示すように、研磨装置本体(以下単
に本体)1の後部には駆動源としてのモータ2が配設さ
れている。このモータ2には該モータ2の回転を伝達す
るためのシャフト3が連結されている。このシャフト3
は本体1に取着されたパイプ4内に挿通され、該パイプ
4により軸支されている。また、シャフト3の先端部に
は変位量吸収手段としてのフリージョイント5が取着さ
れている。さらに、フリージョイント5の外周回りには
該フリージョイント5を支持するための軸受5aが配設
されている。
に本体)1の後部には駆動源としてのモータ2が配設さ
れている。このモータ2には該モータ2の回転を伝達す
るためのシャフト3が連結されている。このシャフト3
は本体1に取着されたパイプ4内に挿通され、該パイプ
4により軸支されている。また、シャフト3の先端部に
は変位量吸収手段としてのフリージョイント5が取着さ
れている。さらに、フリージョイント5の外周回りには
該フリージョイント5を支持するための軸受5aが配設
されている。
【0010】図2に示すように、このフリージョイント
5は円柱体6と同円柱体6を内包する円筒体7とから形
成されている。図4に示すように、円柱体6はその後端
部が先細状に形成され、その後端部には孔8が形成され
ている。即ち、この孔8に前記シャフト3が挿通固着さ
れることにより、シャフト3の回転を円柱体6に伝達す
るようになっている。また、この円柱体6の他端部近傍
の外周面には一対の係合ピン9が互いに軸心に対して対
称な位置に取着されている。
5は円柱体6と同円柱体6を内包する円筒体7とから形
成されている。図4に示すように、円柱体6はその後端
部が先細状に形成され、その後端部には孔8が形成され
ている。即ち、この孔8に前記シャフト3が挿通固着さ
れることにより、シャフト3の回転を円柱体6に伝達す
るようになっている。また、この円柱体6の他端部近傍
の外周面には一対の係合ピン9が互いに軸心に対して対
称な位置に取着されている。
【0011】図2,図3に示すように、円筒体7はその
前端部が先細状に形成されるとともに、後端部には挿通
孔10が形成されている。また、外周面には挿通孔10
に貫通するとともに、長手方向に長く形成された一対の
長孔11が互いに軸心に対して対称な位置に形成されて
いる。そして、円筒体7の挿通孔10には前記円柱体6
が挿通されるとともに、係合ピン9が長孔11内に配設
されている。このとき、前記円筒体7が円柱体6の外周
面に沿って前後動することによって、長孔11は係合ピ
ン9に沿って前後動する。従って、円筒体7が円柱体6
の外周面に沿って前後動する範囲は長孔11が係合ピン
9に沿って前後動する範囲に規定されている。また、こ
の係合ピン9はシャフト3を介して伝達されたモータ2
からの回転を長孔11の内側面を押すことによって、円
筒体7に伝達するようになっている。従って、フリージ
ョイント5は円柱体6と円筒体7とが一体回転する。ま
た、円筒体7の前部には孔12が形成され、その孔12
には可撓性のあるフレキシブルワイヤ13が挿通固着さ
れている。即ち、フレキシブルワイヤ13はフリージョ
イント5とともに回転するようになっている。
前端部が先細状に形成されるとともに、後端部には挿通
孔10が形成されている。また、外周面には挿通孔10
に貫通するとともに、長手方向に長く形成された一対の
長孔11が互いに軸心に対して対称な位置に形成されて
いる。そして、円筒体7の挿通孔10には前記円柱体6
が挿通されるとともに、係合ピン9が長孔11内に配設
されている。このとき、前記円筒体7が円柱体6の外周
面に沿って前後動することによって、長孔11は係合ピ
ン9に沿って前後動する。従って、円筒体7が円柱体6
の外周面に沿って前後動する範囲は長孔11が係合ピン
9に沿って前後動する範囲に規定されている。また、こ
の係合ピン9はシャフト3を介して伝達されたモータ2
からの回転を長孔11の内側面を押すことによって、円
筒体7に伝達するようになっている。従って、フリージ
ョイント5は円柱体6と円筒体7とが一体回転する。ま
た、円筒体7の前部には孔12が形成され、その孔12
には可撓性のあるフレキシブルワイヤ13が挿通固着さ
れている。即ち、フレキシブルワイヤ13はフリージョ
イント5とともに回転するようになっている。
【0012】図1に示すように、このフレキシブルワイ
ヤ13は前方に向かうに従って、緩やかにL字状に撓み
ながら、先端部においてその向きを90°湾曲させてい
る。そして、その撓み部分の近傍には、パイプ14が配
設されるとともに、そのパイプ14に該フレキシブルワ
イヤ13が挿通されることによって、パイプ14はフレ
キシブルワイヤ13を軸支している。即ち、フリージョ
イント5を介して伝達されたモータ2の回転はこのフレ
キシブルワイヤ13によって、その先端部において、9
0°向きを変化させるようになっている。
ヤ13は前方に向かうに従って、緩やかにL字状に撓み
ながら、先端部においてその向きを90°湾曲させてい
る。そして、その撓み部分の近傍には、パイプ14が配
設されるとともに、そのパイプ14に該フレキシブルワ
イヤ13が挿通されることによって、パイプ14はフレ
キシブルワイヤ13を軸支している。即ち、フリージョ
イント5を介して伝達されたモータ2の回転はこのフレ
キシブルワイヤ13によって、その先端部において、9
0°向きを変化させるようになっている。
【0013】また、図1に示すように、フレキシブルワ
イヤ13の先端部には球状に形成された球状軸15が固
着されている。この球状軸15は図5(a),(b)に
示す軸受16によって軸支されている。この軸受16の
内周面には、球状軸15とほぼ同等の曲率の曲面16a
が形成されている。つまり、この球状軸15は軸受16
内で前記フレキシブルワイヤ13とともに回転可能に設
けられるとともに、上下方向に対しても一定角度範囲±
θ°以内で回動可能に設けられている。ここで、この一
定角度範囲±θ°は長孔11が前記係合ピン9に沿って
移動する範囲により規定され、球状軸15の上下方向に
おける回動時には後述する研磨工具17が軸受16等の
本体1に干渉しないように設定されている。
イヤ13の先端部には球状に形成された球状軸15が固
着されている。この球状軸15は図5(a),(b)に
示す軸受16によって軸支されている。この軸受16の
内周面には、球状軸15とほぼ同等の曲率の曲面16a
が形成されている。つまり、この球状軸15は軸受16
内で前記フレキシブルワイヤ13とともに回転可能に設
けられるとともに、上下方向に対しても一定角度範囲±
θ°以内で回動可能に設けられている。ここで、この一
定角度範囲±θ°は長孔11が前記係合ピン9に沿って
移動する範囲により規定され、球状軸15の上下方向に
おける回動時には後述する研磨工具17が軸受16等の
本体1に干渉しないように設定されている。
【0014】さらに、この球状軸15の底部には研磨工
具17が固着されており、研磨工具17の下面には研磨
砥石18が固着されている。即ち、研磨工具17は前記
球状軸15及び軸受16によって床面等の研磨面Mに対
して傾動可能に設けられている。また、研磨工具17は
フレキシブルワイヤ13よりモータ2の回転が伝えられ
ると、その底部に固着された研磨砥石18が回転して、
研磨面Mを研磨するようになっている。
具17が固着されており、研磨工具17の下面には研磨
砥石18が固着されている。即ち、研磨工具17は前記
球状軸15及び軸受16によって床面等の研磨面Mに対
して傾動可能に設けられている。また、研磨工具17は
フレキシブルワイヤ13よりモータ2の回転が伝えられ
ると、その底部に固着された研磨砥石18が回転して、
研磨面Mを研磨するようになっている。
【0015】つまり、図6に示すように、本体1が研磨
面Mに対して傾斜した状態においては、研磨砥石18は
その砥石面18aが研磨面Mに対して傾斜した状態で当
接する。すると、球状軸15は軸受16内で上下方向に
回動して、研磨砥石18は図中矢印A方向に回動させる
ことによって、砥石面18aを研磨面Mに水平に当接さ
せる。そして、研磨砥石18はこの状態で研磨面Mを研
磨するようになっている。
面Mに対して傾斜した状態においては、研磨砥石18は
その砥石面18aが研磨面Mに対して傾斜した状態で当
接する。すると、球状軸15は軸受16内で上下方向に
回動して、研磨砥石18は図中矢印A方向に回動させる
ことによって、砥石面18aを研磨面Mに水平に当接さ
せる。そして、研磨砥石18はこの状態で研磨面Mを研
磨するようになっている。
【0016】このとき、フレキシブルワイヤ13は球状
軸15とともに、回動することによって、図中矢印B方
向に引っ張られる。そして、図2に示すようにフリージ
ョイント5の円筒体7が前方(図中矢印方向)に移動す
るようになっている。また、この状態から、本体1を研
磨面Mに対して水平な状態に変化させると、フレキシブ
ルワイヤ13は後方に押され、円筒体7もまた後方に押
されるようになっている。
軸15とともに、回動することによって、図中矢印B方
向に引っ張られる。そして、図2に示すようにフリージ
ョイント5の円筒体7が前方(図中矢印方向)に移動す
るようになっている。また、この状態から、本体1を研
磨面Mに対して水平な状態に変化させると、フレキシブ
ルワイヤ13は後方に押され、円筒体7もまた後方に押
されるようになっている。
【0017】次に、上記のように構成された研磨装置の
作用及び効果について説明する。まず、図1に示すよう
に、モータ2を駆動させて、研磨砥石18を回転させ
る。そして、研磨面Mに研磨砥石18を当接することに
よって研磨面Mを研磨する。
作用及び効果について説明する。まず、図1に示すよう
に、モータ2を駆動させて、研磨砥石18を回転させ
る。そして、研磨面Mに研磨砥石18を当接することに
よって研磨面Mを研磨する。
【0018】このとき、図6に示すように、本体1を研
磨面Mに対して傾け、研磨砥石18の砥石面18aが研
磨面Mに対して傾いた状態で当接させる。すると、研磨
砥石18は球状軸15を中心に矢印A方向に研磨面Mに
対して水平になるまで回動する。このとき、球状軸15
は軸受16内を回動し、その球状軸15の回動にともな
って、フレキシブルワイヤ13は矢印B方向に引っ張ら
れる。そして、フレキシブルワイヤ13が引っ張られる
ことによって、フリージョイント5は図2に示すよう
に、その円筒体7が円柱体6に対して前動する。
磨面Mに対して傾け、研磨砥石18の砥石面18aが研
磨面Mに対して傾いた状態で当接させる。すると、研磨
砥石18は球状軸15を中心に矢印A方向に研磨面Mに
対して水平になるまで回動する。このとき、球状軸15
は軸受16内を回動し、その球状軸15の回動にともな
って、フレキシブルワイヤ13は矢印B方向に引っ張ら
れる。そして、フレキシブルワイヤ13が引っ張られる
ことによって、フリージョイント5は図2に示すよう
に、その円筒体7が円柱体6に対して前動する。
【0019】また、この状態(本体1が研磨面Mに対し
て傾いた状態であって、研磨砥石18が研磨面Mに水平
に当接している状態)から本体1を研磨面Mに対して水
平な状態に戻す。すると、研磨砥石18は砥石面18a
を常に研磨面Mに対して水平な状態を保持しながら球状
軸15を中心に前記矢印A方向とは逆方向に回動する。
このとき、球状軸15は軸受16内を回動し、その球状
軸15の回動にともなって、フレキシブルワイヤ13は
後方に押され、円筒体7も後方に押される。
て傾いた状態であって、研磨砥石18が研磨面Mに水平
に当接している状態)から本体1を研磨面Mに対して水
平な状態に戻す。すると、研磨砥石18は砥石面18a
を常に研磨面Mに対して水平な状態を保持しながら球状
軸15を中心に前記矢印A方向とは逆方向に回動する。
このとき、球状軸15は軸受16内を回動し、その球状
軸15の回動にともなって、フレキシブルワイヤ13は
後方に押され、円筒体7も後方に押される。
【0020】従って、研磨面Mに対して、本体1が傾い
た状態であっても、球状軸15が軸受16内で回動し
て、その回動により移動したフレキシブルワイヤ13の
変位量をフリージョイント5が吸収する。このため、研
磨砥石18は砥石面18aを研磨面Mに対して常に水平
に保持しながら、研磨面Mを研磨することができる。
た状態であっても、球状軸15が軸受16内で回動し
て、その回動により移動したフレキシブルワイヤ13の
変位量をフリージョイント5が吸収する。このため、研
磨砥石18は砥石面18aを研磨面Mに対して常に水平
に保持しながら、研磨面Mを研磨することができる。
【0021】このため、研磨作業時において、研磨面M
に対して研磨砥石18の研磨面18aが傾いて当接する
ことを防止することができる。よって、研磨砥石18が
傾いた状態で研磨面Mに当接したときに生じる研磨砥石
18の回転力により、作業者の意図とは違う方向に研磨
砥石18が導かれることを防止できる。
に対して研磨砥石18の研磨面18aが傾いて当接する
ことを防止することができる。よって、研磨砥石18が
傾いた状態で研磨面Mに当接したときに生じる研磨砥石
18の回転力により、作業者の意図とは違う方向に研磨
砥石18が導かれることを防止できる。
【0022】また、係合ピン9が長孔11を移動できる
範囲を、研磨工具17の回動したときに本体1と干渉し
ないように設定してある。従って、研磨工具17がその
回動時に本体1と干渉して、研磨工具17又は本体1が
破損する等の事故を防止することができる。
範囲を、研磨工具17の回動したときに本体1と干渉し
ないように設定してある。従って、研磨工具17がその
回動時に本体1と干渉して、研磨工具17又は本体1が
破損する等の事故を防止することができる。
【0023】尚、本発明は上記実施例に限定されるもの
ではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲で構成の一部を
適宜変更して次のように実施することもできる。 (1)上記実施例では、モータ2とフリージョイント5
との間にシャフト3を介在させたが、特にシャフト3を
設ける必要はなく、直接モータ2とフリージョイント5
とを直結させてもよい。
ではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲で構成の一部を
適宜変更して次のように実施することもできる。 (1)上記実施例では、モータ2とフリージョイント5
との間にシャフト3を介在させたが、特にシャフト3を
設ける必要はなく、直接モータ2とフリージョイント5
とを直結させてもよい。
【0024】(2)上記実施例では、フレキシブルワイ
ヤ13の変位量吸収手段をフリージョイント5にて構成
したが、板バネ等のモータ2からの回転を伝達するだけ
の伝達力を有する弾性部材にて構成してもよい。
ヤ13の変位量吸収手段をフリージョイント5にて構成
したが、板バネ等のモータ2からの回転を伝達するだけ
の伝達力を有する弾性部材にて構成してもよい。
【0025】(3)上記実施例では、駆動源としてモー
タ2を使用したが、例えばエンジン等を使用してもよ
く、要は研磨工具17に回転力を付与できるものである
ならば特に限定しない。
タ2を使用したが、例えばエンジン等を使用してもよ
く、要は研磨工具17に回転力を付与できるものである
ならば特に限定しない。
【0026】
【発明の効果】以上詳述したように本発明によれば、研
磨時において、研磨工具に固着された研磨砥石を常に研
磨面に対して水平に当接させることができる優れた効果
がある。
磨時において、研磨工具に固着された研磨砥石を常に研
磨面に対して水平に当接させることができる優れた効果
がある。
【図1】本発明を具体化した一実施例における研磨装置
の断面図である。
の断面図である。
【図2】一実施例におけるフリージョイントを示す平面
図である。
図である。
【図3】一実施例における円筒体を示す斜視図である。
【図4】一実施例における円柱体を示す斜視図である。
【図5】(a)は一実施例における軸受の斜視図であっ
て、(b)は該軸受の平面図である。
て、(b)は該軸受の平面図である。
【図6】一実施例において、研磨装置が研磨面に対して
傾いた状態で当接した状態を示す断面図である。
傾いた状態で当接した状態を示す断面図である。
【図7】従来例における研磨装置を示す側面図である。
【図8】(a)は従来例における研磨工具が研磨面Mに
対して傾いた状態を示す側面図であって、(b)はその
研磨面を示す説明図である。
対して傾いた状態を示す側面図であって、(b)はその
研磨面を示す説明図である。
2…駆動源としてのモータ、5…変位量吸収部材として
のフリージョイント、13…フレキシブルワイヤ、15
…球状軸、16…軸受、17…研磨工具。
のフリージョイント、13…フレキシブルワイヤ、15
…球状軸、16…軸受、17…研磨工具。
Claims (1)
- 【請求項1】 駆動源(2)にて回転されるフレキシブ
ルワイヤ(13)と、 フレキシブルワイヤ(13)に連結された球状軸(1
5)と、 その球状軸(15)を軸支する軸受(16)と、 前記球状軸(15)に固着された研磨工具(17)と、 駆動源(2)とフレキシブルワイヤ(13)との間に設
けられ、球状軸(15)の傾動にともなってフレキシブ
ルワイヤ(13)の軸線方向の変位を吸収する変位量吸
収部材(5)とを備えたことを特徴とする研磨装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26393392A JPH06114715A (ja) | 1992-10-01 | 1992-10-01 | 研磨装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26393392A JPH06114715A (ja) | 1992-10-01 | 1992-10-01 | 研磨装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06114715A true JPH06114715A (ja) | 1994-04-26 |
Family
ID=17396284
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP26393392A Pending JPH06114715A (ja) | 1992-10-01 | 1992-10-01 | 研磨装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH06114715A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004338011A (ja) * | 2003-05-14 | 2004-12-02 | Nitto Kohki Co Ltd | 研磨装置 |
TWI626116B (zh) * | 2017-06-27 | 2018-06-11 | Hand-held power tool |
-
1992
- 1992-10-01 JP JP26393392A patent/JPH06114715A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004338011A (ja) * | 2003-05-14 | 2004-12-02 | Nitto Kohki Co Ltd | 研磨装置 |
TWI626116B (zh) * | 2017-06-27 | 2018-06-11 | Hand-held power tool |
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