JPH06111314A - 磁気記録媒体の製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 走行安定性に優れた磁気記録媒体を製造する
ことができる磁気記録媒体の製造装置を提供すること。 【構成】 本発明の磁気記録媒体の製造装置は、真空容
器と、該真空容器内に配設され一連の被蒸着材を走行さ
せる走行装置と、被蒸着材の下方に配設され磁性材料を
収容する蒸発源と、該蒸発源の磁性材料に電子ビームを
照射するための電子ビーム発生装置とを含み、前記走行
装置の冷却キャン上を冷却キャンと同期して走行する被
蒸着材に磁性材料の蒸気を蒸着して磁性層を形成する磁
気記録媒体の製造装置において、前記冷却キャンは、微
小磁石を均一に分散して配設した表面を有することを特
徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、磁性材料の蒸気を蒸着
して磁性層を形成する蒸着型の磁気記録媒体を製造する
装置に関し、特にその冷却キャンの構成に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の蒸着型磁気記録媒体の製造装置と
して、真空容器と、該真空容器内に配設され一連の被蒸
着材を走行させる走行装置と、被蒸着材の下方に配設さ
れ磁性材料を収容する蒸発源と、該蒸発源の磁性材料に
電子ビームを照射するための電子ビーム発生装置とを含
むものがある。そして、前記走行装置の冷却キャン上で
走行する被蒸着材に磁性材料の蒸気を蒸着して磁性層を
形成していた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】磁気記録媒体（磁気テ
ープ、磁気ディスク等）の磁性層は、磁気信号の記録・
再生の際に、磁気ヘッドに摺接する。その際に、磁性層
が適当な摩擦係数を有している場合は、磁気テープの走
行方向と反対の方向に摩擦力が働き、この摩擦力は磁気
テープが安定して走行できるように作用する。

【０００４】ところが、上記従来の装置により製造され
る磁気テープは、その表面（磁性層が形成される側）が
平滑であるため、摩擦力が充分でなく、従ってテープ走
行のジッタや回転ヘッドの回転むらなどが起こり、走行
安定性に関し問題があった。

【０００５】よって、本発明は上記従来技術の有する問
題点を解消する新規な磁気記録媒体の製造装置を提供す
ることを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明の磁気記録媒体の
製造装置は、真空容器と、該真空容器内に配設され一連
の被蒸着材を走行させる走行装置と、被蒸着材の下方に
配設され磁性材料を収容する蒸発源と、該蒸発源の磁性
材料に電子ビームを照射するための電子ビーム発生装置
とを含み、前記走行装置の冷却キャン上を冷却キャンと
同期して走行する被蒸着材に磁性材料の蒸気を蒸着して
磁性層を形成する磁気記録媒体の製造装置において、前
記冷却キャンは、微小磁石を均一に分散して配設した表
面を有することを特徴とする。

【０００７】そして、前記微小磁石は、粒状の磁性体を
着磁して形成されることが好ましい。

【０００８】本発明においては、冷却キャンが微小磁石
を均一に分散して配設した表面を有するものである。

【０００９】冷却キャン上の微小磁石は、粒状の磁性体
を冷却キャン表面に均一に分散して個着し、この状態で
磁界の中に置いて着磁することにより形成することがで
きる。

【００１０】また、着磁することなく、微小に分割され
た磁石を冷却キャンの表面に分散して配してもよい。

【００１１】なお微小磁石は、作製される磁気記録媒体
のノイズを抑制する意図からも、冷却キャンの表面に均
一に分散して配設される。

【００１２】（作用）被蒸着材は、走行装置の送りロー
ルと巻取りロール間で、冷却キャン上を冷却キャンと同
期して走行する。磁性材料の蒸気は、冷却キャンの表面
に分散して配設された微小磁石に引きつけられ、これに
集り、微小磁石上の被蒸着材の面に周囲よりも肉厚の蒸
着膜を形成する。これにより、被蒸着材の表面が適度に
荒れた状態となり、従ってテープの安定走行に必要とさ
れる充分な摩擦係数を有する磁性層が得られる。

【００１３】

【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づき説明
する。

【００１４】図１は、本発明による磁気記録媒体の製造
装置の構成図である。本装置は、真空容器１と、走行装
置２と、蒸発源３と、そして電子ビーム発生装置４とを
含んでいる。真空容器１は、図示しない真空ポンプに接
続され、この真空容器内に一連の被蒸着材、すなわち合
成樹脂製テープ５を走行させる走行装置２が配設されて
いる。走行装置２は、送りロール６と、巻取りロール７
と、そして後述する冷却キャン８からなっている。蒸発
源３は、合成樹脂製テープ５の下方に配設されたルツボ
９からなり、このルツボ９はその上面に形成された凹部
内に磁性金属１０を収容している。電子ビーム発生装置
４は電子銃１１を備え、この電子銃１１から電子ビーム
３２を発射し、この電子ビームをルツボ９の磁性金属１
０に照射するようになっている。

【００１５】中央孔１３を備える遮蔽板１２が冷却キャ
ン８の下方に水平に配設され、この遮蔽板１２により磁
性金属１０の蒸発領域が規制されている。また、酸化性
ガス供給管１４が、磁性膜の生成時に酸化性ガスを供給
するべく、遮蔽板の中央孔１３の左端にその供給口を向
けて配置されている。

【００１６】冷却キャン８は、その表面に微小磁石を均
一に分散して配している。この微小磁石は、以下のよう
にして形成される。

【００１７】平均粒径０．０７μｍの粒子状のサマリウ
ム・コバルト（ＳｍＣｏ5を主成分とする）１００部に
対し、ウレタンと塩化ビニル１：１配合のバインダ２０
部を加え、サンドミルにて混練し分布を均等にし、これ
を冷却キャンの表面に塗布し、次いで乾燥後に、１００
００Ｇ（ガウス）の磁場の中にいれて着磁させることに
より形成される。

【００１８】このように構成された本発明装置におい
て、電子銃１１により電子ビーム３２を磁性金属１０に
向け照射した場合、磁性金属１０は電子ビームの照射を
受けて溶融し、蒸発を続ける。送りロール６より送り出
されてこの蒸発領域内に入ったテープ５は、磁性金属蒸
気の蒸着を受けながら冷却キャン上を冷却キャンと共に
円周方向に回転し、その間に磁性膜がテープ上に形成さ
れる。更に、このテープ５は中央孔１３の左端において
酸化性ガス供給管１４により酸素が供給され、これによ
り磁性膜の上に保護膜として酸化膜が形成され、巻取り
ロール７により巻取られる。

【００１９】磁性金属１０の蒸気は、冷却キャン８の表
面に均一に分散して配設された微小磁石に引きつけら
れ、これに集り、微小磁石上のテープ面に周囲よりも膜
厚の大きな蒸着膜を形成する。これにより、テープの安
定走行に必要とされる充分な摩擦係数を有する磁性層が
得られる。

【００２０】このように構成された本発明装置を使用し
て、プラスチックフィルム上にＣｏ−Ｎｉ（８０−２０
％）からなる磁性材料の蒸着膜を形成した。このときの
蒸着の様子を図２に示す。図面より、微小磁石に磁性金
属の蒸気（粒子）が集り、周囲よりも膜厚の大きな蒸着
膜１５が粒子状に形成されている様子がよくわかる。

【００２１】

【発明の効果】本発明の装置は、被蒸着材の表面（磁性
層）に適当な摩擦係数を与えることができ、これにより
走行安定性に優れた磁気記録媒体が実現できるものであ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による蒸着型磁気記録媒体の製造装置の
構成図。

【図２】本発明装置により製造した磁気記録媒体の蒸着
の様子を示す図。

【符号の説明】

１ 真空容器 ２ 走行装置 ３ 蒸発源 ４ 電子ビーム発生装置 ５ テープ（被蒸着材） ８ 冷却キャン １０ 磁性金属 １５ 粒子状蒸着膜

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】真空容器と、該真空容器内に配設され一連
   の被蒸着材を走行させる走行装置と、被蒸着材の下方に
   配設され磁性材料を収容する蒸発源と、該蒸発源の磁性
   材料に電子ビームを照射するための電子ビーム発生装置
   とを含み、前記走行装置の冷却キャン上を冷却キャンと
   同期して走行する被蒸着材に磁性材料の蒸気を蒸着して
   磁性層を形成する磁気記録媒体の製造装置において、 前記冷却キャンは、微小磁石を均一に分散して配設した
   表面を有することを特徴とする磁気記録媒体の製造装
   置。
2. 【請求項２】前記微小磁石は、粒状の磁性体を着磁して
   形成される請求項１記載の磁気記録媒体の製造装置。