JPH06111308A - Vapor deposition device for magnetic recording medium - Google Patents
Vapor deposition device for magnetic recording mediumInfo
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- JPH06111308A JPH06111308A JP25846292A JP25846292A JPH06111308A JP H06111308 A JPH06111308 A JP H06111308A JP 25846292 A JP25846292 A JP 25846292A JP 25846292 A JP25846292 A JP 25846292A JP H06111308 A JPH06111308 A JP H06111308A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、磁気記録媒体の製造に
用いる蒸着装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a vapor deposition apparatus used for manufacturing magnetic recording media.
【0002】[0002]
【従来の技術】磁気テープ等の磁気記録媒体として、非
磁性基材に真空中で磁性材料を蒸着して磁性層を形成し
てなる蒸着型のものが、従前の塗布型のものに較べ、磁
性層にバインダーを含まないことから磁性材料の密度を
高められるため、高密度記録に有望であるとして、注目
されている。2. Description of the Related Art As a magnetic recording medium such as a magnetic tape, a vapor deposition type in which a magnetic material is deposited on a non-magnetic base material in a vacuum to form a magnetic layer is compared to a conventional coating type. Since the magnetic layer does not contain a binder, the density of the magnetic material can be increased, and it is attracting attention as being promising for high-density recording.
【0003】図3は蒸着型の磁気記録媒体の製造に用い
る従来の蒸着装置を示している。真空容器21は真空ポン
プ22によって真空状態とされる。真空容器21内には水平
方向に軸線を配して回転する円筒状キャン23が設けら
れ、このキャン23の上方に巻出しロール24と巻取りロー
ル25とが設けられている。ここにおいて、巻出しロール
24から巻出された非磁性基材26はキャン23の下側の周面
に沿って移動し、巻取りロール25に巻取られる。FIG. 3 shows a conventional vapor deposition apparatus used for manufacturing a vapor deposition type magnetic recording medium. The vacuum container 21 is evacuated by a vacuum pump 22. Inside the vacuum container 21, there is provided a cylindrical can 23 that rotates with an axis line in the horizontal direction, and a take-up roll 24 and a take-up roll 25 are provided above the can 23. Where the unwind roll
The non-magnetic base material 26 unwound from 24 moves along the lower peripheral surface of the can 23 and is wound up by the winding roll 25.
【0004】キャン23の下方には、磁性材料の蒸発源27
として、ルツボ28にCo−Ni合金等の磁性材料29が入
れられて設けられていて、図示しない電子ビーム銃から
照射される電子ビームにより磁性材料29が加熱されて蒸
発せしめられる。そして、蒸気流は遮蔽板30により規制
されつつキャン23へと向かい、キャン23に沿って移動す
る非磁性基材26に磁性材料が蒸着される。Below the can 23, a magnetic material evaporation source 27 is provided.
The crucible 28 is provided with a magnetic material 29 such as a Co—Ni alloy, and the magnetic material 29 is heated and evaporated by an electron beam emitted from an electron beam gun (not shown). Then, the vapor flow is regulated by the shield plate 30 toward the can 23, and the magnetic material is deposited on the non-magnetic base material 26 moving along the can 23.
【0005】図3の装置の場合、斜め蒸着により、図4
に示すようなコラム構造の磁性層31が非磁性基材26上に
得られる。また、磁性層の形成に際し、斜め蒸着の方向
を変えて、蒸着を2回行うことにより、図5に示すよう
に非磁性基材26上にコラム構造(傾斜方向)の異なる2
層の磁性層32,33を全体の膜厚を同じにして形成する
と、コラムが太くならないので高域での特性が良くな
り、また磁気記録再生特性における媒体走行方向依存性
を極めて小さくできることが知られている(特開昭63
−113928号公報参照)。In the case of the apparatus shown in FIG. 3, the oblique deposition shown in FIG.
A magnetic layer 31 having a column structure as shown in FIG. Further, when forming the magnetic layer, the oblique vapor deposition direction is changed and the vapor deposition is performed twice, so that the column structure (inclination direction) is different on the non-magnetic substrate 26 as shown in FIG.
It is known that when the magnetic layers 32 and 33 of the two layers are formed to have the same overall film thickness, the column does not become thicker, the characteristics in the high frequency range are improved, and the dependence of the magnetic recording / reproducing characteristics on the medium running direction can be extremely reduced. (Japanese Patent Laid-Open No. 63-63
-113928 gazette).
【0006】[0006]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、磁性層
をコラム構造の異なる2層にする場合に、単純に蒸着を
2回行うと工数の増大によりコストアップとなり、連続
して行うとしても蒸着装置(特に蒸発源)が2台必要に
なって装置が大型になる。そこで、特開昭53−877
06号公報(その第3図)に開示されている技術を利用
して、図6に示すように、蒸発源27とキャン23との間の
遮蔽板33を工夫することにより、1つの蒸発源27で連続
して2層蒸着を行うことが考えられた。However, when the magnetic layer is composed of two layers having different column structures, if the vapor deposition is simply performed twice, the cost is increased due to the increase of the man-hours, and the vapor deposition apparatus ( In particular, two evaporation sources are required and the apparatus becomes large. Therefore, JP-A-53-877
By utilizing the technique disclosed in Japanese Patent Publication No. 06 (FIG. 3), as shown in FIG. It was considered to carry out two-layer vapor deposition continuously at 27.
【0007】しかし、これであると、蒸発源27からの蒸
気流のうち最も蒸気密度の高い中心部を遮蔽板33により
塞いでしまうため、蒸着効率が悪いものであった。本発
明は、このような従来の問題点に鑑み、1つの蒸発源で
連続して2層蒸着が可能でしかも効率の良い磁気記録媒
体の蒸着装置を提供することを目的とする。However, in this case, the central portion having the highest vapor density in the vapor flow from the evaporation source 27 is blocked by the shield plate 33, so that the vapor deposition efficiency is poor. The present invention has been made in view of such conventional problems, and an object of the present invention is to provide a vapor deposition apparatus for a magnetic recording medium, which is capable of performing two-layer vapor deposition continuously by one evaporation source and is efficient.
【0008】[0008]
【課題を解決するための手段】このため、本発明は、真
空容器内に略水平方向に軸線を配して設けられてその下
側の周面に磁気記録媒体用の非磁性基材が巻掛けられる
円筒状キャンの上方に、キャンに向かう非磁性基材を案
内する第1の案内体と、キャンからの非磁性基材を案内
する第2の案内体とを、第1の案内体からキャンに向か
う非磁性基材の第1の経路とキャンから第2の案内体に
向かう非磁性基材の第2の経路との対向間隔がキャン側
より案内体側で狭まるように配置する一方、前記第1及
び第2の経路により挟まれる空間に磁性層形成用の磁性
材料の蒸発源を配置して、磁気記録媒体の蒸着装置を構
成する。Therefore, according to the present invention, a non-magnetic base material for a magnetic recording medium is provided in a vacuum container with its axis lined out in a substantially horizontal direction, and the peripheral surface on the lower side thereof is wound. Above the cylindrical can to be hung, a first guide body that guides the non-magnetic base material toward the can and a second guide body that guides the non-magnetic base material from the can are provided from the first guide body. While the facing distance between the first path of the non-magnetic base material toward the can and the second path of the non-magnetic base material from the can toward the second guide is narrower on the guide side than on the can side, An evaporation source of a magnetic material for forming a magnetic layer is arranged in a space sandwiched by the first and second paths to form an evaporation apparatus for a magnetic recording medium.
【0009】ここで、前記第1及び第2の経路のそれぞ
れに沿って磁性材料の蒸発源がある側と反対側に非磁性
基材を冷却する冷却板を配置するとよい。Here, a cooling plate for cooling the non-magnetic base material may be arranged on the side opposite to the side where the evaporation source of the magnetic material is located along each of the first and second paths.
【0010】[0010]
【作用】上記の構成においては、1つの蒸発源により、
第1の経路上の非磁性基材と、第2の経路上の非磁性基
材とに磁性材料が蒸着する。このとき、第1の経路上の
非磁性基材の移動方向と第2の経路上の非磁性基材の移
動方向とは反対方向であるので、異なる方向に斜め蒸着
がなされ、コラム構造の異なる2層の磁性層が連続して
形成される。In the above structure, one evaporation source
A magnetic material is deposited on the non-magnetic base material on the first path and the non-magnetic base material on the second path. At this time, since the moving direction of the non-magnetic base material on the first path is opposite to the moving direction of the non-magnetic base material on the second path, oblique vapor deposition is performed in different directions, and the column structure is different. Two magnetic layers are continuously formed.
【0011】ここで、第1及び第2の案内体の間隔を十
分に小さくしておけば、蒸発源からの磁性材料の逃げを
最小限にすることができ、蒸着効率が向上する。また、
蒸着部位である第1及び第2の経路のそれぞれに沿って
磁性材料の蒸発源がある側と反対側に非磁性基材を冷却
する冷却板を配置することにより、非磁性基材の熱劣化
を防止することができる。Here, if the distance between the first and second guide bodies is made sufficiently small, the escape of the magnetic material from the evaporation source can be minimized, and the vapor deposition efficiency is improved. Also,
By disposing a cooling plate for cooling the non-magnetic base material on the side opposite to the side having the evaporation source of the magnetic material along each of the first and second paths which are the vapor deposition sites, thermal deterioration of the non-magnetic base material is achieved. Can be prevented.
【0012】[0012]
【実施例】以下に本発明の実施例を図1及び図2に基づ
いて説明する。図1を参照し、真空容器1は真空ポンプ
2によって真空状態とされる。真空容器1内には水平方
向に軸線を配して回転する円筒状キャン3が設けられて
いる。尚、キャン3の内部には冷却水が流通している。Embodiments of the present invention will be described below with reference to FIGS. With reference to FIG. 1, the vacuum container 1 is evacuated by a vacuum pump 2. Inside the vacuum container 1, there is provided a cylindrical can 3 that rotates with an axis line in the horizontal direction. In addition, cooling water circulates inside the can 3.
【0013】キャン3の上方には第1及び第2の案内体
4,5が設けられている。これら第1及び第2の案内体
4,5は、共に回転可能な案内ロールであり、互いに平
行に、またキャン3と平行にして、配置してある。ま
た、第1の案内体4の側方に巻出しロール6が設けら
れ、第2の案内体5の側方に巻取りロール7が設けられ
ている。Above the can 3, first and second guide bodies 4 and 5 are provided. The first and second guide bodies 4 and 5 are guide rolls that can rotate together, and are arranged parallel to each other and parallel to the can 3. An unwinding roll 6 is provided beside the first guide body 4, and a take-up roll 7 is provided beside the second guide body 5.
【0014】ここにおいて、第1の案内体4は、巻出し
ロール6から巻出されるPET(ポリエチレンテレフタ
レート)フィルム等の非磁性基材8を案内してキャン3
に向かわせ、第2の案内体5は、キャン3からの非磁性
基材8を案内して巻取りロール7に巻取らせる。また、
第1の案内体4からキャン3へ向かう非磁性基材8の第
1の経路Aと、キャン3から第2の案内体5に向かう非
磁性基材8の第2の経路Bとの対向間隔が、キャン3側
(下側)より案内体4,5側(上側)で狭まるように、
第1及び第2の案内体4,5を近接させて配置してあ
る。間隔Sは5〜10mm程度である。第1及び第2の経
路A,Bの傾斜角θは20〜45°である。Here, the first guide body 4 guides the non-magnetic base material 8 such as a PET (polyethylene terephthalate) film unwound from the unwinding roll 6 and the can 3
The second guide body 5 guides the non-magnetic base material 8 from the can 3 to be wound around the winding roll 7. Also,
Opposing distance between the first path A of the non-magnetic base material 8 from the first guide body 4 to the can 3 and the second path B of the non-magnetic base material 8 from the can 3 to the second guide body 5. However, the guide body 4, 5 side (upper side) is narrower than the can 3 side (lower side),
The first and second guide bodies 4 and 5 are arranged close to each other. The space S is about 5 to 10 mm. The inclination angles θ of the first and second paths A and B are 20 to 45 °.
【0015】キャン3の上方で、第1及び第2の経路
A,Bにより挟まれる空間には、磁性材料の蒸発源9と
して、MgO製のルツボ10にCo−Ni合金、Co−C
r合金、又はCo−Cr−Ta合金等の磁性材料11が入
れられて設けられており、図示しない電子ビーム銃から
照射される電子ビームにより磁性材料11が加熱されて蒸
発せしめられる。尚、電子ビームを偏向コイル、集束コ
イル等によって適当に偏向、集束して磁性材料11に照射
すれば、電子ビーム銃はどこに配置してもよい。12は蒸
気流の下方への拡散を防止する遮蔽板である。In a space above the can 3 and sandwiched by the first and second paths A and B, a crucible 10 made of MgO, a Co-Ni alloy, and Co-C are used as an evaporation source 9 of a magnetic material.
A magnetic material 11 such as an r alloy or a Co-Cr-Ta alloy is put in and provided, and the magnetic material 11 is heated and evaporated by an electron beam emitted from an electron beam gun (not shown). Note that the electron beam gun may be arranged anywhere as long as the electron beam is appropriately deflected and focused by a deflection coil, a focusing coil, or the like to irradiate the magnetic material 11. Reference numeral 12 is a shielding plate that prevents downward diffusion of the vapor flow.
【0016】また、第1及び第2の経路A,Bに沿って
磁性材料の蒸発源9がある側と反対側(裏面側)に、非
磁性基材8を冷却する冷却板13,14を配置してある。こ
れらの冷却板13,14について、冷却板13を代表して、図
2によって説明すれば、下側に冷却水の入口13a、上側
に冷却水の出口13bをそれぞれ有し、内部を邪魔板13c
により迂回して冷却水が流れるようになっていて、蒸着
部位にある非磁性基材8を裏面側から冷却する。Further, cooling plates 13 and 14 for cooling the non-magnetic base material 8 are provided along the first and second paths A and B on the side opposite to the side where the magnetic material evaporation source 9 is located (back side). It is arranged. With reference to FIG. 2, the cooling plates 13 and 14 will be described with reference to FIG. 2. The cooling water inlet 13a is provided on the lower side and the cooling water outlet 13b is provided on the upper side.
By this, the cooling water is made to flow around and the non-magnetic base material 8 at the vapor deposition site is cooled from the back surface side.
【0017】次に作用を説明する。非磁性基材8は、巻
出しロール6から巻出された後、第1の案内体4により
案内されてキャン3に向かい、キャン3から第2の案内
体5に案内されて巻出しロール7に巻取られるが、第1
の案内体4からキャン3に向かう第1の経路Aにおい
て、非磁性基材8の表面に蒸発源9からの磁性材料が付
着して、1層目の蒸着がなされ、キャン3から第2の案
内体5に向かう第2の経路Bにおいて、非磁性基材8の
1層目の蒸着面の上に蒸発源9からの磁性材料が再び付
着して、2層目の蒸着がなされる。Next, the operation will be described. After being unwound from the unwinding roll 6, the non-magnetic base material 8 is guided by the first guide body 4 toward the can 3, and is guided by the second guide body 5 from the can 3 to the unwinding roll 7. The first is
In the first route A from the guide body 4 to the can 3, the magnetic material from the evaporation source 9 is attached to the surface of the non-magnetic base material 8 to deposit the first layer, and the can 3 to the second layer. In the second route B toward the guide body 5, the magnetic material from the evaporation source 9 is attached again onto the vapor deposition surface of the first layer of the non-magnetic base material 8 to vapor deposit the second layer.
【0018】このとき、第1の経路A上の非磁性基材8
の移動方向と第2の経路B上の非磁性基材8の移動方向
とは反対方向であるので、単一の蒸発源9でありなが
ら、異なる方向に斜め蒸着がなされ、コラム構造の異な
る2層の磁性層(図5参照)が連続して形成される。ま
た、第1及び第2の案内体4,5の間隔Sは5〜10mm
と小さくでき、蒸発源9からの蒸気を逃がすことなく、
そのほとんどを非磁性基材8に付着させることができる
ので、蒸着効率が良い。そして、その分蒸着速度を上げ
られるので、生産性も向上する。At this time, the nonmagnetic substrate 8 on the first path A
Is opposite to the moving direction of the non-magnetic base material 8 on the second path B. Therefore, although the evaporation source 9 is a single evaporation source, oblique vapor deposition is performed in different directions. The magnetic layers (see FIG. 5) of layers are successively formed. The distance S between the first and second guide bodies 4 and 5 is 5 to 10 mm.
Can be made small, without letting the vapor from the evaporation source 9 escape,
Since most of them can be attached to the non-magnetic base material 8, vapor deposition efficiency is good. And since the vapor deposition rate can be increased correspondingly, productivity is also improved.
【0019】また、冷却板13,14により、非磁性基材8
の熱負けによるしわが少なくなり、安定に蒸着ができ、
これによっても生産性が向上する。本実施例の装置によ
り、非磁性基材として 9.8μmのPETフィルムを用い
て、その表面にCo−Ni合金(80%−20%)を2層合
計で1500Å蒸着し、その上に保護層としてパーフルオロ
ポリエーテル(例えばモンテジソン社製の商品名「ホン
ブリン」)を20Åトップコートした。その後、磁性層と
は反対側の裏面にバックコート層として、粒径20nmの
ものと60nmのものとを1:1に混合したカーボンを塩
ビとウレタンとを1:1に混合したバインダー中に分散
させてなる塗料を厚さ 0.5μmになるように塗布した。
その後、8mm幅にスリットして、8mmビデオテープ
カセットにインカセし、単周波数の1MHz と7MHz
の信号を記録させ、これらを再生して、市販のソニー
(株)製の8mmリファレンステープとの比較で(該テ
ープを0dBとして)、出力(dB)とC/N(dB)を測定
した。Further, the cooling plates 13 and 14 allow the non-magnetic base material 8 to be formed.
Wrinkles due to heat loss are reduced and stable deposition is possible,
This also improves productivity. Using the apparatus of this example, a 9.8 μm PET film was used as the non-magnetic substrate, and Co—Ni alloy (80% -20%) was vapor-deposited on the surface in a total of 1500 Å, and as a protective layer thereon. A 20Å top coat was made of perfluoropolyether (for example, the product name "Homblin" manufactured by Montedison Co., Ltd.). After that, as a back coat layer on the back surface opposite to the magnetic layer, carbon in which particle diameters of 20 nm and 60 nm are mixed in 1: 1 is dispersed in a binder in which vinyl chloride and urethane are mixed in 1: 1. The resulting coating material was applied to a thickness of 0.5 μm.
After that, it slits to a width of 8 mm, and it is incassed into an 8 mm video tape cassette, and a single frequency of 1 MHz and 7 MHz.
Was recorded and reproduced, and the output (dB) and C / N (dB) were measured by comparison with a commercially available 8 mm reference tape manufactured by Sony Corporation (where the tape is 0 dB).
【0020】尚、比較例としては、図3に示したような
一般的な蒸着装置を用いて、 9.8μmのPETフィルム
表面にCo−Ni合金(80%−20%)を単層で1500Å蒸
着し、その他は実施例と同じ条件にして、同じ測定を行
った。その結果を表1に示す。As a comparative example, a general vapor deposition apparatus as shown in FIG. 3 was used to deposit a single layer of Co-Ni alloy (80% -20%) on a 9.8 μm PET film surface at 1500 Å. However, other conditions were the same as those of the example, and the same measurement was performed. The results are shown in Table 1.
【0021】[0021]
【表1】 [Table 1]
【0022】この結果から、特に高域(7MHz )にお
いて、出力及びC/Nが共に大きくなって優れた特性が
得られ、本実施例の装置により製造されたものに2層蒸
着の効果が認められた。尚、前記実施例において、第1
及び第2の経路A,Bにおける蒸着中の非磁性基材8に
向けて外部より若干量の酸素を導入するようにすれば、
酸化により、磁性層の各層の耐食性が向上すると共に、
2層の磁性層を明瞭に区切ることができるという利点が
ある。From these results, particularly in the high range (7 MHz), both the output and C / N became large and excellent characteristics were obtained, and the effect of the two-layer vapor deposition was recognized in the one manufactured by the apparatus of this example. Was given. In the above embodiment, the first
And if a small amount of oxygen is introduced from the outside toward the non-magnetic substrate 8 during vapor deposition in the second paths A and B,
Oxidation improves the corrosion resistance of each layer of the magnetic layer,
There is an advantage that the two magnetic layers can be clearly separated.
【0023】[0023]
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、単
一の蒸発源によりコラム構造の異なる2層の磁性層を1
度に連続的に形成することができ、しかも蒸着効率が良
く、生産性が大幅に向上するという効果が得られる。ま
た、非磁性基材の蒸着部位の裏面側に冷却板を設けるこ
とにより、非磁性基材の熱負けを防止でき、安定して蒸
着ができ、これによっても生産性が向上するという効果
が得られる。As described above, according to the present invention, two magnetic layers having different column structures are formed by a single evaporation source.
It is possible to continuously form the layers one by one, the vapor deposition efficiency is good, and the productivity is greatly improved. In addition, by providing a cooling plate on the back surface side of the deposition portion of the non-magnetic base material, heat loss of the non-magnetic base material can be prevented and stable deposition can be achieved, which also has the effect of improving productivity. To be
【図1】 本発明の一実施例を示す蒸着装置の概略図FIG. 1 is a schematic diagram of a vapor deposition apparatus showing an embodiment of the present invention.
【図2】 同上実施例における冷却板の概略図FIG. 2 is a schematic view of a cooling plate in the above embodiment.
【図3】 蒸着装置の従来例を示す概略図FIG. 3 is a schematic diagram showing a conventional example of a vapor deposition device.
【図4】 単層式の磁性層の構造図FIG. 4 is a structural diagram of a single-layer magnetic layer.
【図5】 2層式の磁性層の構造図FIG. 5 is a structural diagram of a two-layer magnetic layer.
【図6】 2層式の磁性層を得るための蒸着装置の従来
例を示す概略図FIG. 6 is a schematic view showing a conventional example of a vapor deposition apparatus for obtaining a two-layer type magnetic layer.
1 真空容器 2 真空ポンプ 3 キャン 4 第1の案内体 5 第2の案内体 6 巻出しロール 7 巻取りロール 8 非磁性基材 9 蒸発源 10 ルツボ 11 磁性材料 12 遮蔽板 13,14 冷却板 A 第1の経路 B 第2の経路 1 vacuum container 2 vacuum pump 3 can 4 first guide body 5 second guide body 6 unwinding roll 7 winding roll 8 non-magnetic base material 9 evaporation source 10 crucible 11 magnetic material 12 shielding plate 13, 14 cooling plate A 1st route B 2nd route
Claims (2)
けられてその下側の周面に磁気記録媒体用の非磁性基材
が巻掛けられる円筒状キャンの上方に、キャンに向かう
非磁性基材を案内する第1の案内体と、キャンからの非
磁性基材を案内する第2の案内体とを、第1の案内体か
らキャンに向かう非磁性基材の第1の経路とキャンから
第2の案内体に向かう非磁性基材の第2の経路との対向
間隔がキャン側より案内体側で狭まるように配置する一
方、前記第1及び第2の経路により挟まれる空間に磁性
層形成用の磁性材料の蒸発源を配置したことを特徴とす
る磁気記録媒体の蒸着装置。1. A can above and above a cylindrical can which is provided in a vacuum container with an axis line in a substantially horizontal direction and around which a non-magnetic base material for a magnetic recording medium is wound. A first guide body that guides the non-magnetic base material that faces the first guide body and a second guide body that guides the non-magnetic base material from the can are connected to the first guide body of the non-magnetic base material that faces the can from the first guide body. The path and the second path of the non-magnetic base material from the can to the second guide body are arranged such that the facing distance between the path and the guide body side is narrower than the can side, while the space sandwiched by the first and second paths. A vapor deposition apparatus for a magnetic recording medium, characterized in that an evaporation source of a magnetic material for forming a magnetic layer is disposed in the.
て磁性材料の蒸発源がある側と反対側に非磁性基材を冷
却する冷却板を配置したことを特徴とする請求項1記載
の磁気記録媒体の蒸着装置。2. A cooling plate for cooling the non-magnetic base material is arranged on the side opposite to the side where the magnetic material evaporation source is located along each of the first and second paths. A vapor deposition apparatus for the magnetic recording medium described.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25846292A JPH06111308A (en) | 1992-09-28 | 1992-09-28 | Vapor deposition device for magnetic recording medium |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25846292A JPH06111308A (en) | 1992-09-28 | 1992-09-28 | Vapor deposition device for magnetic recording medium |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06111308A true JPH06111308A (en) | 1994-04-22 |
Family
ID=17320568
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP25846292A Pending JPH06111308A (en) | 1992-09-28 | 1992-09-28 | Vapor deposition device for magnetic recording medium |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH06111308A (en) |
-
1992
- 1992-09-28 JP JP25846292A patent/JPH06111308A/en active Pending
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