JPH06105174B2 - エンコ−ダ - Google Patents

エンコ−ダ

Info

Publication number
JPH06105174B2
JPH06105174B2 JP59073872A JP7387284A JPH06105174B2 JP H06105174 B2 JPH06105174 B2 JP H06105174B2 JP 59073872 A JP59073872 A JP 59073872A JP 7387284 A JP7387284 A JP 7387284A JP H06105174 B2 JPH06105174 B2 JP H06105174B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
circuit
encoder
signal
rotating plate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP59073872A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS60218029A (ja
Inventor
宏 石田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
FANUC Corp
Original Assignee
FANUC Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by FANUC Corp filed Critical FANUC Corp
Priority to JP59073872A priority Critical patent/JPH06105174B2/ja
Priority to EP87111338A priority patent/EP0251341B1/en
Priority to DE8787111338T priority patent/DE3584256D1/de
Priority to DE8585101295T priority patent/DE3579184D1/de
Priority to EP85101295A priority patent/EP0158781B1/en
Publication of JPS60218029A publication Critical patent/JPS60218029A/ja
Priority to US07/051,211 priority patent/US4780703A/en
Priority to US07/081,963 priority patent/US4796005A/en
Publication of JPH06105174B2 publication Critical patent/JPH06105174B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03MCODING; DECODING; CODE CONVERSION IN GENERAL
    • H03M1/00Analogue/digital conversion; Digital/analogue conversion
    • H03M1/12Analogue/digital converters
    • H03M1/22Analogue/digital converters pattern-reading type
    • H03M1/24Analogue/digital converters pattern-reading type using relatively movable reader and disc or strip
    • H03M1/28Analogue/digital converters pattern-reading type using relatively movable reader and disc or strip with non-weighted coding
    • H03M1/30Analogue/digital converters pattern-reading type using relatively movable reader and disc or strip with non-weighted coding incremental
    • H03M1/303Circuits or methods for processing the quadrature signals
    • H03M1/305Circuits or methods for processing the quadrature signals for detecting the direction of movement
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/244Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains
    • G01D5/24404Interpolation using high frequency signals

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optical Transform (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 技術分野 本発明はエンコーダに関するものであり、より特定的に
は光学式インクリメンタル形エンコーダを用いてエンコ
ーダに接続された回転軸の回転方向、回転回数及び回転
位置をアブソリュート形式で算出し得るエンコーダに関
する。
従来技術 エンコーダはNC等の移動する作業機械の精密な位置検出
等に広く用いられている。
エンコーダには一般にインクリメンタル形のものとアブ
ソリュート形のものがある。前者は作業機械の移動を検
出するための回転軸に固定された回転板に、回転板の円
周に沿って等間隔でしゃ光部及び透光部(スリット)を
設け、回転板の一方の側から発光素子により回転板を照
射させ、また回転板の他方の側に受光素子を設け、回転
軸の回転と共に回転する回転板の透光部を通した発光素
子の光を受光するようにしたもので、回転板が正回転で
ある場合にはインクリメンタルな信号、逆回転である場
合はデクリメンタルな信号を出力し、回転軸の位置を検
出するようにしたものである。一方後者は、回転板の半
径方向にそれぞれ所定のパターンの透光チャネルを複数
列、円周に沿って設け、該チャネルを通した光を複数の
受光素子で検出し、これらの受光素子の信号の組合せに
より、回転軸の位置を一義的(アブソリュート)に検出
できるようにしたものである。インクリメンタル形エン
コーダは回転板が簡単かつ検出回路も簡単ですむという
利点を有する一方、検出回路用の電源が通常作業機械側
の電源から供給されており、その電源が一旦オフになる
と電源再投入時に回転軸の位置がすぐに判らず、再度基
準位置からの信号(インクリメンタル/デクリメンタ
ル)を計数しなければならないという問題がある。一
方、アブソリュート形エンコーダは電源が一旦オフにな
っても電源再投入時に回転軸の位置が即座に判るが、回
転板の構造及び検出回路が複雑になるといつ問題があ
る。
さらに上述のインクリメンタル形エンコーダ及びアブソ
リュート形エンコーダのいずれも一般に、回転軸の1回
転内の回転位置のみを検出するようになっており、エン
コーダ自体において、回転軸の回転回数そのものが検出
できない。従って、エンコーダの外部回路において1回
転内の回転位置信号を用いて回転軸の回転数及び回転位
置を統合化する、すなわち作業機械のトータルの移動距
離を算出する、ことを行なわなければならない。
上述の問題を解決するものとして、本発明の発明者によ
り発明された「回転体の回転検出用パルスエンコーダ
(特願昭59-017103号及び特願昭59-017104号)」、及
び、「パルスエンコーダ(昭和59年3月10日出願)」が
ある。これらの出願はいずれも回転体の回転回数及び回
転の向きが検出できるようになっているが、いずれもア
ブソリュート形エンコーダを用いていて回転コード板が
やや複雑である。また「回転体の回転検出用パルスエン
コーダ」の両出願は、回転体の回転回数及び回転方向を
検出するため回転コード板に付加的発信素子と固定部に
検出素子を設けねばならず、また後者の「パルスエンコ
ーダ」においても付加的な検出素子を設けており、構造
的に若干複雑となっている。さらに上述のいずれも回路
の動力の消費を低減するためにサンプリング的に電源を
印加するという手法を用いているが、電力消費な低減が
必ずしも充分でないということが見出された。
発明の目的 本発明の目的は、簡単な構造且つ比較的簡単な回路によ
り、エンコーダで検出すべき回転軸の回転回数及び回転
方向、並びに1回転内の回転位置をアブソリュート形式
で検出でき、且つ、電力消費の少ないエンコーダを提供
することにある。
発明の構成 本発明の上記目的を達成するため、下記に挙げるような
技術的思想に基づいて本発明のエンコーダが実現され
た。すなわち、エンコーダの本体部分としては構造の簡
単なインクリメンタル形のものを用い、付加的な発信素
子、検出素子は用いない。一方、回転回数及び回転方向
を検出するため、在来のインクリメンタル形の検出素子
の作動条件を本発明に基づく信号処理技法により変え、
これによって得られる検出信号を信号処理する。さらに
インクリメンタル形エンコーダの1回転位置信号が電源
断により喪失されることを防止するため、回路用電源は
外的条件により電源断とならない電池を用いる。但し、
電池の寿命がエンコーダ供用期間、又は保守期間充分で
あるように、電力消費が最小となるような回路設計をす
る、等である。
従って本発明においては基本的形態として、回転軸に固
定され円周に沿って所定の間隔で複数の透光域及び遮光
域が連続して設けられた回転板、該回転板の一方の側か
ら前記透光域及び遮光域を照光するように設けられた発
光素子、及び、前記回転板の他方の側に設けられ前記回
転板の透光域を通過した前記発光素子の射出光を所定の
スリットを介して受ける第1及び第2の受光素子であっ
て第2の受光素子が第1の受光素子に対し所定の位相差
をもって回転位置を検出するようにに配置されているも
の、を具備するエンコーダにおいて、前記回転板の透光
域の1つ及び前記所定のスリットを通した前記発光素子
からの射出光が前記いずれかの発光素子を照射する時間
より短かい周期のパルスを発生する発振回路、及び、第
1及び第2の受光素子の信号を受け入れ、該信号に応答
して前記回転板の回転位置、及び前記受信信号の立上り
及び立下りの少なくとも一方を検出して前記回転板の回
転方向及び回転回数を算出する信号処理回路を設け、前
記発光素子、第1及び第2の受光素子及び信号処理回路
を前記発振回路からのパルスに応答して作動させるよう
にしたことを特徴とする、エンコーダが提供される。
実施例 本発明の一実施例について添付図面を参照して下記に述
べる。
第1図は本発明のエンコーダ1の概略的な断面を示す図
である。第1図において当該エンコーダ1は、NC等の作
業機械の位置を検出するため作業機械の移動に応じて回
転する回転軸2、該回転軸に固定され回転軸2の回転と
共に回転する回転板7、該回転板の一方の側に設けられ
た基板8に装着され、回転板7のスリット部(第2図)
に光を照射する発光素子9、この実施例においては発光
ダイオードを備えている。基板8には後述する回路部10
及び電池11が設けられている。一方、回転板7をはさん
で基板8と対向して回転軸2が貫通している穴が設けら
れている基台3が設けられ、該基台には、発光ダイオー
ド9に対向する位置に受光素子4,5、この実施例におい
ては、フォトダイオードが設けられている。回転板7と
フォトダイオード4,5との間に固定スリット6が設けら
れてい。
回転板7は第2図にその平面図を示すように円周に沿っ
て、しゃ光部71と透光部72とが一定の間隔で交互に連続
して設けられている。本実施例においては、しゃ光部71
の幅と透光部72の幅とは同じであり、1周当り、それぞ
れ2500個設けられている。また第3図に固定スリット6
の正面図を示す。固定スリット6は、フォトダイオード
4,5と回転板7のしゃ光部及び透光部との間に設けられ
ており、回転板7の透光部を通過した光をさらにスリッ
トを介してフォトダイオード4,5に導びく。ここで固定
スリット6は、フォトダイオード5がフォトダイオード
4に対して90゜位相おくれの透過光を検出するようにス
リットが設けられている。
第4図に第1図に図示の電気回路部10の回路図を示す。
電気回路部10は、クロックパルスCLK0(第5図(a))
を発生させる発振回路100、該クロックパルスCLK0の立
下りに対応して回路駆動用クロックパルスCLK1(第5図
(b)を発生させる単安定マルチバイブレータ101、フ
ォトダイオード4及び5の信号を増幅するそれぞれトラ
ンジスタ及び抵抗器から成る増幅回路102及び103、該増
幅回路からの2つの信号の立上り及び立下りを検出する
立上り/立下り検出回路104、該立上り又は立下り検出
信号を出力する際オアをとるオアゲート105及び106、該
オアゲート105又は106の出力信号により“増”又は
“減”の計数を行なうアップ/ダウン(可逆)カウンタ
107を備えている。
立上り/立下り検出回路104は、フォトダイオード4側
の信号SA(A相信号)により作動するD形フリップフロ
ップFF1及びFF2、フォトダイオード5側の信号SB(B相
信号)により作動するD形フリップフロップFF3及びFF
4、及び、これらのD形フリップフロップFF1〜FF4の信
号を受け入れ、解読して立上り又は立下り信号を出力す
る4ライン‐16ラインデコーダDECDRから成る。すなわ
ち、デコーダDECDRは、フリップフロップFF1〜FF4の出
力SA1,SA2,SB1,SB2をそれぞれ「1」,「2」,
「4」,「8」の信号として受け入れ、0〜15の10進信
号として出力するものである。
上述の回路には電源として、電池11が接続されている。
電池11は発光ダイオード9、及びフォトダイオード4及
び5の電源としても用いられる。
第5図のタイミングチャートを参照して、第1図〜第4
図に図示の本発明のエンコーダの動作を説明する。
回転軸2は位置を測定すべき作業機械の移動速度に応じ
て回転速度が変化するが、ここでは、最大1200rpmで回
転するものとする。前述の如く、回転板7の透光部が1
周で2500個あるから、最大速度で正回転(例えば右回
転)した場合、その周波数50kHzとなる。従って、常時
発光ダイオード9を点灯し続けたとした場合、固定スリ
ット6を通してフォトダイオード4又は5で受ける光は
第5図(a)に図示の如く、1周期τ=20μsecの点滅
光が得られることになる。しかしながら、本発明におい
ては電池11の電力消費を最小にするという観点から、下
記に述べるように、発光ダイオード9を常時点灯させる
ことはせず、最小時間だけ点灯させるようにする。
発光ダイオード9を最小時間だけ点灯させるための励起
パルスCLK0を発振回路100により発生させる。パルスCLK
0の周期tは(第5図(b))、第5図(a)図示の周
期τより短くなければならない。第5図(a)に図示の
透過光を検出するには、少なくともt=τでなければな
らないが、さらに立上り立下りを検出するためである。
一方、周期t内のパルスをオン時間t1とオフ時間t2とに
分けると、オン時間t1は発光ダイオード9、フォトダイ
オード4及び5、回路10が安定に作動可能な時間であっ
て、電力消費を最小にするという観点からはできるだけ
短かい方がよい。以上の条件に鍮み、この実施例におい
ては、t=5μsec,t1=2μsec,t3=3μsec、すなわ
ちパルスCLK0の周波数を200kHzとしている。従って、マ
ルチバイブレータ101の出力クロックパルスCLK1も(第
5図(c))も200kHzである。
回転軸2が最高速度で回転した場合、クロックCLK0のオ
ンにより点灯した発光ダイオード9の射出光を回転板7
及び固定スリット6を介して受光したフォトダイオード
4は、クロックCLK0のオン時間に応じた透光域1ピッチ
(1サイクル)当り4個のパルスを出力し、このパルス
増幅回路102により増幅されてA相出力SAを得る(第5
図(d))。フォトダイオード5も同様に4個のパルス
を出力するが、このパルスはフォトダイオード4の出力
パルスより位相が90゜おくれており、増幅回路103で増
幅されてB相出力SBを得る(第5図(e))。
A相信号SAがフリップフロップFF1のセット入力に印加
されることによりFF1はセットされ出力SA1がオンとなる
(第5図(f))。出力SA1はデコーダDECDRの端子A0に
印加されていると共に次段のフリップフロップFF2のセ
ット入力に印加されており、次のクロックCLK1がFF2に
印加されることによりFF2がセットされ出力SA2もオンと
なる(第5図(g))。該出力SA2もデコーダDECDRのA1
端子に印加されている。フリップフロップFF1は信号SA
が切れた次のクロックCLK1でリセットされ、FF2にその
次のクロックCLK1でリセットされる。
B相信号SBについても上記同様、フリップフロップFF3
及びFF4を介して第5図(h)及び(i)に図示の信号S
B1及びSB2が得られ、これらの信号がデコーダDECDRのA
2,A3端子に印加される。
デコーダDECDRに印加された上記信号SA1,SA2,SB1,SB2に
よりデコーダは第5図(j)に図示の如きアップダウン
信号SUDに変換して出力するが、その出力は第4図に図
示の如く、適宜、回転板が正回転する場合はインクリメ
ント(加算)するように、逆回転する場合はデクリメン
ト(減算)するようにアップダウンカウンタ107に接続
されている。この実施例では正回転しておりA相信号SA
がB相信号SBより90゜位相が進んでいるから、アップダ
ウン信号SUDは全てアップパルス信号SUとなる。デコー
ダDECDRは第8図に図示の如くゲートG1〜G14で構成され
ており、SA1+SA2+SB1+SB2が1,7,8,14となる場合にゲ
ートG1,G7,G8,G14からアップパルスが出力される。若し
B相信号SBがA相信号SAより位相が進んだ場合、すなわ
ちエンコーダが逆回転した場合は上記とは反対にSA1+S
A2+SB1+SB2が2,4,11,13となる場合ゲートG2,G4,G11,G
13からダウンパルスのみが出力される。
これらのアップ又はダウンパルス信号がアップダウンカ
ウンタ107で計数されていく。
上記回路には電池11により電圧が常時印加されているも
のとする。従って電源断、に伴う位置不明という状態は
発生せず、常に回転軸の回転位置が維持され、アップダ
ウンカウンタ107から、正転又は逆転を処理した回転位
置信号がいわゆるアブソリュート信号として出力でき
る。又は上記アップダウンカウンタ107において、回転
板の透光部の数に合せて、例えば、正転パルスが2500パ
ルス毎に正回転回数パルスを発生させる。逆転の場合は
逆回転回数パルスを発生させる。これにより、回転回数
と回転方向も判る。
尚電池11は、例えばリチウム電池等比較的寿命が長く安
定したものを用いるが、回路に常時電圧を印加可能とす
るためには、上述したように、発光ダイオード9、フォ
トダイオード4,5及び増幅回路102,103には、これらの作
動及び位置検出に必要な最小時間幅(第5図(b))、
t1)のパルスを印加して電力消費の最小化を図ると共
に、回路素子として電力消費の少ない、例えば、CMOSデ
バイスを用いている。
以上の動作説明は、回転軸2が最高速度で回転する場合
について述べたが、回転軸は作業機械の移動速度により
変化し、回転しない場合もある。例えば回転軸600rpmで
回転するとすると1ピッチ周期τ′は上記例の倍、すな
わち40μsecとなる(第7図(a)。一方、発振回路100
が前述と同じ周波数50kHzのまゝであるとしたら1ピツ
チ内で発光ダイオードは2倍点滅することになるが、立
上り又は立下りを検出するには上記同様4パルスで充分
である。そこで、第6図に図示の如く、回転板の回転速
度をも意味するデコーダDECDRの出力信号をオアゲート1
09を介して入力し、該入力パルスの間のクロックパルス
CLK1′を計数し、回転軸の回転数に応じて発振回路の発
振周期を算出する回路108を設け、さらに発振回路100′
は回路108の指令に応じて発振周期を変化できるように
しておく。この例では、発振周期t′を2倍にする(第
7図(b))。但し、発光ダイオード等をオンする時間
t1を前の通りである。このようにすることにより、発光
ダイオード等を作動させる回数が減少するから、電池の
電力消費を著しく低減することができる。このようにす
ることにより、電池の寿命をほぼエンコーダの供用期間
と同じ程度に延ばすことが可能となる。
上述の例示においては、立上り及び立下りの両者を検出
する場合について述べたが、一方のみにすることも可能
である。また立上り・立下り回路104は上記同様の機能
を有するものならば、他の形式のものにすることができ
る。またアップダウンカウンタは、上記同様の可逆計数
を行なうものであれば、1個のアップダウンカウンタで
ある必要はなく、安価な2つのカウンタを組合せても良
い。
以上の説明においては、A相、B相信号について述べた
が、在来同様、反転A相、反転B相を併せて用いること
もできる。
発明の効果 以上に述べたように、本発明によればインクリメンタル
形式の機構を用いて、実質的にアブソリュート形式の回
転位置信号、及び、回転回数及び回転方向を検出するこ
とができ、トータルの位置検出を行なうことの可能なエ
ンコーダが実現できる。
また本発明によれば、本発明のエンコーダの電力消費を
著しく低減することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例としてのエンコーダの断面
図、第2図は第1図の回転板の正面図、第3図は第1図
の固定スリットの正面図、第4図は第1図の回路の一実
施例を示す回路図、第5図(a)〜(j)は第4図回路
のタイミング図、第6図は第1図の回路の他の実施例を
示す図、第7図(a)(b)は第6図回路のタイミング
図第8図は第4図及び第6図に図示のデコーダの回路
図、である。 (符号の説明) 1……エンコーダ、2……回転軸、3……基台、4,5…
…フォトダイオード、6……固定スリット、7……回転
板、8……基板、9……発光ダイオード、10……電子回
路、11……電池。

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】回転軸に固定され円周に沿って所定の間隔
    で複数の透光域及び遮光域が連続して設けられた回転
    板、該回転板の一方の側から前記透光域及び遮光域を照
    光するように設けられた発光素子、及び、前記回転板の
    他方の側に設けられ前記回転板の透光域を通過した前記
    発光素子の射出光を所定のスリットを介して受ける第1
    及び第2の受光素子であって第2の受光素子が第1の受
    光素子に対し所定の位相差をもって回転位置を検出する
    ように配置されているもの、を具備するエンコーダにお
    いて、 前記回転板の透光域の1つ及び前記所定のスリットを通
    した前記発光素子からの射出光が前記いずれかの発光素
    子を照射する時間より短い周期のパルスを発生する発振
    回路、及び、 第1及び第2の受光素子の信号を受け入れ、該、信号に
    応答して前記回転板の回転位置、及び前記受信信号の立
    上り及び立下りの少なくとも一方を検出して前記回転板
    の回転方向及び回転回数を算出する信号処理回路を設
    け、前記発光素子、第1及び第2の受光素子及び信号処
    理回路を前記発振回路からのパルスに応答して作動させ
    るようにすると共に、 前記発振回路において発生させるパルスの周期を前記回
    転板の回転速度に応答して変化させるようにしたことを
    特徴とする、エンコーダ。
  2. 【請求項2】前記発振回路において発生させるパルスの
    オン時間が前記発光素子等の作動時間により規定される
    最小の一定時間である、特許請求の範囲第1項に記載の
    エンコーダ。
  3. 【請求項3】前記信号処理回路が、第1及び第2の受光
    素子の信号の立上り及び立下りの少なくとも一方を検出
    する回路、及び該検出回路からの信号に応答して前記回
    転板の回転方向及び回転回数を算出するようにアップ・
    ダウン計数機能を有する計数器、を包含する、特許請求
    の範囲第2項に記載のエンコーダ。
  4. 【請求項4】前記発振回路及び前記信号処理回路がCMOS
    デバイスで形成された、特許請求の範囲第3項に記載の
    エンコーダ。
  5. 【請求項5】前記エンコーダの電源が電池であることを
    特徴とする、特許請求の範囲第4項に記載のエンコー
    ダ。
JP59073872A 1984-04-14 1984-04-14 エンコ−ダ Expired - Fee Related JPH06105174B2 (ja)

Priority Applications (7)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP59073872A JPH06105174B2 (ja) 1984-04-14 1984-04-14 エンコ−ダ
EP87111338A EP0251341B1 (en) 1984-04-14 1985-02-07 Circuit means for evaluating the movement of a code track of incremental type
DE8787111338T DE3584256D1 (de) 1984-04-14 1985-02-07 Schaltungsmittel zur auswertung der bewegung einer inkrementalcodespur.
DE8585101295T DE3579184D1 (de) 1984-04-14 1985-02-07 Drehkodiergeraet.
EP85101295A EP0158781B1 (en) 1984-04-14 1985-02-07 Rotary encoder apparatus
US07/051,211 US4780703A (en) 1984-04-14 1987-05-12 Rotary encoder apparatus
US07/081,963 US4796005A (en) 1984-04-14 1987-08-05 Circuit device for a positional encoder

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP59073872A JPH06105174B2 (ja) 1984-04-14 1984-04-14 エンコ−ダ

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP62141441A Division JPH071177B2 (ja) 1987-06-08 1987-06-08 エンコーダ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS60218029A JPS60218029A (ja) 1985-10-31
JPH06105174B2 true JPH06105174B2 (ja) 1994-12-21

Family

ID=13530714

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP59073872A Expired - Fee Related JPH06105174B2 (ja) 1984-04-14 1984-04-14 エンコ−ダ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH06105174B2 (ja)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62166412A (ja) * 1986-01-18 1987-07-22 Fanuc Ltd 移動型産業用ロボツト
JPS6367867U (ja) * 1986-10-20 1988-05-07
JP2010152595A (ja) * 2008-12-25 2010-07-08 Omron Corp サーボシステムおよび安全制御機器

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS52146654A (en) * 1976-05-31 1977-12-06 Katsuta Seisakushiyo Kk Displacement measuring device
JPS5362354U (ja) * 1976-10-28 1978-05-26
JPS58170220A (ja) * 1982-03-31 1983-10-06 Anritsu Corp 光電式検出センサ

Also Published As

Publication number Publication date
JPS60218029A (ja) 1985-10-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0158781B1 (en) Rotary encoder apparatus
EP0341314B1 (en) Absolute position encoder
JP2003287418A (ja) 操舵角検出装置
US4833316A (en) Rotary encoder
EP0179918B1 (en) Optical rotary encoder
JPS6449915A (en) Shaft run-out insensitive type optical rotary encoder
JPH06105174B2 (ja) エンコ−ダ
JPH09145408A (ja) エンコーダ装置
JP2006170788A (ja) 光学式エンコーダ
JPH071177B2 (ja) エンコーダ
EP1480012B1 (en) Position encoder
JPS60190810A (ja) パルスエンコ−ダ
JPH01182721A (ja) インクリメンタル形エンコーダ
CN220508070U (zh) 一种具有定位功能的编码器
JPH08261795A (ja) エンコーダの基準位置検出方法
JP3144877B2 (ja) バックアップ式絶対位置エンコーダ
JP3035751B2 (ja) 光学式エンコーダ
JPS63145913A (ja) エンコ−ダ
JPS63167226A (ja) 分光光度計
JPS577562A (en) Rotation detector
JP3200847B2 (ja) ハイブリッドエンコーダ
GB1593282A (en) Measuring apparatus
JP2629833B2 (ja) 複合型ロータリエンコーダ
JPH0452830Y2 (ja)
JPH0124671Y2 (ja)

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees