JPH06104712A - 半導体スイッチ - Google Patents

半導体スイッチ

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JPH06104712A
JPH06104712A JP4249934A JP24993492A JPH06104712A JP H06104712 A JPH06104712 A JP H06104712A JP 4249934 A JP4249934 A JP 4249934A JP 24993492 A JP24993492 A JP 24993492A JP H06104712 A JPH06104712 A JP H06104712A
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gate turn
diode
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cathode
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    • H03K17/725Electronic switching or gating, i.e. not by contact-making and –breaking characterised by the components used by the use, as active elements, of semiconductor devices having more than two PN junctions; having more than three electrodes; having more than one electrode connected to the same conductivity region for ac voltages or currents
    • HELECTRICITY
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    • H03KPULSE TECHNIQUE
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    • H03K17/10Modifications for increasing the maximum permissible switched voltage
    • H03K17/105Modifications for increasing the maximum permissible switched voltage in thyristor switches

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  • Thyristor Switches And Gates (AREA)
  • Driving Mechanisms And Operating Circuits Of Arc-Extinguishing High-Tension Switches (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】通電損失を著しく増やすことなく、使用するゲ
ートターンオフサイリスタの数を低減すること。 【構成】第1のゲートターンオフサイリスタのアノード
に、第1,第2のダイオードのカソードを接続し、第1
のゲートターンオフサイリスタのカソードに、第3,第
4のダイオードのアノードを接続する。第2のゲートタ
ーンオフサイリスタのカソードには、第2のダイオード
のアノードと第5のダイオードのアノードを接続し、第
2のゲートターンオフサイリスタのアノードに第4のダ
イオードのカソードと第6のダイオードのカソードを接
続する。第1のダイオードのアノードと第3のダイオー
ドのカソードを接続して、スイッチの一方の端子とし、
第5のダイオードのカソードと第6のダイオードのアノ
ードを接続し、スイッチのもう一方の端子とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は,交流電流のような双方
向に流れる電流を制御するスイッチに係り、特にゲート
ターンオフサイリスタ等の半導体素子を直列接続して高
耐圧で使用するのに好適な半導体スイッチに関する。
【0002】
【従来の技術】電力系統において、例えば遮断器として
半導体スイッチを用いる場合、送電線の公称電圧が3.
3kV 〜500kVであることや、電流遮断後に系統
電圧の数倍の電圧が遮断部にかかることから、半導体ス
イッチはこれらの電圧に耐えなくてはならない。しか
し、これらの電圧に対して単体の半導体素子の耐圧では
十分ではないので、半導体素子を何個か直列にして耐圧
を高めて使用する必要がある。また、電力系統では交流
電流を通電・遮断する必要がある。
【0003】半導体スイッチとしてゲートターンオフサ
イリスタを使用する場合、ゲートターンオフサイリスタ
は、順方向耐圧に比べて逆方向耐圧が極端に低い場合が
多いので、逆方向耐圧保護用にダイオードを直列に接続
する必要がある。このゲートターンオフサイリスタを用
いて交流電流を制御する方法として、順方向電流用のア
ームと逆方向電流用のアームとしてゲートターンオフサ
イリスタを逆並列接続にした回路構成の半導体スイッチ
や、ダイオードをブリッジ構成にして、そのブリッジの
中心にゲートターンオフサイリスタを接続した回路構成
の半導体スイッチがある。そして、これらの半導体スイ
ッチのオフ時の耐圧を稼ぐために、これら半導体スイッ
チの基本回路構成を直列接続にして使用している。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ゲートターンオフサイ
リスタを直列接続して順方向耐圧を稼いで高耐圧の半導
体スイッチを構成するとき、図2のような、逆方向耐圧
保護用のダイオード300を直列接続したゲートターン
オフサイリスタ200を逆並列接続にした回路構成の半
導体スイッチの場合、順方向電流制御用と逆方向電流制
御用の2つのアームが必要となり、使用するゲートター
ンオフサイリスタの数が、半導体スイッチのオフ時耐圧
と各ゲートターンオフサイリスタの分担電圧によって決
まる直列数の2倍になる。例えば、図2に示したのは、
ゲートターンオフサイリスタを2直列にして、ゲートタ
ーンオフサイリスタ1個あたりの耐圧の2倍の耐圧を持
つ半導体スイッチとした例であるが、必要なゲートター
ンオフサイリスタは4個、逆方向耐圧保護用ダイオード
は4個になる。このときには、各方向に流れる電流は、
それぞれ4個の半導体素子を流れることになり、その分
の通電損失が発生する。ゲートターンオフサイリスタ
は、同程度の容量のダイオードと比較して数倍は高価で
あるため、ゲートターンオフサイリスタの使用個数が半
導体スイッチのオフ時耐圧で決まる数の2倍になるの
は、ゲートターンオフサイリスタのドライブ回路の数も
多くなるために半導体スイッチの構造が大きくなるのは
もちろん、経済的にも不利である。一方、図3のよう
に、逆方向耐圧保護用のダイオード300をブリッジ構成
にして、そのブリッジの中心にゲートターンオフサイリ
スタ200を接続した回路構成の半導体スイッチでは、ゲ
ートターンオフサイリスタの個数は半導体スイッチのオ
フ時耐圧と各ゲートターンオフサイリスタの分担電圧と
で決まる直列数と同じ数で良いが、使用するダイオード
の数が多くなり、電流が流れる半導体素子の数が逆並列
接続の構成の場合に比べて1.5倍に増えるので、常時
通電時の半導体素子における損失が増えてしまう。例え
ば、図3に示したように、ダイオードブリッジによって
構成した半導体スイッチを2直列にして、ゲートターン
オフサイリスタ1個あたりの2倍の耐圧の半導体スイッ
チにしたとき、必要なゲートターンオフサイリスタが2
個、ダイオードが8個となり、各方向の電流がそれぞれ
6個の半導体素子を流れることになり、その分の通電損
失が発生する。
【0005】本発明の目的は、使用するゲートターンオ
フサイリスタの数を低減でき、かつ通電損失が著しく増
えないような半導体スイッチを提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明の半導体スイッチは、スイッチ端子間に複数
個のゲートターンオフサイリスタを等価的に直列接続し
た半導体スイッチであって、隣合うゲートターンオフサ
イリスタは、相互にゲートターンオフサイリスタのアノ
ードがダイオードを介して他方のゲートターンオフサイ
リスタのカソードに接続されており、隣合うゲートター
ンオフサイリスタ間に配置された各ダイオードの接続
は、ダイオードのアノードがゲートターンオフサイリス
タのカソードに、かつダイオードのカソードがゲートタ
ーンオフサイリスタのアノードにそれぞれ接続するよう
になされており、スイッチ端子と隣合うゲートターンオ
フサイリスタは、そのアノード及びカソードが少なくと
もカソード側がダイオードを介してスイッチ端子に接続
されており、スイッチ端子と隣合うゲートターンオフサ
イリスタのカソードとスイッチ端子との間に配置された
各ダイオードの接続は、ダイオードのアノードがゲート
ターンオフサイリスタのカソードに、かつダイオードの
カソードがスイッチ端子にそれそれ接続するようになさ
れていることを特徴とするものである。
【0007】
【作用】上述の本発明の半導体スイッチでは、電流が
(場合に応じてダイオードのアノードからカソード,)
ゲートターンオフサイリスタのアノードからカソード,
ダイオードのアノードからカソード,他のゲートターン
オフサイリスタのアノードからカソード,ダイオードの
アノードからカソードという順に流れる回路構成となり
(逆方向の電流も同じように流れる。)、スイッチ端子
間に複数個のゲートターンオフサイリスタを等価的に直
列接続した半導体スイッチが得られる。
【0008】この本発明によれば、半導体スイッチを構
成するゲートターンオフサイリスタの数を、例えば2つ
にするだけで、2倍のオフ時耐圧を持つ半導体スイッチ
を構成することができる。同じオフ時耐圧を持つ半導体
スイッチを、従来の逆方向耐圧保護用のダイオードを直
列接続したゲートターンオフサイリスタを逆並列接続に
した回路構成の半導体スイッチで構成すると、ゲートタ
ーンオフサイリスタが4個必要である。それに対し、本
発明では、ゲートターンオフサイリスタが2個と従来の
1/2で良く、ゲートターンオフサイリスタに必要なド
ライブ回路の数も1/2とすることができ、半導体スイ
ッチの構成を小型で安価にすることができる。一方、逆
方向耐圧保護用のダイオードをブリッジ構成にして、そ
のブリッジの中心にゲートターンオフサイリスタを接続
した回路構成によって半導体スイッチを構成したとき、
ダイオードが8個必要になり、半導体素子で発生する通
電損失が半導体素子6個分になる。それに対し、本発明
では、ダイオードは6個で良く、半導体素子で発生する
通電損失が半導体素子5個分と、少なく抑えられる。
【0009】
【実施例】以下に本発明の一実施例を説明する。
【0010】図1に、本発明の一実施例である交流用半
導体スイッチ100の基本回路構成を示す。この実施例
は、ゲートターンオフサイリスタを2個使用した場合で
ある。ゲートターンオフサイリスタとダイオードを、図
1に示したような極性で接続する。つまり、第1のゲー
トターンオフサイリスタ200のアノードに、第1,第
2のダイオード300,301のカソードを接続し、第
1のゲートターンオフサイリスタ200のカソードに、
第3,第4のダイオード303,304のアノードを接
続する。第2のゲートターンオフサイリスタ201のカ
ソードには、第2のダイオード301のアノードと第5
のダイオード302のアノードを接続し、第2のゲート
ターンオフサイリスタ201のアノードに第4のダイオ
ード304のカソードと第6のダイオード305のカソ
ードを接続する。第1のダイオード300のアノードと
第3のダイオード303のカソードを接続して、スイッ
チの一方の端子とし、第5のダイオード302のカソー
ドと第6のダイオード305のアノードを接続し、スイ
ッチのもう一方の端子とする。各ゲートターンオフサイ
リスタやダイオードといった各半導体素子には、図示さ
れていないが、スナバ回路等の必要な保護回路が接続さ
れている。
【0011】動作として、電源4と負荷5の間に、スイ
ッチとして半導体スイッチ100が接続されている場合
を考える。今、ゲートターンオフサイリスタ200,2
01をオンして、半導体スイッチ100がオンしている
ときを考える。交流電流Iは、ダイオード300,ゲー
トターンオフサイリスタ200,ダイオード304,ゲ
ートターンオフサイリスタ201,ダイオード302と
いう回路と、ダイオード305,ゲートターンオフサイ
リスタサイリスタ201,ダイオード301,ゲートタ
ーンオフサイリスタ200,ダイオード303という回
路を流れる。ゲートターンオフサイリスタ200,20
1がオフすると、直列接続状態になっているダイオード
300,301,302あるいはダイオード303,3
04,305には、極性が逆になっているものが含まれ
ているので、電流は遮断される。半導体スイッチ100
の両端にかかる電圧が、ダイオード300のアノード
と、303のカソードが接続している端子側の電位が高
いとき、ゲートターンオフサイリスタ200に対してダ
イオード303が、ゲートターンオフサイリスタ201
に対してダイオード301が逆方向耐圧保護用ダイオー
ドとして機能する。また、ダイオード302のカソード
と、305のアノードが接続している端子側の電位が高
いとき、ゲートターンオフサイリスタ201に対してダ
イオード302が、ゲートターンオフサイリスタ200
に対してダイオード304が逆方向耐圧保護用ダイオー
ドとして機能する。
【0012】図1において、ゲートターンオフサイリス
タ200,201のオフ時の分担電圧をそれぞれe
[V]とする。図1では、ゲートターンオフサイリスタ
200,201を直列接続しているのと等価なので、半
導体スイッチ全体としての耐圧を2e[V]とすること
ができる。このとき、ダイオード300,302,30
3,305の分担電圧はe[V]となり、ダイオード3
01,304の分担電圧は2e[V]となる。よって、ダ
イオード300,302,303,305には逆方向耐
圧e[V]以上のものを、ダイオード301,304には
逆方向耐圧2e[V]以上のものを使用すれば良い。こう
することで、この半導体スイッチのオフ時の耐圧がゲー
トターンオフサイリスタの分担電圧と使用個数で決まる
耐圧と等しくすることができる。
【0013】図2及び図3に、図1と同等のオフ時耐圧
を持つ従来の構成による半導体スイッチの回路例を示
す。図2は従来例1として逆方向耐圧保護用のダイオー
ド300を直列接続したゲートターンオフサイリスタ20
0を直列接続したものを逆並列接続にした回路構成の半
導体スイッチ101である。この半導体スイッチ101
と本発明である半導体スイッチ100を比較すると、使
用しているゲートターンオフサイリスタの数が1/2に
なっていることがわかる。図3は従来例2として、逆方
向耐圧保護用のダイオード300をブリッジ構成にし
て、そのブリッジの中心にゲートターンオフサイリスタ
200を接続した回路構成の半導体スイッチ102であ
る。これと本発明である半導体スイッチ100と比較す
ると、使用しているダイオードの数が2個少なく、常時
通電時に電流が流れる半導体素子の数が減り、通電損失
を少なくできる。
【0014】なお、図1において、ダイオード300及
び305は、逆方向耐圧保護用ダイオードとして機能し
ていないので、これらのダイオードを省略することがで
きる。但し、端子間の耐圧を変えないようにするため
に、ダイオード300を省略するときには、ゲートター
ンオフサイリスタ200のカソードとゲートターンオフ
サイリスタ201のアノードとの間か、ゲートターンオ
フサイリスタ201のカソードと端子の間にダイオード
300と同じ耐圧のダイオードを直列に挿入した方がよ
い(図示省略)。また、同じく、ダイオード305を省
略するときには、ゲートターンオフサイリスタ201の
カソードとゲートターンオフサイリスタ200のアノー
ドとの間か、ゲートターンオフサイリスタ200のカソ
ードと端子の間にダイオード305と同じ耐圧のダイオ
ードを直列に挿入するようにする(図示省略)。
【0015】図4は、本発明の一実施例で、ゲートター
ンオフサイリスタを3直列接続にしたのと等価な構成と
した半導体スイッチ110の場合を示したものである。
ゲートターンオフサイリスタ210,211,212の
各々のオフ時の分担電圧をe[V]としたとき、ダイオ
ード310,313,314,317を逆方向耐圧e
[V]以上のものにし、ダイオード311,312,3
15,316を逆方向耐圧2e[V]以上のものにする
ことで、この半導体スイッチのオフ時の耐圧を3e
[V]にすることができる。ゲートターンオフサイリス
タ210,211,212をオンして半導体スイッチ1
10をオン状態にしたときには、交流電流Iは、ダイオ
ード310、ゲートターンオフサイリスタ210,ダイ
オード315,ゲートターンオフサイリスタ211,ダ
イオード312,ゲートターンオフサイリスタ212,
ダイオード317という回路と、ダイオード313,ゲ
ートターンオフサイリスタ212,ダイオード316,
ゲートターンオフサイリスタ211,ダイオード31
1,ゲートターンオフサイリスタ210,ダイオード3
14という回路を流れる。
【0016】同様にして半導体スイッチのオフ時耐圧を
高めるためにゲートターンオフサイリスタの数を増やし
ていくと、図5のような回路構成の半導体スイッチ12
0となる。オフ時の分担電圧をe[V]であるゲートタ
ーンオフサイリスタ220をn個使用して構成したとす
ると、逆方向耐圧がe[V]以上のダイオード320を
4個、逆方向耐圧が2e[V]以上のダイオード321
を2n−2個使用して半導体スイッチを構成すれば、オ
フ時耐圧ne[V]の半導体スイッチを構成することが
できる。
【0017】上述の構成の半導体スイッチを使用すると
きは、各ゲートターンオフサイリスタがターンオン,タ
ーンオフするときに過渡的に電圧分担に不平衡が生じて
各ゲートターンオフサイリスタに過電圧がかからないよ
うにするために、図5に示すように、制御回路600に
よってそれぞれのゲートターンオフサイリスタのオン・
オフが同期するようにドライブ回路601を制御して、
単一のスイッチとして動作させる。
【0018】図6は、オフ時耐圧ne[V]の半導体スイ
ッチを、1個当りの分担電圧e[V]のゲートターンオフ
サイリスタを使用して構成した場合の、半導体素子の使
用個数と通電損失を、本発明によるものと従来例で比較
したものである。本発明である半導体スイッチの構成で
は、必要となるゲートターンオフサイリスタの数はn
個,ダイオードの数は2n+2個である。また、通電損
失は、半導体素子1個当りで発生する損失を1とすれば
2n+1となる。これに対して、従来例1として順方向
電流用のアームと逆方向電流用のアームを逆並列接続に
して構成した半導体スイッチの場合は、ゲートターンオ
フサイリスタの数は2n個,ダイオードの数は2n個に
なり、通電損失は2nになる。これに較べて、本発明で
は、比較的に高価なゲートターンオフサイリスタの数が
1/2になっている上に、ダイオードの数と通電損失は
同等のままである。一方、従来例2としてダイオードブ
リッジにゲートターンオフサイリスタを組み合わせた構
成の半導体スイッチでは、ゲートターンオフサイリスタ
の数はn個,ダイオードの数は4n個となり、通電損失
は3nとなる。これに対し、本発明では、ゲートターン
オフサイリスタの数は同じで、ダイオードの数が約1/
2となり、通電損失も2/3程度で済むことになる。
【0019】上述の実施例に示した回路構成によって、
本発明の半導体スイッチは、使用するゲートターンオフ
サイリスタの数を半導体スイッチのオフ時耐圧と各ゲー
トターンオフサイリスタの分担電圧とで決まる直列数よ
り増やすことなく、また、ゲートターンオフサイリスタ
の逆方向耐圧保護用ダイオードの数も、ゲートターンオ
フサイリスタ1個あたり2個程度として、著しく増やす
ことなく、かつ通電損失が著しく増えないような半導体
スイッチの構成とするが可能になる。従来方式より使用
するゲートターンオフサイリスタの数が1/2に減るこ
とによって、ゲートターンオフサイリスタに必要なドラ
イブ回路の数も1/2となり、半導体スイッチの構造を
小型で簡単にすることができ、価格も安くできる。その
上、高耐圧の半導体スイッチを構成するためにゲートタ
ーンオフサイリスタの数が多くなるほど制御し易くな
り、半導体スイッチの制御性が上がる。使用するダイオ
ードの数が減ることで、半導体スイッチの構造が小型で
簡単になり、価格を安くできると同時に、半導体素子に
おける通電損失を低減することができる。通電損失の低
減によって、半導体素子の冷却装置の小型化が可能にな
り、さらに半導体スイッチの構造を小型で簡単にするこ
とができる。
【0020】図7には、図1に示した本発明の実施例の
半導体スイッチにおける各ブランチで使用しているゲー
トターンオフサイリスタやダイオードを、いくつか直列
接続にして半導体スイッチを構成した例を示す。この実
施例では、ゲートターンオフサイリスタ220やダイオ
ード320,321を、それぞれ直列接続のサイリスタ
群やダイオード群として半導体スイッチ130を構成し
ている。この実施例によれば、半導体スイッチの高耐圧
化が可能になる。
【0021】図8には、図1に示した本発明の実施例の
半導体スイッチにおける各ブランチで使用しているゲー
トターンオフサイリスタやダイオードを、いくつか並列
接続にして半導体スイッチを構成した例を示す。この実
施例では、ゲートターンオフサイリスタ220やダイオ
ード320,321を、それぞれ並列接続のサイリスタ
群やダイオード群として半導体スイッチ131を構成し
ている。この実施例によれば、半導体スイッチの電流容
量を増すことが可能になる。この実施例において、並列
接続する部分は一部であっても良く、例えば、ゲートタ
ーンオフサイリスタ220のみを並列接続するようにし
てもよい。
【0022】さらに、本発明の半導体スイッチにおける
各ブランチで使用しているゲートターンオフサイリスタ
やダイオードを、いくつか直並列接続にして半導体スイ
ッチを構成することができる。これによって、半導体ス
イッチの高耐圧化と大電流容量化が可能になる。
【0023】図9は、本発明の基本構成である図1の半
導体スイッチ100を複数、直列接続にして、全体とし
て高耐圧の半導体スイッチを構成した例である。使用す
る半導体素子数が非常多くなったときや、回路の配置の
都合などによって、図5の半導体スイッチ120のよう
に、単一の構成で半導体スイッチを構成することが困難
な場合には、この方法によって半導体スイッチの高耐圧
化ができる。ただし、直列接続したときに、各半導体ス
イッチの電圧分圧がそれぞれのオフ時耐圧を超えないよ
うにする。この条件を満たしていれば、各半導体スイッ
チ100におけるゲートターンオフサイリスタやダイオ
ード等の半導体素子の使用個数が異なっていても良く、
オフ時耐圧の異なる半導体スイッチが2種類以上あって
も構わない。このことによって、半導体スイッチの構成
の自由度を増すことができる。半導体スイッチ100の
代わりとして、半導体スイッチ110,120を用いて
も同等の機能が得られる。
【0024】図10は、本発明の基本構成である図1の
半導体スイッチ100を複数、並列接続にして、全体と
して半導体スイッチの電流容量を増した例である。半導
体スイッチ単体では、電流容量が半導体スイッチを構成
しているゲートターンオフサイリスタあるいはダイオー
ドの電流容量で制限されるので、本発明の半導体スイッ
チを並列接続にすることで電流容量を増すことができ
る。このとき、各半導体スイッチに分流する電流は、各
半導体スイッチの電流容量を超えないように分流するよ
うにする。この条件を満たしていれば、各半導体スイッ
チ100の分流比が異なっていても良く、電流容量の異
なる半導体スイッチが2種類以上あっても構わない。こ
のことによって、半導体スイッチの構成の自由度を増す
ことができる。半導体スイッチ100の代わりとして、
半導体スイッチ110,120を用いても同等の機能が
得られる。
【0025】また、図9に示した半導体スイッチを直列
接続にして構成した半導体スイッチを並列接続にして電
流容量を増したり、あるいは、図10で示した半導体ス
イッチを並列接続にして構成した半導体スイッチを直列
接続にして高耐圧化することができる。このようにする
ことで、半導体スイッチを高耐圧,大電流容量のものに
することができる。
【0026】さらに、図11のように、本発明の基本構
成である図1の半導体スイッチ100を複数、直並列接続
にすることができる。これによって、高耐圧,大電流容
量の半導体スイッチを構成することができる。このと
き、各半導体スイッチ100では、それぞれの半導体ス
イッチのオフ時耐圧、電流容量を超えない範囲で、電
圧,電流が分圧,分流されるようにする。このようにし
て、高耐圧,大電流容量の半導体スイッチを構成するこ
とができる。半導体スイッチ100の代わりとして、半
導体スイッチ110,120を用いても同等の機能が得
られる。
【0027】スイッチの機能の一つとして、回路中にイ
ンピーダンスを投入,開放することがある。その方法と
しては、図12のように、半導体スイッチ120に対し
て直列にインピーダンス500,あるいは並列にインピ
ーダンス501を接続する方法がある。このとき、1個
の半導体スイッチのオン・オフに対して、インピーダン
スを投入するか開放するかに限られる。
【0028】しかし、インピーダンスの入り切りを細か
く、高速に制御することによって、例えば系統の事故電
流等、回路中を流れる電流を調整したい場合などには、
電流の大きさを半導体スイッチのオン・オフによって調
整することができ、電流制御ができる。あるいは、変圧
器やコンデンサの投入時に発生する突入電流のような大
電流を抑制するために、大電流が流れているときだけイ
ンピーダンスを高めて限流することで、電流を抑制でき
るといった効果的な電流制御ができる。
【0029】また、図13のように、半導体スイッチを
構成する各半導体素子に並列に任意のインピーダンス5
10〜517を接続することができる。例えば、ゲート
ターンオフサイリスタの両端に接続されているインピー
ダンス510,511だけが接続されているときは、各
インピーダンスと並列に接続されているゲートターンオ
フサイリスタのオン・オフによって、インピーダンスを
バイパスあるいは回路中に挿入したことになる。このよ
うにして、インピーダンスを可変に制御することができ
る。
【0030】また、図14に示したように、任意のイン
ピーダンス520,521,522,523,524,
525を、ゲートターンオフサイリスタのアノードと、
そのゲートターンオフサイリスタのカソードに接続され
たダイオードのカソード(例えば、ゲートターンオフサ
イリスタ200のアノードと、ダイオード303または
304のカソード)との間や、ゲートターンオフサイリ
スタのカソードと、そのゲートターンオフサイリスタの
アノードに接続されたダイオードのアノード(例えば、
ゲートターンオフサイリスタ200のカソードと、ダイ
オード300または301のアノード)との間に接続す
ることができる。この図は、ゲートターンオフサイリス
タを2個使用した場合であるが、例えば、インピーダン
ス520,523,524を接続しているときには、ゲー
トターンオフサイリスタ200,201のオン・オフに
従って電流が半導体素子やインピーダンスに流れるの
で、細かなインピーダンス制御が可能であり、それによ
って電流制御ができる。
【0031】さらに、図15に示したように、本発明の
基本構成である図1の半導体スイッチにおいて、半導体
素子が接続されているノード700〜705のうちの、
任意の2つのノードを結ぶようにインピーダンスを接続
することができる。例えば、ノード700と704を結
ぶようにインピーダンス530を接続することができ
る。インピーダンス530は、ゲートターンオフサイリ
スタ200のオン・オフによって、回路から切り放され
たり、回路中に挿入されたりする。
【0032】以上のように、本発明の半導体スイッチ中
にインピーダンスを接続することで、自在なインピーダ
ンス制御が可能になる。半導体スイッチ中のゲートター
ンオフサイリスタの数が多く、ゲートターンオフサイリ
スタのオン・オフの組合せが多くなるほど、インピーダ
ンス可変の自由度は高くなる。1個のゲートターンオフ
サイリスタのオン・オフによって1個のインピーダンス
の入り切りができるとすれば、n個のゲートターンオフ
サイリスタではn種類のインピーダンスの入り切りがで
きるので、2のn乗通りのインピーダンス可変ができ、
細かい制御が可能になる。
【0033】これらのインピーダンスの接続方法は、上
述の半導体スイッチの様々な構成において適用できる。
本発明の半導体スイッチにおいて、可変インピーダンス
としての機能を持たせるときには、各ゲートターンオフ
サイリスタは、各々に過電圧がかからないようにして、
オン・オフ制御を行なう。ゲートターンオフサイリスタ
のうちでオンさせる素子とオフさせる素子とは、所望の
インピーダンスあるいは電流になるように適切に素子を
選んで決める。これに基づいて、各インピーダンスの種
類と各ゲートターンオフサイリスタのオン・オフの組合
せによって、インピーダンスの可変制御を行なう。
【0034】図16に、本発明の基本構成である図1の
半導体スイッチ100において、ゲートターンオフサイ
リスタとダイオードによる構成に対し、ダイオードの代
わりにサイリスタを用いた半導体スイッチ140の基本
回路構成を示す。ダイオード300〜305の代わりに
サイリスタ800〜805を使用する。ゲートターンオ
フサイリスタ200,201と、サイリスタ800〜8
05をオンして、この半導体スイッチをオンしたとき、
交流電流Iは、サイリスタ800,ゲートターンオフサ
イリスタ200,サイリスタ804,ゲートターンオフ
サイリスタ201,サイリスタ802という回路と、サイ
リスタ805,ゲートターンオフサイリスタ201,サ
イリスタ801,ゲートターンオフサイリスタ200,
サイリスタ803という回路を流れる。この回路構成で
は、半導体スイッチ100におけるダイオードと同様の
動作として、サイリスタ800〜805がゲートターン
オフサイリスタ200,201の逆耐圧保護用の半導体
素子の役割を果たす。半導体スイッチ140をオフする
ためにゲートターンオフサイリスタ200,201をオ
フすると、電流がサイリスタ800からサイリスタ80
2へと流れていた場合には、サイリスタ801,80
3,805には逆バイアスがかかっているのでオフ状態
であり、サイリスタ800,802,804には流れる
電流がなくなるので、これらは自然にオフする。あるい
は、交流電流のような場合には、やがて逆方向の電流が
流れるので、サイリスタ800,802,804にも逆
バイアスがかかり、オフ状態になる。つまり、特別なタ
ーンオフ回路をサイリスタ800〜805に用意しなく
サイリスタはオフできる。この半導体スイッチ140に
は、図1の半導体スイッチ100と同様の効果以外に、
次のような効果を有する。ゲートターンオフサイリスタ
200,201の分担電圧をe[V]としたとき、サイ
リスタ800〜805の順方向耐圧と逆方向耐圧がe
[V]以上であれば、図16のような構成によってゲー
トターンオフサイリスタを2直列にしたのと等価な半導
体スイッチとすることができ、半導体スイッチの耐圧と
して2e[V]にすることができる。図1に示したゲー
トターンオフサイリスタとダイオードによって構成した
半導体スイッチ100では、ダイオードの分担電圧がe
[V]以上と2e[V]以上の2種類になるが、図16
に示した構成にすると、サイリスタには順方向と逆方向
の両方に等しく耐圧があるので、全てのサイリスタの分
担電圧を均等にすることができる。
【0035】図17は、本発明の基本構成である図1の
半導体スイッチ100において、ゲートターンオフサイ
リスタとダイオードによる構成に対して、ゲートターン
オフサイリスタの代わりにサイリスタ810,811に
よって構成した半導体スイッチ161の基本構成であ
る。この回路構成は、耐圧e[V]のサイリスタを2直
列して逆並列接続し、交流電流が制御できる半導体スイ
ッチとした場合と等価であり、これと比較して、サイリ
スタの数を1/2にすることができる。したがって、ダ
イオードに較べてサイリスタは高価なことから、本発明
の構成の半導体スイッチの方が価格が安くなる。
【0036】図16,図17に示した、ゲートターンオ
フサイリスタとサイリスタ、またはサイリスタとダイオ
ードで構成した半導体スイッチの構成は、前述のゲート
ターンオフサイリスタとダイオードによって構成した半
導体スイッチの構成全てに適用できる。
【0037】以上に述べたように、本発明の半導体スイ
ッチは交流電流の通電・遮断ができるスイッチの構成で
あるが、一般的な構成のスイッチであるから、直流回路
で使用することも可能である。よって、半導体スイッチ
を使用する電気機器(インバータ,コンバータ,チョッ
パ等)はもちろん、半導体遮断器や高速スイッチのよう
な交流用スイッチ,インピーダンスの可変制御を始めと
して、電気回路,電気機器におけるスイッチとして使用
できる。本発明を適用する場合、上述のように、その回
路で必要となる耐圧や電流容量に応じて半導体素子の構
成を変えることができ、その回路に応じた半導体スイッ
チを容易に構成することができる。
【0038】上述の本発明の各実施例によれば、ゲート
ターンオフサイリスタなどの大容量の半導体素子を、例
えば電力系統で使用する場合、従来からの交流電流を制
御できる半導体スイッチと比較して、ゲートターンオフ
サイリスタやダイオード等の使用する半導体素子の数を
減らして同等のスイッチング能力を実現することができ
る。同時に、半導体素子における通電損失は従来と同等
か、場合によっては減ることにもなる。また、使用する
半導体素子の数、特にゲートターンオフサイリスタの数
を、構成する半導体スイッチのオフ時耐圧とゲートター
ンオフサイリスタの分担電圧から決まる素子数まで減ら
すことができる。このことから、同程度の容量のダイオ
ードと比較してゲートターンオフサイリスタは数倍高価
であるので、経済的にも有利になる。それと同時に、ゲ
ートターンオフサイリスタを制御するのに必要なゲート
ドライブ回路の数も、ゲートターンオフサイリスタの数
の低減にともなって低減するので、半導体スイッチの構
造の小型化,簡略化ができる。また、半導体スイッチと
して機能するには、各ゲートターンオフサイリスタに過
電圧がかからないように各々のゲートターンオフサイリ
スタのオン・オフが同期するように制御しなくてはなら
ないので、半導体スイッチを構成するゲートターンオフ
サイリスタの数が少なくなることで制御性が向上する。
さらに、本発明の半導体スイッチ中にインピーダンスを
接続し、各ゲートターンオフサイリスタを独立してオン
・オフ制御することで、高速で、細かな可変インピーダ
ンス制御の機能を持つことができる。本発明では、使用
するゲートターンオフサイリスタの接続数は回路構成上
からは制限がないので、構成する半導体素子のオフ時耐
圧や電流容量から必要となる素子数で使用し、半導体ス
イッチのオフ時耐圧を高めることができる。また、本発
明の半導体スイッチを基本構成として、これらを直列あ
るいは並列接続して容量の大きな半導体スイッチとして
使用することも可能である。
【0039】
【発明の効果】本発明の半導体スイッチによれば、通電
損失を著しく増やすことなく、使用するゲートターンオ
フサイリスタの数を低減できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例である半導体スイッチの基本
構成を示す図である。
【図2】従来の半導体スイッチの構成例を示す図であ
る。
【図3】従来の半導体スイッチの構成例を示す図であ
る。
【図4】本発明の一実施例である半導体スイッチで、3
個のゲートターンオフサイリスタを直列接続したのと等
価な半導体スイッチの回路構成を示す図である。
【図5】本発明の一実施例である半導体スイッチで、n
個のゲートターンオフサイリスタを直列接続したのと等
価な半導体スイッチの回路構成を示す図である。
【図6】本発明の一実施例である半導体スイッチと従来
の半導体スイッチとの素子数と損失の比較を示す図であ
る。
【図7】本発明の一実施例である半導体スイッチの各ブ
ランチにおいて半導体素子を直列接続にして構成した場
合を示す図である。
【図8】本発明の一実施例である半導体スイッチの各ブ
ランチにおいて半導体素子を並列接続にして構成した場
合を示す図である。
【図9】本発明の一実施例である半導体スイッチを直列
接続にして構成した場合を示す図である。
【図10】本発明の一実施例である半導体スイッチを並
列接続にして構成した場合を示す図である。
【図11】本発明の一実施例である半導体スイッチを直
並列接続にして構成した場合を示す図である。
【図12】本発明の一実施例である半導体スイッチにイ
ンピーダンスを接続する方法を示す図である。
【図13】本発明の一実施例である半導体スイッチ中に
インピーダンスを接続する方法を示す図である。
【図14】本発明の一実施例である半導体スイッチ中に
インピーダンスを接続する方法を示す図である。
【図15】本発明の一実施例である半導体スイッチ中
で、インピーダンスを接続できる個所を示す図である。
【図16】本発明の一実施例である半導体スイッチをゲ
ートターンオフサイリスタとサイリスタで構成した場合
を示す図である。
【図17】本発明の一実施例である半導体スイッチをサ
イリスタとダイオードで構成した場合を示す図である。
【符号の説明】
100,110,120,130,131,140,1
41…半導体スイッチ、101,102…従来例の半導
体スイッチ、200,201,210,211,21
2,220…ゲートターンオフサイリスタ、300,3
01,302,303,304,305,310,31
1,312,313,314,315,316,31
7,320,321…ダイオード、4…電源、5…負
荷、500,501,510,511,512,51
3,514,515,516,517,520,52
1,522,523,524,525,530…インピ
ーダンス、600…制御回路、601…ドライブ回路、
700,701,702,703,704,705…半
導体スイッチ中のノード、800,801,802,8
03,804,805,810,811…サイリスタ。

Claims (27)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】スイッチ端子間に複数個のゲートターンオ
    フサイリスタを等価的に直列接続した半導体スイッチで
    あって、 隣合う前記ゲートターンオフサイリスタは、相互にゲー
    トターンオフサイリスタのアノードがダイオードを介し
    て他方のゲートターンオフサイリスタのカソードに接続
    されており、 前記隣合うゲートターンオフサイリスタ間に配置された
    各ダイオードの接続は、ダイオードのアノードがゲート
    ターンオフサイリスタのカソードに、かつダイオードの
    カソードがゲートターンオフサイリスタのアノードにそ
    れぞれ接続するようになされており、 前記スイッチ端子と隣合う前記ゲートターンオフサイリ
    スタは、そのアノード及びカソードが少なくともカソー
    ド側がダイオードを介して前記スイッチ端子に接続され
    ており、 前記スイッチ端子と隣合うゲートターンオフサイリスタ
    のカソードと前記スイッチ端子との間に配置された各ダ
    イオードの接続は、ダイオードのアノードがゲートター
    ンオフサイリスタのカソードに、かつダイオードのカソ
    ードがスイッチ端子にそれそれ接続するようになされて
    いることを特徴とする半導体スイッチ。
  2. 【請求項2】請求項1に記載の半導体スイッチにおい
    て、前記スイッチ端子と隣合うゲートターンオフサイリ
    スタの各アノードは、それぞれダイオードを介して前記
    スイッチ端子に接続されており、 前記スイッチ端子と隣合うゲートターンオフサイリスタ
    のアノードと前記スイッチ端子との間に配置された各ダ
    イオードの接続は、ダイオードのアノードがスイッチ端
    子に、かつダイオードのカソードがゲートターンオフサ
    イリスタのアノードにそれそれ接続するようになされて
    いることを特徴とする半導体スイッチ。
  3. 【請求項3】請求項1または2に記載の半導体スイッチ
    において、 前記ゲートターンオフサイリスタは、オフ時順方向耐圧
    e[V]のゲートターンオフサイリスタであり、 前記スイッチ端子と隣合うゲートターンオフサイリスタ
    と前記スイッチ端子との間に配置された各ダイオード
    は、逆方向耐圧e[V]以上のダイオードであり、そし
    て、 前記隣合うゲートターンオフサイリスタ間に配置された
    各ダイオードは、逆方向耐圧2e[V]以上のダイオー
    ドであることを特徴とする半導体スイッチ。
  4. 【請求項4】請求項1〜3の何れかに記載の半導体スイ
    ッチにおいて、前記ゲートターンオフサイリスタまたは
    ダイオードには、これらを保護するスナバ回路が接続さ
    れていることを特徴とする半導体スイッチ。
  5. 【請求項5】請求項1〜4の何れかに記載の半導体スイ
    ッチにおいて、前記ゲートターンオフサイリスタまたは
    ダイオードは、直列または並列に接続してなるゲートタ
    ーンオフサイリスタ群またはダイオード群として構成
    し、これらのゲートターンオフサイリスタ群またはダイ
    オード群を、他のダイオード群またはゲートターンオフ
    サイリスタ群と接続することを特徴とする半導体スイッ
    チ。
  6. 【請求項6】請求項1〜5の何れかに記載の半導体スイ
    ッチにおいて、前記半導体スイッチを直列もしくは並列
    に接続したことを特徴とする半導体スイッチ。
  7. 【請求項7】請求項1〜6の何れかに記載の半導体スイ
    ッチにおいて、前記各ゲートターンオフサイリスタの電
    圧分担率に不平衡が生じないようにオン・オフの同期制
    御を行う装置を有することを特徴とする半導体スイッ
    チ。
  8. 【請求項8】請求項1〜7の何れかに記載の半導体スイ
    ッチにおいて、前記半導体スイッチに並列あるいは直列
    に接続されたインピーダンスを有することを特徴とする
    半導体スイッチ。
  9. 【請求項9】請求項1〜8の何れかに記載の半導体スイ
    ッチにおいて、前記ゲートターンオフサイリスタまたは
    ダイオードに並列に接続されたインピーダンスを有する
    ことを特徴とする半導体スイッチ。
  10. 【請求項10】請求項1または2に記載の半導体スイッ
    チにおいて、前記隣合うゲートターンオフサイリスタの
    アノード間若しくはカソード間、または、前記スイッチ
    端子と隣合うゲートターンオフサイリスタのアノード若
    しくはカソードと前記スイッチ端子との間の何れかに接
    続された少なくとも一つのインピーダンスを有すること
    を特徴とする半導体スイッチ。
  11. 【請求項11】請求項1または2に記載の半導体スイッ
    チにおいて、前記隣合うゲートターンオフサイリスタの
    アノード間及びカソード間、前記スイッチ端子と隣合う
    ゲートターンオフサイリスタのアノードと前記スイッチ
    端子との間、並びに、前記スイッチ端子と隣合うゲート
    ターンオフサイリスタのカソードと前記スイッチ端子と
    の間のそれぞれに接続されたインピーダンスを有するこ
    とを特徴とする半導体スイッチ。
  12. 【請求項12】請求項1または2に記載の半導体スイッ
    チにおいて、前記隣合うゲートターンオフサイリスタの
    アノード間、並びに、前記スイッチ端子と隣合うゲート
    ターンオフサイリスタのアノードと前記スイッチ端子と
    の間のそれぞれに接続されたインピーダンスを有するこ
    とを特徴とする半導体スイッチ。
  13. 【請求項13】請求項1または2に記載の半導体スイッ
    チにおいて、前記隣合うゲートターンオフサイリスタの
    カソード間、並びに、前記スイッチ端子と隣合うゲート
    ターンオフサイリスタのカソードと前記スイッチ端子と
    の間のそれぞれに接続されたインピーダンスを有するこ
    とを特徴とする半導体スイッチ。
  14. 【請求項14】請求項10〜13の何れかに記載の半導
    体スイッチにおいて、前記ゲートターンオフサイリスタ
    は、前記ゲートターンオフサイリスタまたはダイオード
    に過電圧が発生しないようにオン・オフを独立に制御可
    能なゲートターンオフサイリスタで構成したことを特徴
    とする半導体スイッチ。
  15. 【請求項15】スイッチ端子間に複数個の可制御の半導
    体素子を等価的に直列接続した半導体スイッチであっ
    て、 隣合う前記可制御の半導体素子は、相互に可制御の半導
    体素子のアノードが前記可制御の半導体素子の逆方向耐
    圧保護用半導体素子を介して他方の可制御の半導体素子
    のカソードに接続されており、 前記隣合う可制御の半導体素子間に配置された各逆方向
    耐圧保護用半導体素子の接続は、逆方向耐圧保護用半導
    体素子のアノードが可制御の半導体素子のカソードに、
    かつ逆方向耐圧保護用半導体素子のカソードが可制御の
    半導体素子のアノードにそれぞれ接続するようになされ
    ており、 前記スイッチ端子と隣合う前記可制御の半導体素子は、
    そのアノード及びカソードが少なくともカソード側が前
    記可制御の半導体素子の逆方向耐圧保護用半導体素子を
    介して前記スイッチ端子に接続されており、 前記スイッチ端子と隣合う可制御の半導体素子のカソー
    ドと前記スイッチ端子との間に配置された各逆方向耐圧
    保護用半導体素子の接続は、逆方向耐圧保護用半導体素
    子のアノードが可制御の半導体素子のカソードに、かつ
    逆方向耐圧保護用半導体素子のカソードがスイッチ端子
    にそれそれ接続するようになされていることを特徴とす
    る半導体スイッチ。
  16. 【請求項16】請求項15に記載の半導体スイッチにお
    いて、前記スイッチ端子と隣合う可制御の半導体素子の
    各アノードは、それぞれ前記可制御の半導体素子の逆方
    向耐圧保護用半導体素子を介して前記スイッチ端子に接
    続されており、 前記スイッチ端子と隣合う可制御の半導体素子のアノー
    ドと前記スイッチ端子との間に配置された各逆方向耐圧
    保護用半導体素子の接続は、逆方向耐圧保護用半導体素
    子のアノードがスイッチ端子に、かつ逆方向耐圧保護用
    半導体素子のカソードが可制御の半導体素子のアノード
    にそれそれ接続するようになされていることを特徴とす
    る半導体スイッチ。
  17. 【請求項17】請求項15または16に記載の半導体ス
    イッチにおいて、前記可制御の半導体素子として、順方
    向耐圧に較べて逆方向耐圧の弱いゲートターンオフサイ
    リスタを用い、前記逆方向耐圧保護用半導体素子とし
    て、ダイオードまたはサイリスタを用いたことを特徴と
    する半導体スイッチ。
  18. 【請求項18】スイッチ端子間に複数個のゲートターン
    オフサイリスタを等価的に直列接続した半導体スイッチ
    であって、 隣合う前記ゲートターンオフサイリスタは、相互にゲー
    トターンオフサイリスタのアノードがサイリスタを介し
    て他方のゲートターンオフサイリスタのカソードに接続
    されており、 前記隣合うゲートターンオフサイリスタ間に配置された
    各サイリスタの接続は、サイリスタのアノードがゲート
    ターンオフサイリスタのカソードに、かつサイリスタの
    カソードがゲートターンオフサイリスタのアノードにそ
    れぞれ接続するようになされており、 前記スイッチ端子と隣合う前記ゲートターンオフサイリ
    スタは、そのアノード及びカソードが少なくともカソー
    ド側がサイリスタを介して前記スイッチ端子に接続され
    ており、 前記スイッチ端子と隣合うゲートターンオフサイリスタ
    のカソードと前記スイッチ端子との間に配置された各サ
    イリスタの接続は、サイリスタのアノードがゲートター
    ンオフサイリスタのカソードに、かつサイリスタのカソ
    ードがスイッチ端子にそれそれ接続するようになされて
    いることを特徴とする半導体スイッチ。
  19. 【請求項19】スイッチ端子間に複数個のサイリスタを
    等価的に直列接続した半導体スイッチであって、 隣合う前記サイリスタは、相互にサイリスタのアノード
    がダイオードを介して他方のサイリスタのカソードに接
    続されており、 前記隣合うサイリスタ間に配置された各ダイオードの接
    続は、ダイオードのアノードがサイリスタのカソード
    に、かつダイオードのカソードがサイリスタのアノード
    にそれぞれ接続するようになされており、 前記スイッチ端子と隣合う前記サイリスタは、そのアノ
    ード及びカソードが少なくともカソード側がダイオード
    を介して前記スイッチ端子に接続されており、 前記スイッチ端子と隣合うサイリスタのカソードと前記
    スイッチ端子との間に配置された各ダイオードの接続
    は、ダイオードのアノードがサイリスタのカソードに、
    かつダイオードのカソードがスイッチ端子にそれそれ接
    続するようになされていることを特徴とする半導体スイ
    ッチ。
  20. 【請求項20】梯子形回路の長手方向のそれぞれのブラ
    ンチに方向を交互に変えて設けられたダイオードと、 前記長手方向の一方のブランチと他方のブランチとを結
    ぶブランチに設けられた複数個のゲートターンオフサイ
    リスタとを有し、 前記ゲートターンオフサイリスタの各アノードは、前記
    ダイオードのカソード同志を結ぶノードに接続され、か
    つ前記ゲートターンオフサイリスタの各カソードは、前
    記ダイオードのアノード同志を結ぶノードに接続されて
    いることを特徴とする半導体スイッチ。
  21. 【請求項21】請求項20に記載の半導体スイッチにお
    いて、前記ダイオードは、逆方向耐圧e[V]以上のダ
    イオードであり、前記ゲートターンオフサイリスタは、
    オフ時順方向耐圧e[V]であることを特徴とする半導
    体スイッチ。
  22. 【請求項22】請求項21に記載の半導体スイッチにお
    いて、前記ダイオードは、前記長手方向のブランチの両
    端に設けられたダイオードを除いて、逆方向耐圧2e
    [V]以上のダイオードであることを特徴とする半導体
    スイッチ。
  23. 【請求項23】複数個のゲートターンオフサイリスタと
    複数個のダイオード用いて、ゲートターンオフサイリス
    タを直列接続したのと等価な回路構成とした半導体スイ
    ッチであって、電流がダイオード,ゲートターンオフサ
    イリスタ,ダイオード,ゲートターンオフサイリスタ,
    ダイオードの順に流れる回路構成とするとともに、ゲー
    トターンオフサイリスタにはダイオードによって整流さ
    れた交流電流が全て流れる回路構成とし、さらに使用す
    るゲートターンオフサイリスタの個数を、半導体スイッ
    チのオフ時の耐圧と各ゲートターンオフサイリスタの分
    担電圧とで決まる素子数以下にしたことを特徴とする半
    導体スイッチ。
  24. 【請求項24】複数個のゲートターンオフサイリスタと
    複数個のダイオード用いて、ゲートターンオフサイリス
    タを直列接続したのと等価な回路構成とした半導体スイ
    ッチであって、電流がダイオードのアノードからカソー
    ド,第1のゲートターンオフサイリスタのアノードから
    カソード,ダイオードのアノードからカソード,第2の
    ゲートターンオフサイリスタのアノードからカソード,
    ダイオードのアノードからカソードの順に流れ、かつ前
    記電流と逆方向の電流がダイオードのアノードからカソ
    ード,第2のゲートターンオフサイリスタのアノードか
    らカソード,ダイオードのアノードからカソード,第1
    のゲートターンオフサイリスタのアノードからカソー
    ド,ダイオードのアノードからカソードの順に流れる回
    路構成にしたことを特徴とする半導体スイッチ。
  25. 【請求項25】遮断器の電流遮断部に半導体スイッチを
    用いた遮断器において、前記半導体スイッチとして、請
    求項1〜24の何れかに記載の半導体スイッチ用いたこ
    とを特徴とする遮断器。
  26. 【請求項26】開閉装置の開閉部のスイッチに半導体ス
    イッチを用いた開閉装置において、前記半導体スイッチ
    として、請求項1〜24の何れかに記載の半導体スイッ
    チを用いたことを特徴とする開閉装置。
  27. 【請求項27】半導体スイッチで構成した無接点スイッ
    チにおいて、前記半導体スイッチとして、請求項1〜2
    4の何れかに記載の半導体スイッチを用いたことを特徴
    とする無接点スイッチ。
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