JPH06103567A - Production of magnetic recording medium - Google Patents

Production of magnetic recording medium

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Publication number
JPH06103567A
JPH06103567A JP25302192A JP25302192A JPH06103567A JP H06103567 A JPH06103567 A JP H06103567A JP 25302192 A JP25302192 A JP 25302192A JP 25302192 A JP25302192 A JP 25302192A JP H06103567 A JPH06103567 A JP H06103567A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
coupling agent
magnetic
layer
magnetic layer
recording medium
Prior art date
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Pending
Application number
JP25302192A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Noriyuki Kitaori
典之 北折
Osamu Yoshida
修 吉田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kao Corp
Original Assignee
Kao Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Kao Corp filed Critical Kao Corp
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Publication of JPH06103567A publication Critical patent/JPH06103567A/en
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Abstract

PURPOSE:To carry out a process for forming a protective-lubricative layer on the magnetic layer of a magnetic recording medium in vacuum and to reduce the number of production processes. CONSTITUTION:A magnetic layer is formed in a vacuum vessel 11 of a vacuum deposition device 10 and a silane coupling agent 23 filled into a crucible 22 is evaporated in the vacuum vessel 11. Steam is then blown from a steam introducing pipe 25 on the evaporated silane coupling agent 23 on the magnetic layer of the resulting magnetic tape.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、磁気記録媒体の製造方
法に関し、特に真空雰囲気中でカップリング剤を使用し
て保護・潤滑層を形成する技術に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a magnetic recording medium, and more particularly to a technique for forming a protective / lubrication layer by using a coupling agent in a vacuum atmosphere.

【0002】[0002]

【従来の技術】例えば磁気テープ及びハードディスク等
の磁気記録媒体は例えば図2のような構造になってい
る。図2において、例えば磁気テープ1の基材としての
PET(ポリエチレンテレフタレート)フィルム2の表
面上に順次、アンダーコート層3、磁性層4、保護・潤
滑層5が形成され、またPETフィルム2の裏面にはバ
ックコート層6が形成されている。
2. Description of the Related Art A magnetic recording medium such as a magnetic tape or a hard disk has a structure as shown in FIG. In FIG. 2, for example, an undercoat layer 3, a magnetic layer 4, a protective / lubricating layer 5 are sequentially formed on the surface of a PET (polyethylene terephthalate) film 2 as a base material of the magnetic tape 1, and the back surface of the PET film 2 is also formed. A back coat layer 6 is formed on the.

【0003】従来より、保護層及び潤滑層として、カー
ボン、SiO2 、脂肪酸エステル、パーフルオロポリエ
ーテル等の組み合わせが用いられている。かかる磁気記
録媒体を製造するには、カーボン、SiO2 は真空雰囲
気中で磁性層4上に例えば蒸着されるが、脂肪酸エステ
ル、パーフルオロポリエーテルは真空雰囲気中では形成
することが出来ないので、これらの材料を使用する場合
には、空気中にて形成される。
Conventionally, a combination of carbon, SiO 2 , fatty acid ester, perfluoropolyether and the like has been used for the protective layer and the lubricating layer. To manufacture such a magnetic recording medium, carbon and SiO 2 are deposited on the magnetic layer 4 in a vacuum atmosphere, but fatty acid ester and perfluoropolyether cannot be formed in a vacuum atmosphere. When these materials are used, they are formed in air.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】ところで、従来の磁気
記録媒体の製造方法では、保護層及び潤滑層を製造する
のに、真空雰囲気中での工程と、空気中での工程とが混
在している為、真空雰囲気で製造工程が複雑であり、工
程数を削減することが出来なかった。本発明ではこのよ
うな従来の課題に鑑みてなされたもので、磁気記録媒体
の保護層・潤滑層を真空雰囲気中で形成できる磁気記録
媒体の製造方法を提供することを目的とする。
By the way, in the conventional method of manufacturing a magnetic recording medium, a process in a vacuum atmosphere and a process in air are mixed to manufacture the protective layer and the lubricating layer. Therefore, the manufacturing process was complicated in a vacuum atmosphere, and the number of processes could not be reduced. The present invention has been made in view of such conventional problems, and an object of the present invention is to provide a method of manufacturing a magnetic recording medium capable of forming a protective layer / lubrication layer of the magnetic recording medium in a vacuum atmosphere.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】このため本発明は、真空
雰囲気にした真空槽内で磁気記録媒体の基材上に磁性層
を形成した後、加水分解反応するカップリング剤を前記
真空槽内に蒸発させ、前記磁性層近傍に蒸発したカップ
リング剤に向けて水蒸気を噴霧し、前記磁性層の表面上
で、カップリング剤と噴霧した所定量の水分とを反応さ
せて、該磁性層上に保護・潤滑層を形成するようにし
た。
Therefore, according to the present invention, after forming a magnetic layer on a base material of a magnetic recording medium in a vacuum chamber in a vacuum atmosphere, a coupling agent that undergoes a hydrolysis reaction is added in the vacuum chamber. Water vapor is sprayed toward the evaporated coupling agent in the vicinity of the magnetic layer, and the coupling agent reacts with the sprayed predetermined amount of water on the surface of the magnetic layer to form a magnetic layer on the magnetic layer. A protective / lubrication layer is formed on the.

【0006】[0006]

【作用】上記の構成によれば、磁性層の表面上に蒸発し
たカップリング剤は、噴霧した水蒸気と加水分解反応
し、磁性層上に保護・潤滑層が形成される。この工程は
真空雰囲気中で行われるので、磁性層を形成する工程か
ら、同じ真空雰囲気中で連続して保護・潤滑層を形成す
ることが可能となる。
According to the above construction, the coupling agent evaporated on the surface of the magnetic layer undergoes a hydrolysis reaction with the sprayed water vapor to form a protective / lubricating layer on the magnetic layer. Since this step is performed in a vacuum atmosphere, it is possible to continuously form the protective / lubrication layer in the same vacuum atmosphere from the step of forming the magnetic layer.

【0007】[0007]

【実施例】以下、本発明の一実施例を図1に基づいて説
明する。尚、図2と同一要素のものについては同一符号
を付して説明は省略する。本実施例を示す図1におい
て、真空蒸着装置10の真空槽11の内部は、真空排気系12
により連続的に排気され、例えば10-5〜10-6(Torr) 程
度の真空雰囲気に保持される。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIG. The same elements as those in FIG. 2 are designated by the same reference numerals and the description thereof will be omitted. In FIG. 1 showing the present embodiment, the inside of the vacuum chamber 11 of the vacuum vapor deposition apparatus 10 is a vacuum exhaust system 12
Is continuously evacuated, and is maintained in a vacuum atmosphere of, for example, 10 −5 to 10 −6 (Torr).

【0008】巻き出しロール13、キャン14、ローラ15、
キャン16、巻き取りロール17は、軸回りに回転する円筒
状のものであり、例えばPETフィルム2を基材とする
磁気テープ18はこの巻き出しロール13に装着され、キャ
ン14、ローラ15、キャン16の周側面を介して巻き取りロ
ール17に巻き取られる。磁性材料20が入れられたルツボ
18はPETフィルム2上に斜め蒸着される位置に配設さ
れ、かつキャン14の回転軸真下の周側面は遮蔽板20で覆
われている。ルツボ18内の磁性材料19には電子ビーム銃
21から電子線21aが打ち込まれ、磁性材料19を蒸発させ
る。蒸発した磁性材料19は、蒸発方向が規制されて磁気
テープ1の表面上に斜め蒸着され、コラム構造の磁性層
4が形成される。
Unwinding roll 13, can 14, roller 15,
The can 16 and the take-up roll 17 have a cylindrical shape that rotates about an axis. For example, the magnetic tape 18 having the PET film 2 as a base material is mounted on the take-up roll 13, and the can 14, the roller 15, and the can 15 are wound. It is wound around a winding roll 17 via the peripheral side surface of 16. Crucible containing magnetic material 20
18 is disposed at a position where it is obliquely vapor-deposited on the PET film 2, and the peripheral side surface of the can 14 directly below the rotation axis is covered with a shielding plate 20. An electron beam gun is used for the magnetic material 19 in the crucible 18.
An electron beam 21a is struck from 21 to evaporate the magnetic material 19. The evaporated magnetic material 19 is obliquely vapor-deposited on the surface of the magnetic tape 1 with its evaporation direction being regulated to form the magnetic layer 4 having a column structure.

【0009】ルツボ22は、キャン16の略真下に配設さ
れ、ルツボ22の中には後述する例えばシランカップリン
グ剤23が入れられ、ルツボ22には、シランカップリング
剤23が蒸発するように加熱ヒータが内蔵されている。
尚、キャン14とキャン16との間には、磁性材料のルツボ
18からキャン16、ルツボ22方向への蒸発、シランカップ
リング剤23のルツボ22からキャン14、ルツボ18方向への
蒸発を規制する遮蔽板24が設けられている。
The crucible 22 is disposed just below the can 16, and a silane coupling agent 23, which will be described later, is placed in the crucible 22 so that the silane coupling agent 23 evaporates in the crucible 22. It has a built-in heater.
In addition, a crucible made of magnetic material is placed between the cans 14 and 16.
A shielding plate 24 is provided for restricting evaporation from 18 toward the can 16 and the crucible 22 and evaporation of the silane coupling agent 23 from the crucible 22 toward the can 14 and the crucible 18.

【0010】またキャン16の略真下には、磁気テープ1
の磁性層4上に蒸発するカップリング剤23に向けて水蒸
気を噴霧するように、水蒸気導入管25が配設されてい
る。次に作用を説明する。電子ビーム銃21で電子線21a
を磁性材料19に打ち込むと、磁性材料19は加熱蒸発して
キャン14の周側面上の磁気テープ1に斜め蒸着される。
これにより磁性層4が形成され、磁気テープ1はローラ
15を介してキャン16の周側面まで移動する。
A magnetic tape 1 is provided just below the can 16.
A water vapor introducing pipe 25 is arranged so as to spray the water vapor onto the coupling agent 23 which evaporates on the magnetic layer 4. Next, the operation will be described. Electron beam 21a with electron beam 21a
When the magnetic material 19 is driven into the magnetic material 19, the magnetic material 19 is evaporated by heating and obliquely deposited on the magnetic tape 1 on the circumferential side surface of the can 14.
As a result, the magnetic layer 4 is formed, and the magnetic tape 1 is a roller.
Move to the peripheral side of the can 16 via 15.

【0011】ルツボ22に入れられたシランカップリング
剤23は沸点が144 ℃であり、ルツボ22に内蔵されたヒー
タにより加熱され、蒸発する。磁気テープ1上に形成さ
れた磁性層4上に蒸発したシランカップリング剤に向け
て水蒸気導入管25より水蒸気を噴霧する。シランカップ
リング剤は磁気テープ1上で、噴霧した水蒸気と次に示
す加水分解反応をする。 この反応により生成されたYRSi(OH)3は無機材表面
である磁性層4に強く結着する。またこのYRSi(O
H)3は滑らかな性質を有し、保護層、潤滑層としては最
適な材料である。
The silane coupling agent 23 contained in the crucible 22 has a boiling point of 144 ° C. and is heated by a heater built in the crucible 22 and evaporated. Water vapor is sprayed from the water vapor introducing pipe 25 toward the evaporated silane coupling agent on the magnetic layer 4 formed on the magnetic tape 1. The silane coupling agent causes the following hydrolysis reaction with the sprayed water vapor on the magnetic tape 1. The YRSi (OH) 3 produced by this reaction is strongly bound to the magnetic layer 4, which is the surface of the inorganic material. Also, this YRSi (O
H) 3 has a smooth property and is an optimum material for a protective layer and a lubricating layer.

【0012】次に特性の評価結果を示す。尚、特性はス
チル耐久性試験で評価した。即ち、磁気テープを8mmに
スリットして8mmVTRカセットにインカセし、1時間
スチル状態後の4MHzの出力の低下を測定した。通常、
スチル耐久性試験後の出力の規格値は、試験前の4MHz
の出力値に対して−3dB以内である。スチル耐久性試験
後、0.5 dBの出力低下が測定される程度であり、結果は
非常に良好であった。
Next, the evaluation results of the characteristics will be shown. The characteristics were evaluated by a still durability test. That is, the magnetic tape was slit to 8 mm, and the tape was inserted into an 8 mm VTR cassette, and the decrease in output at 4 MHz after the still state for 1 hour was measured. Normal,
The standard output value after the still durability test is 4 MHz before the test.
Within -3 dB of the output value of. After the still durability test, an output decrease of 0.5 dB was measured, and the result was very good.

【0013】かかる構成によれば、真空蒸着装置内にお
いて、磁性層4を形成した後、カップリング剤を蒸発さ
せ、磁性層4上に蒸発したカップリング剤に向けて水蒸
気を噴霧してカップリング剤を加水分解することによ
り、真空中で保護・潤滑層5を形成することが出来、磁
性層4を形成する工程から同じ真空雰囲気中で連続して
保護・潤滑層5を形成することが出来るので、製造工程
数が削減される。
According to this structure, after forming the magnetic layer 4 in the vacuum vapor deposition apparatus, the coupling agent is evaporated, and steam is sprayed onto the evaporated coupling agent on the magnetic layer 4 for coupling. By hydrolyzing the agent, the protection / lubrication layer 5 can be formed in vacuum, and the protection / lubrication layer 5 can be continuously formed in the same vacuum atmosphere from the step of forming the magnetic layer 4. Therefore, the number of manufacturing steps is reduced.

【0014】また真空中で全工程を行うので、工程中の
ゴミ付着等が防止される。さらにスチル耐久性試験の結
果は非常に良好であった。尚、本実施例では、カップリ
ング剤にシランカップリング剤を用いたが、これに限ら
ず、加水分解反応により磁性層4に結着するカップリン
グ剤であれば全て使用可能であり、例えばチタネート系
カップリング剤、アルミネート系カップリング剤、ジル
コン系カップリング剤、アルミジルコン系カップリング
剤等を用いてもよい。
Further, since all the steps are performed in a vacuum, dust adhesion during the steps is prevented. Furthermore, the result of the still durability test was very good. In this embodiment, the silane coupling agent was used as the coupling agent, but the coupling agent is not limited to this, and any coupling agent that binds to the magnetic layer 4 by a hydrolysis reaction can be used, for example, titanate. A system coupling agent, an aluminate system coupling agent, a zircon system coupling agent, an aluminum zircon system coupling agent, etc. may be used.

【0015】[0015]

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、磁
性層4を形成した後、真空槽内でカップリング剤を蒸発
させ、反応に必要な所定量の水蒸気を磁性層4上に蒸発
したカップリング剤に向けて噴霧し、カップリング剤を
加水分解反応させることにより、磁性層を形成する工程
から同じ真空雰囲気中で連続して保護・潤滑層を形成す
ることが出来るので、磁気記録媒体の製造工程数を削減
することが出来る。
As described above, according to the present invention, after the magnetic layer 4 is formed, the coupling agent is evaporated in a vacuum chamber and a predetermined amount of water vapor necessary for the reaction is evaporated on the magnetic layer 4. By spraying onto the coupling agent and causing the coupling agent to undergo a hydrolysis reaction, it is possible to continuously form a protective / lubricating layer in the same vacuum atmosphere from the step of forming the magnetic layer. The number of manufacturing steps of the medium can be reduced.

【0016】また真空中で全工程を行うので、工程中の
ゴミ付着等が防止される。さらにスチル耐久性試験も非
常に良好であった。
Further, since all the steps are performed in a vacuum, dust adhesion during the steps is prevented. Furthermore, the still durability test was also very good.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の真空蒸着装置の一実施例を示す図。FIG. 1 is a diagram showing an embodiment of a vacuum vapor deposition device of the present invention.

【図2】磁気記録媒体の断面図。FIG. 2 is a sectional view of a magnetic recording medium.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 磁気テープ 4 磁性層 5 保護・潤滑層 10 真空蒸着装置 11 真空槽 13 巻き出しロール 14、16 キャン 17 巻き取りロール 23 シランカップリング剤 20、24 遮蔽板 25 水蒸気導入管 1 Magnetic Tape 4 Magnetic Layer 5 Protective / Lubricating Layer 10 Vacuum Evaporation Device 11 Vacuum Tank 13 Unwinding Roll 14, 16 Can 17 Winding Roll 23 Silane Coupling Agent 20, 24 Shielding Plate 25 Water Vapor Introducing Pipe

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】真空雰囲気にした真空槽内で磁気記録媒体
の基材上に磁性層を形成した後、 加水分解反応するカップリング剤を前記真空槽内に蒸発
させ、 前記磁性層近傍に蒸発したカップリング剤に向けて水蒸
気を噴霧し、 前記磁性層の表面上で、カップリング剤と噴霧した所定
量の水分とを反応させて、該磁性層上に保護・潤滑層を
形成することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
1. A magnetic layer is formed on a base material of a magnetic recording medium in a vacuum chamber in a vacuum atmosphere, a coupling agent which undergoes a hydrolysis reaction is evaporated in the vacuum chamber, and evaporated in the vicinity of the magnetic layer. Water vapor is sprayed toward the coupling agent, and the coupling agent and a predetermined amount of water sprayed are reacted on the surface of the magnetic layer to form a protective / lubricating layer on the magnetic layer. A method for manufacturing a characteristic magnetic recording medium.
JP25302192A 1992-09-22 1992-09-22 Production of magnetic recording medium Pending JPH06103567A (en)

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JP (1) JPH06103567A (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010024484A (en) * 2008-07-17 2010-02-04 Seiko Epson Corp Surface treatment apparatus and surface treatment method
US20110003078A1 (en) * 2008-03-25 2011-01-06 Tokyo Electron Limited Apparatus for treating surface and method of treating surface

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